JP3435640B2 - 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ - Google Patents

縦結合共振子型弾性表面波フィルタ

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、縦結合共振子型弾
性表面波フィルタに関し、より詳細には、少なくとも3
個のIDTが表面波伝搬方向に沿って配置されており、
IDTの電極指の配置が改良された縦結合共振子型弾性
表面波フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、携帯電話システムでは、加入者の
増加及びサービスの多様化に伴い、送信側周波数帯と受
信側周波数帯が近接しているシステムが増加してきてい
る。また、別の通信システムとの干渉を防ぐために、通
過帯域ごく近傍の減衰量が十分な大きさを有することが
求められることがある。
【0003】そのため、携帯電話機のRF段のバンドパ
スフィルタとして広く用いられている弾性表面波フィル
タにおいて、通過帯域ごく近傍に減衰域を設けることが
強く求められている。
【0004】他方、近年、部品点数を削減するために、
弾性表面波フィルタに平衡−不平衡変換機能、いわゆる
バラン機能を持たせる要求が強くなってきている。その
ため、平衡−不平衡信号変換に容易に対応し得る縦結合
共振子型弾性表面波フィルタが、携帯電話機のRF段の
バンドパスフィルタとして広く用いられてきており、種
々の縦結合共振子型弾性表面波フィルタが提案されてい
る(例えば、特開平5−267990号公報など)。
【0005】しかしながら、縦結合共振子型弾性表面波
フィルタでは、通過帯域よりも高域側にトランスバーサ
ルレスポンスと称されている所望でない応答が現れる。
そのため、例えばPCS方式の携帯電話システムにおい
て要求されている通過帯域高域側の大きな減衰量を実現
することができなかった。
【0006】図10は、特開平10−190394号公
報に開示されている縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
の電極構造を示す模式的平面図である。この縦結合共振
子型弾性表面波フィルタ101では、IDT102〜1
04が表面波伝搬方向に沿って配置されている。IDT
102〜104の両側には、反射器105,106が配
置されている。ここでは、IDT102,103間のI
DT間隔P及びIDT103及びIDT104間の間隔
Qが異ならされており、それによって上記トランスバー
サルレスポンスを抑制することができるとされている。
従来の3IDTタイプの縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタは、0次モード及び2次モードの他に、IDT−I
DT間隔部に弾性表面波の強度分布のピークを有する共
振モード(以後、IDT−IDT間隔部による共振モー
ド)の3つの共振モードを使って通過帯域が形成されて
いた。
【0007】この先行技術に記載の方法では、IDT間
隔PとIDT間隔Qを異ならせることにより、それぞれ
のIDT間隔でIDT−IDT間隔部による共振モード
が発生され、この2つの共振モードを使って通過帯域が
形成される。この方法では、通過帯域近傍、特に高域側
における減衰量を、従来の縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタよりも低減することができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、IDT
間隔P,Qを電極指ピッチで定められる波長の0.50
倍から大きく異ならせる必要があった。そのため、弾性
表面波の伝搬の連続性が損なわれ、通過帯域内の挿入損
失が悪化するという問題があった。
【0009】本発明の目的は、上記トランスバーサルレ
スポンスを抑制することができ、それによって通過帯域
高域側における減衰量を十分な大きさとすることがで
き、さらに通過帯域内の挿入損失を低減し得る縦結合共
振子型弾性表面波フィルタを提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本願の第1の発明に係る
縦結合共振子型弾性表面波フィルタは、圧電基板と、圧
電基板上に形成されており、表面波伝搬方向に沿って配
置されておりかつそれぞれが複数本の電極指を有する第
1〜第3のIDTとを備え、第1,第2のIDTが、第
2、第1のIDTと隣接する端部から表面波伝搬方向に
おいて該端部とは遠ざかる方向に向かって一部の電極指
ピッチが、残りの部分の電極指ピッチよりも狭くされて
いる狭ピッチ電極指部分を有し、第2,第3のIDT
が、第3、第2のIDTと隣接する端部から表面波伝搬
方向において該端部とは遠ざかる方向に向かって一部の
電極指のピッチが、残りの部分の電極指ピッチよりも狭
くされている狭ピッチ電極指部分を有し、前記第1,第
2のIDT間における狭ピッチ電極指部分のピッチが、
第2,第3のIDT間における狭ピッチ電極指部分のピ
ッチと異ならされていることを特徴とする。
【0011】第1の発明の特定の局面では、前記第1,
第2のIDTが、第2,第1のIDTと隣接する箇所
と、前記第2,第3のIDTが、第3,第2のIDTと
隣接する箇所とで前記狭ピッチ電極指部分の電極指の本
数が異ならされている。
【0012】第2の発明に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタは、圧電基板と、前記圧電基板上に形成され
ており、表面波伝搬方向に沿って配置されておりかつそ
れぞれが複数本の電極指を有する第1〜第3のIDTと
を備え、前記第1,第2のIDTが、第2、第1のID
Tと隣接する端部から表面波伝搬方向において該端部と
は遠ざかる方向に向かって一部の電極指ピッチが、残り
の部分の電極指ピッチよりも狭くされている狭ピッチ電
極指部分を有し、前記第2,第3のIDTが、第3、第
2のIDTと隣接する端部から表面波伝搬方向において
該端部とは遠ざかる方向に向かって一部の電極指のピッ
チが、残りの部分の電極指ピッチよりも狭くされている
狭ピッチ電極指部分を有し、前記第1,第2のIDT
が、第2,第1のIDTと隣接する箇所と、前記第2,
第3のIDTが、第3,第2のIDTと隣接する箇所と
で前記狭ピッチ電極指部分の電極指の本数が異ならされ
ていることを特徴とする。
【0013】第3の発明に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタは、圧電基板と、前記圧電基板上に形成され
ており、表面波伝搬方向に沿って配置されており、かつ
それぞれが複数本の電極指を有する第1〜第3のIDT
とを備え、前記第1,第2のIDTが、第2,第1のI
DTと隣接する箇所、あるいは前記第2,第3のIDT
が、第3,第2のIDTと隣接する箇所のどちらか一方
の箇所が、端部から表面波伝搬方向において該端部とは
遠ざかる方向に向かって一部の電極指ピッチが、残りの
部分の電極指ピッチよりも狭くされている狭ピッチ電極
指部分を有することを特徴とする。
【0014】好ましくは、第1〜第3の発明において、
上記第2のIDTの電極指の本数が偶数本とされる。第
4の発明は、圧電基板に第1,第2の縦結合共振子型弾
性表面波フィルタ部が構成されている縦結合共振子型弾
性表面波フィルタであって、圧電基板と、圧電基板上に
形成されており、弾性表面波伝搬方向に沿って配置され
ており、それぞれが複数本の電極指を有する第1〜第3
のIDTを含む第1の縦結合共振子型弾性表面波フィル
タ部と、圧電基板上に形成されており、弾性表面波伝搬
方向に沿って配置されており、それぞれが複数本の電極
指を有する第4〜第6のIDTを含む第2の縦結合共振
子型弾性表面波フィルタ部とを備え、前記第1〜第3の
IDTにおいて、IDT同士が隣接する端部から一部分
における電極指ピッチが、残りの部分の電極指ピッチよ
りも狭くされている狭ピッチ電極指部分が構成されてお
り、第4〜第6のIDTにおいて、IDT同士が隣接す
る端部から一部分における電極指ピッチが、残りの部分
の電極指ピッチよりも狭くされている狭ピッチ電極指部
分が構成されており、第1の縦結合共振子型弾性表面波
フィルタ部の前記狭ピッチ電極指部分が、第2の縦結合
共振子型弾性表面波フィルタ部の狭ピッチ電極指部分の
ピッチと異なっている。
【0015】第4の発明の特定の局面では、上記第1の
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部の狭ピッチ電極指
部分と、第2の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部の
狭ピッチ電極指部分の電極指の本数が異ならされてい
る。
【0016】第4の発明は、圧電基板に第1,第2の縦
結合共振子型弾性表面波フィルタ部が構成されている縦
結合共振子型弾性表面波フィルタであって、圧電基板
と、前記圧電基板上に形成されており、弾性表面波伝搬
方向に沿って配置されており、それぞれが複数本の電極
指を有する第1〜第3のIDTを含む第1の縦結合共振
子型弾性表面波フィルタ部と、前記圧電基板上に形成さ
れており、弾性表面波伝搬方向に沿って配置されてお
り、それぞれが複数本の電極指を有する第4〜第6のI
DTを含む第2の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部
とを備え、前記第1〜第3のIDTにおいて、IDT同
士が隣接する端部から一部分における電極指ピッチが、
残りの部分の電極指ピッチよりも狭くされている狭ピッ
チ電極指部分が構成されており、前記第4〜第6のID
Tにおいて、IDT同士が隣接する端部から一部分にお
ける電極指ピッチが、残りの部分の電極指ピッチよりも
狭くされている狭ピッチ電極指部分が構成されており、
前記第1の縦結合共振子型弾性フィルタ部の前記狭ピッ
チ電極指部分の電極指の本数が、前記第2の縦結合共振
子型弾性表面波フィルタ部の前記狭ピッチ電極指部分の
電極指の本数と異なっていることを特徴とする。
【0017】第6の発明は、圧電基板に第1,第2の縦
結合共振子型弾性表面波フィルタ部が構成されている縦
結合共振子型弾性表面波フィルタであって、圧電基板
と、前記圧電基板上に形成されており、弾性表面波伝搬
方向に沿って配置されており、それぞれが複数本の電極
指を有する第1〜第3のIDTを含む第1の縦結合共振
子型弾性表面波フィルタ部と、前記圧電基板上に形成さ
れており、弾性表面波伝搬方向に沿って配置されてお
り、それぞれが複数本の電極指を有する第4〜第6のI
DTを含む第2の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部
とを備え、IDT同士が隣接する端部から一部分におけ
る電極指ピッチが、残りの部分の電極指ピッチよりも狭
くされている狭ピッチ電極指部分が、前記第1〜第3の
IDT間または前記第4〜第6のIDT間の一方にのみ
構成されていることを特徴とする。
【0018】好ましくは、第4〜6の発明においては、
第2,第5のIDTの電極指の本数が偶数本とされる。
第1〜第6の発明に係る縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタの特定の局面では、少なくとも1つのIDTが間引
き重み付けされる。また、好ましくは、上記間引き重み
付けは、縦結合共振子型弾性表面波フィルタの中心に対
して表面波伝搬方向において非対称に施される。
【0019】本発明のさらに他の特定の局面では、前記
縦結合共振子型弾性表面波フィルタに直列に接続された
弾性表面波共振子または前記縦結合共振子型弾性表面波
フィルタに並列に接続された弾性表面波共振子の少なく
とも一方がさらに備えられる。
【0020】本発明の別の特定の局面では、平衡入力端
子または出力端子と、不平衡出力端子と入力端子とがさ
らに備えられており、それによって平衡−不平衡変換機
能が実現される。
【0021】本発明に係る通信機は、本発明に係る縦結
合共振子型弾性表面波フィルタを用いて構成されている
ことを特徴とする。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らか
にする。
【0023】図1は、本発明の第1の実施例に係る縦結
合共振子型弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的
平面図である。本実施例の縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタ1は、PCS方式のRx用バンドパスフィルタと
して用いられるものである。
【0024】本実施例では、圧電基板2上に、図1に示
す電極構造がAlにより形成されている。圧電基板2
は、本実施例では、40±5°YカットX伝搬LiTa
3 基板を用いて構成されている。
【0025】上記圧電基板2上には、縦結合共振子型弾
性表面波フィルタ部3と、該縦結合共振子型弾性表面波
フィルタ部3に接続された弾性表面波共振子4,5が構
成されている。
【0026】縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部3
は、表面波伝搬方向に沿って配置された第1〜第3のI
DT6〜8を有する。各IDT6〜8は、それぞれ、互
いの電極指が間挿し合うように配置されている一対のく
し歯電極6a,6b,7a,7b,8a,8bを有す
る。
【0027】IDT6〜8が設けられている領域の表面
波伝搬方向両側には、反射器9,10が配置されてい
る。反射器9,10は、それぞれ、複数本の電極指の両
端を短絡することにより構成されているグレーティング
反射器である。
【0028】IDT6,7が隣り合っている部分におい
ては、IDT6,7の相手方に近接している端部から一
部分の電極指ピッチが、残りの部分の電極指ピッチと異
ならされている。すなわち、IDT6を例にとると、I
DT6のIDT7側端部から表面波伝搬方向において該
端部と遠ざかる方向に沿って一部分、すなわち狭ピッチ
電極指部分N1の電極指ピッチX1が、残りの部分の電
極指ピッチよりも小さくされている。同様に、IDT7
においても、IDT7のIDT6側端部から一部分であ
る狭ピッチ電極指部分N2の電極指ピッチがX1とされ
ており、残りの部分の電極指ピッチよりも小さくされて
いる。
【0029】他方、IDT7においては、狭ピッチ電極
指部分N2と、後述の狭ピッチ電極指部分N3とが設け
られており、残りの電極指部分の電極指ピッチは、狭ピ
ッチ電極指部分N2,N3の電極指ピッチよりも大きく
されている。もっとも、IDT7においては、残りの狭
ピッチ電極指部分の電極指ピッチは一様ではない。
【0030】なお、IDT隣接部分におけるそれぞれI
DT6,7の各狭ピッチ電極指部分のピッチは上記のよ
うにX1と等しくされており、さらにIDT6,7の隣
り合う電極指間のピッチもX1とされている。
【0031】同様に、IDT7,8が隣接している部分
においても、IDT7,8に狭ピッチ電極指部分N3,
N4が設けられている。すなわち、IDT7のIDT8
側の端部から一部分である狭ピッチ電極指部分N3の電
極指ピッチがY1とされており、残りの部分の電極指ピ
ッチよりも小さくされている。IDT8においても、I
DT7側の端部から一部である狭ピッチ電極指部分N4
の電極指ピッチが狭ピッチY1とされており、残りの部
分の電極指ピッチよりも小さくされている。また、ID
T7,8の隣り合う電極指間のピッチもY1とされてい
る。
【0032】なお、IDT6〜8における上記狭ピッチ
電極指部分N1〜N4以外の電極指部分の電極指ピッチ
は、いずれも等しくされている。さらに、狭ピッチ電極
指部分と、残りの電極指部分との間の電極指ピッチは、
後述の具体的な実験例に記載のように定められる。ま
た、IDT6,7が隣り合っている部分に設けられてい
る狭ピッチ電極指部分のピッチX1と、IDT7,8が
隣り合っている部分に設けられている狭ピッチ電極指部
分のピッチY1とは異なっており、本実施例では、X1
<Y1とされている。
【0033】なお、図1では、理解を容易とするため
に、電極指の数は、実際の数よりも少なくされている。
IDT6,8の一方のくし歯電極6a,8aが、弾性表
面波共振子4,5を介して入力端子11に接続されてい
る。弾性表面波共振子4,5は、一端子対弾性表面波共
振子であり、くし歯電極6a,8aと、入力端子11と
の間に直列に接続されている。くし歯電極6b,8bは
アース電位に接続される。また、くし歯電極7aはアー
ス電位に接続される。他方、くし歯電極7bが出力端子
12に電気的に接続される。
【0034】本実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタ1の具体的な構成及びその特性を説明する。上記I
DT6,7が隣り合っている部分の狭ピッチ電極指部分
のピッチX1で定まる表面波の波長をλI2、IDT
7,8が隣り合っている部分の狭ピッチ電極指部分のピ
ッチY1で定められる表面波の波長をλI3とし、残り
の電極指部分のピッチで定められる表面波の波長をλI
1とすると、IDT6〜8は下記のように構成されてい
る。
【0035】すなわち、電極指交叉幅W=69.0λI
1。IDT6の電極指の本数:狭ピッチ電極指部分にお
ける電極指の数は4本、残りの電極指部分の電極指の本
数は21本)。
【0036】IDT7の電極指の本数:IDT6側の狭
ピッチ電極指部分の電極指の数が4本であり、IDT8
側の狭ピッチ電極指部分の電極指の数は4本、残りの電
極指部分の電極指の本数は27本)。
【0037】IDT8の電極指の本数:狭ピッチ電極指
部分の電極指の数は4本、残りの電極指部分の電極指の
本数は21本)。 λI1=2.03μm、λI2=1.62μm、λI3
=1.98μm。
【0038】反射器9,10の波長λR=2.05μ
m、反射器9,10のそれぞれにおける電極指の本数=
100本。 図1の矢印Z1で示す部分の間隔(電極指中心間距
離)、すなわち波長λI1の電極指6b1 と、波長λI
2の電極指6a1 との間の間隔=0.25λI1+0.
25λI2。
【0039】なお、波長λI1の電極指7b1 と、波長
λI2の電極指7a1 との間の間隔も0.25λI1+
0.25λI2とされている。図1の矢印Z2で示され
ている間隔、すなわち波長λI3の電極指8a1 と、波
長λI1の電極指8b1 との間の間隔=0.25λI1
+0.25λI3。
【0040】なお、波長λI3の電極指7b2 と、波長
λI1の電極指7a2 の間の間隔も0.25λI1+
0.25λI3とされている。 隣り合うIDT6,7間の電極指中心間距離X1=0.
50λI2。
【0041】隣り合うIDT7,8間の電極指中心間距
離Y1=0.50λI3。 IDT6と反射器9との間の間隔及びIDT8と反射器
10との間隔=電極指間中心距離で0.55λR。
【0042】IDT6〜8におけるデューティー、すな
わち電極指の幅方向寸法/(電極指の幅方向寸法+隣り
合う電極指間のギャップの幅方向寸法)=0.60。 反射器におけるデューティー=0.60。
【0043】IDT6〜8及び反射器9,10の膜厚
0.08λI1。また、弾性表面波共振子4,5は、下
記の表1に示すように構成されている。
【0044】
【表1】
【0045】比較のために、図3に示す従来の縦結合共
振子型弾性表面波フィルタ71を作製した。この従来の
縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおいて、実施例の
縦結合共振子型弾性表面波フィルタと異なるところは以
下〜の点にある。
【0046】電極指交叉幅W=69.0λI(但し、
λI=λI1、すなわち狭ピッチ電子部が設けられてい
ない)。 中央のIDT77の電極指の本数を41本とし、表面
波伝搬方向両側のIDT76,78の電極指の本数を2
6本とした。
【0047】隣り合うIDT間の間隔は、隣り合う電
極指中心間距離で0.77λIとした。 なお、IDT−IDT間隔を0.77λIとした場合
に、IDT−IDT間のギャップにおいて、電極が存在
しない部分が多くなるため、図3に示すように、IDT
77の両端の電極指79,80を太くした。
【0048】他の部分については、実施例の縦結合共振
子型弾性表面波フィルタ1と同様にした。上記のように
して得られた実施例及び従来例の縦結合共振子型弾性表
面波フィルタの周波数特性を図2に示す。
【0049】図2の実線B1,B2が実施例の結果を、
破線C1,C2が従来例の結果を示す。なお、実線B2
及び破線C2は、それぞれ、縦軸の右側のスケールで拡
大した特性を示す。
【0050】図2から明らかなように、従来例の縦結合
共振子型弾性表面波フィルタ71では、通過帯域高域側
に矢印Dで示すトランスバーサルレスポンスが大きく現
れているのに対し、本実施例の縦結合共振子型弾性表面
波フィルタでは、トランスバーサルレスポンスが従来例
に比べて約5dB改善されており、さらに実施例では、
通過帯域低域側におけるフィルタ特性の急峻性も高めら
れていることがわかる。しかも、実施例における通過帯
域内の挿入損失と、スルーレベルから4dBの減衰量の
通過帯域幅とは、従来例の縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタの場合とほとんど変わっていない。
【0051】従って、本実施例によれば、上記トランス
バーサルレスポンスを抑制することができ、かつ通過帯
域近傍におけるフィルタ特性の急峻性を高め得ることが
わかる。
【0052】本実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタの原理を説明する。図4は、弾性表面波共振子4,
5が接続されていない、上記実施例における縦結合共振
子型弾性表面波フィルタ部3の周波数特性と、同じく従
来の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ71において弾
性表面波共振子4,5を接続していない縦結合共振子型
弾性表面波フィルタ部73の周波数特性を示す。実線E
1,E2が実施例の場合を、破線F1,F2が従来例の
場合の特性を示し、実線E2及び破線F2は、縦軸の右
側のスケールで各実線E1及び破線F1で示した特性を
拡大して示す特性である。
【0053】図4から明らかなように、上記実施例で用
いられている縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部3で
は、通過帯域高域側におけるトランスバーサルレスポン
スが従来例に比べて抑制されていることがわかる。
【0054】図5(a)は、図1の構造において電極指
ピッチX1=Y1とし、狭ピッチ電極指のピッチを全て
1.62μmとしたフィルタ(以下、フィルタ1と略
す)と、上記狭ピッチ電極指のピッチX1,Y1を全て
1.98μmとしたフィルタ(以下、フィルタ2)の共
振モードの配置を示し、図5(b)は位相特性を示す。
なお、図5において、実線Hがフィルタ1の結果を、破
線Iがフィルタ2の結果を示す。
【0055】また、上記フィルタ1,2を並列接続した
場合の共振モードの配置を図6に示す。なお、図5,図
6では、共振モードを確認するために、意図的にインピ
ーダンス整合条件から大きく外れた状態における特性が
示されている。
【0056】図5及び図6から明らかなように、フィル
タ1及びフィルタ2のいずれにおいても、2つの共振モ
ードが現れている。すなわち、フィルタ1では、共振モ
ードJ,Lが現れており、フィルタ2では共振モード
J,Kが現れている。従来の縦結合共振子型弾性表面波
フィルタでは、この2つの共振モードを利用してフィル
タ特性が得られている。
【0057】上記2つの共振モードのうち、一方の共振
モードJの周波数は、フィルタ1,フィルタ2でほぼ一
致している。この場合、フィルタ1とフィルタ2とで、
共振モードJの位相は約120°異なっている。そのた
め、図6の矢印Mで示すように、共振モードの振幅レベ
ルが小さくなっている。
【0058】共振モードJの振幅レベルをさらに小さく
したい場合には、フィルタ1,フィルタ2間の位相の差
を180°に近づければよい。他方、フィルタ1,2に
おけるもう一方の共振モードK,Lは、180°位相が
異なっているので、2つの共振モードを適当な周波数間
隔で配置して音響結合することにより、フィルタ特性が
得られる。この時、フィルタの通過帯域幅は、2つの共
振モードK,Lの周波数差で決定され、共振モードK,
Lの周波数は狭ピッチ電極指のピッチを変えることによ
り変化する。
【0059】すなわち、狭ピッチ電極指部分の電極指ピ
ッチを、フィルタ1,2のそれぞれで変更することによ
り、2つの共振モードが音響結合する範囲で任意の通過
帯域幅を形成することができる。
【0060】また、上記トランスバーサルレスポンス部
分の位相は、フィルタ1,2で約180°異なってい
る。従って、この付近の振幅レベルが小さくなる(図6
の矢印P)。従って、上述したように、本実施例では、
従来例の縦結合共振子型弾性表面波フィルタに比べて、
トランスバーサルレスポンスを抑制することができる。
【0061】このような効果は、図10に示した縦結合
共振子型弾性表面波フィルタ101のIDT−IDT間
隔(図10のIDT間隔P,Q)を異ならせることによ
っても得ることができる。しかしながら、この方法で
は、上記IDT−IDT間隔を電極指ピッチで定められ
る波長の0.50倍から大きく異ならせる必要がある。
そのため、弾性表面波の伝搬の連続性が損なわれ、通過
帯域内の挿入損失が悪化する。
【0062】これに対して、本実施例では、上記IDT
−IDT間隔部は、隣り合う電極指のピッチで決まる波
長の0.25倍を足した値とされているので、弾性表面
波の伝搬の連続性が大きく損なわれることがなく、従っ
て、通過帯域内における挿入損失の悪化は殆どない。
【0063】上記実施例と、図10に示されている方法
で、図1の実施例に相当するPCS−Rx用フィルタを
設計した場合の、通過帯域内最小挿入損失と、通過帯域
幅が75MHz以上となるレベルを下記の表2に示す。
【0064】
【表2】
【0065】表2から明らかなように、本実施例によれ
ば、上記先行技術に記載の方法に比べて、通過帯域内に
おける挿入損失を低減することができる。上記のよう
に、本実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィルタで
は、通過帯域幅を任意に設定することができ、さらに上
記トランスバーサルレスポンスを効果的に抑制し得るこ
とがわかる。
【0066】上記実施例では、図1のIDT6,7が隣
り合っている部分の狭ピッチ電極指の本数と、IDT
7,8が隣り合っている部分の狭ピッチ電極指の本数が
同じとされていたが、この本数を異ならせることによっ
ても、同様の効果が得られる。図26に示されている構
成では、図1の構成から、IDT7のIDT6と隣り合
っている側の狭ピッチ電極指の本数が1本減らされてい
る。図26の構成は、IDT7のIDT6と隣り合って
いる側の狭ピッチ電極指の本数が一本少ない点と、狭ピ
ッチ電極指部分N1、N2の波長が1.57λにされて
いる点以外は、図1の構成とすべて同じである。
【0067】図27は、図26に示した縦結合共振子型
弾性表面波フィルタの周波数特性を示す。図27から明
らかなように、図1に示した縦結合共振子型弾性表面波
フィルタと同様に、図26に示した構成においても通過
帯域高域側のトランスバーサルレスポンスが抑制されて
いることがわかる。このように、狭ピッチ電極指の本数
を、右側IDTと中央IDTが隣り合っている箇所と、
中央IDTと左側IDTが隣り合っている箇所とで異な
らせることによっても、通過帯域高域側のトラスバーサ
ルレスポンスを改善することができる。
【0068】なお、図26に示した変形例においては、
IDT6,7が隣り合っている部分の狭ピッチ電極指部
分と、IDT7,8が隣り合っている部分の狭ピッチ電
極指部分のピッチとが異ならされていたが、前者と後者
の狭ピッチ電極指部分の狭ピッチ電極指の本数を異なら
せた構成のみを有していてもよく、同様に通過帯域高域
側のトランスバーサルレスポンスを改善することができ
る。
【0069】また、上記実施例では、図1のIDT6,
7が隣り合っている部分と、IDT7,8が隣り合って
いる部分の両方に、狭ピッチ電極指部分が設けられてい
たが、一方のみに狭ピッチ電極指部分が設けられてもよ
く、その場合にも、同様の効果が得られる。
【0070】図28に示す構成では、図1の構成におい
てIDT7,8が隣り合っている部分には狭ピッチ電極
指部分が設けられておらず、IDT6,7が隣り合って
いる部分のみに、狭ピッチ電極指部分が設けられてい
る。図28に示した構成は、IDT7,8が隣り合って
いる部分に狭ピッチ電極指が存在しない点と、隣り合う
IDT6,7間の電極指中心間距離X1が0.42λI
2、IDT7,8間の電極指中心間距離がY1が0.5
0λI2とされている点以外は、図1の構成とすべて同
じである。この場合においても、素子内の電極指の連続
性は大きくは損なわれない。
【0071】図28に示した縦結合共振子型弾性表面波
フィルタの周波数特性を図29に示す。図1の構成の縦
結合共振子型弾性表面波フィルタと同様に、通過帯域高
域側のトランスバーサルレスポンスが抑制されているこ
とがわかる。このように、右側IDTと中央IDTが隣
り合っている箇所と、中央IDTと左側IDTが隣り合
っている箇所のどちらか一方の箇所に狭ピッチ電極指部
分が設けられた構成においても、通過帯域側高域側のト
ランスバーサルレスポンスを改善し得ることがわかる。
また、図1のIDT6,7が隣り合っている部分と、I
DT7,8が隣り合っている部分のどちらか一方のピッ
チが、周囲のピッチよりも大きくされている構成におい
ても、同様の効果が得られる。
【0072】上記実施例では、圧電基板2として、40
±5°YカットX伝搬LiTaO3基板を用いたが、本
発明においては、圧電基板は上記材料に限定されず、例
えば、64〜72°YカットX伝搬LiNbO3 、4
1°YカットX伝搬LiNbO3 などの他の圧電単結晶
からなる圧電基板を用いてもよい。
【0073】また、上記実施例では、弾性表面波共振子
4,5が縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部3に直列
に接続されていたが、弾性表面波共振子は、縦結合共振
子型弾性表面波フィルタ部3に並列に接続されていても
よく、また、直列及び並列のいずれにも弾性表面波共振
子を接続してもよい。さらに、図7に示すように、縦結
合共振子型弾性表面波フィルタ部3と同様の縦結合共振
子型弾性表面波フィルタ部3A,3Bを直列に接続して
もよい。このように同じ縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタ部を2段直列接続する場合には、各段で電極指交叉
幅を異ならせるなど、2個の縦結合共振子型弾性表面波
フィルタ部3A,3Bの設計を異ならせてもよい。
【0074】また、図7に示すように、隣り合うIDT
同士の最も隣接している電極指、例えば電極指6a2
電極指7b3 とで極性を異ならせて、信号電極とアース
電極としてもよく、それによっても上記実施例と同様の
効果を得ることができる。
【0075】さらに、図8に示すように、出力端子とし
ての端子21,22から信号を取り出すことにより、平
衡−不平衡変換機能を持たせてもよく、その場合におい
ても、上記実施例と同様の効果を得ることができる。な
お、図8に示されている構成とは逆に、端子21,22
を入力端子として用いてもよい。
【0076】また、図9に示すように、第1〜第3のI
DTに加えて、さらに1以上のIDTを表面波伝搬方向
に沿って配置してもよい。図9に示す変形例では、第1
〜第3のIDT6〜8の表面波伝搬方向両側にIDT1
3,14が配置されており、5IDT構成とされてい
る。この場合においても、少なくとも1つのIDT−I
DT間の部分における上記狭ピッチ電極指部分のピッチ
を他のIDT−IDT間の部分における狭ピッチ電極指
部分のピッチと異ならせることにより、上記実施例と同
様の効果を得ることができる。
【0077】図11は、本発明の第2の実施例に係る縦
結合共振子型弾性表面波フィルタを説明するための模式
的平面図である。本実施例の縦結合共振子型弾性表面波
フィルタ31では、第1の実施例で用いた縦結合共振子
型弾性表面波フィルタ部3と、該縦結合共振子型弾性表
面波フィルタ部3と同様の構造を有する縦結合共振子型
弾性表面波フィルタ部3Cとが並列に接続されている。
この場合、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部3は、
第1の実施例の場合と同様に構成されており、但し、矢
印S,Tで示す部分の近傍の狭ピッチ電極指部分のピッ
チは1.98μmとされている。これに対して、縦結合
共振子型弾性表面波フィルタ部3Cにおける矢印U,V
で示す部分近傍の狭ピッチ電極指部分のピッチは1.6
2μmとされている。また、縦結合共振子型弾性表面波
フィルタ部3,3Cの電極指交叉幅Wは、第1の実施例
の場合の半分、すなわち34.5λI1とされている。
その他の点については、縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタ部3,3Cは、第1の実施例の縦結合共振子型弾性
表面波フィルタで用いられている縦結合共振子型弾性表
面波フィルタ部3と同様に構成されている。
【0078】第2の実施例においても、上記縦結合共振
子型弾性表面波フィルタ部3,3Cが並列に接続されて
おり、各縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部3,3C
が第1の実施例で用いた縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタ部3とほぼ同様に構成されているので、第1の実施
例の場合と同様に、通過帯域内における挿入損失の低
減、通過帯域の高域側に現れるトランスバーサルレスポ
ンスの抑圧を果たすことができる。
【0079】また、第1の実施例と同様に、上記狭ピッ
チ電極指のピッチを調整することにより、帯域幅を容易
に調整することができる。また、第2の実施例では、第
1,第2の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部3,3
C間において、狭ピッチ電極指部分のピッチが異ならさ
れていたが、ピッチではなく、狭ピッチ電極指部分の電
極指の本数を異ならせてもよく、あるいは両者を異なら
せてもよい。
【0080】また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
部3、3cいずれかのみが、狭ピッチ電極指部を有する
構成であってもよい。図12は、第3の実施例に係る縦
結合共振子型弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式
的平面図である。
【0081】第3の実施例の縦結合共振子型弾性表面波
フィルタ41では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
部3Dに、弾性表面波共振子42が直列に接続されてい
る。縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部3Dの詳細な
設計は、第1の実施例における縦結合共振子型弾性表面
波フィルタ部3とほぼ同様である。異なる点は、第3の
実施例では、中央の第2のIDT47に間引き重み付け
が施されていることにある。
【0082】この間引き重み付けは、図12に示されて
いるように、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部41
の中心に対して左右(すなわち表面波伝搬方向両側)で
非対称とされている。また、電極指交叉幅は83.7λ
I1とされおり、IDTの波長λI3=1.97μmと
されている。その他の構成は、第1の実施例の弾性表面
波共振子フィルタ部3と全く同様であり、かつ弾性表面
波共振子4は、第1の実施例で用いた弾性表面波共振子
4と同様に構成されている。
【0083】図13は第3の実施例の縦結合共振子型弾
性表面波フィルタ41の周波数特性を示す。比較のため
に、図14に示した縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
51の周波数特性を破線で示す。なお、図14に示す縦
結合共振子型弾性表面波フィルタ51は、第1の実施例
の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ1から弾性表面波
共振子5を取り去った構造に相当し、図14に示す縦結
合共振子型弾性表面波フィルタ51もまた、本発明の範
囲に入るものである。
【0084】図13において、実線W1,W2は第3の
実施例の結果を、破線W3,W4は上記比較例の結果を
示す。図13から明らかなように、図1に示した実施例
の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ1において、一方
の弾性表面波共振子5を削除した場合、トランスバーサ
ルレスポンスの振幅レベルが若干大きくなる。しかしな
がら、第3の実施例のように、IDT47に間引き重み
付けを施すことにより、トランスバーサルレスポンスを
抑制し得ることがわかる。
【0085】このように、本発明に係る縦結合共振子型
弾性表面波フィルタでは、IDTに間引き重み付けを、
好ましくは弾性表面波伝搬方向中心に対して該伝搬方向
両側で非対称に施すことにより、トランスバーサルレス
ポンスを効果的に抑圧することができる。
【0086】なお、第3の実施例によれば、第1の実施
例に比べて弾性表面波共振子の数を1つ少なくすること
ができるので、縦結合共振子型弾性表面波フィルタの素
子サイズを小型にすることができる。
【0087】図15及び図16は、本発明に係る縦結合
共振子型弾性表面波フィルタを用いた通信機60を説明
するための各概略ブロック図である。図15において、
アンテナ61に、ディプレクサ62が接続されている。
ディプレクサ62と受信側ミキサ63との間に、弾性表
面波フィルタ64及び増幅器65が接続されている。ま
た、ディプレクサ62と送信側のミキサ66との間に
は、増幅器67及び弾性表面波フィルタ68が接続され
ている。このように、増幅器65が平衡信号に対応され
ている場合、本発明に従って構成された縦結合共振子型
弾性表面波フィルタを上記弾性表面波フィルタ64とし
て好適に用いることができる。
【0088】また、図16に示すように、受信側におい
て用いられている増幅器65Aが不平衡信号対応の場合
にも、本発明に従って構成された縦結合共振子型弾性表
面波フィルタを弾性表面波フィルタ64Aとして好適に
用いることができる。
【0089】このような通信機60において、本発明に
従って構成された縦結合共振子型弾性表面波フィルタを
用いることにより、通過帯域内における挿入損失の低減
を図ることができる。
【0090】本願の第1〜第6の発明に係る縦結合共振
子型弾性表面波フィルタでは、好ましくは、表面波伝搬
方向中央に配置されたIDTの電極指の本数が偶数本と
される。すなわち、第1〜第3の発明では、第2のID
Tの電極指の本数が偶数本とされ、第4〜第6の発明で
は、第2,第5のIDTの電極指の本数が偶数本とされ
る。第1〜第6の発明において、中央のIDTの電極指
の本数を偶数本とすることにより、損失をより一層低減
することができる。これを、以下の第4及び第5の実施
例を参照して説明する。
【0091】図17は、第4の実施例に係る弾性表面波
フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。本実施
例の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ201は、第
1,第2の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部20
2,203を有する。縦結合共振子型弾性表面波フィル
タ部202は、表面波伝搬方向に配置された第1〜第3
のIDT204〜206を有する。IDT204〜20
6が設けられている領域の両側には反射器207,20
8が形成されている。また、第2の縦結合共振子型弾性
表面波フィルタ部203では、表面波伝搬方向に沿って
第4〜第6のIDT209〜211が配置されている。
IDT209〜211の両側には反射器212,213
が配置されている。
【0092】なお、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
部203は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部20
2に比べて、IDT210がIDT205を上下反転さ
せた構造とされていることを除いては同様とされてい
る。
【0093】縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部20
2では、IDT204〜206に狭ピッチ電極指部分N
1〜N4が形成されている。もっとも、狭ピッチ電極指
部N1,N2の電極指ピッチと、狭ピッチ電極指部N
3,N4との電極指ピッチは異ならされている。
【0094】また、中央のIDT205の電極指の本数
は偶数本とされている。入力端子214に、弾性表面波
共振子215を介して縦結合共振子型弾性表面波フィル
タ部202が接続されている。弾性表面波共振子215
は、IDT204,206の一端に電気的に接続されて
いる。他方、入力端子214には、弾性表面波共振子2
16を介して縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部20
3が接続されている。この場合、弾性表面波共振子21
6の一端が、IDT209,211に電気的に接続され
ている。
【0095】また、IDT205が、弾性表面波共振子
217を介して第1の出力端子218に電気的に接続さ
れている。同様に、IDT210の一端が弾性表面波共
振子219を介して第2の出力端子220に接続されて
いる。出力端子218と出力端子220との間には、イ
ンダクタンス221が接続されている。
【0096】本実施例では、上記のように縦結合共振子
型弾性表面波フィルタ部202に直列に弾性表面波共振
子215,217が接続されている第1のフィルタと、
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部203に直列に弾
性表面波共振子216,219が接続されているフィル
タとが並列接続されて、180°位相が異なる信号が出
力端子218,220から出力される。従って、平衡−
不平衡変換機能が与えられている。
【0097】図18は、図17に示した縦結合共振子型
弾性表面波フィルタ部202の変形例を示す電極構造を
示す模式的平面図である。図18に示すように、第1〜
第3のIDT204A〜206Aは、アース電位に接続
される側のくし歯電極を連ねた構造であってもよい。ま
た、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部203におい
ても、第4〜第6のIDT209〜211は、アース電
位に接続される側のくし歯電極を電気的に接続した構造
としてもよい。
【0098】次に、本実施例の縦結合共振子型弾性表面
波フィルタ201の作用を、より具体的な実験例に基づ
き説明する。本実験例では、40±5°YカットX伝搬
LiTaO3 基板上に上記各電極が形成されている。そ
して、各電極の詳細は、狭ピッチ電極指部N1,N2の
電極指ピッチで定まる表面波の波長をλI2、狭ピッチ
電極指部N3,4のピッチで定められる波長をλI3、
他の電極指部分のピッチで定められる波長をλI1とす
ると、以下の通りである。
【0099】IDT204〜206,209〜211の
電極指交叉幅W1=41.7λI1 IDT204,209の電極指の本数…狭ピッチ電極指
部分の電極指の数が4本であり、残りの電極指部分の電
極指の本数が21本 IDT205,210の電極指の本数…狭ピッチ電極指
部分N2の電極指の本数が4本、狭ピッチ電極指部分N
3の電極指の本数が4本、残りの電極指の本数が24本 IDT206,211の電極指の本数…狭ピッチ電極指
部分N4の電極指の本数が4本であり、残りの電極指部
分の電極指の本数が21本 λI1=2.04μm、λI2=1.85μm、λI3
=1.99μm 反射器の波長λR=2.05μm 反射器の電極指の本数=100本 狭ピッチ電極指部分N1,N2とこれに連なる残りの電
極指部分との間の電極指間中心間距離…0.25λI1
+0.25λI2 狭ピッチ電極指部分N3,N4とそれに連なる残りの電
極指部分との電極指間中心間距離…0.25λI1+
0.25λI3 IDT204,205間及びIDT209,210間の
電極指間中心間距離(すなわちIDT−IDT間隔)=
0.50λI2 IDT205,206間及びIDT210,211間の
電極指間中心間距離(すなわちIDT−IDT間隔)=
0.50λI3 IDTと反射器との間隔=0.55λR IDTのデューティー=0.60 反射器におけるデューティー=0.60 電極膜厚=0.08λI1 インダクタンス220の値27nH 弾性表面波共振子215,216,217,219の詳
細は下記の表3に示す通りである。
【0100】
【表3】
【0101】図19は、第4の実施例の縦結合共振子型
弾性表面波フィルタ201に対して比較のために用意し
た従来の縦結合共振子型弾性表面波フィルタを示す模式
的平面図である。この従来例の縦結合共振子型弾性表面
波フィルタ301では、縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタ部302,303において、狭ピッチ電極指部が設
けられていないことを除いては、第4の実施例の縦結合
共振子型弾性表面波フィルタ201と同様に構成されて
いる。この比較のために用意した縦結合共振子型弾性表
面波フィルタ301の詳細な設計は以下の通りである。
【0102】電極指交叉幅W=29.7λI1 IDTの電極指の本数、IDT304,306では23
本、IDT305では35本。IDT309,311で
は22本、IDT310では35本。
【0103】IDTの波長λI=2.02μm 反射器307,308,312,313の波長λR=
2.05μm 反射器307,308,312,313の電極指の本数
=100本 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部302におけるI
DT−IDT間隔=0.785λI 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部303におけるI
DT−IDT間隔=1.285λI IDTと反射器との間隔=0.52λR IDTのデューティー=0.60 反射器のデューティー=0.60 電極膜厚=0.08λI 弾性表面波共振子315,316,317,319の設
計は下記の表4に示す通りである。
【0104】
【表4】
【0105】図17に示した縦結合共振子型弾性表面波
フィルタ201及び図19に示した比較のための従来の
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ301の周波数特性
を図20に示す。図20における実線が第4の実施例の
結果を、破線が比較のために用意した従来の縦結合共振
子型弾性表面波フィルタ301の特性を示す。また、図
20では、周波数特性の要部を縦軸の右側のスケールで
拡大で示した特性も示されている。
【0106】図20から明らかなように、第4の実施例
では、矢印Zで示すトランスバーサルレスポンスが、従
来例に比べて約5dB改善している。この時、通過帯域
内の挿入損失及びスルーレベルから4dB付近の通過帯
域幅は、従来例とほとんど変わっていない。
【0107】従って、本実施例によれば、従来の縦結合
共振子型弾性表面波フィルタ301に比べて、挿入損失
及び帯域幅を変更させることなく、トランスバーサルレ
スポンスを低減することができる。
【0108】ところで、縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタ301においてトランスバーサルレスポンスを抑圧
する方法としては、弾性表面波共振子をさらに直列に付
加する方法が考えられる。そこで、図21に示すよう
に、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ301の入力側
に、さらに弾性表面波共振子401,402を付加した
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ400を構成した。
ここで、弾性表面波共振子401,402の仕様は下記
の表5に示す通りである。
【0109】
【表5】
【0110】上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ4
00の周波数特性と、第4の実施例の縦結合共振子型弾
性表面波フィルタの周波数特性を図22に示す。なお、
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ400では、弾性表
面波共振子401,402の付加に応じて、その他の部
分の設計パラメータは若干変更されている。
【0111】図22において、実線が第4の実施例の結
果を、破線が縦結合共振子型弾性表面波フィルタ400
の結果を示す。図22から明らかなように、縦結合共振
子型弾性表面波フィルタ301に、弾性表面波共振子4
01,402をさらに付加することにより、縦結合共振
子型弾性表面波フィルタ400では2050MHz以上
の減衰量が、第4の実施例に比べて改善される。しかし
ながら、2010〜2050MHz付近の減衰量は、第
4の実施例に比べて悪い。また、弾性表面波共振子40
1,402の付加により、フィルタのインピーダンスが
高くなり、その結果、通過帯域内の挿入損失が悪化する
ことになる。
【0112】また、弾性表面波共振子401,402を
新たに付加した場合、素子の小型化が図れない。従っ
て、第4の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
201を用いることにより、従来の縦結合共振子型弾性
表面波フィルタ301や多数の弾性表面波共振子を用い
た弾性表面波フィルタ400に比べて、通過帯域内にお
ける挿入損失が小さくかつトランスバーサルレスポンス
が低減された弾性表面波フィルタを提供し得ることがわ
かる。
【0113】次に、前述した特開平10−190394
号公報に記載の縦結合共振子型弾性表面波フィルタと、
第4の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの周
波数特性の比較結果を図23に示す。なお、比較のため
に用意した弾性表面波フィルタの構成は、図19に示し
た縦結合共振子型弾性表面波フィルタと同様であるが、
設計の詳細は以下の通りとした。
【0114】交叉幅W=29.7λI IDTの電極指の本数、中央のIDTの電極指の本数を
37本とし、中央のIDTの両側のIDTの電極指の本
数を各23本とした。
【0115】IDTの波長λI=2.04μm 反射器の波長λR=2.05μm 反射器の電極指の本数=100本 IDT−IDT間隔…図21における矢印Z1で示すI
DT−IDT間隔=0.370λI、矢印Z2で示すI
DT−IDT間隔=0.690λI、矢印Z3で示すI
DT−IDT間隔=0.870λI、矢印Z4で示すI
DT−IDT間隔=1.190λI IDT−反射器の間隔=0.52λR IDTデューティー=0.60 反射のデューティー=0.60 電極膜厚=0.08λI 弾性表面波共振子315,316並びに弾性表面波共振
子317,319の詳細な設計は以下の表6の通りとし
た。
【0116】
【表6】
【0117】図23から明らかなように、特開平10−
190394号公報に記載の縦結合共振子型弾性表面波
フィルタに準じて構成された縦結合共振子型弾性表面波
フィルタの周波数特性(図23の破線)は、第4の実施
例の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの周波数特性
(実線)に比べて、通過帯域内の挿入損失が十分でな
く、通過帯域幅も狭くなっていることがわかる。このよ
うに、第4の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィル
タを用いることにより、上記先行技術に記載の弾性表面
波フィルタを用いた場合よりも、挿入損失の大きな悪化
を生じることなく、トランスバーサルレスポンスを効果
的に低減し得ることがわかる。
【0118】第4の実施例において、中央のIDT20
5,210の電極指の本数を偶数本とした理由を説明す
る。第4の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
においてトランスバーサルレスポンスを低減する効果
は、第1の実施例で示したように、狭ピッチ電極指部分
の電極指ピッチを中央のIDTの両側で異ならせること
により得られる。すなわち、中央のIDTの電極指の本
数は奇数本であってもよい。
【0119】しかしながら、図24に示すように、縦結
合共振子型弾性表面波フィルタ501において、中央の
IDT502,503の電極指の本数を奇数本とし、最
適な設計を行おうとした場合には、狭ピッチ電極指部分
のピッチ差が、中央のIDT502,503の両側で大
きくなる傾向にある。その結果、中央のIDTの片側の
狭ピッチ電極指部分の電極指ピッチが非常に狭くなるた
め、弾性表面波の伝搬路の連続性が損なわれて、通過帯
域内の挿入損失が大きくなる傾向がある。
【0120】従って、本発明においては、好ましくは、
中央のIDTの電極指の本数は偶数本とされ、それによ
って、両側の狭ピッチ電極指部分の電極指ピッチの差を
小さくすることができ、通過帯域内における挿入損失を
より効果的に低減することができる。
【0121】また、PCS方式のように周波数の高い用
途に用いられるフィルタでは、電極指ピッチが狭くなる
と、電極指の幅や電極指間のギャップも狭くなる。従っ
て、中央のIDTの電極指の本数を偶数本とすることに
より、中央のIDTの両側の電極指ピッチの差を小さく
することができ、言い換えれば、最も電極指ピッチが狭
い部分の電極指ピッチを拡大することができるので、所
望のIDTを容易に形成することができる。
【0122】図25は、第4の実施例の縦結合共振子型
弾性表面波フィルタと、第4の実施例の変形例である図
24に示した縦結合共振子型弾性表面波フィルタの周波
数特性を示す。図25の実線は第4の実施例を示し、破
線は図24に示した変形例の周波数特性を示す。なお、
図25に示す特性のうち、図24に示した縦結合共振子
型弾性表面波フィルタの特性は、中央のIDTの電極指
の本数を奇数本とし、中央のIDTの両側の狭ピッチ電
極指部のピッチを、それぞれ、1.62μm及び1.9
8μmとすることにより得られた特性である。すなわ
ち、第4の実施例の電極指ピッチの最小ピッチよりも、
さらに0.23μm狭いピッチの電極指部分が構成され
ることになる。
【0123】図25から明らかなように、トランスバー
サルレスポンスにおける減衰量は、上記変形例の方が第
4の実施例よりも約2dB大きくなる。しかしながら、
通過帯域内の挿入損失は、第4の実施例に比べて大きく
なっている。
【0124】従って、第4の実施例のように、中央のI
DTの電極指の本数を偶数本とすることにより、トラン
スバーサルレスポンスを低減し、かつ通過帯域内の挿入
損失をより小さくし得ることがわかる。
【0125】
【発明の効果】以上のように、第1の発明に係る縦結合
共振子型弾性表面波フィルタでは、第1,第2のIDT
が隣接する部分及び第2,第3のIDTが隣接する部分
において、それぞれ、第1,第2のIDT及び第2,第
3のIDTに狭ピッチ電極指部分が設けられ、かつ両者
のピッチが異ならされているので、トランスバーサルレ
スポンスを低減することができ、かつ該狭ピッチ電極指
部分のピッチをそれぞれ調整することにより、通過帯域
の挿入損失を増大させることなく、通過帯域幅を容易に
調整することができる。
【0126】また、第1の発明において、第1,第2の
IDTが隣接する部分の狭ピッチ電極指部分と、第2,
第3のIDTが隣接する部分の狭ピッチ電極指部分の電
極指の本数が異なっている場合には、トランスバーサル
レスポンスをより一層低減することができる。
【0127】第2の発明に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタでは、第1,第2のIDTが隣接する部分の
狭ピッチ電極指部分と、第2,第3のIDTが隣接する
部分の共振子電極指部分の電極指の本数が異なっている
ので、トランスバーサルレスポンスを低減することがで
き、かつ各狭ピッチ電極指部分のピッチを調整すること
により、通過帯域の挿入損失を増大させることなく、通
過帯域幅を容易に調整することができる。
【0128】第3の発明に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタでは、第1,第2のIDTが隣接する部分及
び第2,第3のIDTが隣接する部分の一方狭ピッチ電
極指部分が構成されているので、トランスバーサルレス
ポンスを低減するこができ、かつ該狭ピッチ電極指部分
の構成、例えばピッチや電極指の本数を調整することに
より、通過帯域の挿入損失を増大させることなく、通過
帯域幅を容易に調整することができる。
【0129】第4〜第5の発明に係る縦結合共振子型弾
性表面波フィルタでは、第1,第2の縦結合共振子型弾
性表面波フィルタ部間において、狭ピッチ電極指部分の
ピッチあるいは狭ピッチ電極指部分の電極指の本数が異
ならされているので、それぞれ、同様に、通過帯域高域
側のトランスバーサルレスポンスを効果的に抑圧するこ
とができ、かつ各狭ピッチ電極指部分のピッチを調整す
ることにより、挿入損失を悪化させることなく、帯域幅
を容易に調整することができる。
【0130】また、第6の発明においては、第1,第2
の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部の一方におい
て、狭ピッチ電極指部分が構成されているので、同様
に、通過帯域高域側のトランスバーサルレスポンスを効
果的に抑圧することができ、かつ狭ピッチ電極指部分の
ピッチを調整することにより、挿入損失を悪化させるこ
となく、帯域幅を容易に調整することができる。
【0131】第1〜第6の発明に係る縦結合共振子型弾
性表面波フィルタにおいて、第2のIDTの電極指の本
数を偶数本とした場合、あるいは第2,第5のIDTの
電極指の本数を偶数本とした場合には、中央のIDTの
両側の狭ピッチ電極指部分の電極指ピッチの差を小さく
することができる。従って、中央のIDTの電極指の本
数を奇数本とした場合に比べて、電極指の最小ピッチを
拡大することができ、第1〜第3の発明に係る縦結合共
振子型弾性表面波フィルタを容易にかつ安定に製造する
ことができる。加えて、上述した第4の実施例から明ら
かなように、通過帯域内における挿入損失をより一層低
減することができる。
【0132】少なくとも1つのIDTが間引き重み付け
されている場合には、特に、該間引き重み付けが、縦結
合共振子型弾性表面波フィルタの伝搬方向中心に対して
表面波伝搬方向両側において非対称である場合には、ト
ランスバーサルレスポンスをより効果的に抑圧すること
ができる。
【0133】縦結合共振子型弾性表面波フィルタに、弾
性表面波共振子が直列及び/または並列に接続されてい
る場合には、通過帯域外減衰量を拡大することができ
る。さらに、この場合に、縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタにおける少なくとも1つのIDTを間引き重み付
けした場合には、トランスバーサルレスポンスをより一
層効果的に抑圧することができるので、弾性表面波共振
子の数を減らすことができ、それによって素子サイズの
小型化を進めることができる。
【0134】本発明に係る縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタにおいて、平衡入力端子または出力端子と、不平
衡出力端子または入力端子が設けられている場合には、
本発明に従って、平衡−不平衡変換機能を有する、しか
もトランスバーサルレスポンスを効果的に抑圧し得る縦
結合共振子型弾性表面波フィルタを提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例に係る縦結合共振子型弾
性表面波フィルタの模式的平面図。
【図2】第1の実施例及び比較のために用意した従来例
の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの周波数特性を示
す図。
【図3】比較のために用意した従来の縦結合共振子型弾
性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図。
【図4】第1の実施例及び比較のために用意した従来例
における縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部自体の周
波数特性を示す図。
【図5】(a)及び(b)は、第1の実施例の縦結合共
振子型弾性表面波フィルタの原理を説明するための図で
あり、(a)は共振モードの配置を、(b)は位相特性
を示す図。
【図6】第1の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部を2個並列
接続した場合の共振モードの配置を説明するための図。
【図7】第1の実施例の変形例に係る縦結合共振子型弾
性表面波フィルタを説明するための模式的平面図。
【図8】第1の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタの他の変形例を説明するための模式的平面図。
【図9】第1の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタのさらに他の変形例を説明するための模式的平面
図。
【図10】従来の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの
電極構造を示す模式的平面図。
【図11】第2の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタを説明するための模式的平面図。
【図12】第3の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタを説明するための模式的平面図。
【図13】第3の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタの周波数特性と、比較のために用意した図14に
示した縦結合共振子型弾性表面波フィルタの周波数特性
を示す図。
【図14】第3の実施例と比較するために用意された縦
結合共振子型弾性表面波フィルタの模式的平面図。
【図15】本発明に係る弾性表面波フィルタを用いて構
成される通信機の一例を説明するための概略ブロック
図。
【図16】本発明に係る弾性表面波フィルタを用いて構
成される通信機の他の例を示す概略ブロック図。
【図17】第4の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタを説明するための模式的平面図。
【図18】第4の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタにおける一方の縦結合共振子型弾性表面波フィル
タ部を説明するための模式的平面図。
【図19】比較のために用意した縦結合共振子型弾性表
面波フィルタを説明するための模式的平面図。
【図20】第4の実施例及び図19に示した従来例の縦
結合共振子型弾性表面波フィルタの周波数特性を示す
図。
【図21】比較のために用意した従来の縦結合共振子型
弾性表面波フィルタの他の例を説明するための模式的平
面図。
【図22】第4の実施例及び図21に示した縦結合共振
子型弾性表面波フィルタの周波数特性を示す図。
【図23】第4の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタ及び先行技術に記載の方法に従って変形された図
21に示した縦結合共振子型弾性表面波フィルタの周波
数特性を示す図。
【図24】第4の実施例の変形例を示し、中央のIDT
の電極指の本数が奇数本である縦結合共振子型弾性表面
波フィルタを説明するための模式的平面図。
【図25】第4の実施例及び図24に示した変形例の縦
結合共振子型弾性表面波フィルタの周波数特性を示す
図。
【図26】第1の実施例の変形例になる縦結合共振子型
弾性表面波フィルタの模式的平面図。
【図27】図26に示した第1の実施例の変形例になる
縦結合共振子型弾性表面波フィルタの周波数特性を示す
図。
【図28】第1の実施例の他の変形例になる縦結合共振
子型弾性表面波フィルタの模式的平面図。
【図29】図28に示した第1の実施例の他の変形例に
なる縦結合共振子型弾性表面波フィルタの周波数特性を
示す図。
【符号の説明】
1…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ 2…圧電基板 3,3A,3B,3C,3D…縦結合共振子型弾性表面
波フィルタ部 4,5…弾性表面波共振子 6〜8…第1〜第3のIDT 9,10…反射器 11…入力端子 12…出力端子 13,14…IDT 21,22…端子 31…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ 41…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ 42…弾性表面波共振子 47…IDT 51…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ 60…通信機 61…アンテナ 62…ディプレクサ 63,66…ミキサ 64…弾性表面波フィルタ 65…増幅器 67…弾性表面波フィルタ 68…増幅器 71…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ 76〜78…IDT 79,80…電極指 201…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ 202,203…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部 204〜206…第1〜第3のIDT 207,208…反射器 209〜211…第4〜第6のIDT 212,213…反射器 214…入力端子 215,216,217,219…弾性表面波共振子 218,220…出力端子 301…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ 302,303…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部 304〜306…IDT 307,308,312,313…反射器 309〜311…IDT 315,316,317,319…弾性表面波共振子 400…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ 401,402…弾性表面波共振子 501…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ 502,503…IDT
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−19815(JP,A) 特開 平9−246901(JP,A) 特開 平10−290141(JP,A) 特開 平8−250969(JP,A) 特開 平5−121992(JP,A) 特開 平9−130203(JP,A) 特開 平5−315886(JP,A) 特開 平5−267990(JP,A) 特開 平10−190394(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03H 9/25 H03H 9/145 H03H 9/64

Claims (15)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電基板と、 前記圧電基板上に形成されており、表面波伝搬方向に沿
    って配置されておりかつそれぞれが複数本の電極指を有
    する第1〜第3のIDTとを備え、 前記第1,第2のIDTが、第2、第1のIDTと隣接
    する端部から表面波伝搬方向において該端部とは遠ざか
    る方向に向かって一部の電極指ピッチが、残りの部分の
    電極指ピッチよりも狭くされている狭ピッチ電極指部分
    を有し、 前記第2,第3のIDTが、第3、第2のIDTと隣接
    する端部から表面波伝搬方向において該端部とは遠ざか
    る方向に向かって一部の電極指のピッチが、残りの部分
    の電極指ピッチよりも狭くされている狭ピッチ電極指部
    分を有し、 前記第1,第2のIDT間における狭ピッチ電極指部分
    のピッチが、前記第2,第3のIDT間における狭ピッ
    チ電極指部分のピッチと異ならされていることを特徴と
    する、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ。
  2. 【請求項2】 前記第1,第2のIDTが、第2,第1
    のIDTと隣接する箇所と、前記第2,第3のIDT
    が、第3,第2のIDTと隣接する箇所とで前記狭ピッ
    チ電極指部分の電極指の本数が異ならされていることを
    特徴とする、請求項1に記載の縦結合共振子型弾性表面
    波フィルタ。
  3. 【請求項3】 圧電基板と、 前記圧電基板上に形成されており、表面波伝搬方向に沿
    って配置されておりかつそれぞれが複数本の電極指を有
    する第1〜第3のIDTとを備え、 前記第1,第2のIDTが、第2、第1のIDTと隣接
    する端部から表面波伝搬方向において該端部とは遠ざか
    る方向に向かって一部の電極指ピッチが、残りの部分の
    電極指ピッチよりも狭くされている狭ピッチ電極指部分
    を有し、 前記第2,第3のIDTが、第3、第2のIDTと隣接
    する端部から表面波伝搬方向において該端部とは遠ざか
    る方向に向かって一部の電極指のピッチが、残りの部分
    の電極指ピッチよりも狭くされている狭ピッチ電極指部
    分を有し、 前記第1,第2のIDTが、第2,第1のIDTと隣接
    する箇所と、前記第2,第3のIDTが、第3,第2の
    IDTと隣接する箇所とで前記狭ピッチ電極指部分の電
    極指の本数が異ならされていることを特徴とする、縦結
    合共振子型弾性表面波フィルタ。
  4. 【請求項4】 圧電基板と、 前記圧電基板上に形成されており、表面波伝搬方向に沿
    って配置されており、かつそれぞれが複数本の電極指を
    有する第1〜第3のIDTとを備え、 前記第1,第2のIDTが、第2,第1のIDTと隣接
    する箇所、あるいは前記第2,第3のIDTが、第3,
    第2のIDTと隣接する箇所のどちらか一方の箇所にお
    いて、端部から表面波伝搬方向において該端部とは遠ざ
    かる方向に向かって一部の電極指ピッチが、残りの部分
    電極指ピッチよりも狭くされている狭ピッチ電極指部
    分を有することを特徴とする、縦結合共振子型弾性表面
    波フィルタ。
  5. 【請求項5】 前記第2のIDTの電極指の本数が偶数
    本である、請求項1〜の4いずれかに記載の縦結合共振
    子型弾性表面波フィルタ。
  6. 【請求項6】 圧電基板に第1,第2の縦結合共振子型
    弾性表面波フィルタ部が構成されている縦結合共振子型
    弾性表面波フィルタであって、 圧電基板と、 前記圧電基板上に形成されており、弾性表面波伝搬方向
    に沿って配置されており、それぞれが複数本の電極指を
    有する第1〜第3のIDTを含む第1の縦結合共振子型
    弾性表面波フィルタ部と、 前記圧電基板上に形成されており、弾性表面波伝搬方向
    に沿って配置されており、それぞれが複数本の電極指を
    有する第4〜第6のIDTを含む第2の縦結合共振子型
    弾性表面波フィルタ部とを備え、 前記第1〜第3のIDTにおいて、IDT同士が隣接す
    る端部から一部分における電極指ピッチが、残りの部分
    の電極指ピッチよりも狭くされている狭ピッチ電極指部
    分が構成されており、 前記第4〜第6のIDTにおいて、IDT同士が隣接す
    る端部から一部分における電極指ピッチが、残りの部分
    の電極指ピッチよりも狭くされている狭ピッチ電極指部
    分が構成されており、 前記第1の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部の前記
    狭ピッチ電極指部分が、前記第2の縦結合共振子型弾性
    表面波フィルタ部の前記狭ピッチ電極指部分のピッチと
    異なっている、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ。
  7. 【請求項7】 前記第1の縦結合共振子型弾性表面波フ
    ィルタの前記狭ピッチ電極指部分と、前記第2の縦結合
    共振子型弾性表面波フィルタ部の前記狭ピッチ電極指部
    分の電極指の本数が異ならされていることを特徴とす
    る、請求項6に記載の縦結合共振子型弾性表面波フィル
    タ。
  8. 【請求項8】 圧電基板に第1,第2の縦結合共振子型
    弾性表面波フィルタ部が構成されている縦結合共振子型
    弾性表面波フィルタであって、 圧電基板と、 前記圧電基板上に形成されており、弾性表面波伝搬方向
    に沿って配置されており、それぞれが複数本の電極指を
    有する第1〜第3のIDTを含む第1の縦結合共振子型
    弾性表面波フィルタ部と、 前記圧電基板上に形成されており、弾性表面波伝搬方向
    に沿って配置されており、それぞれが複数本の電極指を
    有する第4〜第6のIDTを含む第2の縦結合共振子型
    弾性表面波フィルタ部とを備え、 前記第1〜第3のIDTにおいて、IDT同士が隣接す
    る端部から一部分における電極指ピッチが、残りの部分
    の電極指ピッチよりも狭くされている狭ピッチ電極指部
    分が構成されており、 前記第4〜第6のIDTにおいて、IDT同士が隣接す
    る端部から一部分における電極指ピッチが、残りの部分
    の電極指ピッチよりも狭くされている狭ピッチ電極指部
    分が構成されており、 前記第1の縦結合共振子型弾性フィルタ部の前記狭ピッ
    チ電極指部分の電極指の本数が、前記第2の縦結合共振
    子型弾性表面波フィルタ部の前記狭ピッチ電極指部分の
    電極指の本数と異なっている、縦結合共振子型弾性表面
    波フィルタ。
  9. 【請求項9】 圧電基板に第1,第2の縦結合共振子型
    弾性表面波フィルタ部が構成されている縦結合共振子型
    弾性表面波フィルタであって、 圧電基板と、 前記圧電基板上に形成されており、弾性表面波伝搬方向
    に沿って配置されており、それぞれが複数本の電極指を
    有する第1〜第3のIDTを含む第1の縦結合共振子型
    弾性表面波フィルタ部と、 前記圧電基板上に形成されており、弾性表面波伝搬方向
    に沿って配置されており、それぞれが複数本の電極指を
    有する第4〜第6のIDTを含む第2の縦結合共振子型
    弾性表面波フィルタ部とを備え、 IDT同士が隣接する端部から一部分における電極指ピ
    ッチが、残りの部分の電極指ピッチよりも狭くされてい
    る狭ピッチ電極指部分が、前記第1〜第3のIDT間ま
    たは前記第4〜第6のIDT間の一方にのみ構成されて
    いる、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ。
  10. 【請求項10】 前記第2,第5のIDTの電極指の本
    数が偶数本である、請求項6〜9のいずれかに記載の縦
    結合共振子型弾性表面波フィルタ。
  11. 【請求項11】 少なくとも1つのIDTが間引き重み
    付けされている、請求項1〜10のいずれかに記載の縦
    結合共振子型弾性表面波フィルタ。
  12. 【請求項12】 前記間引き重み付けが、縦結合共振子
    型弾性表面波フィルタの中心に対して表面波伝搬方向に
    おいて非対称であることを特徴とする、請求項11に記
    載の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ。
  13. 【請求項13】 前記縦結合共振子型弾性表面波フィル
    タに直列に接続された弾性表面波共振子または前記縦結
    合共振子型弾性表面波フィルタに並列に接続された弾性
    表面波共振子の少なくとも一方をさらに備える、請求項
    1〜12のいずれかに記載の縦結合共振子型弾性表面波
    フィルタ。
  14. 【請求項14】 平衡入力端子または出力端子と、不平
    衡出力端子または入力端子とをさらに備え、平衡−不平
    衡変換機能を有する請求項1〜13のいずれかに記載の
    縦結合共振子型弾性表面波フィルタ。
  15. 【請求項15】 請求項1〜14のいずれかに記載の縦
    結合共振子型弾性表面波フィルタを用いて構成されてい
    ることを特徴とする、通信機。
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Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3358615B2 (ja) * 2000-06-26 2002-12-24 株式会社村田製作所 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
JP3743329B2 (ja) 2001-03-23 2006-02-08 株式会社村田製作所 弾性表面波フィルタ、およびそれを用いた弾性表面波装置、通信機装置
JP3534080B2 (ja) * 2001-03-23 2004-06-07 株式会社村田製作所 弾性表面波フィルタ装置
KR100609219B1 (ko) * 2001-04-09 2006-08-02 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성표면파 장치 및 통신 장치
US6798318B1 (en) 2001-04-27 2004-09-28 Sawtek, Inc. Hybrid leaky surface acoustic wave resonator filter
US6861927B1 (en) 2001-04-27 2005-03-01 Sawtek, Inc. Longitudinally coupled leaky surface acoustic wave resonator filter
EP1263137B1 (en) * 2001-05-31 2017-07-26 Skyworks Filter Solutions Japan Co., Ltd. Surface acoustic wave filter, balanced type filter and communication device
EP1276235A1 (en) * 2001-07-13 2003-01-15 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Surface acoustic wave filter and communication device using the filter
JP3685102B2 (ja) * 2001-07-27 2005-08-17 株式会社村田製作所 弾性表面波フィルタ、通信装置
JP3826816B2 (ja) * 2001-08-29 2006-09-27 株式会社村田製作所 弾性表面波装置
JP4090250B2 (ja) * 2001-12-10 2008-05-28 富士通メディアデバイス株式会社 弾性表面波フィルタ
JP2003283290A (ja) * 2002-01-21 2003-10-03 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波装置およびそれを有する通信装置
JP3826877B2 (ja) * 2002-01-22 2006-09-27 株式会社村田製作所 弾性表面波装置およびそれを有する通信装置
US6882250B2 (en) * 2002-04-15 2005-04-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. High-frequency device and communication apparatus
JP3764731B2 (ja) * 2002-10-18 2006-04-12 富士通メディアデバイス株式会社 多重モード弾性表面波フィルタ及び分波器
JP3985717B2 (ja) * 2003-04-10 2007-10-03 株式会社村田製作所 弾性表面波装置およびそれを用いた通信装置
CN100452650C (zh) * 2003-07-02 2009-01-14 京瓷株式会社 弹性表面波装置及使用该装置的通信装置
DE102004032930A1 (de) * 2004-07-07 2006-02-02 Epcos Ag Beidseitig symmetrisch betreibbares Filter mit Volumenwellenresonatoren
CN100499368C (zh) * 2004-08-23 2009-06-10 株式会社村田制作所 平衡型声表面波滤波器
JP4069917B2 (ja) 2004-09-15 2008-04-02 株式会社村田製作所 バランス型弾性表面波フィルタ
EP1830466B1 (en) 2004-12-24 2013-07-31 Murata Manufacturing Co., Ltd. Balance type saw filter
DE102005032058B4 (de) * 2005-07-08 2016-12-29 Epcos Ag HF-Filter mit verbesserter Gegenbandunterdrückung
EP1933457B1 (en) 2005-10-03 2015-03-04 Murata Manufacturing Co., Ltd. Elastic wave filter device and duplexer
JP4725647B2 (ja) * 2006-04-06 2011-07-13 株式会社村田製作所 デュプレクサ
WO2007148510A1 (ja) * 2006-06-21 2007-12-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. 弾性波フィルタ装置及びデュプレクサ
JP2008035007A (ja) 2006-07-27 2008-02-14 Fujitsu Media Device Kk フィルタ
JPWO2008038502A1 (ja) 2006-09-25 2010-01-28 株式会社村田製作所 弾性境界波フィルタ装置
US8427258B2 (en) 2007-07-26 2013-04-23 Kyocera Corporation Surface acoustic wave device and communication device
CN101971496B (zh) * 2008-03-14 2013-11-06 松下电器产业株式会社 弹性波滤波器、使用其的双工器以及电子设备
WO2010035372A1 (ja) * 2008-09-24 2010-04-01 株式会社村田製作所 弾性波フィルタ装置
JP2010251964A (ja) * 2009-04-14 2010-11-04 Murata Mfg Co Ltd 弾性波フィルタ及び通信機
JP5281489B2 (ja) * 2009-06-09 2013-09-04 太陽誘電株式会社 弾性表面波デバイス
WO2010146826A1 (ja) 2009-06-18 2010-12-23 パナソニック株式会社 ラダー型弾性波フィルタ及びこれを用いたデュプレクサ
EP2490333B1 (en) * 2009-10-13 2019-09-04 Murata Manufacturing Co., Ltd. Surface acoustic wave device
DE102010008774B4 (de) 2010-02-22 2015-07-23 Epcos Ag Mikroakustisches Filter mit kompensiertem Übersprechen und Verfahren zur Kompensation
JP6085147B2 (ja) * 2012-11-15 2017-02-22 太陽誘電株式会社 弾性波デバイスおよびその製造方法
JP2015119258A (ja) * 2013-12-17 2015-06-25 株式会社村田製作所 弾性波フィルタ装置
WO2016158051A1 (ja) 2015-03-27 2016-10-06 株式会社村田製作所 弾性波共振子、弾性波フィルタ及びデュプレクサ
KR102074631B1 (ko) 2016-08-05 2020-02-06 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성 표면파 필터, 고주파 모듈 및 멀티플렉서
JP6888607B2 (ja) 2018-12-28 2021-06-16 株式会社村田製作所 弾性波フィルタ及びマルチプレクサ
CN113746449B (zh) * 2021-11-05 2022-11-04 成都频岢微电子有限公司 一种弹性波宽带滤波器

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3160023B2 (ja) 1991-08-21 2001-04-23 東洋通信機株式会社 縦結合二重モードsawフィルタ
CA2110362C (en) * 1992-12-01 1998-01-06 Hiromi Yatsuda Surface acoustic wave filter and mobile communication system using same
CA2178438C (en) 1995-06-16 2001-11-20 Ji-Dong Dai Cascaded surface wave device filters
DE69620134T2 (de) 1995-12-28 2002-07-18 Murata Manufacturing Co Akustisches Oberflächenwellenresonatorfilter mit longitudinaler Kopplung
JPH10190394A (ja) * 1996-12-25 1998-07-21 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波共振子フィルタ
DE19849782B4 (de) * 1998-10-28 2004-09-30 Epcos Ag Oberflächenwellenanordnung mit zumindest zwei Oberflächenwellen-Strukturen
JP3358615B2 (ja) * 2000-06-26 2002-12-24 株式会社村田製作所 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ

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