DE976007C - Vorrichtung zum fortlaufenden Bedampfen von bandfoermigem Gut mit Metallen - Google Patents

Vorrichtung zum fortlaufenden Bedampfen von bandfoermigem Gut mit Metallen

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DE976007C
DE976007C DES29353A DES0029353A DE976007C DE 976007 C DE976007 C DE 976007C DE S29353 A DES29353 A DE S29353A DE S0029353 A DES0029353 A DE S0029353A DE 976007 C DE976007 C DE 976007C
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DE
Germany
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crucible
evaporator
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Expired
Application number
DES29353A
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English (en)
Inventor
Karl Dr Dauner
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Siemens AG
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Siemens AG
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/246Replenishment of source material

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • Organic Chemistry (AREA)
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Description

Bei der fortlaufenden Bedampfung von bandförmigen Stoffen, insbesondere mit Aluminium, stört bei den üblichen Verdampfern die sich bei längerem Betrieb auf den Verdampferkörper niederschlagende Schlackenschicht.
Es ist schon eine Einrichtung zur fortlaufenden Bedampfung von bandförmigem Gut mit Metallen, die aber noch nicht zum Stande der Technik gehört, vorgeschlagen worden, die aus zwei Teilkörperu ίο unterschiedlicher Temperatur besteht, von denen der Teilkörper niedrigerer Temperatur als Schmelzbehälter und der Teilkörper höherer Temperatur als Verdampfungsbehälter ausgebildet ist; diese beiden Behälter stehen durch ein Rohr in kommunizierender Verbindung; es wird daher dem Verdampfungsbehälter nach Maßgabe der verdampfenden Menge des Metalls selbsttätig das geschmolzene Metall aus dem Schmelzbehälter zugeführt.
Bei dieser Einrichtung ist stets im Vergleich zur erfindungsgemäß ausgebildeten Vorrichtung eine relativ größere Menge des Metalls im Verdampfungsbehälter auf die für die Verdampfung erforderlich erachtete Temperatur zu erhitzen. Von dem Rand des Verdampfers, der nicht mit zu verdampfendem Metall bedeckt ist, geht überdies eine starke Temperaturstrahlung aus, die das zu bedampfende Gut beschädigen kann.
Erfindungsgemäß wird daher eine Vorrichtung zum fortlaufenden Bedampfen von bandförmigem Gut mit Metallen, insbesondere zur Herstellung von Kondensatorfolien, bestehend aus einem mit niedriger Temperatur betriebenen Schmelztiegel und einem auf hoher Temperatur gehaltenen Verdampfer, wobei Schmelztiegel und Verdampfer so miteinander verbunden sind, daß eine schlackenfreie Menge der Schmelze selbsttätig fortlaufend zum Verdampfer fließt, vorgeschlagen, bei dem erfindungsgemäß senkrecht über dem Verdampfer ein in seinem Boden mit Öffnungen versehener Schmelztiegel angeordnet ist, dessen Öffnungen derart eng bemessen sind, daß auf die zu benetzende, dem Schmelztiegel zugewandte Oberfläche des Verdampfers das im Schmelztiegel geschmolzene Metall im freien P'all auftropft.
Die Zeichnung zeigt zwei Ausführungsbeispiele von nach dem Prinzip der Erfindung aufgebauten Verdampfern.
In Fig. ι enthält der Teilkörper 1 die Schmelzwanne 3, in der die Bohrungen 5 angebracht sind. Durch den Aluminiumdraht 4 wird der Schmelzwanne laufend Metall zugeführt. Das flüssige Metall tropft durch die Bohrungen 5 auf den eigentlichen Verdampfungskörper 2. Dieser muß jetzt auf eine höhere Temperatur (z. B. 15000C) erhitzt sein, so daß der Verdampfungsprozeß optimal verläuft. Die Schlackenbildung im Teilkörper 1 wird bereits durch die niedrigere Temperatur klein gehalten, gegebenenfalls kann die Schlacke in gewissen Zeitabständen durch Abschöpfen aus der Schmelzwanhe entfernt werden.
Statt der getrennten, selbständigen Teilkörper 1 und 2 können auch zusammenhängende Teilkörper gemäß Fig. 2 verwendet werden. Durch entsprechende Bemessung der Querschnitte des Schmelzkörpers ι und des Verdampfungskörpers 2 lassen sich die Temperaturen in den Teilkörpern in gewünschter Weise einstellen.

Claims (2)

  1. PATENTANSPRÜCHE:
    ι. Vorrichtung zum fortlaufenden Bedampfen von bandförmigem Gut mit Metallen, insbesondere zur Herstellung von Kondensatorfolien, bestehend aus einem mit niedriger Temperatur betriebenen Schmelztiegel und einem auf hoher Temperatur gehaltenen Verdampfer, wobei Schmelztiegel und Verdampfung so miteinander verbunden sind,-daß eine schlackenfreie Menge der Schmelze selbsttätig fortlaufend zum Verdämpfer fließt, dadurch gekennzeichnet, daß senkrecht über dem Verdampfer ein in seinem Boden mit Öffnungen versehener Schmelztiegel angeordnet ist, dessen Öffnungen derart eng bemessen sind, daß auf die zu benetzende, dem Schmelztiegel zugewandte Oberfläche des Verdampfers das im Schmelztiegel geschmolzene Metall im freien Fall auftropft.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen mit einem in Achsrichtung verlaufenden Schlitz versehenen und horizontal gelagerten Kohlestab, dessen oberer, über dem Schlitz befindlicher Teil als Schmelztiegel ausgebildet ist und dessen unterer, unter dem Schlitz befindlicher Teil als Verdampfer ausgebildet ist, derart, daß die untere Begrenzung des Schlitzes die Verdampferfläche bildet.
    In Betracht gezogene ältere Patente: Deutsche Patente Nr. 880 529, 953 677.
DES29353A 1952-07-19 1952-07-19 Vorrichtung zum fortlaufenden Bedampfen von bandfoermigem Gut mit Metallen Expired DE976007C (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10200909A1 (de) * 2002-01-12 2003-07-24 Applied Films Gmbh & Co Kg Verdampferschiffchen für eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE880529C (de) * 1951-06-16 1953-06-22 Hydrawerk Ag Vorrichtung zum Verdampfen von Materialien
DE953677C (de) * 1951-10-19 1956-12-06 Siemens Ag Verdampfer fuer fortlaufende Bedampfung von bandfoermigem Gut

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