DE19547131A1 - Verfahren zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke - Google Patents

Verfahren zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke

Info

Publication number
DE19547131A1
DE19547131A1 DE19547131A DE19547131A DE19547131A1 DE 19547131 A1 DE19547131 A1 DE 19547131A1 DE 19547131 A DE19547131 A DE 19547131A DE 19547131 A DE19547131 A DE 19547131A DE 19547131 A1 DE19547131 A1 DE 19547131A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
propane
methane
carbon
plasma
furnace
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19547131A
Other languages
English (en)
Inventor
Winfried Dipl Phys Graefen
Bernd Edenhofer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ipsen International GmbH
Original Assignee
Ipsen International GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=7780384&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE19547131(A1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Ipsen International GmbH filed Critical Ipsen International GmbH
Priority to DE19547131A priority Critical patent/DE19547131A1/de
Priority to EP96118592A priority patent/EP0779376B2/de
Priority to AT96118592T priority patent/ATE189271T1/de
Priority to DE59604291T priority patent/DE59604291D1/de
Priority to US08/766,282 priority patent/US5851314A/en
Publication of DE19547131A1 publication Critical patent/DE19547131A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/36Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
    • C23C8/38Treatment of ferrous surfaces

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
  • Arc Welding In General (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke in einem Ofen, wobei die Ofenatmosphäre einen Kohlenstoff-Trä­ ger enthält, der unter den Prozeßbedingungen der Plasmaaufkohlung unter Abgabe von reinem Kohlenstoff gespalten wird.
Unter den thermochemischen Behandlungsverfahren zur Einsatzhärtung metal­ lischer Werkstücke haben sich in den letzten Jahren neben der konventionel­ len Gasaufkohlung immer mehr die Aufkohlungsprozesse in Vakuumanlagen durchgesetzt, da nur mit diesen Verfahren eine randoxidationsfreie Aufkohlung realisierbar ist. Bei diesen Aufkohlungsprozessen in Vakuumanlagen handelt es sich um die Niederdruck- und die Plasmaaufkohlung. Da bei diesen Auf­ kohlungsverfahren ohne sauerstoffhaltige Reaktionsgase gearbeitet wird, kann keine C-Pegelregelung erfolgen; die entscheidende Kenngröße für den Koh­ lenstoffübergang ist bei diesen Verfahren die Kohlenstoff-Massenstromdichte, die als Kohlenstoffmenge definiert ist, die pro Zeit- und Flächeneinheit in den Werkstoff übergeht. Dieser zur Aufkohlung benötigte Kohlenstoff wird von einem in der Ofenatmosphäre befindlichen Kohlenstoff-Träger - meist einem Kohlenwasserstoff - zur Verfügung gestellt, der bei den gegebenen Pro­ zeßbedingungen unter Abgabe von reinem Kohlenstoff gespalten wird.
Bei den bekannten Niederdruck-Aufkohlungsverfahren wird als Kohlenstoff-Träger in der Regel Propan (C₃H₈) verwendet, weiches im Laufe der soge­ nannten Propanpyrolyse nach folgenden Reaktionsgleichungen gespalten wird:
C₃H₈ → CH₄ + C₂H₄
C₂H₄ → 2C + 2H₂
CH₄ → C + 2H₂
Bei der Plasmaaufkohlung wird als Kohlenstoff-Träger meist Methan (CH₄) verwendet, welches im Wege der Methanpyrolyse nach der Gleichung
CH₄ → C + 2H₂
gespalten wird. Bei der Plasmaaufkohlung ist es jedoch auch möglich, anstelle von Methan Propan zu verwenden.
Die Verwendung von Methan oder Propan als Kohlenstoff-Träger ist jeweils mit verschiedenen Vor- und Nachteilen verbunden. So ist beispielsweise Pro­ pan aufgrund seiner größeren Anzahl von Kohlenstoffatomen - 3 C-Atome beim Propan gegenüber 1 C-Atom beim Methan - ein wirksamerer Kohlenstoff-Träger als Methan. Andererseits weist Propan jedoch den Nachteil auf, daß Propan bereits im Temperaturbereich über 600°C thermisch gespalten wird, wodurch bereits im Ofen eine Aufkohlung stattfindet, die zum Verrußen des Ofens führt. Methan hingegen weist zwar nur ein C-Atom auf, jedoch ist das Methan-Molekül so stabil, daß es nicht bereits bei der notwendigen Aufkohlungstemperatur gespalten wird. Die Spaltung erfolgt vielmehr erst im Plasma und somit wirklich nur an der Werkstückoberfläche. Da die Kohlenstoff-Massenstromdichte bei der Spaltung von Methan nur sehr gering ist, lassen sich großflächige Chargen nur sehr schwer gleichmäßig mit Methan aufkohlen.
In Anbetracht des voranstehend geschilderten Standes der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke bereitzustellen, das eine Aufkohlung mit einer hohen Kohlenstoff-Massenstromdichte gewährleistet, ohne daß gleichzeitig die Ge­ fahr der Verrußung des Ofens besteht.
Überraschenderweise hat sich im Laufe der Versuche herausgestellt, daß diese Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst wird, daß als Kohlenstoff-Träger ein Gemisch aus Methan und Propan verwendet wird.
Das Erreichen der hohen Kohlenstoff-Massenstromdichte einerseits und das Vermeiden der Verrußung des Ofens andererseits kommt dabei dadurch zu­ stande, daß Propan aufgrund seiner drei C-Atome bei der thermischen und elektrischen Spaltung im Plasma viel mehr Kohlenstoff zur Verfügung stellen kann als Methan. Das Methan auf der anderen Seite spaltet sich bei den Auf­ kohlungstemperaturen zwischen 800°C und 1000°C fast gar nicht. Die Spal­ tung des Methans findet erst im Plasma, also wirklich nur an der Werkstück­ oberfläche statt, so daß diese frei werdenden Kohlenstoff-Atome nur zum Aufkohlen der Werkstücke, nicht jedoch zur Verrußung des Ofens beitragen können.
Bei den Versuchen hat sich herausgestellt, daß ein Methan-Propan-Gemisch mit bis zu 60 Vol.-% Propan, insbesondere einem Propan-Anteil von 5 bis 50 Vol.-% besonders geeignet ist, um ohne Rußbildung eine hohe Kohlenstoff-Massenstromdichte bzw. Kohlenstoff-Übertragungsrate zu erhalten.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfah­ rens beträgt der Gasdruck in der Ofenatmosphäre unter 10 mbar, da in diesem Druckbereich eine thermische Spaltung des Methans nahezu unmöglich ist.
Neben dem Methan-Propan-Gemisch kann die Ofenatmosphäre zusätzlich noch weitere Gase, insbesondere Wasserstoff und/oder Argon enthalten, welche als Inertgase zusätzlich die Oxidation der Werkstücke verhindern sollen.
In der Zeichnung ist für den Werkstoff 27 CrMo 4 der Härteverlauf nach dem Plasmaaufkohlungsverfahren mit einem Methan-Propan-Gemisch als Kohlen­ stoff-Träger dargestellt.
Die Prozeßparameter für den in der Abbildung dargestellten Plasmaauf­ kohlungsprozeß waren:
  • - zehnminütiges Aufkohlen bei einer Aufkohlungstemperatur von 940°C.
  • - Die anschließende Diffusionsphase betrug 51 Minuten,
  • - woran anschließend nach dem Absenken auf die Härtetemperatur von 860°C die Charge mittels Hochdruckgasabschreckung abgeschreckt wurde.
Als Ergebnis dieses Prozesses wurde eine Einsatzhärtungstiefe (550 HV 1) von 0,7 mm auf der Zahnflanke erzielt.
Mit dem voranstehend dargestellten Verfahren ist es somit möglich, durch die Verwendung des Methan-Propan-Gemisches als Kohlenstoff-Träger die Koh­ lenstoff-Massenstromdichte bei der Plasmaaufkohlung deutlich zu erhöhen, ohne daß die Gefahr der Verrußung des Ofens besteht.

Claims (6)

1. Verfahren zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke in einem Ofen, wobei die Ofenatmosphäre einen Kohlenstoff-Träger enthält, der unter den Prozeßbedingungen der Plasmaaufkohlung unter Abgabe von reinem Kohlenstoff gespalten wird, dadurch gekennzeichnet, daß als Kohlenstoff-Träger ein Gemisch aus Methan und Propan verwen­ det wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Methan- Propan-Gemisch bis zu 60 Vol.-% Propan enthält.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Propan-Anteil in dem Methan-Propan-Gemisch 5 bis 50 Vol.-% beträgt.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Gasdruck der Ofenatmosphäre unter 10 mbar beträgt.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß in der Ofenatmosphäre neben dem Kohlenstoff-Träger noch andere Gase enthalten sind.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Ofenat­ mosphäre zusätzlich noch Wasserstoff und/oder Argon enthält.
DE19547131A 1995-12-16 1995-12-16 Verfahren zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke Withdrawn DE19547131A1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19547131A DE19547131A1 (de) 1995-12-16 1995-12-16 Verfahren zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke
EP96118592A EP0779376B2 (de) 1995-12-16 1996-11-20 Verfahren zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke
AT96118592T ATE189271T1 (de) 1995-12-16 1996-11-20 Verfahren zur plasmaaufkohlung metallischer werkstücke
DE59604291T DE59604291D1 (de) 1995-12-16 1996-11-20 Verfahren zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke
US08/766,282 US5851314A (en) 1995-12-16 1996-12-13 Method for plasma carburization of metal workpieces

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19547131A DE19547131A1 (de) 1995-12-16 1995-12-16 Verfahren zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19547131A1 true DE19547131A1 (de) 1997-06-19

Family

ID=7780384

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19547131A Withdrawn DE19547131A1 (de) 1995-12-16 1995-12-16 Verfahren zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke
DE59604291T Expired - Fee Related DE59604291D1 (de) 1995-12-16 1996-11-20 Verfahren zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE59604291T Expired - Fee Related DE59604291D1 (de) 1995-12-16 1996-11-20 Verfahren zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5851314A (de)
EP (1) EP0779376B2 (de)
AT (1) ATE189271T1 (de)
DE (2) DE19547131A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006040814A1 (de) * 2006-08-31 2008-03-06 Schaeffler Kg Verfahren zum Erzeugen einer hoch einsatzhärtbaren Wälzlagerkomponente
DE102004053935B4 (de) * 2004-11-09 2015-04-09 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Verfahren zur Wärmebehandlung eines Bauteils aus einem durchhärtenden warmfesten Stahl und Bauteil aus einem durchhärtenden warmfesten Stahl

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19815233A1 (de) * 1998-04-04 1999-10-07 Ald Vacuum Techn Gmbh Verfahren zur Vakuumaufkohlung unter Behandlungsgas
US20050016831A1 (en) * 2003-07-24 2005-01-27 Paganessi Joseph E. Generation of acetylene for on-site use in carburization and other processes
KR101622306B1 (ko) * 2009-10-29 2016-05-19 삼성전자주식회사 그라펜 시트, 이를 포함하는 그라펜 기재 및 그의 제조방법

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58113371A (ja) * 1981-12-28 1983-07-06 Seiko Epson Corp プラズマ表面硬化法
US5139584A (en) 1989-07-13 1992-08-18 Solo Fours Industriels Sa Carburization process
US5383980A (en) * 1992-01-20 1995-01-24 Leybold Durferrit Gmbh Process for hardening workpieces in a pulsed plasma discharge
DE4427902C1 (de) * 1994-08-06 1995-03-30 Leybold Durferrit Gmbh Verfahren zum Aufkohlen von Bauteilen aus kohlungsfähigen Werkstoffen mittels einer impulsförmig betriebenen Plasmaentladung

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004053935B4 (de) * 2004-11-09 2015-04-09 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Verfahren zur Wärmebehandlung eines Bauteils aus einem durchhärtenden warmfesten Stahl und Bauteil aus einem durchhärtenden warmfesten Stahl
DE102006040814A1 (de) * 2006-08-31 2008-03-06 Schaeffler Kg Verfahren zum Erzeugen einer hoch einsatzhärtbaren Wälzlagerkomponente

Also Published As

Publication number Publication date
EP0779376A1 (de) 1997-06-18
EP0779376B1 (de) 2000-01-26
ATE189271T1 (de) 2000-02-15
EP0779376B2 (de) 2002-12-18
DE59604291D1 (de) 2000-03-02
US5851314A (en) 1998-12-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2340282C3 (de) Verfahren zum Härten der Oberfläche eines Substrats durch Implantieren von Metallionen in die Oberfläche des Substrats und Aufbringen eines Metallüberzugs
DE2824171A1 (de) Verfahren zum aufkohlen von stahl
DE2417179B2 (de) Verfahren zum karburieren hochlegierter staehle
DE3104112A1 (de) Verfahren zur herstellung schuetzender oxidschichten
EP0662525B1 (de) Verfahren zur Vermeidung von Randoxidation beim Aufkohlen von Stählen
EP0882811B1 (de) Verfahren zur Aufkohlung metallischer Werkstücke in einem Vakuum-Ofen
DE19547131A1 (de) Verfahren zur Plasmaaufkohlung metallischer Werkstücke
DE10322255B4 (de) Verfahren zur Hochtemperaturaufkohlung von Stahlteilen
EP0031034B1 (de) Verfahren zum regelbaren Aufkohlen oder Erwärmen in Schutzgas von Werkstücken aus Stahl
AT404139B (de) Verfahren zur wärmebehandlung von werkstücken unter behandlungsgas
DE2319673C2 (de) Verfahren zur Beschichtung von Stahloberflächen
DE2435026A1 (de) Verfahren zur herstellung eines schutzgases mit definierter kohlungswirkung
EP0049531B1 (de) Verfahren zum Einsatzhärten metallischer Werkstücke
DE2819219A1 (de) Verfahren zur kohlenwasserstoffumwandlung
DE19920297A1 (de) Verfahren zur Wärmebehandlung metallischer Werkstücke
DE2146472C3 (de) Pulverförmiges Borierungsmittel
DE4005710C1 (en) Two=stage nitro:carburising for iron - comprises heating in furnace with catalyst in presence of methanol, ammonia and nitrogen
DD271719A1 (de) Fluessiges mittel zur gasaufkohlung und/oder schutzgaserzeugung nach dem tropfgasverfahren
DE10162702C1 (de) Verfahren zur Vermeidung von Klebern und Kratzern beim Rekristallisationsglühen von Kaltband
EP0076488B1 (de) Verfahren zur Herstellung von Fe2B-Schichten auf Werkstücken aus Eisenbasislegierungen
WO2001055471A1 (de) Verfahren zum karbonitrieren von kohlenstoffreichen und hochlegierten stählen
DE1165377B (de) Verfahren zum Herstellen von Titancarbidueberzuegen durch Gasplattieren
DE823887C (de) Einsatzhaerten von Werkstuecken aus Eisen
DE1621303C (de) Verfahren zur gleichzeitigen Eindif fusion von Cr, Al und gegebenenfalls Si in die Oberflache hitzebestandiger Metalle
EP0096104A1 (de) Verfahren zum Herstellen einer Stickstoff und Wasserstoff enthaltenden Gasatmosphäre

Legal Events

Date Code Title Description
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: IPSEN INTERNATIONAL GMBH, 47533 KLEVE, DE

8130 Withdrawal