JPH0785504A

JPH0785504A - 光ディスク及び光ディスク原盤のカッティング方法並びに光ディスク原盤のカッティング装置

Info

Publication number: JPH0785504A
Application number: JP5233191A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Yasui; 俊明泰井; Toyoyuki Nunomura; 豊幸布村; Hitoshi Watanabe; 均渡辺
Original assignee: Hitachi Maxell Ltd
Current assignee: Maxell Holdings Ltd
Priority date: 1993-09-20
Filing date: 1993-09-20
Publication date: 1995-03-31

Abstract

(57)【要約】【目的】プリピットのピット長及びピット間ギャップ
を最適化し、記録密度が高く、かつプリピット信号の検
出エラーが少ない光ディスクを提供する。【構成】ピット間ギャップが再生用光ビームのスポッ
ト径よりも小さいプリピット列をカッティングするため
のプリピット信号のパルス幅を、基準パルス幅の５０％
以内の範囲で短縮補正する。ピット間ギャップが再生用
光ビームのスポット径よりも大きく、かつピット長が当
該再生用光ビームのスポット径よりも小さいプリピット
列を形成するためのプリピット信号のパルス幅を、基準
パルス幅の５０％以内の範囲で延長補正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクと、該光デ
ィスクのもとになる光ディスク原盤のカッティング方法
と、該方法を実施するための光ディスク原盤のカッティ
ング装置とに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に光ディスクは、光ディスク原盤よ
り複製される。光ディスク原盤は、原盤ガラス上にフォ
トレジスト膜を形成したものであって、フォトレジスト
膜に所望のパルス状のプリピット信号によって信号変調
されたカッティング用光ビームを照射後、これを現像処
理することによって、光ディスク基板に形成すべきプリ
ピット列のもとになる凹凸状のパターンが形成される。
なお、光ディスク原盤には、光ディスク基板に形成すべ
き光ビームの案内手段、例えば案内溝のもとになるパタ
ーンも併せてカッティングされるが、本発明と直接関係
がないので、本明細書では説明を省略する。光ディスク
は、前記カッティング済みの光ディスク原盤からそれに
形成されたパターンを転写してなるスタンパと呼称され
る金型を作製し、次いでこのスタンパからそれに形成さ
れたパターンを転写してなり、パターンの凹凸の向きが
前記光ディスク原盤と同じになった光ディスク基板を作
製し、さらに、この光ディスク基板のプリフォーマット
パターン形成面に記録膜その他の薄膜を成膜することに
よって作製される。

【０００３】ＣＡＶ（Constant angular Velocity ）方
式の光ディスクにおいては、分割された各セクタごとに
各セクタ間の区切りを示すセクターマーク、各セクタに
固有のクロックを生成するためのクロックピット、各セ
クタのアドレスを表示するアドレスピット、クロックピ
ット形成部（ＶＦＯ部）とアドレスピット形成部の区切
りを示すシンクパターンなどのプリピット列がプリフォ
ーマットされる。この種の光ディスク原盤のカッティン
グは、光ディスク原盤を一定回転速度で回転駆動し、か
つ記録用光学系を光ディスク原盤の半径方向に一定速度
で移送しつつ、前記記録用光学系より所望のピット長及
びピット間ギャップ長に応じたパルス状のカッティング
用光ビームを照射することによって行われる。ＺＣＡＶ
（ZonedＣＡＶ）方式の光ディスクを作製するための光
ディスク原盤のカッティングも、各ゾーンの切り換え部
で基準パルスのパルス幅が変更される点を除いて、前記
と同様に行われる。

【０００４】なお、記録用光ビームを照射することによ
って発生する熱の影響により記録マーク長が光ビームの
実際の照射時間よりも長くなり、検出エッジがシフトす
る光磁気記録膜や孔あけ型記録膜を有する光ディスクに
おいては、例えば特開昭６３−５３７２２号公報に記載
されているように、熱伝導の効果を考慮して記録パルス
幅を補正したり、あるいは例えば特開平１−１５０２３
０号公報に記載されているように、記録パルスをパルス
幅が小さな複数のパルスに分割して記録時の熱の影響を
緩和し、マーク長の伸びを補正することが行われてい
る。しかるに、光ディスク原盤のフォトレジスト膜に対
する記録は、ヒートモード記録ではなくフォトンモード
記録であるために、原理的に記録用光ビームの熱的影響
が問題になることはほとんどなく、従来、記録パルス幅
を補正するといった技術が適用されることはなかった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記ＣＡＶ
方式の光ディスクにおいては、内周記録領域ほど記録ト
ラック上を走査する光ビームスポットの周速度が遅くな
るため、それに比例して内周記録領域に記録されるプリ
ピットほどピット長及びピット間ギャップ長が小さくな
る。特に、近年においては、記録密度の向上及び記録容
量の増加の要請から、全体的にますますプリピットが小
型化し、ピット間ギャップ長が短縮される傾向にある。

【０００６】前記したように、プリピット列には種々の
プリピットが含まれており、プリピットのピット長及び
ピット間ギャップ長は、プリピットの種類によって異な
る。例えば、セクターマークは長く、クロックピット及
びアドレスピット等はそれよりも短く形成される。した
がって、記録密度向上の要請から、光ディスクに形成さ
れるプリピットのピット長及びピット間ギャップ長が全
体的に短縮されると、クロックピットやアドレスピット
のように元々短いプリピットについては、光ディスクの
内周記録領域において、再生用光ビームのスポット径よ
りもピット長及びピット間ギャップ長が短くなるものが
生じる。

【０００７】かような短いプリピット列に沿って再生用
光ビームを照射し、信号を再生すると、ピット間のクロ
ストークにより再生信号の変調度が低下する。また、プ
リピットの前端及び後端の位置を検出するマークエッジ
記録の場合には、プリピットの前端及び後端の検出位置
がシフトしやすくなるために、プリピット信号の検出エ
ラーひいては記録、再生不能といった重大な不都合を発
生しやすくなる。なお、かかる不都合は、情報信号がプ
リピットの形で記録される読出し専用のコンパクトディ
スクにおいても表れるが、コンピュータの外部記憶装置
などに用いられる情報記録用の光ディスクは、例えば１
０００ｒｐｍ以上の高速で回転駆動され、かつ高帯域の
信号を用いるので、前記の不都合が一層顕著になる。

【０００８】本発明は、かかる従来技術の不都合を解決
し、記録密度が高く、かつ情報の記録、再生を安定に行
うことができる光ディスクを提供することを目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記の目的を
達成するため、光ディスク原盤のカッティング方法に関
しては、光ディスク原盤のフォトレジスト膜にパルス状
のプリピット信号によって信号変調されたカッティング
用光ビームを照射し、光ディスクにプリフォーマットさ
れるプリピットのもとになる露光部を形成する光ディス
ク原盤のカッティング方法において、光ディスク複製
後、トラック方向に隣接して配置される２つのプリピッ
ト間の間隔が、当該光ディスクより信号を読み出す再生
用光ビームのスポット径よりも小さくなるプリピット列
を形成するための前記プリピット信号のパルス幅を、基
準パルス幅Ｔの５０％以内の範囲で短縮補正する構成に
した。

【００１０】この場合、光ディスク複製後、トラック方
向に隣接して配置される２つのプリピット間の間隔が当
該光ディスクより信号を読み出す再生用光ビームのスポ
ット径よりも大きく、かつピット長が前記再生用光ビー
ムのスポット径よりも小さいプリピット列を形成するた
めの前記プリピット信号のパルス幅について、基準パル
ス長の５０％以内の範囲で延長補正することもできる。
また、これらの場合において、前記プリピットのもとに
なる露光部は、光ディスク複製後、前記再生用光ビーム
の案内溝になる線状の露光部上に重ねて形成することも
できるし、光ディスク複製後、前記再生用光ビームの案
内溝になる相隣接する２つの線状の露光部の間に形成す
ることもできる。さらに、前記案内溝のもとになる露光
部は、光ディスク原盤の回転中心と同心の渦巻状又は同
心円状に形成することができる。

【００１１】光ディスクに関しては、前記のカッティン
グ方法により作製された光ディスク原盤からディスク基
板を複製し、当該ディスク基板のプリピット形成面に記
録膜を担持するという構成にした。

【００１２】光ディスク原盤のカッティング装置に関し
ては、レーザ光源、光変調素子、並びに対物レンズを備
えた記録用光学系と、光ディスク原盤を回転するスピン
ドル回転機構と、前記光学系を前記光ディスク原盤の半
径方向に移動する送り機構と、前記光変調素子にプリピ
ット信号を出力するための信号発生器とを備えた光ディ
スク原盤のカッティング装置において、前記信号発生器
として、該信号発生器から出力されるプリピット信号の
うち、予め定められた信号のパルス幅を、基準パルス幅
Ｔに対して±５０％の範囲で短縮補正又は延長補正がで
きるものを備えるという構成にした。

【００１３】

【作用】プリピット信号のうち、光ディスク複製後、ト
ラック方向に隣接して配置される２つのプリピット間の
間隔が、再生用光ビームのスポット径よりも小さくなる
プリピット列を形成するためのプリピット信号のパルス
幅を、基準パルス幅Ｔの５０％以内の範囲で短縮補正す
ると、ピット間のクロストークが抑制されるので、再生
信号の変調度を大きくすることができる。また、プリピ
ット信号のパルス幅の補正量を適宜調整することによっ
て、再生信号の振幅の中心を信号スライスレベルに合致
させるようにすることができるので、エッジの検出位置
のシフトや揺らぎを抑制することができ、正確なプリピ
ット検出が可能になる。

【００１４】一方、トラック方向に隣接して配置される
２つのプリピット間の間隔が当該光ディスクより信号を
読み出す再生用光ビームのスポット径よりも大きい領域
について、再生用光ビームのスポット径よりも短いプリ
ピットを形成するためのプリピット信号のパルス幅を基
準パルス幅Ｔの５０％の範囲で延長補正すると、再生用
光ビームのスポット中に占めるプリピットの割合を増加
できるので、再生信号の変調度を大きくすることができ
る。

【００１５】

【実施例】まず、本発明に係る光ディスク原盤カッティ
ング装置の一例を、図１に基づいて説明する。この図に
おいて、１は光ディスク原盤、２は光ディスク原盤１を
回転駆動するターンテーブル、３は光ディスク原盤１に
記録用レーザビームを照射する記録用光学系、４は記録
用光学系３に備えられた対物レンズにフォーカスサーボ
をかけるためのフォーカス制御系を示している。

【００１６】光ディスク原盤１は、原盤ガラスの片面に
フォトレジスト膜を均一に形成したものであって、該フ
ォトレジスト膜を上向きにして、ターンテーブル２上に
これと同心に取り付けられる。

【００１７】記録用光学系３は、レーザ光源であるアル
ゴンレーザ１１と、露光量のラジアルコントロールなど
を行うＡ−Ｏ（音響光学効果）光変調器１２と、反射鏡
１３と、アルゴンレーザ１１から出射されたレーザビー
ム１１ａに信号変調をかけるＥ−Ｏ（電気光学効果）光
変調器１４と、プリピット信号を出力する信号源１５
と、該信号源１５から出力されたプリピット信号のうち
の予め定められたプリピット信号についてパルス幅の補
正を行うパルス幅補正回路１６と、フォーマッタドライ
バ１６ａと、反射鏡１７と、ビーム径を広げるビームエ
キスパンダ１８と、後記するフォーカス制御系４から出
射されたフォーカス用レーザビームをアルゴンレーザ１
１から出射されたレーザビーム１１ａと合成するための
ビーム混合プリズム１９と、反射鏡２０と、前記光ディ
スク原盤１と対向に配置された対物レンズ２１とから構
成されている。対物レンズ２１には、フォーカスアクチ
ュエータ２２が備えられており、後記するフォーカス制
御回路からの信号に応じて常時レーザビーム１１ａをフ
ォトレジスト膜上に合焦するように制御される。なお、
この記録用光学系３は、図示しない送り機構に搭載され
ており、前記対物レンズ２１を前記光ディスク原盤１の
半径方向に移動できるように構成されている。

【００１８】前記パルス幅補正回路１６は、ピット間ギ
ャップが再生用光ビームのスポット径よりも小さくなる
プリピット列を形成するためのプリピット信号のパルス
幅を、基準信号のパルス幅の５０％以下の範囲で短くな
るように補正する。また、ピット間ギャップが再生用光
ビームのスポット径よりも大きく、かつピット長が再生
用光ビームのスポット径よりも短くなる領域について
は、ピット長が再生用光ビームのスポット径よりも短い
プリピットの長さを基準パルス幅Ｔの５０％の範囲で長
くするように補正する。

【００１９】フォーカス制御系４は、光ディスク原盤１
のフォトレジスト膜を感光させない波長のレーザ光を出
射するヘリウム−ネオンレーザ２３と、該ヘリウム−ネ
オンレーザ２３から出射されたレーザビーム２３ａを前
記ビーム混合プリズム１９に導くハーフミラー２４と、
光ディスク原盤１からの反射ビームを受光して、受光強
度に比例した電気信号に変換する受光素子２５と、該受
光素子２５の出力信号からフォーカス制御信号を生成し
て、前記対物レンズ２１のフォーカスアクチュエータ２
２を駆動するフォーカス制御回路２６とからなる。

【００２０】以下に本発明に係る光ディスク原盤カッテ
ィング方法の具体例を掲げ、本発明の効果を明らかにす
る。

【００２１】〈第１実施例〉図１に示したカッティング装置を用い、下記の条件の
もとでＺＣＡＶ方式の光ディスク原盤のカッティングを
行った。原盤回転数；６００ｒｐｍ記録エリア；半径３０ｍｍ〜６０ｍｍ分割ゾーン数；３５ブロック分割セクタ数；最内周ブロックは３５セクタ最外周ブロックは６９セクタ変調方式；２−７変調のマークエッジ記録基準パルス幅Ｔ；最内周ブロックは２６０ｎｓ最外周ブロックは１３０ｎｓパルス幅補正量；−３０％最内周ブロックは−７８ｎｓ最外周ブロックは−３９ｎｓ定法にしたがって露光済み原盤を現像処理した後、定
法にしたがってフォトレジスト膜にニッケルを電鋳し、
スタンパを作製した。さらに、このスタンパを原型として、いわゆる２Ｐ法
によって、ガラス板の片面にプリフォーマットパターン
を転写した樹脂層が設けられた光ディスク基板を作製し
た。最後に、この光ディスク基板のプリフォーマットパタ
ーン形成面に、定法にしたがって第１の誘電体膜、光磁
気記録膜、第２の誘電体膜、反射膜を順次積層して、光
磁気ディスクを得た。

【００２２】〈第１比較例〉パルス幅の補正をすること
なく、光ディスク原盤のカッティングを行った。その他
の条件に関しては、前記第１実施例と同じにした。しか
る後に、前記第１実施例と同じ条件のもとで、スタンパ
の作製と、光ディスク基板の作製と、記録膜等の成膜を
行い、光磁気ディスクを得た。

【００２３】図２に、前記第１実施例に係るカッティン
グ方法におけるプリピット信号と、これによって形成さ
れるプリピットの形状及び寸法と、このプリピットから
読み出される再生信号の波形とを示す。また、図３に、
前記第１比較例に係るカッティング方法におけるプリピ
ット信号と、これによって形成されるプリピットの形状
及び寸法と、このプリピットから読み出される再生信号
の波形とを示す。さらに、図４に、これら第１実施例及
び第１比較例に係る光ディスクの再生信号特性を示す。

【００２４】第１実施例のカッティング方法は、プリピ
ット信号のパルス幅（“Ｈ”レベルの信号のパルス幅）
を基準信号のパルス幅Ｔの３０％ずつ短縮補正するの
で、図２(ａ)に示すように８Ｔのプリピット信号は７．
７Ｔに、２Ｔのプリピット信号は１．７Ｔに、４Ｔのプ
リピット信号は３．７Ｔになり、これに伴って“Ｌ”レ
ベルの信号のパルス幅は、２Ｔのプリピット信号が２．
３Ｔに、４Ｔのプリピット信号が４．３Ｔになる。した
がって、このプリピット信号に対応して作製されるプリ
ピットのピット長も、図２（ｂ）に示すように、夫々
７．７Ｔ、１．７Ｔ、３．７Ｔになり、各プリピット間
のギャップ長が２．３Ｔ、４．３Ｔ、４．３Ｔになる。
この光ディスクを再生用レーザビームの波長が７８０ｎ
ｍで、対物レンズの開口数ＮＡが０．５５のドライブ装
置に装着して前記のプリピット列より信号を読みだし、
予め定められたスライスレベルでこの再生信号波形をス
ライスすると、図２（ｃ）に示すように、７．７Ｔのプ
リピットから読みだされた信号のスライスレベルにおけ
る信号長Ｔ₁´ と８Ｔの信号との差ΔＴ₁´ 、１．７Ｔ
のプリピットから読みだされた信号のスライスレベルに
おける信号長Ｔ₂´ と２Ｔの信号との差（｜ΔＴ₂´ −
２Ｔ｜＝｜ΔＴ₁´−ΔＴ₂´´｜＝｜ΔＴ₁´＋ΔＴ₂´
｜）、３．７Ｔのプリピットから読みだされた信号の
スライスレベルにおける信号長Ｔ₃´と４Ｔの信号との
差ΔＴ₃´、１．７Ｔのプリピットから読みだされた信
号のスライスレベルにおける信号長Ｔ₄´ と２Ｔの信号
との差ΔＴ₄´ は、いずれもドライブ装置の検出窓の大
きさ±Ｔｗ／２よりも小さく、検出エラーを生じないこ
とがわかった。

【００２５】これに対し、図３に示すようにプリピット
信号のパルス幅補正を行わない場合には、前記と同じ条
件のもとでプリピット列より信号を読みだし、その再生
信号波形をスライスしたとき、図３（ｃ）に示すよう
に、８Ｔのプリピットから読みだされた信号のスライス
レベルにおける信号長Ｔ₁ と８Ｔの信号との差ΔＴ₁ 、
２Ｔのプリピットから読みだされた信号のスライスレベ
ルにおける信号長Ｔ₂ と２Ｔの信号との差ΔＴ₂ につい
ては、ドライブ装置の検出窓の大きさ±Ｔｗ／２よりも
大きく、検出エラーを生じることがわかった。尚、その
下流側に配置された４Ｔのプリピットから読みだされた
信号のスライスレベルにおける信号長Ｔ₃と４Ｔの信号
との差ΔＴ₃ 、２Ｔのプリピットから読みだされた信号
のスライスレベルにおける信号長Ｔ₄ と２Ｔの信号との
差ΔＴ₄ は、いずれもドライブ装置の検出窓の大きさ±
Ｔｗ／２よりも小さく、検出エラーを生じないことがわ
かった。

【００２６】また、前記のドライブ装置を用いて第１実
施例及び第１比較例に係る光ディスクの再生信号特性を
測定したところ、図４に示す結果を得た。同図から明ら
かなように、第１実施例に係る光ディスクは、第１比較
例に係る光ディスクに比べてクロックピットから読みだ
されるＶＦＯ信号の変調度及びプリピット信号の分解能
（Ｉ_vfo／Ｉｐ_max；図２及び図３参照）が大きくなり、
検出窓幅に対するジッタ（Ｉ_vfo／Ｉ₀；図２及び図３参
照）が小さくなる。

【００２７】〈第２実施例〉図１に示したカッティング装置を用い、下記の条件の
もとでＣＡＶ方式の光ディスク原盤のカッティングを行
った。原盤回転数；９００ｒｐｍ記録エリア；半径３０ｍｍ〜６０ｍｍ分割セクタ数；１７セクタ変調方式；２−７変調のポジション記録基準パルス幅Ｔ；１８０ｎｓパルス幅補正量；最内周トラックは−２４ｎｓ（−１５
％）最外周トラックは＋３６ｎｓ（＋２０％）以下、前記第１実施例と同じ条件のもとで、スタンパ
の作製と、光ディスク基板の作製と、記録膜等の成膜を
行い、光磁気ディスクを得た。

【００２８】〈第２比較例〉パルス幅の補正をすること
なく、光ディスク原盤のカッティングを行った。その他
の条件に関しては、前記第２実施例と同じにした。しか
る後に、前記第１実施例と同じ条件のもとで、スタンパ
の作製と、光ディスク基板の作製と、記録膜等の成膜を
行い、光磁気ディスクを得た。

【００２９】図５に、前記第２実施例に係るカッティン
グ方法におけるプリピット信号と、これによって形成さ
れるプリピットの形状及び寸法と、このプリピットから
読み出される再生信号の波形とを示す。また、図６に、
前記第２比較例に係るカッティング方法におけるプリピ
ット信号と、これによって形成されるプリピットの形状
及び寸法と、このプリピットから読み出される再生信号
の波形とを示す。さらに、図７に、これら第２実施例及
び第２比較例に係る光ディスクの再生信号特性を示す。

【００３０】第２実施例のカッティング方法は、内周記
録領域については、再生用レーザビームのスポット径よ
りもピット間ギャップ及びピット長が小さいプリピット
列を形成するためのプリピット信号のパルス幅（“Ｈ”
レベルの信号のパルス幅）を基準信号のパルス幅Ｔの１
５％ずつ短縮補正し、外周記録領域については、再生用
レーザビームのスポット径よりもピット間ギャップが大
きく、かつピット長がスポット径よりも小さいプリピッ
ト列を形成するためのプリピット信号のパルス幅
（“Ｈ”レベルの信号のパルス幅）を基準信号のパルス
幅Ｔの２０％ずつ延長補正する。内周記録領域における
光ディスク原盤のカッティング方法を図５により説明す
ると、図５(ａ)に示すように、セクタマークを記録する
信号は１０Ｔに、クロックピット（ＶＦＯ）を記録する
信号は夫々０．８５Ｔに調整され、これに伴ってＶＦＯ
信号の“Ｌ”レベルの信号のパルス幅が１．１５Ｔに調
整される。したがって、このプリピット信号に対応して
作製されるプリピットのピット長も、図５（ｂ）に示す
ように、セクタマークが１０Ｔに、クロックピットが
１．１５Ｔになる。この光ディスクを再生用レーザビー
ムの波長が８３０ｎｍで、対物レンズの開口数ＮＡが
０．５３のドライブ装置に装着して前記のプリピット列
より読みだされた再生信号波形を図５(ｃ)に示す。この
データより、ＶＦＯ信号の変調度（Ｉ_vfo ／Ｉ₀ ）が
０．２５より大きくなり、プリピット分解能（Ｉ_vfo ／
Ｉｐ_max ）が０．５より大きくなることがわかった。

【００３１】これに対し、図６に示すようにクロックピ
ット信号のパルス幅補正を行わない場合には、前記と同
じ条件のもとでプリピット列より信号を読みだしたと
き、その再生信号波形が図６（ｃ）のようになり、ＶＦ
Ｏ信号の変調度が０．２５もしくはそれよりも小さくな
り、プリピット分解能も０．５より小さくなることがわ
かった。

【００３２】また、前記のドライブ装置を用いて第２実
施例及び第２比較例に係る光ディスクの再生信号特性を
測定したところ、図７に示す結果を得た。同図から明ら
かなように、第１実施例に係る光ディスクは第１比較例
に係る光ディスクに比べて、内周記録領域及び外周記録
領域とも、クロックピットから読みだされるＶＦＯ信号
の変調度及びプリピット信号の分解能が大きくなる。

【００３３】なお、プリピット信号のパルス幅補正量
は、前記実施例に限定されるものではなく、適宜変更可
能である。但し、基準信号のパルス幅の５０％を越える
補正を加えると、ピット長が過小になってかえって信号
変調度が低下するため、プリピット信号のパルス幅補正
量は、最大でも基準信号のパルス幅の５０％以下に押さ
えることが好ましい。

【００３４】また、前記実施例においては、記録／再生
用光ビームを案内するための手段、例えば案内溝につい
て何ら言及されていないが、実際の光ディスクには記録
／再生用光ビームを案内するための案内溝等を必要とす
る。この案内溝等も、プリピットとともに光ディスク原
盤にカッティングされる。光ビーム案内手段として案内
溝をカッティングする場合には、プリピットを案内溝上
に重ねてカッティングすることもできるし、プリピット
を相隣接する案内溝の間にカッティングすることもでき
る。案内溝等の光ビーム案内手段は、光ディスク原盤の
回転中心と同心の渦巻状又は同心円状にカッティングさ
れる。

【００３５】さらに、前記実施例においては、光磁気デ
ィスクを例にとって説明したが、その他例えば孔あけ型
光ディスク、相変化型光ディスク、色素系記録膜を有す
る光ディスクなど、公知に属する全ての光ディスクに適
用することができる。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
光ディスク原盤にプリピットをカッティングする際に、
プリピット信号のパルス幅を基準パルス長の５０％以内
の範囲で補正するようにしたので、ピット間ギャップ及
び／又はピット長が再生用光ビームスポット径よりも小
さい領域から読みだされるプリピット信号の変調度及び
分解能を改善することができる。また、マークエッジ記
録方式の光ディスクについては、エッジの検出位置のシ
フトや揺らぎを抑制することができ、正確なプリピット
検出が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例に係る光ディスク原盤カッティング装置
の説明図である。

【図２】第１実施例に係るプリピット信号のパルス幅補
正方法と、それによって形成されるプリピットの寸法
と、このプリピット列から読みだされる再生信号波形と
の関係を示す説明図である。

【図３】第１比較例に係るプリピット信号のパルス幅補
正方法と、それによって形成されるプリピットの寸法
と、このプリピット列から読みだされる再生信号波形と
の関係を示す説明図である。

【図４】第１実施例に係る光ディスクの再生信号特性と
第１比較例に係る光ディスクの再生信号特性とを比較す
る表図である。

【図５】第２実施例に係るプリピット信号のパルス幅補
正方法と、それによって形成されるプリピットの寸法
と、このプリピット列から読みだされる再生信号波形と
の関係を示す説明図である。

【図６】第２比較例に係るプリピット信号のパルス幅補
正方法と、それによって形成されるプリピットの寸法
と、このプリピット列から読みだされる再生信号波形と
の関係を示す説明図である。

【図７】第２実施例に係る光ディスクの再生信号特性と
第２比較例に係る光ディスクの再生信号特性とを比較す
る表図である。

【符号の説明】

１光ディスク原盤３記録用光学系４フォーカス制御系１１アルゴンレーザ１４Ｅ−Ｏ（電気光学効果）光変調器１５信号源１６パルス幅補正回路２１対物レンズ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光ディスク原盤のフォトレジスト膜にパ
ルス状のプリピット信号によって信号変調されたカッテ
ィング用光ビームを照射し、光ディスクにプリフォーマ
ットされるプリピットのもとになる露光部を形成する光
ディスク原盤のカッティング方法において、光ディスク
複製後、トラック方向に隣接して配置される２つのプリ
ピット間の間隔が、当該光ディスクより信号を読み出す
再生用光ビームのスポット径よりも小さくなるプリピッ
ト列を形成するための前記プリピット信号のパルス幅
を、基準パルス幅Ｔの５０％以内の範囲で短縮補正する
ことを特徴とする光ディスク原盤のカッティング方法。
【請求項２】請求項１において、光ディスク複製後、
トラック方向に隣接して配置される２つのプリピット間
の間隔が当該光ディスクより信号を読み出す再生用光ビ
ームのスポット径よりも大きく、かつピット長が前記再
生用光ビームのスポット径よりも小さいプリピット列を
形成するための前記プリピット信号のパルス幅を、基準
パルス幅Ｔの５０％以内の範囲で延長補正することを特
徴とする光ディスク原盤のカッティング方法。
【請求項３】請求項１において、前記プリピットのも
とになる露光部を、光ディスク複製後、前記再生用光ビ
ームの案内溝になる線状の露光部上に重ねて形成するこ
とを特徴とする光ディスク原盤のカッティング方法。
【請求項４】請求項１において、前記プリピットのも
とになる露光部を、光ディスク複製後、前記再生用光ビ
ームの案内溝になる相隣接する２つの線状の露光部の間
に形成することを特徴とする光ディスク原盤のカッティ
ング方法。
【請求項５】請求項３又は４において、前記案内溝の
もとになる露光部を、光ディスク原盤の回転中心と同心
の渦巻状又は同心円状に形成することを特徴とする光デ
ィスク原盤のカッティング方法。
【請求項６】請求項１又は２に記載の光ディスク原盤
から複製されたディスク基板を有し、当該ディスク基板
の前記プリピット形成面に記録膜を担持したことを特徴
とする光ディスク。
【請求項７】レーザ光源、光変調素子、並びに対物レ
ンズを備えた記録用光学系と、光ディスク原盤を回転す
るスピンドル回転機構と、前記光学系を前記光ディスク
原盤の半径方向に移動する送り機構と、前記光変調素子
にプリピット信号を出力するための信号発生器とを備え
た光ディスク原盤のカッティング装置において、前記信
号発生器として、該信号発生器から出力されるプリピッ
ト信号のうち、予め定められた信号のパルス幅を、基準
パルス幅Ｔに対して±５０％の範囲で短縮補正又は延長
補正できるものを備えたことを特徴とする光ディスク原
盤のカッティング装置。