DE19753664B4

DE19753664B4 - Oberflächenwellen-Resonatorfilter

Info

Publication number: DE19753664B4
Application number: DE19753664A
Authority: DE
Inventors: Kazunobu Nagaokakyo Shimoe
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1996-12-25
Filing date: 1997-12-03
Publication date: 2004-07-08
Anticipated expiration: 2017-12-04
Also published as: JPH10190394A; KR100280608B1; US5986524A; MY113662A; DE19753664A1; SG71073A1; KR19980064527A; TW353552U

Abstract

Oberflächenwellen-Resonatorfilter der Längskopplungsart,
mit einer ersten interdigitalen Elektrode und
mit einer zweiten interdigitalen Elektrode und einer dritten interdigitalen Elektrode, die jeweils auf beiden Seiten der ersten interdigitalen Elektrode angeordnet sind,
wobei der Abstand (L₁) zwischen der ersten interdigitalen Elektrode und der zweiten interdigitalen Elektrode und der Abstand (L₂) zwischen der ersten interdigitalen Elektrode und der dritten interdigitalen Elektrode verschieden ist, und
wobei mindestens eine der drei Elektroden in der Weise asymmetrisch in der Richtung gewichtet ist, in der sich die Oberflächenwelle ausbreitet, daß Falschansprechungen in einem Bereich, der höher ist als der Durchlaßbereich, vermindert sind.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft im allgemeinen ein Oberflächenwellen-Resonatorfilter (SAW-Resonatorfilter) der Längskopplungsart, bei dem Reflektoren auf beiden Seiten eines Bereichs ausgebildet sind, in dem sich interdigitale Elektroden befinden. Genauer gesagt betrifft die Erfindung den oben genannten Typ eines SAW-Resonatorfilters der Längskopplungsart, das eine verbesserte Elektrodenstruktur aufweist, bei der unerwünschte Falschansprechungen unterdrückt werden.
SAW-Filter werden als Bandpaßfilter für verschiedene Arten von Kommunikationsvorrichtungen verwendet. Es besteht ein großer Wunsch danach, daß die Bandpaßfilter die benötigten Durchlaßbandbreiten mit einer hohen Selektivität gewährleisten. Folglich ist es auch notwendig, daß ein SAW-Filter, der in einer Hochfrequenzstufe verwendet wird, eine benötigte Durchlaßbandbreite mit einer hohen Selektivität sicherstellt. Es ist vor allem wichtig, daß HF-Stufen-SAW-Filter, die in schnurlosen Telephonen benutzt werden, die CT-1-, CT-1⁺- und CT-2-Standards aufweisen, Dämpfungen in den Bereichen von ±20 MHz und ±40 MHz relativ zur Mittenfrequenz aufweisen, wobei diese Bereiche in Abhängigkeit von den Zwischenfrequenz (IF)-Filtern schwanken, die in diesen Telephonen benutzt werden. Somit müssen die HF-Stufen-SAW-Filter sogar noch höhere Selektivitätscharakteristiken aufweisen.
Andererseits sind SAW-Filter der Resonatorart gegenüber anderen Arten von SAW-Filtern im Hinblick auf verringerte Einfügungsdämpfungen und erhöhte Außerband-Dämpfungen vorteilhaft und stellen auch einen kompakteren Filter dar. So sind z.B. die folgenden Arten von SAW-Resonatorfilter der Längskopplungsart in einer Vielzahl von Stufen verbunden, um die oben genannten Anforderungen in einem erträglichen Maße zufriedenzustellen. Bei dieser Art von SAW-Filter sind drei interdigitale (im folgenden als "ID" bezeichnet) Elektroden nahe beieinander in einem gleichen Abstand auf einem sich in X-Richtung ausbreitenden piezoelektrischen 36-Y-Schnitt-LiTaO₃-Substrat angeordnet, und Reflektoren befinden sich auf beiden Seiten eines Bereichs, in dem die ID-Elektroden angeordnet sind.
Aber bei dem oben genannten herkömmlichen Längskopplungs-SAW-Resonatorfilter werden unerwünschte Falschansprechungen in einem Frequenzbereich erzeugt, der höher als der Durchlaßbereich ist. 3 veranschaulicht die Dämpfung als Funktion der Frequenzcharakteristiken eines bekannten Längskopplungs-SAW-Resonatorfilters. Die Vollinie A gibt einen vergrößerten wesentlichen Abschnitt der Charakteristiken an, die durch die Vollinie B mit einer Maßeinteilung auf der vertikalen Achse von 3 dargestellt sind. Das Längskopplungs-SAW-Resonatorfilter mit den in 3 gezeigten Charakteristiken besitzt ein Durchlaßband von 864 bis 868 MHz. Bei den oben genannten Charakteristiken treten große Falschansprechungen, die mit dem Pfeil C gekennzeichnet sind, in einem Frequenzbereich auf, der höher als der Durchlaßbereich ist, nämlich in der Nähe von 890 MHz, in dem eine ausreichend große Dämpfung nicht erzielt werden kann.

Als ein Verfahren zum Unterdrücken der oben genannten Falschansprechungen C offenbart die japanische ungeprüfte Patentveröffentlichung Nr. 8-191229 ein Verfahren, um unterschiedliche Abstände zwischen der mittleren ID-Elektrode und der einen äußeren ID-Elektrode und zwischen der mittleren ID-Elektrode und der anderen äußeren ID-Elektrode herzustellen. Das Längskopplungs-SAW-Resonatorfilter, das in dieser Veröffentlichung offenbart wird, ist in 4 gezeigt.

Ein Längskopplungs-SAW-Resonatorfilter, das allgemein mit 10 bezeichnet ist, besitzt einen Aufbau, bei dem eine erste ID-Elektrode 14 und zweite ID-Elektroden 12 und 13 nebeneinander auf einem piezoelektrischen Substrat 11 in der Richtung angeordnet sind, in der sich eine Oberflächenwelle ausbreitet. Genauer gesagt befinden sich die zweite und die dritte ID-Elektrode 12 und 13 jeweils auf beiden Seiten der ersten ID-Elektrode 14. Reflektoren 15, 15 sind jeweils auf einer Seite der ID-Elektrode 12 und auf einer Seite der ID-Elektrode 13 ausgebildet, und zwar in der Oberflächenwellen-Ausbreitungsrichtung.

Die zweiten und dritten ID-Elektroden 12 und 13 sind mit einem Eingangsanschluß 21 verbunden, während die erste ID-Elektrode 14 mit einem Ausgangsanschluß 22 verbunden ist. An die ID-Elektroden 12 und 13 wird eine Spannung angelegt, um eine Oberflächenwelle zu erregen. Die erregte Oberflächenwelle breitet sich zwischen den Reflektoren 15, 15 aus, so daß eine stehende Welle erzeugt wird, und eine der stehenden Welle entsprechende Ausgangsleistung wird an der ersten ID-Elektrode 14 abgegriffen.

In dem SAW-Resonatorfilter 10 ist der Abstand der ersten ID-Elektrode 14 zu der zweiten ID-Elektrode 12, das heißt der Mittenabstand L₁ zwischen den zueinander am nächsten liegenden Elektrodenfingern der jeweiligen ID-Elektroden 14 und 12, von dem Abstand der ersten ID-Elektrode 14 zu der zweiten ID-Elektrode 13 , d.h. dem Mittenabstand L₂ zwischen den am nächsten beieinanderliegenden Elektrodenfingern der jeweiligen ID-Elektroden 14 und 13, verschieden.

Aber wenn die SAW-Resonatorfilter 10, die in 4 veranschaulicht sind, in zwei Stufen angeschlossen werden, kommt es zu folgendem Problem. Aufgrund der unterschiedlichen Mittenabstände L₁ und L₂ entsteht ein Dämpfungspol, der in 5 mit dem Pfeil F bezeichnet ist und der höher als das Durchlaßband ist, in dem eine große Dämpfung erzielt werden kann. Andererseits können die oben genannten großen unerwünschten Falschansprechungen C kaum unterdrückt werden und werden nicht ausreichend verhindert, wie durch die Charakteristiken der Dämpfung als Funktion der Frequenz angeben ist, die in 5 veranschaulicht sind. In 5 stellt die Vollinie D einen vergrößerten wesentlichen Abschnitt der Charakteristiken dar, die mit der Vollinie E mit einer Maßeinteilung auf der rechten Seite der vertikalen Achse von 5 angegeben sind. Wenn man 5 mit der 3 vergleicht, kann man sehen, daß die unerwünschten Falschansprechungen C nicht wesentlich reduziert worden sind.

Folglich ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Längskopplungs-SAW-Filter vorzusehen, das verbesserte Selektivitätscharakteristiken aufweist.

Diese Aufgabe wird mit dem Gegenstand des Anspruchs 1 gelöst.

Dafür ist ein Längskopplungs-SAW-Resonatorfilter vorgesehen, das eine erste ID-Elektrode mit mindestens einem Elektrodenfinger, eine zweite ID-Elektrode und eine dritte ID-Elektrode umfaßt, die jeweils auf beiden Seiten der ersten ID-Elektrode in einer Richtung angeordnet sind, in der sich eine Oberflächenwelle ausbreitet. Die zweiten und dritten ID-Elektroden besitzen jeweils mindestens einen Elektrodenfinger. Das Filter weist auch einen Reflektor auf. Der Mittenabstand L₁ zwischen den am nächsten beieinanderliegenden Fingerelektroden der ersten ID-Elektrode und der zweiten ID-Elektrode und der Mittenabstand L₂ zwischen den am nächsten beieinanderliegenden Fingerelektroden der ersten ID-Elektrode und der dritten ID-Elektrode sind verschieden. Mindestens eine der ersten, zweiten und dritten ID-Elektroden ist gewichtet.

Aufgrund der verschiedenen Mittenabstände L1 und L2 wird bei dem oben genannten Resonatorfilter ein Dämpfungspol in einem Bereich gebildet, der höher als das Durchlaßband ist, in dem große Falschansprechungen unterdrückt werden. Außerdem ist mindestens eine ID-Elektrode gewichtet, wodurch die oben genannten Falschansprechungen effektiver verhindert werden.

Deshalb können dann, wenn das oben genannte Filter als ein HF-Filter für ein schnurloses Telephon verwendet wird, Dämpfungen in den Bereichen von ±0 MHz und ±0 MHz relativ zur Mittenfrequenz zuverlässig erzielt werden. Somit erreicht das Resonatorfilter ein hohes Niveau an Selektivität.

Dabei ist die gewichtete ID-Elektrode asymmetrisch relativ zu dem Mittelpunkt der ID-Elektrode. Demgemäß können große Falschansprechungen in einem Bereich, der höher als der Durchlaßbereich ist, effektiv verringert werden.

Die Unteransprüche geben Ausführungsposition der Erfindung an.

So kann die ID-Elektrode gemäß einem sogenannten "Elektrodenfinger-Abzugsverfahren" (electrode finger withdrawal method) gewichtet werden. Dadurch wird es möglich, einen Aufbau des Filters und eine Vorsehung eines Musters auf dem Filter noch weiter zu vereinfachen.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung an Hand der Beschreibung der Beschreibung in Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen näher erläutert.

Es zeigen:

1 eine Draufsicht, die die Konfiguration eines Längskopplungs-SAW-Resonatorfilters gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung veranschaulicht,

2 die Dämpfung als Funktion der Frequenzcharakteristiken eines Längskopplungs-SAW-Resonatorfilters gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung,

3 die Dämpfung als Funktion der Frequenzcharakteristiken eines bekannten Längskopplungs-SAW-Resonatorfilters,

4 eine Draufsicht, die die Konfiguration eines herkömmlichen Längskopplungs-SAW-Resonatofilters veranschaulicht, und

5 die Dämpfung als Funktion der Frequenzcharakteristiken eines bekannten Längskopplungs-SAW-Resonatorfilters, der als Vergleichsbeispiel verwendet wird.

Nun wird ein SAW-Resonatorfilter, das gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung aufgebaut ist, unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
Wie in der in 1 gezeigten Draufsicht zu sehen ist, ist ein Längskopplungs-SAW-Resonatorfilter, das allgemein mit 1 bezeichnet ist, durch die Verwendung eines piezoelektrischen Substrats 2 gebildet. Das piezoelektrische Substrat 2 ist aus einem piezoelektrischen Einkristall, z.B. aus LiTaO₃, LiNbO₃ oder Quarz, oder aus einem piezoelektrischen Keramikmaterial hergestellt, wie z.B. einer Blei-Titanat-Zirkonat-Keramik.
Auf dem piezoelektrischen Substrat 2 sind eine erste ID-Elektrode 3 sowie auch eine zweite ID-Elektrode 4 und eine dritte ID-Elektrode 5 ausgebildet, die sich jeweils auf beiden Seiten der ersten ID-Elektrode in der Richtung befinden, in der sich eine Oberflächenwelle ausbreitet. Die ID-Elektroden 3, 4 und 5 sind jeweils aus einem Paar von kammartigen Elektroden gebildet, wobei jede Elektrode mindestens einen Elektrodenfinger besitzt und die Finger zueinander parallelgeschaltet sind.
Bei dem oben beschriebenen Aufbau des SAW-Filters 1 bilden die zweiten und dritten ID-Elektroden 4 und 5 einen Eingangs-ID-Umformer, wobei eine kammartige Elektrode jeder der ID-Elektroden 4 und 5 elektrisch mit einem Eingangsanschluß 6 verbunden ist. Die erste ID-Elektrode 3 bildet einen Ausgangs-ID-Umwandler, wobei eine kammartige Elektrode der ID-Elektrode 3 elektrisch mit einem Ausgangsanschluß 7 verbunden ist.
Reflektoren 8 und 9 sind jeweils auf einer Seite jeder der zweiten und dritten ID-Elektroden 4 und 5 in der Richtung ausgebildet, in der sich eine Oberflächenwelle ausbreitet. Die Reflektoren 8 und 9 sind so aufgebaut, daß eine Vielzahl von kurzgeschlossenen Elektrodenfingern rechtwinklig zu der Richtung positioniert sind, in der sich eine Oberflächenwelle ausbreitet. Die ID-Elektroden 3, 4 und 5 und die Reflektoren 8 und 9 können dadurch gebildet werden, daß ein leitendes Material mit einem Muster versehen wird. Die Art des leitenden Materials ist nicht speziell eingeschränkt, und es kann ein geeignetes Metallmaterial, z.B. Aluminium oder eine Aluminiumlegierung, verwendet werden.
Bei dem oben beschriebenen SAW-Resonatorfilter 1 ist der Mittenabstand L₁ zwischen den am nächsten beieinanderliegenden Elektrodenfingern jeweils der ersten und zweiten ID-Elektroden 3 und 4 von dem Mittenabstand L₂ zwischen den am nächsten beieinanderliegenden Elektrodenfingern der jeweils ersten und dritten ID-Elektroden 3 und 5 verschieden. Außerdem ist die erste ID-Elektrode 3 gewichtet.
Das heißt, in dem SAW-Resonatorfilter 1 sind die Mittenabstände L₁ und L₂ verschieden, um ähnlich wie bei dem bekannten SAW-Resonatorfilter 10, das in 4 gezeigt ist, große unerwünschte Falschansprechungen zu verhindern, die in einem Bereich auftreten, der höher als das Durchlaßband ist. Aber die bekannten Arten von großen unerwünschten Falschansprechungen können durch diese Anordnung allein nicht ausreichend unterdrückt werden. Folglich wird die ID-Elektrode 3 gewichtet, wie in 1 gezeigt ist, und zwar asymmetrisch zu der Richtung, in der sich die Oberflächenwelle ausbreitet.
Genauer gesagt, wenn die ID-Elektrode 3 eine typische normierte ID-Elektrode ist, dann werden die Elektrodenfinger 3a, 3c, 3e, 3g, 3i, 3k, 3m und 3o mit einem Erdpotential verbunden, während die Elektrodenfinger 3b, 3d, 3f, 3h, 3j, 3l und 3n mit dem Ausgangsanschluß 7 verbunden werden. Im Gegensatz dazu werden bei der in 1 veranschaulichten ID-Elektrode 3 die Elektrodenfinger 3h und 3l, die herkömmlicherweise mit den Ausgangsanschluß verbunden sind, mit einem Masseanschluß verbunden.
Änderungen in der Verbindung der vorbestimmten Elektrodenfinger ausgehend von einem Signalanschluß (einem Eingangs- oder Ausgangsanschluß) mit einem Masseanschluß und umgekehrt werden allgemein als "Elektrodenfinger-Abzug" (electrodefinger withdrawal) bezeichnet. Eine Vielzahl von Elektrodenfingern wird in der oben genannten Weise abgezogen, um die Anordnung der Elektrodenfinger der ID-Elektroden zu ändern. Dies wird "die Abzugswichtung" genannt. Die ID-Elektrode 3 wird nämlich asymmetrisch zu der Richtung gewichtet, in der sich die Oberflächenwelle ausbreitet, wie oben angemerkt worden ist.
Es ist zwar bekannt, die Frequenzcharakteristiken eines SAW-Filters durch Wichtung der ID-Elektroden einzustellen. Dieses Wichtungsverfahren wird aber nur zum Verhindern der Seitenkeulen-Falschansprechungen und der Transversalmodus-Falschansprechungen eingesetzt. Es ist also nicht möglich, die Falschansprechungen in der Hauptkeule der ID-Elektroden durch herkömmliche Wichtungsverfahren zu unterdrücken.
Die erfindungsgemäße Unterdrückung der Falschansprechungen durch asymmetrisches Wichten der ID-Elektrode ist nämlich nur dann wirksam, wenn die Mittenabstände L₁ und L₂ verschieden sind. Wenn dagegen ein Wichtungsverfahren bei einem Längskopplungs-SAW-Resonatorfilter mit drei Elektroden angewandt wird, das einen Modus nullter Ordnung oder einen Modus zweiter Ordnung verwendet, in dem die Mittenabstände L₁ und L₂ nicht verschieden sind, ist die Symmetrie der Filtercharakteristiken gestört, wodurch in dem Durchlaßband der Modus erster Ordnung als große Falschansprechungen erzeugt wird.
Gemäß dem Längskopplungs-SAW-Resonatorfilter der vorliegenden Erfindung wird somit das Wichtungsverfahren entgegen dem bestehenden Vorurteil der Fachwelt verwendet, wobei die Mittenabstände L₁ und L₂ verschieden ausgebildet sind. Als eine Folge davon können die unerwünschten Falschansprechungen, die in einem Bereich erzeugt werden, der höher als der Durchlaßbereich ist, effektiv verhindert werden, wodurch die Selektivitätscharakteristiken des SAW-Resonatorfilters verbessert werden.
Obwohl bei dem oben genannten Ausführungsbeispiel nur die ID-Elektrode 3 gewichtet wird, können zusätzlich zu der ID-Elektrode 3 auch eine oder beide der ID-Elektroden 4 und 5 gewichtet werden. Alternativ dazu kann statt der ID-Elektrode 3 mindestens eine der ID-Elektroden 4 oder 5 gewichtet werden. Darüber hinaus kann die ID-Elektrode statt asymmetrisch auch symmetrisch in der Richtung gewichtet werden, in der sich die Oberflächenwelle ausbreitet. Die ID-Elektrode kann vorzugsweise asymmetrisch gewichtet sein, weil die Falschansprechungen in einem Bereich, der höher als das Durchlaßband ist, effektiver reduziert werden können.
Das Wichtungsverfahren ist nicht auf das oben genannte Elektrodenfinger-Abzugsverfahren begrenzt, sondern es können auch andere Verfahren wie z.B. das Apodisationsverfahren oder das Schrägwichtungsverfahren verwendet werden.
Außerdem kann anstelle des piezoelektrischen Substrats 2 auch ein quasipiezoelektrisches Substrat verwendet werden, das durch das Überziehen eines Isoliersubstrats mit einem dünnen piezoelektrischen Film erhalten wird, wobei dann in diesem Fall die ID-Elektroden 3, 4 und 5 und die Reflektoren 8 und 9 entweder auf der Oberseite oder auf der Unterseite des dünnen piezoelektrischen Films angeordnet sein können.
Die Wirkung des Längskopplungs-SAW-Resonatorfilters der vorliegenden Erfindung wird nun durch die Veranschaulichung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels verdeutlicht.
Das SAW-Resonatorfilter 1, das in 1 veranschaulicht ist, wurde unter den folgenden Bedingungen hergestellt: ein piezoelektrisches, sich in der X-Richtung ausbreitendes 36-Y-Schnitt-LiTaO₃-Substrat 2 wurde verwendet, wobei die Anzahl an Elektrodenfingern der ersten ID-Elektrode 3 bei 71 lag, die Anzahl an Elektrodenfingern sowohl der zweiten als auch der dritten ID-Elektrode 4 und 5 bei 41 lag, die Mittenabstände L₁ und L₂ jeweils 0,35λ bzw. 0,71λ betrugen, die Anzahl der Elektrodenfinger jedes der Reflektoren 8 und 9 bei 170 lag, die Dicke der Elektroden der Reflektoren 8 und 9 3,6% der Wellenlänge λ betrug, und die ID-Elektrode 3 wurde gemäß dem Elektrodenfinger-Abzugsverfahren asymmetrisch in der Richtung gewichtet wurde, in der sich die Oberflächenwelle ausbreitet. Genauer gesagt wurde die ID-Elektrode 3 auf die folgende Art und Weise gewichtet. Die Elektrodenfinger einer typischen normierten ID-Elektrode wurden durch das Verbinden der 30., 32., 34., 36., 38., 54., 58., 62., 66. und 68. Elektrodenfinger ausgehend von der linken Seite von 1 mit einem Masseanschluß abgezogen λ gibt die Wellenlänge der Oberflächenwelle an, die durch den Elektrodenabstand der Reflektoren 8 und 9 bestimmt wird. Als Material für die ID-Elektroden 3, 4 und 5 und für die Reflektoren 8 und 9 wurde Aluminium verwendet.
Die oben genannten Längskopplungs-SAW-Resonatorfilter 1 wurden in zwei Stufen angeschlossen und als ein CT-2-Standard-HF-Filter für ein schnurloses Telephon verwendet, das eine Mittenfrequenz von 866 MHz aufweist. Die Filtercharakteristiken der Dämpfung als Funktion der Frequenz wurden gemessen. Die Ergebnisse sind in 2 gezeigt. In 2 zeigt die Vollinie G einen vergrößerten wesentlichen Abschnitt der Charakteristiken an, die durch die Vollinie H hinsichtlich der Einfügungsdämpfungen mit einer Maßeinteilung auf der rechten Seite der vertikalen Achse von 2 dargestellt sind.
Zum Vergleich wurden die Längskopplungs-SAW-Resonatorfilter 10, die in 4 gezeigt sind, die als ein Vergleichsbeispiel verwendet wird, und die in einer Weise ähnlich dem Filter 1 aufgebaut sind, außer daß die ID-Elektrode 3 nicht gewichtet worden ist, wurden in zwei Stufen geschaltet und als ein CT-2-Standard-HF-Filter für ein schnurloses Telephon verwendet. Die Charakteristiken der Dämpfung als Funktion der Frequenz des Filters 10 wurden gemessen. Die Ergebnisse sind mit den Vollinien D und E in 5 gezeigt.
Wie oben diskutiert worden ist, werden in Abhängigkeit von den Charakteristiken des bekannten Filters 10, das in 5 gezeigt ist, die Mittenabstände L1₁ und L₂ differenziert/beabstandet, wodurch ein Dämpfungspol erzeugt wird, bei dem die Dämpfung, die mit dem Pfeil F angegeben ist, erhöht werden kann. Aber die unerwünschten Falschansprechungen C werden nur geringfügig reduziert und werden nicht ausreichend unterdrückt, und die Dämpfung des Bereichs, der mit dem Pfeil C angegeben ist, liegt bei einem niedrigen Wert von 30 dB.
Im Gegensatz dazu offenbaren die Charakteristiken des SAW-Resonatorfilters 1 des in 2 veranschaulichten Ausführungsbeispiels, daß große unerwünschte Falschansprechungen C, die in einem Bereich auftreten, der höher als der Durchlaßbereich ist, effektiver unterdrückt werden, und die Dämpfung liegt bei einem Wert von 40 dB oder höher. Darüber hinaus werden die Charakteristiken des Filters 1, wie z.B. die Außerband-Einfügungsdämpfungen und die Durchlaßbandbreite durch das Wichten der ID-Elektrode durch das Elektrodenfinger-Abzugsverfahren nicht beeinträchtigt.

Claims

Oberflächenwellen-Resonatorfilter der Längskopplungsart, mit einer ersten interdigitalen Elektrode und mit einer zweiten interdigitalen Elektrode und einer dritten interdigitalen Elektrode, die jeweils auf beiden Seiten der ersten interdigitalen Elektrode angeordnet sind, wobei der Abstand (L₁) zwischen der ersten interdigitalen Elektrode und der zweiten interdigitalen Elektrode und der Abstand (L₂) zwischen der ersten interdigitalen Elektrode und der dritten interdigitalen Elektrode verschieden ist, und wobei mindestens eine der drei Elektroden in der Weise asymmetrisch in der Richtung gewichtet ist, in der sich die Oberflächenwelle ausbreitet, daß Falschansprechungen in einem Bereich, der höher ist als der Durchlaßbereich, vermindert sind.
Resonatorfilter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils ein Reflektor neben der zweiten interdigitalen Elektrode und der dritten interdigitalen Elektrode angeordnet ist, der eine in Richtung der interdigitalen Elektroden sich ausbreitende Oberflächenwelle reflektiert.
Resonatorfilter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die interdigitalen Elektroden aus Aluminium oder aus einer Aluminiumlegierung bestehen und auf einem piezoelektrischen Substrat aufgebracht sind.
Resonatorfilter nach einem der Ansprüche 1 bis 3 dadurch gekennzeichnet, daß die interdigitalen Elektroden auf der Oberseite oder auf der Unterseite eines dünnen piezoelektrischen Films angeordnet sind, mit dem ein quasipiezoelektrisches Substrat überzogen ist.
Verwendung des Elektrodenfinger-Abzugsverfahren zur Wichtung einer interdigitalen Elektrode eines Oberflächenwellen-Resonatorfilters nach einem der Ansprüche 1–4.
Verwendung des Apodisationsverfahren zur Wichtung einer interdigitalen Elektrode eines Oberflächenwellen-Resonatorfilters nach einem der Ansprüche 1–4.
Verwendung des Schrägwichtungsverfahren Wichtung einer interdigitalen Elektrode eines Oberflächenwellen-Resonatorfilters nach einem der Ansprüche 1–4.
Längskopplungs-Oberflächenwellen-Resonatorfilter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede der ersten, zweiten und dritten interdigitalen Elektroden gewichtet ist.
Längskopplungs-Oberflächenwellen-Resonatorfilter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste interdigitale Elektrode gewichtet ist während die zweite und die dritte interdigitale Elektrode nicht gewichtet ist.