JPH0828642B2 - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
- Publication number
- JPH0828642B2 JPH0828642B2 JP4048450A JP4845092A JPH0828642B2 JP H0828642 B2 JPH0828642 B2 JP H0828642B2 JP 4048450 A JP4048450 A JP 4048450A JP 4845092 A JP4845092 A JP 4845092A JP H0828642 B2 JPH0828642 B2 JP H0828642B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- surface acoustic
- acoustic wave
- wave filter
- substrate
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波フィルタに関
し、さらに詳細には３６°ＹカットＸ方向伝搬ＬｉＴａ
Ｏ3 基板を使用した弾性表面波フィルタに関する。
し、さらに詳細には３６°ＹカットＸ方向伝搬ＬｉＴａ
Ｏ3 基板を使用した弾性表面波フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】移動体通信機の小型化にともない、小型
かつ軽量の弾性表面波フィルタが要求されている。特に
ＲＦ帯のフィルタとしては従来使用されていた誘電体フ
ィルタの小型化が難しく弾性表面波フィルタの開発が進
められている。このＲＦ帯のフィルタには低損失、高選
択性、高帯域外減衰特性が要求されていて、一般には多
電極構成方法が使用される。多電極構成方法による多電
極方式弾性表面波フィルタにおいて、電極数を多くする
ことによって低損失化が可能である。また、基板として
は高選択性の要求から、一般に温度特性の比較的良好な
３６°ＹカットＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ3 基板が使用され
る。
かつ軽量の弾性表面波フィルタが要求されている。特に
ＲＦ帯のフィルタとしては従来使用されていた誘電体フ
ィルタの小型化が難しく弾性表面波フィルタの開発が進
められている。このＲＦ帯のフィルタには低損失、高選
択性、高帯域外減衰特性が要求されていて、一般には多
電極構成方法が使用される。多電極構成方法による多電
極方式弾性表面波フィルタにおいて、電極数を多くする
ことによって低損失化が可能である。また、基板として
は高選択性の要求から、一般に温度特性の比較的良好な
３６°ＹカットＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ3 基板が使用され
る。
【０００３】また、弾性表面波フィルタの電極指は図５
に示すように入力電極および出力電極それぞれにおける
電極指の線幅Ｌｍと電極指間の空隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ
／Ｌｇ）が通常１になるように設定される。このように
設定された弾性表面波フィルタの周波数特性は図６に示
す如くである。ここで図６は電極指対数１８の入力電極
が７個、電極指対数２６の出力電極が６個で構成された
弾性表面波フィルタの例である。
に示すように入力電極および出力電極それぞれにおける
電極指の線幅Ｌｍと電極指間の空隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ
／Ｌｇ）が通常１になるように設定される。このように
設定された弾性表面波フィルタの周波数特性は図６に示
す如くである。ここで図６は電極指対数１８の入力電極
が７個、電極指対数２６の出力電極が６個で構成された
弾性表面波フィルタの例である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、３６°Ｙカ
ットＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ3 基板を使用した多電極方式
弾性表面波フィルタの場合、図６に示したように一般的
に周波数特性において、周波数が高い領域の損失が大き
いという問題点があった。
ットＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ3 基板を使用した多電極方式
弾性表面波フィルタの場合、図６に示したように一般的
に周波数特性において、周波数が高い領域の損失が大き
いという問題点があった。
【０００５】３６°ＹカットＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ3 基
板を伝搬する波は基板表面の電気的状態によって大きく
変化し、いわゆるＳＳＢＷ（Surface Skimming Bulk Wa
ve)とＬＳＡＷ（Leaky Surface Acoustic Wave)が複雑
に結合したグレーティングモードとして伝搬する（「高
結合回転ＹカットＬｉＮｂＯ3 およびＬｉＴａＯ3 を伝
搬するＳＳＢＷと Leaky ＳＡＷ」電子通信学会論文誌
Vol.Ｊ67−Ｃ No.1P. 158 − 165（１９８４））。
板を伝搬する波は基板表面の電気的状態によって大きく
変化し、いわゆるＳＳＢＷ（Surface Skimming Bulk Wa
ve)とＬＳＡＷ（Leaky Surface Acoustic Wave)が複雑
に結合したグレーティングモードとして伝搬する（「高
結合回転ＹカットＬｉＮｂＯ3 およびＬｉＴａＯ3 を伝
搬するＳＳＢＷと Leaky ＳＡＷ」電子通信学会論文誌
Vol.Ｊ67−Ｃ No.1P. 158 − 165（１９８４））。
【０００６】しかし、このグレーティングモードは速い
横波と結合すると、バルク波としてエネルギを基板内部
に放射する。このエネルギ放射には周波数特性があり、
フィルタ特性とした場合の通過帯域特性に影響を及ぼす
と考えられる。
横波と結合すると、バルク波としてエネルギを基板内部
に放射する。このエネルギ放射には周波数特性があり、
フィルタ特性とした場合の通過帯域特性に影響を及ぼす
と考えられる。
【０００７】本発明は３６°ＹカットＸ方向伝搬ＬｉＴ
ａＯ3 基板を使用し、通過帯域特性を改善した弾性表面
波フィルタを提供することを目的とする。
ａＯ3 基板を使用し、通過帯域特性を改善した弾性表面
波フィルタを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波フィ
ルタは、３６°ＹカットＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ3 を基板
とし、該基板上に入力電極と出力電極の合計が３個以上
で構成された多電極方式弾性表面波フィルタにおいて、
入力電極および出力電極それぞれにおける電極指の線幅
Ｌｍと電極指間の空隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）を
１．２＜（Ｌｍ／Ｌｇ）＜３の範囲としたことを特徴と
する。
ルタは、３６°ＹカットＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ3 を基板
とし、該基板上に入力電極と出力電極の合計が３個以上
で構成された多電極方式弾性表面波フィルタにおいて、
入力電極および出力電極それぞれにおける電極指の線幅
Ｌｍと電極指間の空隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）を
１．２＜（Ｌｍ／Ｌｇ）＜３の範囲としたことを特徴と
する。
【０００９】
【作用】本発明の弾性表面波フィルタによれば、入力電
極および出力電極それぞれにおける電極指の線幅Ｌｍと
電極指間の空隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）を１．２＜
（Ｌｍ／Ｌｇ）＜３の範囲としたためバルク波の放射が
抑えられて、通過帯域特性は向上し、かつ入力インピー
ダンスの変化が大きくなく、製造が容易となる。
極および出力電極それぞれにおける電極指の線幅Ｌｍと
電極指間の空隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）を１．２＜
（Ｌｍ／Ｌｇ）＜３の範囲としたためバルク波の放射が
抑えられて、通過帯域特性は向上し、かつ入力インピー
ダンスの変化が大きくなく、製造が容易となる。
【００１０】
【実施例】以下本発明を実施例によって説明する。
【００１１】図１は本発明の一実施例の構成を示す電極
指部分の拡大図である。
指部分の拡大図である。
【００１２】本実施例の弾性表面波フィルタは図４に示
すように多電極方式弾性表面波フィルタ１０で構成して
あり、３６°ＹカットＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ3 基板１
と、３６°ＹカットＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ3 基板１上に
形成した入力電極１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１
１ｅおよび出力電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄと
から構成してあり、その電極指Ｅ1 、Ｅ2 、Ｅ3 、…と
電極指間の空隙Ｇ1 、Ｇ 2 、Ｇ3 、…とは図１に拡大し
て示すように、電極指Ｅｉ（ｉ＝１、２、３…）の線幅
Ｌｍと、電極指Ｅi+1 と電極指Ｅi との間の空隙幅Ｌｇ
との比（Ｌｍ／Ｌｇ）が２．３になるように形成してあ
る。なお、図１には入力電極側を示しているが、出力電
極側も同一である。
すように多電極方式弾性表面波フィルタ１０で構成して
あり、３６°ＹカットＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ3 基板１
と、３６°ＹカットＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ3 基板１上に
形成した入力電極１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１
１ｅおよび出力電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄと
から構成してあり、その電極指Ｅ1 、Ｅ2 、Ｅ3 、…と
電極指間の空隙Ｇ1 、Ｇ 2 、Ｇ3 、…とは図１に拡大し
て示すように、電極指Ｅｉ（ｉ＝１、２、３…）の線幅
Ｌｍと、電極指Ｅi+1 と電極指Ｅi との間の空隙幅Ｌｇ
との比（Ｌｍ／Ｌｇ）が２．３になるように形成してあ
る。なお、図１には入力電極側を示しているが、出力電
極側も同一である。
【００１３】上記のように構成した本実施例の多電極方
式弾性表面波フィルタ１０においてはバルク波の放射が
抑えられて、電極指対数１８の入力電極が７個、電極指
対数２６の出力電極が６個で構成した多電極方式弾性表
面波フィルタ１０の周波数特性を測定したとき図２に示
す如くであった。図２からも明らかなように周波数特性
において、周波数が高い領域において損失の増加はなく
なっている。これは図６との比較からも明らかである。
式弾性表面波フィルタ１０においてはバルク波の放射が
抑えられて、電極指対数１８の入力電極が７個、電極指
対数２６の出力電極が６個で構成した多電極方式弾性表
面波フィルタ１０の周波数特性を測定したとき図２に示
す如くであった。図２からも明らかなように周波数特性
において、周波数が高い領域において損失の増加はなく
なっている。これは図６との比較からも明らかである。
【００１４】ここで、電極指の線幅Ｌｍと電極指間の空
隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）を変化させたときの多電
極方式弾性表面波フィルタ１０の帯域内最大挿入損失は
図３に示すように凹特性を示し、電極指の線幅Ｌｍと電
極指間の空隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）が２．３のと
きに最小であった。
隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）を変化させたときの多電
極方式弾性表面波フィルタ１０の帯域内最大挿入損失は
図３に示すように凹特性を示し、電極指の線幅Ｌｍと電
極指間の空隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）が２．３のと
きに最小であった。
【００１５】一方、電極指の線幅Ｌｍと電極指間の空隙
幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）が大きい程、バルク波の放
射が抑えられ、バルク波放射による減衰は小さくなっ
て、通過帯域特性の平坦性は保たれる。しかし、電極指
の線幅Ｌｍと電極指間の空隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌ
ｇ）が大きい程、電極の静電容量の変化率も大きくなっ
て、多電極方式弾性表面波フィルタ１０の入力インピー
ダンスが大きく変化するため、製造上の歩留りは低下し
ていく。
幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）が大きい程、バルク波の放
射が抑えられ、バルク波放射による減衰は小さくなっ
て、通過帯域特性の平坦性は保たれる。しかし、電極指
の線幅Ｌｍと電極指間の空隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌ
ｇ）が大きい程、電極の静電容量の変化率も大きくなっ
て、多電極方式弾性表面波フィルタ１０の入力インピー
ダンスが大きく変化するため、製造上の歩留りは低下し
ていく。
【００１６】そこで、電極指の線幅Ｌｍと電極指間の空
隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）を、１．２＜（Ｌｍ／Ｌ
ｇ）＜３の範囲としたとき周波数特性はほぼ図２と同様
であって、通過帯域特性の平坦性も保たれ、最大挿入損
失も３ｄＢ程度に抑えられ、かつ製造上の歩留りも良好
であった。
隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）を、１．２＜（Ｌｍ／Ｌ
ｇ）＜３の範囲としたとき周波数特性はほぼ図２と同様
であって、通過帯域特性の平坦性も保たれ、最大挿入損
失も３ｄＢ程度に抑えられ、かつ製造上の歩留りも良好
であった。
【００１７】なお、電極指をアポダイズ法によって重み
づけした場合も、チルト型に重みづけした場合でも同様
である。
づけした場合も、チルト型に重みづけした場合でも同様
である。
【００１８】
【発明の効果】以上説明した如く本発明によれば、３６
°ＹカットＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ3 を基板とし、該基板
上に入力電極と出力電極の合計が３個以上で構成された
多電極方式弾性表面波フィルタにおいて、入力電極およ
び出力電極それぞれにおける電極指の線幅Ｌｍと電極指
間の空隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）を１．２＜（Ｌｍ
／Ｌｇ）＜３の範囲としたため、バルク波の放射が抑え
られ、通過帯域特性が向上する効果がある。さらに入力
インピーダンスの変化も少なくてすみ、歩留りも向上す
る効果もある。
°ＹカットＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ3 を基板とし、該基板
上に入力電極と出力電極の合計が３個以上で構成された
多電極方式弾性表面波フィルタにおいて、入力電極およ
び出力電極それぞれにおける電極指の線幅Ｌｍと電極指
間の空隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）を１．２＜（Ｌｍ
／Ｌｇ）＜３の範囲としたため、バルク波の放射が抑え
られ、通過帯域特性が向上する効果がある。さらに入力
インピーダンスの変化も少なくてすみ、歩留りも向上す
る効果もある。
【図１】本発明の一実施例の構成を示す電極指部分の拡
大図である。
大図である。
【図２】本発明の一実施例にける周波数特性図である。
【図３】本発明の一実施例における電極指の線幅Ｌｍと
電極指間の空隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）対帯域内最
大挿入損失を示す特性図図である。
電極指間の空隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）対帯域内最
大挿入損失を示す特性図図である。
【図４】多電極方式弾性表面波フィルタの構成を示す模
式図である。
式図である。
【図５】従来例における電極指部分の拡大図である。
【図６】従来例における周波数特性図である。
１…３６°ＹカットＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ3 基板 １０…多電極方式弾性表面波フィルタ １１ａ〜１１ｅ…入力電極 １２ａ〜１２ｄ…出力電極
Claims (1)
- 【請求項１】３６°ＹカットＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ3 を
基板とし、該基板上に入力電極と出力電極の合計が３個
以上で構成された多電極方式弾性表面波フィルタにおい
て、入力電極および出力電極それぞれにおける電極指の
線幅Ｌｍと電極指間の空隙幅Ｌｇとの比（Ｌｍ／Ｌｇ）
を１．２＜（Ｌｍ／Ｌｇ）＜３の範囲としたことを特徴
とする弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4048450A JPH0828642B2 (ja) | 1992-03-05 | 1992-03-05 | 弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4048450A JPH0828642B2 (ja) | 1992-03-05 | 1992-03-05 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05251982A JPH05251982A (ja) | 1993-09-28 |
| JPH0828642B2 true JPH0828642B2 (ja) | 1996-03-21 |
Family
ID=12803688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4048450A Expired - Fee Related JPH0828642B2 (ja) | 1992-03-05 | 1992-03-05 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0828642B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5420472A (en) * | 1992-06-11 | 1995-05-30 | Motorola, Inc. | Method and apparatus for thermal coefficient of expansion matched substrate attachment |
| US6674215B1 (en) | 1999-11-16 | 2004-01-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Elastic wave device |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS564913A (en) * | 1979-06-27 | 1981-01-19 | Nec Corp | Elastic surface wave transducer |
-
1992
- 1992-03-05 JP JP4048450A patent/JPH0828642B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS564913A (en) * | 1979-06-27 | 1981-01-19 | Nec Corp | Elastic surface wave transducer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05251982A (ja) | 1993-09-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090321 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090321 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100321 Year of fee payment: 14 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |