DE953677C - Verdampfer fuer fortlaufende Bedampfung von bandfoermigem Gut - Google Patents
Verdampfer fuer fortlaufende Bedampfung von bandfoermigem GutInfo
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- DE953677C DE953677C DES25245A DES0025245A DE953677C DE 953677 C DE953677 C DE 953677C DE S25245 A DES25245 A DE S25245A DE S0025245 A DES0025245 A DE S0025245A DE 953677 C DE953677 C DE 953677C
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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Description
- Verdampfer für fortlaufende Bedampfung von bandförmigem Gut Sollen Bänder aus z. B. Papier, Kunststoff oder lackierten Metallfolien fortlaufend mit einem Metall bedampft werden, so bereitet bekanntlich der Nachschub des zu dampfenden Metalls erhebliche Schwierigkeiten, insbesondere dann, wenn es sich um verhältnismäßig breite Bänder und hochsiedende Metalle handelt. Sollen ferner Bänder aus wärmetechnischen oder wirtschaftlichen Gründen mit nur einem Verdampfer in nur einem Arbeitsgang beidseitig oder wärmeempfindliche Stoffe einseitig in zwei Stufen bedampft werden, so bildet die Dampfstrahlführung eine weitere Schwierigkeit.
- Es ist bereits ein Verfahren zur Metallisierung durch thermische Aufdampfung vorgeschlagen worden, bei dem das Verdampfungsgut als fester Körper durch eine Nachschubvorrichtung der Verdampfungsstelle zugeführt wird und von dort verdampft. Es ist auch schon vorgeschlagen worden, das Verdampfungsgut in flüssiger Form nachzuschieben.
- Die Erfindung beschreibt einen Verdampfer, bei dem die laufende Zuführung des zu verdampfenden Metalls in einfacher Weise erfolgen kann und bei dem komplizierte Dampfstrahlführungen in Fortfall kommen können. Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, den aus bei höheren Temperaturen, insbesondere bei der Verdampfungstemperatur des zu verdampfenden Metalls gegen dieses Metall beständigem Material bestehenden Verdampferkörper vorzugsweise in Achsrichtung mit einer Bohrung zu versehen, die den Verdampfungskörper ganz oder nur teilweise durchdringt und von der zu ihr senkrecht oder annähernd senkrecht stehende Bohrungen und/oder Schlitze zur Außenfläche des Verdampfers führen, die so angeordnet sind, daß durch eine oder mehrere der Bohrungen bzw. Schlitze das zu verdampfende Metall der Innenbohrung des beheizten Verdampfers zugeführt werden kann, wo dieses flüssig wird und durch die weiteren Kanäle, die vorzugsweise sowohl zu den Zuführungskanälen als auch zur Innenbohrung senkrecht oder annähernd senkrecht stehen, an die Außenfläche des Verdampfers fließt und dort verdampft.
- Die Erfindung sei im folgenden an Hand einiger Ausführungsbeispiele näher erläutert. So zeigt z. B. Fig. i einen erfindungsgemäßen, verhältnismäßig langgestreckten Verdampfer, bei dem der Verdampferkörper i mit einer in Achsrichtung verlaufenden Bohrung 2 versehen ist. Die Bohrung durchdringt hier den Verdampferkörper von einer Stirnseite bis zur anderen. Der Querschnitt des Verdampfers ist, wie in Fig. 2, die den Verdampfer im Querschnitt darstellt, gezeigt, kreisförmig. In Fig. 2 ist wieder der Verdampferkörper mit T sowie die Innenbohrung mit 2 bezeichnet. Senkrecht zu dieser Innenbohrung ist eine Bohrung 3 angebracht. In diese Bohrung wird das zu verdampfende Material q. z. B. in fester Form eingeführt. Wird der Verdampfer, der z. B. aus einer geeigneten Kohle bestehen kann, vorzugsweise durch Stromdurchgang beheizt, so wird das zugeführte Verdampfungsmaterial q. beim Eindringen in die Innenbohrung flüssig. Das flüssige Metall, z. B. Aluminium, fließt nun in der Innenbohrung einmal gegen die Stirnseiten, die durch geeignete Verschlußkappen 5 abgeschlossen sind, ferner durch die sowohl zur Innenbohrung als auch zur Materialzuführungsbohrung 3 senkrechten oder annähernd senkrechten Kanäle 6 zur Außenseite des Verdampfers, wo es verdampft. Die Menge des verdampfenden Materials richtet sich nach der Menge des zugeführten Materials. Mit einem erfindungsgemäßen Verdampfer gemäß den Fig. i und 2 kann eine beliebig lange Bedampfung durchgeführt werden. Sie. ist. nur von der Lebensdauer des Verdampferkörpers abhängig. Ferner ist bei diesem Verdampfer praktisch keine Dampfstrahlführung notwendig. Durch die zur Außenfläche des Verdampferkörpers führenden Bohrungen 6 wird für die meisten Anwendungsgebiete der Dampfstrahl bereits in genügender Weise gerichtet. Der Querschnitt des in den Fig. i und 2 gezeigten Verdampferkörpers braucht nicht rund zu sein, er kann z. B. auch rechteckige oder ovale Form haben. Ferner kann das dem Verdampfer zuzuführende Material außer in festem Zustand z. B. auch in teigigem oder flüssigem Zustand durch geeignete Maßnahmen zugeführt werden. Die Querbohrungen 6 sind in Fig. 2 nur auf einer Seite des Verdampferkörpers angebracht. Sie können aber auch beidseitig angebracht werden. In Fig. 2 ist diese Ausführungsform gestrichelt als Ausführungskanal? eingezeichnet. Die Kanäle 6 bzw.7 brauchen nicht unbedingt genau waagerecht zu liegen; es kann unter Umständen günstig sein, diese Bohrungen so auszuführen, daß sie sich nach der Außenseite des _ Verdampferkörpers etwas neigen.
- Ein weiteres Ausführungsbeispiel zeigen Fig.3 und q., wobei Fig. q. einen Querschnitt durch den Verdampfer der Fig.3 zeigt. Der Verdampferkörper i weist hier keine Innenbohrung auf, sondern ist auf seiner Längsseite mit einem z. B. etwas waagerecht liegenden Schlitz 2 versehen. Zur Zuführung des zu bedampfenden Gutes ¢ ist hier ebenfalls wieder eine von oben nach unten führende Bohrung 3 angebracht. Diese Ausführungsform stellt eine wesentliche Vereinfachung dar. Insbesondere kommen- hierbei die Abdeckkappen 5 der Fig. i und. 2 in Fortfall. Ferner wird durch den in gleicher Breite über den Verdampfer verlaufenden Seitenschlitz eine gleichmäßigere Dampf stromdichte erreicht.
- Der Schlitz 2 kann auch hier so ausgeführt werden, daß das zu verdampfende Metall auf beiden Seiten des Verdampferkörpers austritt, wie dies in Fig. q. durch die gestrichelt gezeichnete rückwärtige Verlängerung 21 des Schlitzes 2 gezeigt ist. Der Verdampferkörper kann z. B. aus Kohle, insbesondere Schweißkohle, oder aus Siliziumkarbid oder ähnlichen wärmebeständigen Materialien bestehen. DieBeheizungdieser erfindungsgemäßenVerdampfer erfolgt zweckmäßig durch elektrischen Strom. Die Stromzuführung kann z. B_ ; dadurch erfolgen, daß auf die Stirnseiten des Verdampfers elektrische Druckkontakte aufgesetzt werden.
- Die Menge des zuzuführenden Verdampfungsmaterials kann durch geeignete Vorrichtungen, z. B. durch eine elektrisch geregelte Zuführunä, geregelt werden. Sie ist von verschiedenen Faktoren abhängig, so z. B. von der Foliengeschwindigkeit, der Stärke des darauf aufzudampfenden Belages usw. Ihre nähere Ausbildung kann jedoch dem Fachmann überlassen bleiben.
- Mit einem erfindungsgemäßen Verdampfer kann praktisch bandförmiges Gut von beliebiger Länge mit beliebig starken-Schichten bedampft werden, ohne daß ein Auswechseln des Bedampfers not-_wendig ist. Außer diesem Vorteil braucht keine besondere Dampfstrahlführung angebracht zu werden.
Claims (4)
- PATENTANSPRÜCHE: i. Verdampfer zur fortlaufenden Bedampfung von bandförmigem Gut, z. B. aus Papier, Kunststoff, lackierten Metallfolien usw., mit Metall, insbesondere mit Aluminium, wobei das zu verdampfende Metall in fester, flüssiger oder teigiger Form durch eine Nachschubeinrichtung der durch Stromdurchgang erhitzten Verdampfungsstelle in einem solchen Maße zugeführt wird, daß sich dort keine nennenswerten Mengen. flüssigen Metalls befinden, dadurch gekennzeichnet, daß der Verdampferkörper vorzugsweise in Achsrichtung eine Bohrung -aufweist; die-den Verdampferkörper ganz oder nur teilweise durchdringt und von der zu ihr senkrecht oder annähernd senkrecht stehende Bohrungen und/oder Schlitze zur Außenfläche des Verdampfers führen, die so. angeordnet sind, daß durch sie das zu verdampfende Metall der Innenbohrung des beheizten Bedampfers zugeführt werden kann; und daß durch weitere Kanäle, die vorzugsweise sowohl zu den Zuführungskanälen als auch zur Innenbohrung senkrecht oder annähernd senkrecht stehen, das Metall an die Außenfläche des Verdampfers fließt und dort verdampft (Fig. z).
- 2. Verdampfer nach Anspruch z, dadurch gekennzeichnet, daß die das zu verdampfende Metall zur Außenfläche des Verdampfers führenden Bohrungen oder Schlitze nur auf einer Längsseite des Verdampferkörpers angeordnet sind.
- 3. Verdampfer nach Anspruch z, dadurch gekennzeichnet, daß die das zu verdampfende Metall zur Außenfläche des Verdampfers führenden Bohrungen oder Schlitze auf zwei einander entgegengesetzten Längsseiten des Verdampferkörpers angeordnet sind.
- 4. Verdampfer nach Anspruch r, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß er an Stelle mehrerer das zu verdampfende Metall an die Außenfläche des Verdampferkörpers führender Bohrungen einen zusammenhängenden Schlitz besitzt. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 8o2 304. Entgegengehaltene ältere Rechte: Deutsche Patentschriften Nr. 88o 529, 863 735.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DES25245A DE953677C (de) | 1951-10-19 | 1951-10-19 | Verdampfer fuer fortlaufende Bedampfung von bandfoermigem Gut |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DES25245A DE953677C (de) | 1951-10-19 | 1951-10-19 | Verdampfer fuer fortlaufende Bedampfung von bandfoermigem Gut |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE953677C true DE953677C (de) | 1956-12-06 |
Family
ID=7478262
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DES25245A Expired DE953677C (de) | 1951-10-19 | 1951-10-19 | Verdampfer fuer fortlaufende Bedampfung von bandfoermigem Gut |
Country Status (1)
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---|---|
DE (1) | DE953677C (de) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1095618B (de) * | 1952-07-19 | 1960-12-22 | Siemens Ag | Vorrichtung zum fortlaufenden Bedampfen von bandfoermigem Gut mit Metall |
US2996037A (en) * | 1959-01-26 | 1961-08-15 | Nat Res Corp | Vacuum coating apparatus |
US3020177A (en) * | 1959-05-13 | 1962-02-06 | Continental Can Co | Art of vaporizing materials |
DE976007C (de) * | 1952-07-19 | 1963-01-10 | Siemens Ag | Vorrichtung zum fortlaufenden Bedampfen von bandfoermigem Gut mit Metallen |
US3117210A (en) * | 1959-07-13 | 1964-01-07 | Wisconsin Alumni Res Found | Apparatus for evaporating materials |
DE1238307B (de) * | 1960-03-05 | 1967-04-06 | Heraeus Gmbh W C | Verfahren und Vorrichtung zum Betrieb eines Verdampferschiffchens |
DE1293516B (de) * | 1961-11-13 | 1969-04-24 | Republic Steel Corp | Vorrichtung zum kontinuierlichen Vakuumaufdampfen von Metallschichten auf Bandmaterial |
DE10200909A1 (de) * | 2002-01-12 | 2003-07-24 | Applied Films Gmbh & Co Kg | Verdampferschiffchen für eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE802304C (de) * | 1948-10-02 | 1951-02-08 | Siemens & Halske Akt Ges | Verdampfer fuer thermische Verdampfung von Aluminium oder aehnlich hochsiedenden Stoffen |
DE863735C (de) * | 1936-12-02 | 1953-01-19 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren und Einrichtung zur Metallisierung von Gegenstaenden durch thermische Verdampfung von Metall |
DE880529C (de) * | 1951-06-16 | 1953-06-22 | Hydrawerk Ag | Vorrichtung zum Verdampfen von Materialien |
-
1951
- 1951-10-19 DE DES25245A patent/DE953677C/de not_active Expired
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE863735C (de) * | 1936-12-02 | 1953-01-19 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren und Einrichtung zur Metallisierung von Gegenstaenden durch thermische Verdampfung von Metall |
DE802304C (de) * | 1948-10-02 | 1951-02-08 | Siemens & Halske Akt Ges | Verdampfer fuer thermische Verdampfung von Aluminium oder aehnlich hochsiedenden Stoffen |
DE880529C (de) * | 1951-06-16 | 1953-06-22 | Hydrawerk Ag | Vorrichtung zum Verdampfen von Materialien |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1095618B (de) * | 1952-07-19 | 1960-12-22 | Siemens Ag | Vorrichtung zum fortlaufenden Bedampfen von bandfoermigem Gut mit Metall |
DE976007C (de) * | 1952-07-19 | 1963-01-10 | Siemens Ag | Vorrichtung zum fortlaufenden Bedampfen von bandfoermigem Gut mit Metallen |
US2996037A (en) * | 1959-01-26 | 1961-08-15 | Nat Res Corp | Vacuum coating apparatus |
US3020177A (en) * | 1959-05-13 | 1962-02-06 | Continental Can Co | Art of vaporizing materials |
US3117210A (en) * | 1959-07-13 | 1964-01-07 | Wisconsin Alumni Res Found | Apparatus for evaporating materials |
DE1238307B (de) * | 1960-03-05 | 1967-04-06 | Heraeus Gmbh W C | Verfahren und Vorrichtung zum Betrieb eines Verdampferschiffchens |
DE1293516B (de) * | 1961-11-13 | 1969-04-24 | Republic Steel Corp | Vorrichtung zum kontinuierlichen Vakuumaufdampfen von Metallschichten auf Bandmaterial |
DE10200909A1 (de) * | 2002-01-12 | 2003-07-24 | Applied Films Gmbh & Co Kg | Verdampferschiffchen für eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten |
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