DE1293516B - Vorrichtung zum kontinuierlichen Vakuumaufdampfen von Metallschichten auf Bandmaterial - Google Patents

Vorrichtung zum kontinuierlichen Vakuumaufdampfen von Metallschichten auf Bandmaterial

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DE1293516B
DE1293516B DER33848A DER0033848A DE1293516B DE 1293516 B DE1293516 B DE 1293516B DE R33848 A DER33848 A DE R33848A DE R0033848 A DER0033848 A DE R0033848A DE 1293516 B DE1293516 B DE 1293516B
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DER33848A
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Shepard George Adam
Brooker Jun Carl Frederick
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Republic Steel Corp
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source

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