DE1872781U - Mehrpolige magnetische linse, insbesondere quadrupollinse. - Google Patents
Mehrpolige magnetische linse, insbesondere quadrupollinse.Info
- Publication number
- DE1872781U DE1872781U DEB47298U DEB0047298U DE1872781U DE 1872781 U DE1872781 U DE 1872781U DE B47298 U DEB47298 U DE B47298U DE B0047298 U DEB0047298 U DE B0047298U DE 1872781 U DE1872781 U DE 1872781U
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- magnetic
- lens
- coils
- hats
- multipole magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/14—Lenses magnetic
- H01J37/141—Electromagnetic lenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/10—Lenses
- H01J2237/14—Lenses magnetic
- H01J2237/1405—Constructional details
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Description
RA.816 632*211162
BBC
BROWN, BOVERI & CIE Mannheim, den 19.12.1962
Aktiengesellschaft Pat/lld/W
MANNHEIM
Mp.-Hr. 72.2/61
" Mehrpolige magnetische Linse, insbes. Quadrupollinse Tt.
Zur fokussierung von durch Magnetfelder ablenkbaren leilchenstrahlen
(Elektronen- oder Ionenstrahlen) werden vielfach magnetische Linsen, sog. Quadrupollinsen verwendet·
In der Pig. 1 ist eine derartige Quadrupollinse dargestellt. In
einem Hing 1 aus magnetisch gut leitendem Material, insbes.Eisen sind um je 90° gegeneinander versetzt 4 Magnetpole 2 angebracht,
die eine von Gleichstrom durchflossene Wicklung J tragen, so daß abwechselnd Nord- und Südpole H und S entstehen.
Die dem Inneren des Ringes zugekehrten Enden 4 der Magnetpole sind so gestaltet, daß die zwischen zwei entgegengesetzten Polen
entstehenden magnetischen Feldlinien nach gleichseitigen Hyperbeln verlaufen.
Wird ein Teilchenstrahlenbündel in einem evakuierten Rohr aus magnetisch nicht leitendem Material durch ein solches Magnetfeld
hindurchgeleitet, so werden die Strahlen in der Eichtung der einen
Verbindungslinie gleichnamiger Pole stark fokussiert in Richtung der anderen Verbindungslinie gleichnamiger Pole dagegen zerstreut.
Werden zwei derartige Magnetlinsen mit geringem Abstand hintereinander
angeordnet, so wirken sie wie eine Sammellinse bei Lichtstrahlen? d.h. ein von einem Punkt ausgehendes Teilchenstrahlen—
bündel wird nach Durchgang durch die beiden Magnetlinsen in einem Brennpunkt vereinigt.
Mehrere derartige, in Abständen voneinander angeordnete Magnetlinsen-Paare
können auch dazu verwendet werden, um ein Teilchen-
— 2 —
BC-Brlefbogen VIII 3472 (1260.5000/LA)
1
strahlenbündel über längere Entfernungen fortzuleiten, indem die nach dem Durchlaufen des Brennpunktes des ersten Linsenpaares
wieder divergierenden Strahlen in das zweite Linsenpaar gelangen und von diesem wieder in einen zweiten Brennpunkt vereinigt werden
und so fort.
Die Herstellung der Magnetlinsen in der beschriebenen, bekannten Form ist recht schwierig. Der Verlauf der magnetischen Feldlinien
ist nur durch die Gestalt der Oberflächen der Magnetpole bestimmt.
Zur Erzielung des erforderlichen hyperbolischen Verlaufes der magnetischen Feldlinien ist eine sehr genaue Bes-arbeitung der Poloberflächen
erforderlich. Etwaige Fehler daran können nur durch eine umständliche und zeitraubende Nachbearbeitung beseitigt werden·
Der Neuerung liegt die Aufgabe zu Grunde, die Konstruktion derartiger
magnetischer Linsen zu verbessern und ihre Herstellung zu vereinfachen.
Die Neuerung geht von der Erkenntnis aus, daß es möglich ist
im Innern eines ringförmigen Magnetkörpers nach Art des Ständers eines Induktionsmotors mit in Hüten angeordneten Stromleitern
durch geeignete Verteilung des Strombelages auf den inneren Umfang nahezu jede beliebige Verteilung des Magnetfeldes zu erzielen.
Die mehrpolige magnetische Linse, insbes. Quadrupollinse mit hyperbolischem
Verlauf der magnetischen Feldlinien zwischen benachbarten entgegengesetzten Magnetpolen zur Fokussierung von durch Magnetfelder
ablenkbaren teilchenstrahl en nach der !Teuerung besteht aus
einem mit Nuten versehenen ringförmigen Körper aus magnetisch gut leitendem Material und eine auf die Nuten verteilte Wicklung aus
konzentrisch zu jeder Polachse angeordneten Spulen.
Zwe-ßkmäßig ist es, für das Magnetsystem einen ringförmigen Hohlkörper
zu verwenden, der nach Art des Ständers eines Induktionsmotors aus einem Paket von innen mit Nutschlitzen versehenen Blechen
besteht. Unter Umständen können Ständerblechpakete handelsüblicher Induktionsmotoren ohne oder mit geringfügigen Inderungen
verwendet werden.
-3- ' J
In den Pig. 2 und 3 ist eine Quadrupollinse nach der !Feuerung
beispielsweise dargestellt.
Darin ist 5 ein am inneren Umfang mit Hüten 6 versehener beispielsweise
aus Blechen zusammengesetzter Bisenkörper.
In den luten liegen die in zwei Schichten angeordneten leiter
7 und 8.
In Pig. 2 ist ein Beispiel für die Zahl der leiter in jeder Hut und jeder Schicht angegeben.
3?ig. 3 läßt die Schaltung der leiter und die Stromrichtung
darin erkennen. Die mit gleichen Buchstaben und gleichem Ziffernindex bezeichneten leiter z.B. a--a|, b--b- usw. bilden jeweils
eine konzentrisch zu der betreffenden Magnetpolachse liegende Spule.
Die Spulen a.,, b^ , c,, d^,e^ und f -, die im Beispiel in Reihe
geschaltet sind, bilden die Wicklung eines Poles. Die Spulen a2j bm bilden die Wicklung eines anderen Poles.Ebenso bilden
die Spulen a-, br,... und a., b. ····.··· die Wicklung des
dritten und vierten Poles.
Die Zahl der Amplrewindungen der einzelnen Spulen, die zur Erzielung
der vorgesehenen Peldverteilung erforderlich ist, läßt sich nach bekannten Methoden ohne weiteres berechnen.
Es liegt auf der Hand, daß in unmittelbarer laehbarschaft der
Uuten gewisse Unregelmäßigkeiten des Feldes auftreten.Da aber
bei den in Hede stehenden Magnetlinsen der Eaum zwischen den
Polen wegen des zur Portleitung der Teilchenstrahlen erforderlichen
evakuierten Eohres ohnehin nur etwa bis zu 7Qfe>
ausgenützt werden kann, hat dieser Effekt für die Ablenkung des Strahles keine Bedeutung, sofern nur die lutteilung nicht so groß gewählt
ist.
Etwaige geringe Abweichungen von dem erforderlichen hyperbolischen
Verlauf der Feldlinien in dem ausnutzbaren Haum können, bei der
neuerungsgemäßen Gestaltung der Magnetlinsen nötigenfalls durch Änderung der Stromstärke in den einzelnen Spulen korrigiert werden.
Zu diesem Zwecke können nach einer Weiterbildung der Neuerung den einzelnen Spulen Einstellwiderstände zugeordnet werden.
Bei Reihenschaltung der Spulen einer Polwirkung kann jeder Spule
ein solcher Widerstand parallel geschaltet werden, wie dies in Pig. 4 dargestellt ist. Bei Parallelschaltung der Spulen sind
entsprechende Widerstände mit den Spulen in Reihe zu schalten. Unter Umständen kann es auch genügen, mehrere zu einer Gruppe
zusammengefaßte Spulen einen gemeinsamen 'üiiistellwiderstand zuzuordnen.
Die Bauart von Magnetlinsen nach der feuerung bietet gegenüber
der bekannten Bauart entsprechend der Pig. 1 beachtliche Vorteile.
Zunächst ermöglicht die neue Bauart bei gleicher Größe des ausnutzbaren
Feldraumes eine beachtliche Raum- oder Gewichtserspar— nis, wie ein Vergleich der Pig. 1 und 2 ohne weiteres erkennen
läßt. Perner ergibt sich eine Verringerung der erforderlichen Gesamtamplrewindungen
dadurch, daß fast gar kein Streufeld entsteht.
Vor allem aber ist die Herstellung der Linsen wesentlich einfacher,
da eine genaue Bearbeitung der Polflächen nicht erforderlich ist und eine evtle. Korrektur der Peldform nicht durch umständliches
Nacharbeiten der Polflächen, sondern in einfacher Weise durch die Einstellung von Widerständen durchgeführt werden kann.
Ein weiterer Vorteil besteht darin,daß in einfacher Weise durch
eine schräge oder schraubenförmige Anordnung der Nuten eine !Drehung
des Magnetfeldes längs der Linsenachse erreicht werden kann., was
in besonderen Fällen von Nutzen sein kann.
Die beschriebene Bauart ist schließlich auch für eine andere Polzahl
als 4 anwendbar, was ebenfalls in Sonderfällen Bedeutung haben kann.
Claims (4)
1. Mehrpolige magnetische Linse, insbes. Quadrupollinse mit
hyperbolischem Verlauf der magnetischen Feldlinien zwischen benachbarten entgegengesetzten Magnetpolen zur fokussierung
von durch Magnetfelder ablenkbaren Teilchenstrahlen, gekennzeichnet durch einai mit Hüten versehenen ringförmigen
Körper aus magnetisch gut leitendem Material und durch eine auf die Hüten verteilte Wicklung aus konzentrisch zu jeder
Polachse angeordneten Spulen.
2. Mehrpolige magnetische Linse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der ringförmige Körper nach Art des Ständers eines Induktionsmotors aus einem Paket von innen mit Hutschlitzen
versehenen Blechen besteht·
3. Mehrpolige magnetische Linse nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß den einzelnen konzentrischen Magnetspulen
einstellbare Widerstände zugeordnet sind, mit denen die Stromstärke in den einzelnen Spulen oder in Spulengruppen
eingestellt werden kann·
4. Mehrpolige magnetische Linse nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine schräge oder schraubenlinienförmige
Gestaltung der Hüten des ringförmigen Körpers.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEB47298U DE1872781U (de) | 1961-11-25 | 1961-11-25 | Mehrpolige magnetische linse, insbesondere quadrupollinse. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEB47298U DE1872781U (de) | 1961-11-25 | 1961-11-25 | Mehrpolige magnetische linse, insbesondere quadrupollinse. |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1872781U true DE1872781U (de) | 1963-05-30 |
Family
ID=33137796
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEB47298U Expired DE1872781U (de) | 1961-11-25 | 1961-11-25 | Mehrpolige magnetische linse, insbesondere quadrupollinse. |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE1872781U (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1233514B (de) * | 1963-07-15 | 1967-02-02 | Acec | Verfahren zur Herstellung einer vielpoligen magnetischen Linse |
-
1961
- 1961-11-25 DE DEB47298U patent/DE1872781U/de not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1233514B (de) * | 1963-07-15 | 1967-02-02 | Acec | Verfahren zur Herstellung einer vielpoligen magnetischen Linse |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE1413700B2 (de) | Drehmelder | |
DE2555744B2 (de) | Magnetische linse | |
DE1872781U (de) | Mehrpolige magnetische linse, insbesondere quadrupollinse. | |
DE1212234B (de) | Mehrpolige elektromagnetische Linse, insbesondere Quadrupollinse | |
DE603042C (de) | Verfahren und Einrichtung zur Zielbestimmung der Buechsen von Rohrpostanlagen | |
DE688644C (de) | r koaxialen Teillinsen besteht | |
DE963262C (de) | Ablenkspuleneinrichtung fuer Kathodenstrahlroehren und Verfahren zur Einstellung der Spulen | |
DE862203C (de) | Anordnung fuer die magnetische Ablenkung des Elektronenstrahls einer Kathodenstrahlroehre | |
DE1098634B (de) | Stigmator fuer die Korrektion eines Abbildungsfehlers von Elektronenlinsen | |
GB1157750A (en) | Improvements in or relating to Deflection Systems for Corpuscular Beam Apparatus | |
DE949115C (de) | Hochfrequenzgoniomeer, insbesondere Peilgoniometer | |
DE2301483A1 (de) | Drehmelder | |
DE891119C (de) | Magnetische Elektronenlinse | |
DE700505C (de) | Wicklungsanordnung fuer Eisengoniometer | |
DE704879C (de) | Hochfrequenzmaschine mit Induktorlaeufer | |
DE755892C (de) | Goniometer fuer Peilzwecke | |
DE728477C (de) | Goniometer fuer Peilzwecke | |
DE735826C (de) | Ausbildung des im Patent 706538 benutzten Peilgoniometers | |
DE762442C (de) | Spulenanordnung zur Kreisablenkung eines Elektronenstrahles einer Kathodenstrahlroehre | |
DE949583C (de) | Ablenksystem zur elektromagnetischen Ablenkung von Elektronenstrahlen | |
DE735105C (de) | Elektrische Entladungsroehre zur Erzeugung von Elektronen hoher Energie | |
DE667448C (de) | Regeltransformator mit verschiebbaren Eisenkernen | |
DE758548C (de) | Magnetische Elektronenlinse ohne Bilddrehung | |
DE1019407B (de) | Elektronenoptisches Linsensystem fuer Elektronen- oder Ionenmikroskope | |
DE2125539C3 (de) | Fernsehbildwiedergabeanordnung mit einem Ablenkspulensystem |