KR100280608B1 - 탄성표면파공진자필터 - Google Patents

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무라타 야스타카
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Abstract

본 발명의 3전극형 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터는 통과대역 보다 높은 범위에서 발생되는 불필요한 큰 스퓨리어스 응답을 보다 효과적으로 억제하는 선택 특성의 수준을 한층 더 개선시킨 장치이다. 본 발명의 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터에서는, 제 1 인터디지탈 전극(interdigital electrode), 제 2 인터디지탈 전극 및 제 3 인터디지탈 전극이 압전기판 상에 배치된다. 반사기들은 제 2 인터디지탈 전극 및 제 3 인터디지탈 전극 각각의 한 측에 설치된다. 제 1 인터디지탈 전극과 제 2 인터디지탈 전극의 가장 근접한 전극지들의 중심 사이의 거리 L1은, 제 1 인터디지탈 전극과 제 3 인터디지탈 전극의 가장 근접한 전극지들의 중심 사이의 거리 L2와 서로 다르다. 또한, 제 1 인터디지탈 전극에 중량을 가하여, 불필요한 스퓨리어스 응답을 보다 효과적으로 억제한다.

Description

탄성 표면파 공진자 필터{Surface-acoustic-wave resonator filter}
본 발명은 인터디지탈 전극(interdigital electrode)이 배치된 영역의 양측에 반사기를 설치하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터(longitudinal-couple- type surface-acoustic-wave resonator filter)에 관한 것으로, 보다 상세히 하면, 불필요한 스퓨리어스 응답(spurious response)을 억제한 전극 구조가 개선된 상술한 종류의 종결합형 탄성 표면파(surface-acoustic-wave: SAW) 공진자 필터에 관한 것이다.
각종 통신기구의 대역통과 필터(band-pass filter)로서, SAW 필터가 사용되고 있다. 대역통과 필터에서는, 필요한 통과대역폭을 높은 선택특성으로 확보하는 것이 상당히 중요하다. 그러므로, 예를 들면 고주파단에 사용되는 SAW 필터에도, 필요한 통과대역폭을 높은 선택특성으로 확실하게 설치하는 것이 또한 요구된다. 특히, CT-1, CT-1＋및 CT-2 규격의 무선 전화기에 사용되는 RF단 SAW 필터에는, 전화기에 사용하는 중간 주파수(intermediate frequency: IF) 필터에 따라 범위가 다양하게 변하더라도, 중심 주파수로부터 ±20㎒ 및 ±40㎒ 떨어진 범위에서 감쇠량을 확보하는 것이 특히 중요하다. 따라서, 보다 선택특성이 우수한 RF단 SAW 필터가 요구된다.
다시 말해, 삽입손실의 감소, 대역외 감쇠량의 증대라는 관점에서 공진자형 SAW 필터는 SAW 필터 이외의 종류와 비교하여 이점이 많으며, 또한 소형으로 설치된다. 예를 들면, 이런 종류의 종결합형 SAW 공진자 필터는, 상술한 요구를 충분히 만족시키기 위해 다단으로 접속된다. 이런 종류의 SAW 필터에서, 36。-Y-컷 X-방향-전파 LiTaO3압전기판 상에 세 개의 인터디지탈(interdigital: ID) 전극을 서로 등간격으로 근접배치하며, ID 전극이 배치된 영역의 양측에 반사기를 설치한다.
그러나, 종래의 종결합형 SAW 공진자 필터에서는, 통과대역 보다 높은 주파수 범위에서 불필요한 스퓨리어스 응답이 발생한다. 도 3은, 종래의 종결합형 SAW 공진자 필터의 감쇠량 대 주파수 특성을 도시한다. 실선 A는, 실선 B로 나타낸 특성의 필수부(essential portion)를 도 3의 종축에 표시된 우측의 스케일로 확대하여 나타낸다. 도 3에 도시된 특성을 갖은 종결합형 SAW 공진자 필터의 통과대역은 864∼868㎒의 범위이다. 상술한 특성에서, 통과대역이 높은 주파수 범위에서, 즉 890㎒ 근처에서 화살표 C로 나타낸 큰 스퓨리어스 응답이 나타나며, 이 범위에서는 충분한 감쇠량을 얻을 수 없다.
상술한 스퓨리어스 응답 C를 억제하는 방법이, 일본 공개공보 8-191229호에 개시되어 있다. 이 방법은, 중앙의 ID 전극과 한쪽 주변의 ID 전극과의 사이의 거리를 중앙의 ID 전극과 다른쪽 주변의 ID 전극과의 사이의 거리와 다르게 하는 기술을 포함한다. 이 공개공보 8-191229호에 개시된 종결합형 SAW 공진자 필터를 도 4에 도시한다.
참고 번호 10으로 표현된 종결합형 SAW 공진자 필터는, 압전기판 11 상에 제 1 ID 전극 14 및 제 2, 제 3 ID 전극 12, 13을 표면파의 전파 방향으로 나란히 배열하는 구조를 갖는다. 보다 상세히 하면, 제 1 ID 전극 14의 양측에 제 2 및 제 3 ID 전극 12, 13을 배치한다. ID 전극 12의 한측 및 ID 전극 13의 한측에 표면파 전파 방향으로 반사기 15, 15를 설치한다.
제 2 및 제 3 ID 전극 12, 13은 입력단자 21에 접속되며, 제 1 ID 전극 14는 출력단자 22에 접속된다. ID 전극 12, 13에 전력을 인가하여, 표면파를 발생시킨다. 여기된 표면파가 반사기 15와 15 사이의 영역에서 트랩(trap)된 다음에, 정재파가 발생하며, 정재파에 따른 출력은 제 1 ID 전극 14로부터 도출된 것이다.
SAW 공진자 필터 10에서, 제 1 ID 전극 14와 제 2 ID 전극 12와의 사이의 거리, 즉 ID 전극 14, 12의 가장 근접한 각 전극지들의 중심 사이의 거리 L1과, 제 1 ID 전극 14와 제 3 ID 전극 13과의 사이의 거리, 즉 ID 전극 14, 13의 가장 근접한 각 전극지들의 중심 사이의 거리 L2가 서로 다르다.
그러나, 도 4에 도시된 종래의 SAW 공진자 필터 10을 2단으로 접속하여 사용하는 경우에는, 다음과 같은 문제점이 발생한다. 상기 필터 10에서, 상기 중심 사이의 거리 L1, L2가 서로 다르므로, 통과대역 보다 높은 범위에서 도 5의 화살표 F로 표현된 감쇠극이 발생하며, 감쇠극 부근에서 큰 감쇠량을 얻을 수 있게 된다. 다시 말해, 상기 불필요한 큰 스퓨리어스 응답 C를 도 5에 도시된 감쇠량 대 주파수 특성으로 알 수 있는 바와 같이, 약간은 억제할 수 있지만, 충분히 억제할 수는 없다. 도 5에서, 실선 D는 실선 E로 나타낸 특성의 필수부를 도 5의 종축의 우측의 스케일로 확대하여 나타낸 것이다. 도 3과 도 5를 비교하면, 화살표 C로 나타낸 불필요한 스퓨리어스 응답이 충분히 줄어들지 않았다는 것을 알 수 있다.
상술한 문제점들을 극복하기 위하여, 본 발명의 바람직한 구현예는, 필터의 통과대역 보다 높은 범위에 나타나는 큰 스퓨리어스 응답을 효과적으로 억제하는 선택 특성을 한층 더 개선시킨 종결합형 SAW 공진자 필터를 제공한다.
본 발명의 바람직한 구현예에 따르면, 종결합형 SAW 공진자 필터는, 적어도 하나의 전극지를 갖은 제 1 ID 전극, 상기 제 1 ID 전극의 양측에 각각 표면파 전파 방향으로 배치된 제 2 ID 전극 및 제 3 ID 전극을 포함한다. 제 2 및 제 3 ID 전극도 적어도 하나의 전극지를 갖는다. 또한, 상기 필터는 반사기도 포함한다. 제 1 ID 전극과 제 2 ID 전극의 가장 근접한 전극지들의 중심 사이의 거리 L1은, 제 1 ID 전극과 제 3 ID 전극의 가장 근접한 전극지들의 중심 사이의 거리 L2와 서로 다르다. 제 1, 제 2 및 제 3 ID 전극 중의 적어도 하나에는 중량이 가해진다.
상기 공진자 필터에서, 제 1, 제 2 및 제 3 ID 전극은 중심 거리 L1,L2가 상술한 바와 같이 서로 다르도록 배열되므로, 통과대역 보다 높은 범위에서 감쇠극이 발생하며, 감쇠극 부근에서 스퓨리어스 응답이 억제된다. 또한, 적어도 하나의 ID 전극에는 중량이 가해지므로, 상기 스퓨리어스 응답을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.
그러므로, 상기 필터를 무선 전화기의 RF 필터로 사용하는 경우에, 중심 주파수로부터 ±20㎒ 및 ±40㎒ 떨어진 범위에서 감쇠량을 확실하게 얻을 수 있다. 따라서, SAW 공진자 필터의 선택 특성의 수준이 높아진다.
상기 종류의 SAW 공진자 필터에서, 중량이 가해진 ID 전극은 ID 전극의 중심에 대해 비대칭이 될 수 있다. 그러므로, 통과대역 보다 높은 범위에서 큰 스퓨리어스 응답을 보다 효과적으로 줄일 수 있다.
또한, ID 전극에는 전극지의 위드드로얼법(withdrawal method)에 따라 중량이 가해질 수 있다. 이것은, 필터의 설계와 패턴을 보다 용이하게 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 구현예에 따른 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터의 구성을 도시하는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 구현예에 따른 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터의 감쇠량 대 주파수 특성을 도시한다.
도 3은 종래의 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터의 감쇠량 대 주파수 특성을 도시한다.
도 4는 관련된 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터의 구성을 도시하는 평면도이다.
도 5는 비교예로 사용되는 종래의 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터의 감쇠량 대 주파수 특성을 도시한다.
<도면의 주요 부호에 대한 설명>
1 : 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터
2 : 압전기판 3 : 제 1 ID 전극
4 : 제 2 ID 전극 5 : 제 3 ID 전극
3a∼3o : 전극지 8, 9 : 반사기
L1, L2: 중심 사이의 거리
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 구현예에 따른 SAW 공진자 필터의 구성을 설명한다.
도 1에 도시된 평면도를 참조하면, 일반적으로 1로 표현된 종결합형 SAW 공진자 필터는, 압전기판 2를 포함한다. 이 압전기판 2는 LiTaO3, LiNbO3또는 수정 등의 압전 단결정, 또는 티탄산 지르코네이트산납계 세라믹 등의 압전 세라믹으로 구성되는 것이 바람직하다.
압전기판 2 상에는, 제 1 ID 전극 3, 압전기판 2의 표면파 전파 방향으로 제 1 ID 전극 3의 양측에 각각 배치된 제 2 ID 전극 4 및 제 3 ID 전극 5가 형성된다. ID 전극 3, 4, 5는 서로 인터디지탈된 전극지를 적어도 하나는 갖는 빗형상의 전극을 각각 한쌍씩 갖는다.
SAW 필터 1의 상술한 구조에서, 제 2 및 제 3 ID 전극 4, 5는 입력측 ID 트랜스듀서를 한정하며, ID 전극 4, 5의 각 하나의 빗형상의 전극은 입력단자 6에 전기적으로 접속된다. 제 1 ID 전극 3은 출력측 ID 트랜스듀서를 한정하며, ID 전극 3의 하나의 빗형상의 전극은 출력단자 7에 전기적으로 접속된다.
제 2 및 제 3 ID 전극 4, 5의 각 한 측에 표면파 전파 방향으로 반사기 8, 9가 설치된다. 반사기 8, 9는, 다수개의 단락 전극지를 표면파 전파 방향에 실질적으로 수직인 방향으로 배치하여 구성된다. ID 전극 3, 4, 5 및 반사기 8, 9는 전도성 재료를 패턴하여 형성할 수 있다. 이런 종류의 전도성 재료는 특별히 한정되는 것은 아니며, 알루미늄 또는 알루미늄 합금 등의 적합한 금속 재료를 사용할 수 있다.
상술한 SAW 공진자 필터 1에서, 제 1 및 제 2 ID 전극 3, 4의 가장 근접한 각 전극지들 사이의 중심 거리 L1은, 제 1 및 제 3 ID 전극 3, 5의 가장 근접한 각 전극지들 사이의 중심 거리 L2와 다르다. 또한, 제 1 ID 전극 3에 중량이 가해진다.
즉, SAW 공진자 필터 1에서, 중심 거리 L1,L2를 서로 다르게 하여, 도 4에 도시된 종래의 SAW 공진자 필터 10과 유사한 방법으로 통과대역 보다 높은 범위에서 발생되는 불필요한 큰 스퓨리어스 응답을 억제한다. 그러나, 상기 종류의 불필요한 큰 스퓨리어스 응답은, 이 배열을 변형하여 보다 충분하게 억제될 수 있다. 그러므로, ID 전극 3에 도 1에 도시된 바와 같이, 탄성 표면파 전파 방향으로 비대칭적으로 중량을 가한다.
보다 상세히 하면, ID 전극 3이 통상의 정격 규격형의 ID 전극이라면, 전극지 3a, 3c, 3e, 3g, 3i, 3k, 3m 및 3o는 접지전위에 접속되며, 전극지 3b, 3d, 3f, 3h, 3j, 3l 및 3n은 출력단자 7에 접속된다. 대조하면, 도 1에 도시된 ID 전극 3에서는, 종래에 출력단자에 접속되었던 전극지 3h 및 3l이 접지단자에 접속된다.
신호단자(입력 또는 출력 단자)에 접속된 소정의 전극지를 접지단자로 접속을 변형하며, 반대로, 접지단자에 접속된 소정의 전극지를 신호단자로 접속을 변형하는 것을, 일반적으로 "전극지 위드드로얼(electrode-finger withdrawal)" 이라고 부른다. 즉, 다수의 전극지에 대해 ID 전극의 전극지의 배열구조를 상기와 같이 변형하여 위드드로얼하는 것이다. 이것을 "위드드로얼 중량 부가법(withdrawal weighting)"법이라 부른다. 즉, ID 전극 3에, 상술한 바와 같이, 표면파 전파 방향에 대해 비대칭적으로 중량이 가해진다.
상술한 바와 같이 구성된 SAW 공진자 필터 1에서, 통과대역 보다 높은 범위에서 발생된 불필요한 스퓨리어스 응답이 효과적으로 억제된다. 이것은 필터 1의 ID 전극의 중심 거리 L1, L2가 서로 다르게 구성되어, 감쇠량이 증가하는 통과대역 보다 높은 범위에서 감쇠극이 형성되기 때문이다. 또한, 필터 1의 구성에서, ID 전극 3에 상술한 바와 같이 중량이 가해진다. 본 발명의 바람직한 구현예는 본 발명의 발명자에 의해 예의 주시된 연구와 분석을 기초로 하여 완성되었다.
이전에는, SAW 필터의 ID 전극에 중량을 가하여 주파수 특성을 조정하는 시도가 행해졌다. 그러나, 이 중량 부가법은 주로 ID 전극의 사이드-로브(side-lobe) 스퓨리어스 응답과 횡모드(transverse-mode) 스퓨리어스 응답의 억제에만 이용되고 있다. 환언하면, ID 전극의 메인 로브 내에서의 스퓨리어스 응답에 대해서는 종래의 중량 부가법으로는 억제가 불가능하다.
대조하면, 본 발명의 발명자는 하기 발견을 통해 본 발명의 바람직한 구현예를 완성하였다. 중심 거리 L1, L2가 서로 다르게 구성된 상기 종류의 종결합형 SAW 공진자 필터에서, 메인 로브에서의 스퓨리어스 응답은 적어도 하나의 ID 전극에 대한 중량 부가법에 의해 효과적으로 억제된다.
그러므로, 본 발명의 바람직한 구현예에 사용된 ID 전극의 중량 부가법은, 사이드-로브 스퓨리어스 응답과 횡모드 스퓨리어스 응답의 억제에 이용되었던 종래의 중량 부가법으로부터 예상할 수 없는 방법이다.
특히, ID 전극에 비대칭적으로 중량을 가하여 스퓨리어스 응답을 억제하는 방법은, 상기 중심 거리 L1, L2가 서로 다른 경우에만 효과적이다. 상기의 방법을, 중심 거리 L1, L2가 서로 다르지 않는 0차 모드 또는 2차 모드를 이용하는 3전극형 종결합형 SAW 공진자 필터에 적용하는 경우에는, 필터 특성의 대칭성이 방해를 받게 되어, 통과대역 내에서 큰 스퓨리어스 응답으로 1차 모드가 발생한다.
본 발명의 바람직한 구현예의 종결합형 SAW 공진자 필터에서는, 종래의 종결합형 SAW 공진자 필터에서의 메인 로브 스퓨리어스 응답의 억제에 효과가 없다고 간주되었던 상기 중량 부가법을, 중심 거리 L1, L2가 서로 다른 특정의 구조에 계획적으로 이용하는 것이다. 그 결과, 통과대역 보다 높은 범위에 발생된 불필요한 스퓨리어스 응답이 효과적으로 억제되어, SAW 공진자 필터의 선택 특성이 개선된다.
상기 바람직한 구현예에서는 ID 전극 3에만 중량이 가해졌지만, ID 전극 3에 부가하여 ID 전극 4, 5 둘다에 또는 하나에 중량이 가해질 수 있으며, 또한 ID 전극 3 보다 오히려 ID 전극 4, 5 둘 중에 적어도 하나에 중량이 가해질 수도 있다. 게다가, ID 전극에 표면파 전파 방향에 대해 비대칭 보다 오히려 대칭적으로 중량이 가해질 수 있다. 그러나, ID 전극에 비대칭적으로 중량을 가하는 것이, 통과대역 보다 높은 범위에서 발생된 스퓨리어스 응답을 보다 효과적으로 줄일 수 있으므로, 바람직하다.
상기 중량 부가법은 상기의 전극지-위드드로얼법으로만 제한되는 것은 아니며, 어포디제이션(apodization) 중량 부가법, 경사형(slant) 중량 부가법 등의 또 다른 방법들을 적용할 수 있다.
또한, 압전기판 2 대신에, 절연기판을 압전박막으로 코팅하여 얻은 준압전성 기판을 사용할 수 있으며, 이 경우에, ID 전극 3∼5 및 반사기 8, 9는 압전박막의 상면 또는 하면 중의 한면에 배치될 수 있다.
본 발명에 따른 종결합형 SAW 공진자 필터의 효과를, 구체적인 바람직한 구현예를 통해 명확하게 설명한다.
도 1에 도시된 SAW 공진자 필터 1은 다음과 같은 조건하에서 형성되었다. 36°-Y-컷 X-방향 전파 LiTaO3압전기판 2를 사용하며, 제 1 ID 전극 3의 전극지의 개수를 71개로, 제 2 및 제 3 ID 전극 4, 5의 전극지의 개수를 41개로 하며, 중심간의 거리 L1은 약 0.35λ, L2는 약 0.71λ로 하며, 반사기 8, 9의 전극지의 개수는 170개로 하며, 반사기 8, 9의 전극박막은 파장 λ의 3.6%로 하며, 제 1 ID 전극 3에는 표면파 전파 방향으로 비대칭적으로 위드드로얼법으로 중량을 가하였다. 보다 상세하게는, 제 1 ID 전극 3에 다음과 같은 방법으로 중량을 가하였다. 통상의 정격 규형의 ID 전극의 전극지를, 도 1의 좌측으로부터 30번째, 32번째, 34번째, 36번째, 38번째, 54번째, 58번째, 62번째, 66번째 및 68번째의 전극지를 접지단자측에 접속하여 위드드로얼 하였다. 여기에서, λ는 반사기 8, 9의 전극 피치로 결정되는 표면파의 파장을 나타낸다. 또한, ID 전극 3∼5 및 반사기 8, 9의 전극재료로 알루미늄을 사용하였다.
상기의 종결합형 SAW 공진자 필터 1을 2단으로 접속하여, 중심 주파수가 866㎒인 CT-2 규격의 무선 전화기 RF 필터로 사용하였다. 상기 필터의 감쇠량 대 주파수 특성을 측정하였다. 그 결과를 도 2에 나타낸다. 도 2에서, 실선 G는 실선 H로 나타낸 특성의 필수부를 도 2의 종축의 우측의 스케일로 삽입손실에 대해 확대하여 나타낸다.
비교하면, 제 1 ID 전극 3에 중량을 가하지 않는다는 것을 제외하고는 필터 1과 유사한 방법으로 구성된 비교예로 사용되는 도 4에 도시된 종결합형 SAW 공진자 필터 10을, 2단 접속하여, CT-2 규격의 무선 전화기 RF 필터로 사용하였다. 필터 10의 감쇠량 대 주파수 특성을 측정하였다. 그 결과는 도 5의 실선 D 및 E로 나타낸다.
상술한 바와 같이, 도 5에 도시된 종래의 필터 10의 특성에 따르면, 중심 거리 L1, L2가 서로 다르므로, 감쇠극이 형성되어, 그 근방에서 화살표 F로 나타낸 감쇠량이 증가할 수 있다. 그러나, 불필요한 스퓨리어스 응답 C는 약간만이 줄어들 뿐 충분하게 억제되지는 않으며, 화살표 C로 나타낸 영역의 감쇠량도 30㏈ 정도로 낮다.
대조하면, 도 2에 도시된 바람직한 구현예의 특성으로 알 수 있는 바와 같이, SAW 공진자 필터 1은, 통과대역 보다 높은 범위에 나타나는 큰 스퓨리어스 응답 C가 보다 효과적으로 억제되며, 감쇠량은 40㏈ 정도로 높다는 것을 알 수 있다. 또한, 전극지 위드드로얼법에 의해 ID 전극에 중량을 가하여, 통과역 외의 삽입손실, 통과대역폭 등과 같은 필터 1의 특성이 효과적이지 않게 된다.
상기 공진자 필터에서, 제 1, 제 2 및 제 3 ID 전극은 중심 거리 L1,L2가 상술한 바와 같이 서로 다르도록 배열되므로, 통과대역 보다 높은 범위에서 감쇠극이 발생하며, 감쇠극 부근에서 스퓨리어스 응답이 억제된다. 또한, 적어도 하나의 ID 전극에는 중량이 가해지므로, 상기 스퓨리어스 응답을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.
그러므로, 상기 필터를 무선 전화기의 RF 필터로 사용하는 경우에, 중심 주파수로부터 ±20㎒ 및 ±40㎒ 떨어진 범위에서 감쇠량을 확실하게 얻을 수 있다. 따라서, SAW 공진자 필터의 선택 특성의 수준이 높아진다.
상기 종류의 SAW 공진자 필터에서, 중량이 가해진 ID 전극은 ID 전극의 중심에 대해 비대칭이 될 수 있다. 그러므로, 통과대역 보다 높은 범위에서 큰 스퓨리어스 응답을 보다 효과적으로 줄일 수 있다.
또한, ID 전극에는 전극지의 위드드로얼법(withdrawal method)에 따라 중량이 가해질 수 있다. 이것은, 필터의 설계와 패턴을 보다 용이하게 할 수 있다.
이제까지, 본 발명은, 본 발명의 바람직한 구현예를 도시하고 기술하였지만, 당업자는, 본 발명이 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형, 변화될 수 있다는 것을 이해할 것이다.

Claims (15)

  1. (정정)
    적어도 하나의 전극지를 갖은 제 1 인터디지탈 전극(interdigital electrode);
    상기한 제 1 인터디지탈 전극의 한측에 표면파 전파 방향으로 배치되어, 적어도 하나의 전극지를 갖은 제 2 인터디지탈 전극;
    상기한 제 1 인터디지탈 전극의 다른측에 표면파 전파 방향으로 배치되어, 적어도 하나의 전극지를 갖은 제 3 인터디지탈 전극; 및
    반사기를 포함하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터로서,
    상기한 제 1 인터디지탈 전극과 상기한 제 2 인터디지탈 전극의 근접한 전극지들의 중심 사이의 거리 L1이, 상기한 제 1 인터디지탈 전극과 상기한 제 3 인터디지탈 전극의 근접한 전극지들의 중심 사이의 거리 L2와 서로 다르며, 상기한 제 1, 제 2 및 제 3 인터디지탈 전극 중의 적어도 하나에 중량이 가해지며,
    중량이 가해진 상기한 제 1, 제 2 및 제 3 인터디지탈 전극 중의 적어도 하나는, 중량이 가해진 상기한 적어도 하나의 인터디지탈 전극의 중심에 대해 비대칭임을 특징으로 하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터.
  2. (삭제)
  3. (정정)
    제 1항에 있어서, 중량이 가해진 상기한 인터디지탈 전극은, 전극지의 위드드로얼법(withdrawal method)에 따라 중량이 가해지는 것을 특징으로 하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터.
  4. (정정)
    제 1항에 있어서, 상기한 제 1, 제 2 및 제 3 인터디지탈 전극 각각에 중량이 가해지는 것을 특징으로 하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터.
  5. 제 1항에 있어서, 상기한 제 1, 제 2 및 제 3 인터디지탈 전극이 배치된 압전기판을 더 포함함을 특징으로 하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터.
  6. 제 1항에 있어서, 상기한 제 1, 제 2 및 제 3 인터디지탈 전극이 상면에 배치된 압전박막을 갖은 절연기판을 더 포함함을 특징으로 하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터.
  7. (정정)
    제 1항에 있어서, 상기한 제 1 인터디지탈 전극에 중량이 가해지는 것을 특징으로 하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터.
  8. (정정)
    제 1항에 있어서, 상기한 제 2 인터디지탈 전극 및 상기한 제 3 인터디지탈 전극 둘 다에 중량이 가해지지 않는 것을 특징으로 하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터.
  9. (신설)
    적어도 하나의 전극지를 갖는 제 1 인터디지탈 전극(interdigital electrode);
    상기한 제 1 인터디지탈 전극의 한측에 표면파 전파 방향으로 배치되어, 적어도 하나의 전극지를 갖는 제 2 인터디지탈 전극;
    상기한 제 1 인터디지탈 전극의 다른측에 표면파 전파 방향으로 배치되어, 적어도 하나의 전극지를 갖는 제 3 인터디지탈 전극; 및
    상기한 제 1, 제 2 및 제 3 인터디지탈 전극들의 양측에 상기 표면파를 제한하여 정재파를 발생시키도록 설치되어, 상기한 정재파에 따른 출력이 상기한 제 1 인터디지탈 전극으로부터 도출되도록 하는 한 쌍의 반사기를 포함하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터로서,
    상기한 제 1 인터디지탈 전극과 상기한 제 2 인터디지탈 전극의 근접한 전극지들의 중심 사이의 거리 L1이, 상기한 제 1 인터디지탈 전극과 상기한 제 3 인터디지탈 전극의 근접한 전극지들의 중심 사이의 거리 L2와 서로 다르며, 상기한 제 1, 제 2 및 제 3 인터디지탈 전극 중의 적어도 하나에 중량이 가해지며,
    중량이 가해진 상기한 제 1, 제 2 및 제 3 인터디지탈 전극 중의 적어도 하나는, 중량이 가해진 상기한 적어도 하나의 인터디지탈 전극의 중심에 대해 비대칭임을 특징으로 하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터.
  10. (신설)
    제 9항에 있어서, 중량이 가해진 상기한 인터디지탈 전극은, 전극지의 위드드로얼법(withdrawal method)에 따라 중량이 가해지는 것을 특징으로 하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터.
  11. (신설)
    제 9항에 있어서, 상기한 제 1, 제 2 및 제 3 인터디지탈 전극 각각에 중량이 가해지는 것을 특징으로 하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터.
  12. (신설)
    제 9항에 있어서, 상기한 제 1, 제 2 및 제 3 인터디지탈 전극이 배치된 압전기판을 더 포함함을 특징으로 하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터.
  13. (신설)
    제 9항에 있어서, 상기한 제 1, 제 2 및 제 3 인터디지탈 전극이 상면에 배치된 압전박막을 갖은 절연기판을 더 포함함을 특징으로 하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터.
  14. (신설)
    제 1항에 있어서, 상기한 제 1 인터디지탈 전극에 중량이 가해지는 것을 특징으로 하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터.
  15. (신설)
    제 1항에 있어서, 상기한 제 2 인터디지탈 전극 및 상기한 제 3 인터디지탈 전극 둘 다에 중량이 가해지지 않는 것을 특징으로 하는 종결합형 탄성 표면파 공진자 필터.
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