DE4016225C2

DE4016225C2 - Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen

Info

Publication number: DE4016225C2
Application number: DE4016225A
Authority: DE
Inventors: Siegfried Kleyer
Original assignee: Leybold AG; Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Current assignee: Oerlikon Deutschland Holding GmbH
Priority date: 1990-05-19
Filing date: 1990-05-19
Publication date: 1997-08-14
Anticipated expiration: 2010-05-20
Also published as: US5179622A; DE4016225A1

Description

Die Erfindung betrifft einen Reihenverdampfer für Vaku umbedampfungsanlagen insbesondere für Bandbedampfungs anlagen, bestehend aus mehreren, einzeln in der Lei stung steuerbaren, durch Stromdurchgang beheizten, an stützenförmig ausgebildeten elektrischen Zuleitungen anliegenden Verdampfern, wobei die stützenförmigen Zu leitungen von einem sich über die gesamte Länge des Reihenverdampfers erstreckenden, elektrisch leitfähigen Tragkörper gehalten sind und die Zuleitungen der einen Polarität elektrisch leitend mit dem Tragkörper verbun den sind, während die Zuleitungen der anderen Polarität isoliert durch den Tragkörper hindurchgeführt und mit isoliert angeordneten Leitungsdrähten verbunden sind.

Bekannt ist ein Reihenverdampfer (US 3,387,116), bei dem das trogförmiger Verdampferschiffchen zwischen einer ersten ortsfesten, stützenförmigen Zuleitung und einem unter Federspannung stehenden, an einer zweiten ortsfesten Zuleitung gehalten und geführten Druckstück eingespannt ist.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Reihenverdampfer zu schaffen, bei dem eine Vielzahl von einzelnen Verdampfern paarweise zwischen den elektrischen Zuleitungen einspannbar sind, wobei gleichzeitig sichergestellt sein soll, daß der Strom durchgang während des Verdampfungsprozesses nicht unterbrochen wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß sich die Verdampfer über vorzugsweise als Zylinderab schnitte ausgeformte Lagerelemente an den oberen Enden oder Nasen der Zuleitungen abstützen, wobei die Lager elemente aus einem stromleitenden Werkstoff, beispiels weise einer Keramik, gebildet sind.

Weitere Ausführungsformen und Merkmale sind in den Patentansprüchen näher beschrieben und gekennzeichnet.

Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausführungsmög lichkeiten zu; eine davon ist in den anhängenden Zeich nungen näher dargestellt, und zwar zeigen:

Fig. 1 eine Vorrichtung zur Halterung eines Verdamp ferpaares einer Vakuumbedampfungsanlage in der Seitenansicht und teilweise im Schnitt und

Fig. 2 die perspektivische Darstellung der Verbin dungsstelle der beiden hintereinanderge schalteten Verdampfer

Der Reihenverdampfer besteht im wesentlichen aus einem als T-Profilleiste ausgebildeten Tragkörper 6, dessen Oberseite mit einer Vielzahl von parallel zueinander angeordneten, L-förmigen Stützkörpern 25 verschraubt ist, mit denen jeweils stützenförmige Zuleitungen 3 verbunden sind, deren untere Enden ebenfalls bei 26 mit dem Tragkörper 6 fest verschraubt sind.

Die Zuleitungen 3 sind jeweils mit einem Kopfteil 17 verschraubt, deren Nase 16 über ein Lagerelement 19 jeweils an einem trogförmigen Verdampfer 5a anliegt, der sich jeweils in einer zum Tragkörper 6 parallelen Ebene erstreckt. Das der Zuleitung 3 abgekehrte Ende jedes Verdampfers 5a liegt jeweils an der Stirnfläche eines zweiten Verdampfers 5b an, wobei jeweils ein Lagerelement 38 dazwischen geschaltet ist und wobei dieser zweite Verdampfer 5b jeweils an der Nase 15 des Kopfteils 9 einer stützenförmigen Zuleitung 4 anliegt, die im Gegensatz zur dieser gegenüberliegenden Zulei tung 3 in einer horizontalen Ebene verschiebbar auf dem Tragkörper 6 gehalten ist.

Um diese Verschiebbarkeit in den Pfeilrichtungen A und B zu ermöglichen, ist die Zuleitung jeweils mit einem Kragenteil 13 versehen, über das sich die Zuleitung 4 auf einem ringförmigen Isolierstück 14 abstützt, wobei sich der untere Abschnitt der Zuleitung 4 durch eine Öffnung 22 mit Spiel a, b hindurch erstreckt.

Damit die Zuleitung 4 nicht nach oben zu aus der Öff nung 22 hinausgleiten kann, ist eine untere Führungs platte 27 über eine Schraube 28 mit dem Kragenteil 13 verbunden, wobei Isolierstücke 29, 30 zwischen dem Kopf der Schraube 28 und dem Kragenteil 13 bzw. zwischen der Führungsplatte 27 und dem Tragkörper 6 angeordnet sind.

Da die Schrauben 28 außerdem durch eine Bohrung 31 im Kragenteil 13 hindurchgeführt ist, die weit größer be messen ist als der Durchmesser des Schafts der Schraube 28, wird eine elektrisch leitende Verbindung zwischen der Zuleitung 4 und dem Tragkörper 6 ausgeschlossen.

An einer Seitenfläche 32 des Kragenteils 13 liegt ein Druckstück 33 an, das unter der Kraft der Druckfeder 8 steht, die in einer Isolierhülse 34 gelagert und abge stützt ist, die ihrerseits Teil eines Führungskörpers 23 ist, der mit einer Schraube 35 am Tragkörper 6 ge halten ist.

Da die Schraube 35 die Bohrung 36 mit Spiel durch greift, kann der Führungskörper 23 in bestimmten Grenzen auf dem Tragkörper 6 verschoben werden. Der Führungskörper 23 stützt sich an einer ortsfest, jedoch drehbar gelagerten Nockenwelle bzw. an einem Nockenrad 24 ab, so daß die Kraft, mit der die Feder 8 auf die Zuleitung 4 in Pfeilrichtung A einwirkt, einstellbar ist.

Die Zuleitung 4 ist elektrisch leitend mit dem Lei tungsdraht 7, der schlauchförmig ausgebildet ist, verbunden, wobei der Leitungsdraht 7 eine Schlauch leitung 11 umschließt, durch die Kühlmittel in den Kanal 12 gefördert werden kann. Dieses Kühlmittel kann dann, nachdem es die Kammer 12 durchströmt hat, durch eine Schlauch- oder flexible Rohrleitung 37 wieder abgepumpt werden.

Zwischen den Nasen 16 bzw. 15 der beiden stützenförmi gen Zuleitungen 3, 4 und dem zwischen ihnen gehaltenen bzw. eingeklemmten Verdampferpaar 5a, 5b sind zylin drisch ausgeformte Lagerelemente 19, 20 eingelegt, die dafür Sorge tragen, daß ein möglichst verlustloser Stromübergang zwischen den Zuleitungen 3, 4 und dem Verdampferpaar 5a, 5b erfolgt und sich diese Verdampfer 5a, 5b dennoch in bestimmten Grenzen verformen oder verschieben können.

Wird nun die Nockenwelle bzw. das Nockenrad 24 gegen über der dargestellten Position verdreht, dann verrin gert sich die auf den Verdampfer 5 einwirkende Spann kraft der Feder 8, so daßdie Zuleitung 4 geringfügig in Pfeilrichtung B ausweichen kann; die Verdampfer 5a, 5b lassen sich dann ohne weiteres gegen ein anderes Verdampferpaar von gleicher Gesamtlänge austauschen.

Im übrigen ist am Kragenteil 13 der stützenförmigen Zuleitung 4 noch ein schirmförmiger Balg 21 vorgesehen, der sicherstellt, daß keine Verdampfungsreste oder sonstiger Schmutz in die Bohrungen 22 und 31 gerät und die freie Beweglichkeit der Zuleitung 4 behindert.

Auf dem Tragkörper 6 ist ein Stützbock 39 fest angebracht, auf dessen kammartigen oberen Ende der Verdampfer 5a auf liegt, so daß er einerseits in einer horizontalen Position gehalten wird und sich anderer seits aber ungehindert vom Stützbock 39 in seiner Länge verändern kann.

Wie Fig. 2 zeigt, ist zur Verbindung der beiden Ver dampfer 5a, 5b (bzw. jeweils eines Verdampferpaares) eine Gelenkverbindung vorgesehen, die aus dem zylin drischen bzw. rollenförmigen Lagerelement 38 gebildet wird, das sich an den entsprechend halbschalenförmig ausgebildeten Stirnflächen 10, 18 der Verdampfer 5a, 5b abstützt bzw. an diesen halbschalenförmigen Flächen anliegt. Es ist klar, daß auch die Nasen 15, 16 mit entsprechend ausgeformten halbschalenförmigen Abstütz flächen 41, 42 versehen sind, in denen die rollenför migen Lagerelemente 19, 20 liegen. Um einen möglichst guten elektrischen Stromfluß durch die Verdampfer 5a, 5b zu gewährleisten, sind die Rollen bzw. Lagerelemente 19, 20, 38 zweckmäßigerweise aus dem gleichen Werkstoff gefertigt wie die Verdampfer 5a, 5b selbst.

Bezugszeichenliste

3 Zuleitung
4 Zuleitung
5a, 5b Verdampfer, Verdampferschiffchen
6 Tragkörper
7 Leitungsdraht, Hochstromzuführung
8 Federelement
9 Kopfteil
10 Stirnfläche
11 Kühlschlauch
12 Kanal
13 Kragenteil
14 Isolierstück
15 Nase
16 Nase
17 Kopfteil
18 Stirnfläche
19 Lagerelement
20 Lagerelement
21 Balg
22 Öffnung
23 Führungskörper
24 Nockenrad
25 Stützkörper
26 Verschraubung
27 Führungsplatte
28 Schraube
29 Isolierstück
30 Isolierstück
31 Bohrung
32 Seitenfläche
33 Druckstück
34 Isolierhülse
35 Schraube
36 Bohrung
37 flexible Rohrleitung
38 Lagerelement
39 Stützbock
40 Stützfläche
41 Stützfläche
42 Stützfläche

Claims

1. Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen, insbesondere für Bandbedampfungsanlagen, bestehend aus mehreren, einzeln in der Leistung steuerbaren, durch Stromdurchgang beheizten, an stützenförmig ausgebildeten elektrischen Zuleitungen (3, 4) an liegenden Verdampfern (5a, 5b), wobei die stützen förmigen Zuleitungen (3, 4) von einem sich über die gesamte Länge des Reihenverdampfers erstrec kenden, elektrisch leitfähigen Tragkörper (6) gehalten sind und die Zuleitungen (3) der einen Polarität elektrisch leitend mit dem Tragkörper (6) verbunden sind, während die Zuleitungen (4) der anderen Polarität isoliert durch den Tragkör per (6) hindurchgeführt und mit isoliert angeord neten Leitungsdrähten (7) verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Verdampfer (5a, 5b) über vorzugsweise als Zylinderabschnitte ausge formte Lagerelemente (19, 20) an den oberen Enden oder Nasen (15, 16) der Zuleitungen (3, 4) abstüt zen, wobei die Lagerelemente (19, 20) aus einem stromleitenden Werkstoff, beispielsweise einer Keramik, gebildet sind.

2. Reihenverdampfer nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß sich die Rotationsachsen der Lager elemente (19, 20) horizontal und quer zur Längs achse der trogförmigen, im wesentlichen parallel epipeden Verdampfer (5a, 5b) erstrecken.

3. Reihenverdampfer nach den Ansprüche 1 und 2, da durch gekennzeichnet, daß an den Stirnflächen der Verdampfer (5a, 5b) sich horizontal erstreckende, rinnen- oder schalenförmige Vertiefungen vorge sehen sind, die zusammen mit gleichartig ausge formten, diesen gegenüberliegenden Vertiefungen in den Nasen (15, 16) der Zuleitungen (3, 4) paar weise jeweils das Lager für ein Lagerelement (19, 20) bilden.

4. Reihenverdampfer nach den Ansprüchen 1 bis 3, da durch gekennzeichnet, daß jeweils zwei Verdampfer (5a, 5b) paarweise hintereinanderliegend angeord net sind, wobei jeweils die einander zugekehrten, mit rinnen- oder schalenförmigen Vertiefungen versehenen Stirnflächen (10, 18) eines Verdampfer paares (5a, 5b) sich über ein einziges Lagerele ment (38) aneinander abstützen.

5. Reihenverdampfer nach einem oder mehreren der vor hergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils der eine Verdampfer (5a) eines Verdampfer paares (5a, 5b) auf einem Stützbock (39) aufliegt, der seinerseits auf dem Tragkörper (6) befestigt ist, wobei die mit der Unterseite des Verdampfers (5a) in Berührung stehende Abstützfläche (40) kammrückenförmig ausgebildet ist.

6. Reihenverdampfer nach einem oder mehreren der vor hergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die paarweise hintereinanderliegend angeordneten Verdampfer (5a, 5b) jeweils an ihren Stirnflächen rinnen- oder schalenförmige Vertiefungen mit glei chen Abmessungen aufweisen, deren Symmetrieachsen parallel zueinander, in gleicher Ebene und quer zur Längserstreckung der Verdampfer (5a, 5b) ange ordnet sind, wobei die in den drei Vertiefungen gehaltenen Lagerelemente (19, 38, 20) Wälzkörper aus elektrisch leitendem Werkstoff sind und vorzugsweise aus dem gleichen Werkstoff gebildet sind, aus dem auch die Verdampfer (5a, 5b) selbst bestehen.