DE1019407B - Elektronenoptisches Linsensystem fuer Elektronen- oder Ionenmikroskope - Google Patents

Elektronenoptisches Linsensystem fuer Elektronen- oder Ionenmikroskope

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DE1019407B
DE1019407B DEH5685D DEH0005685D DE1019407B DE 1019407 B DE1019407 B DE 1019407B DE H5685 D DEH5685 D DE H5685D DE H0005685 D DEH0005685 D DE H0005685D DE 1019407 B DE1019407 B DE 1019407B
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Germany
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electron
lens system
optical lens
electromagnetic
ion microscopes
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Application number
DEH5685D
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English (en)
Inventor
Dr Heinrich Herbst
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HEINRICH HERBST DR
Original Assignee
HEINRICH HERBST DR
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/10—Lenses

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (5)

Patentansprüche:
1. Elektronenoptisches Linsensystem für Elektronen- oder lonenmikroskope, dadurch gekennzeichnet, daß es aus zwei Zerstreuungslinsen gleicher oder verschiedener Brennweite und einer zwischengeschalteten Sammellinse besteht.
2. Elektronenoptisches Linsensystem nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch zwei gegenüber Kathode positive Lochblenden oder Zylinder regelbarer Spannutig, zwischen denen eine elektromagnetische Sammellinse angeordnet ist.
3. Elektronenoptisches Linsensystem nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch zwei elektromagnetische Linsen, von denen die eine die andere umschließt.
4. Elektronenoptisches Linsensystem nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein elektromagnetisches Linsensystem mit einem im Schnitt Unförmigen Eisenrotationskern oder doppelt oder mehrfach U-förmigen Jochbogenmagnet mit ringförmigen Polschuhen, bei dem zwischen den Polen mit zwei Zwischenräumen ein ringförmiger Eisenkern, insbesondere Eisenzylinder, angeordnet ist.
5. Elektronenoptisches Linsensystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß es vier ringförmige Pole und drei Erregerspulen aufweist.
DEH5685D 1943-12-09 1943-12-09 Elektronenoptisches Linsensystem fuer Elektronen- oder Ionenmikroskope Pending DE1019407B (de)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0133016A2 (de) * 1983-07-28 1985-02-13 Varian Associates, Inc. Magnetische Multispalt-Fokussierlinse für geladene Teilchenstrahlen
DE102004019835B4 (de) * 2004-04-23 2007-08-02 Vistec Electron Beam Gmbh Beleuchtungskondensor für ein Partikeloptik-Projektionssystem

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EP0133016A2 (de) * 1983-07-28 1985-02-13 Varian Associates, Inc. Magnetische Multispalt-Fokussierlinse für geladene Teilchenstrahlen
EP0133016A3 (de) * 1983-07-28 1986-04-16 Varian Associates, Inc. Magnetische Multispalt-Fokussierlinse für geladene Teilchenstrahlen
DE102004019835B4 (de) * 2004-04-23 2007-08-02 Vistec Electron Beam Gmbh Beleuchtungskondensor für ein Partikeloptik-Projektionssystem

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