DE4016225A1 - Reihenverdampfer fuer vakuumbedampfungsanlagen - Google Patents
Reihenverdampfer fuer vakuumbedampfungsanlagenInfo
- Publication number
- DE4016225A1 DE4016225A1 DE4016225A DE4016225A DE4016225A1 DE 4016225 A1 DE4016225 A1 DE 4016225A1 DE 4016225 A DE4016225 A DE 4016225A DE 4016225 A DE4016225 A DE 4016225A DE 4016225 A1 DE4016225 A1 DE 4016225A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- evaporator
- shaped
- evaporators
- support
- series
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen Reihenverdampfer für Vaku
umbedampfungsanlagen, insbesondere für Bandbedampfungs
anlagen, bestehend aus mehreren, einzeln in der Lei
stung steuerbaren, durch Stromdurchgang beheizten, an
stützenförmig ausgebildeten elektrischen Zuleitungen
anliegenden Verdampfern, wobei die stützenförmigen Zu
leitungen von einem sich über die gesamte Länge des
Reihenverdampfers erstreckenden, elektrisch leitfähigen
Tragkörper gehalten sind und die Zuleitungen der einen
Polarität elektrisch leitend mit dem Tragkörper verbun
den sind, während die Zuleitungen der anderen Polarität
isoliert durch den Tragkörper hindurchgeführt und mit
isoliert angeordneten Leitungsdrähten verbunden sind.
Bekannt ist ein Reihenverdampfer (US 33 87 116), bei
dem das trogförmiger Verdampferschiffchen zwischen
einer ersten ortsfesten, stützenförmigen Zuleitung und
einem unter Federspannung stehenden, an einer zweiten
ortsfesten Zuleitung gehalten und geführten Druckstück
eingespannt ist.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde,
einen Reihenverdampfer zu schaffen, bei dem eine
Vielzahl von einzelnen Verdampfern paarweise zwischen
den elektrischen Zuleitungen einspannbar sind, wobei
gleichzeitig sichergestellt sein soll, daß der Strom
durchgang während des Verdampfungsprozesses nicht
unterbrochen wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß
sich die Verdampfer über vorzugsweise als Zylinderab
schnitte ausgeformte Lagerelemente an den oberen Enden
oder Nasen der Zuleitungen abstützen, wobei die Lager
elemente aus einem stromleitenden Werkstoff, beispiels
weise einer Keramik, gebildet sind.
Weitere Ausführungsformen und Merkmale sind in den
Patentansprüchen näher beschrieben und gekennzeichnet.
Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausführungsmög
lichkeiten zu; eine davon ist in den anhängenden Zeich
nungen näher dargestellt, und zwar zeigen:
Fig. 1 eine Vorrichtung zur Halterung eines Verdamp
ferpaares einer Vakuumbedampfungsanlage in
der Seitenansicht und teilweise im Schnitt
und
Fig. 2 die perspektivische Darstellung der Verbin
dungsstelle der beiden hintereinanderge
schalteten Verdampfer.
Der Reihenverdampfer besteht im wesentlichen aus einem
als T-Profilleiste ausgebildeten Tragkörper 6, dessen
Oberseite mit einer Vielzahl von parallel zueinander
angeordneten, L-förmigen Stützkörpern 25 verschraubt
ist, mit denen jeweils stützenförmige Zuleitungen 3
verbunden sind, deren untere Enden ebenfalls bei 26 mit
dem Tragkörper 6 fest verschraubt sind.
Die Zuleitungen 3 sind jeweils mit einem Kopfteil 17
verschraubt, deren Nase 16 über ein Lagerelement 19
jeweils an einem trogförmigen Verdampfer 5a anliegt,
der sich jeweils in einer zum Tragkörper 6 parallelen
Ebene erstreckt. Das der Zuleitung 3 abgekehrte Ende
jedes Verdampfers 5a liegt jeweils an der Stirnfläche
eines zweiten Verdampfers 5b an, wobei jeweils ein
Lagerelement 38 dazwischen geschaltet ist und wobei
dieser zweite Verdampfer 5b jeweils an der Nase 15 des
Kopfteils 9 einer stützenförmigen Zuleitung 4 anliegt,
die im Gegensatz zur dieser gegenüberliegenden Zulei
tung 3 in einer horizontalen Ebene verschiebbar auf dem
Tragkörper 6 gehalten ist.
Um diese Verschiebbarkeit in den Pfeilrichtungen A und
B zu ermöglichen, ist die Zuleitung jeweils mit einem
Kragenteil 13 versehen, über das sich die Zuleitung 4
auf einem ringförmigen Isolierstück 14 abstützt, wobei
sich der untere Abschnitt der Zuleitung 4 durch eine
Öffnung 22 mit Spiel a, b hindurch erstreckt.
Damit die Zuleitung 4 nicht nach oben zu aus der Öff
nung 22 hinausgleiten kann, ist eine untere Führungs
platte 27 über eine Schraube 28 mit dem Kragenteil 13
verbunden, wobei Isolierstücke 29, 30 zwischen dem Kopf
der Schraube 28 und dem Kragenteil 13 bzw. zwischen der
Führungsplatte 27 und dem Tragkörper 6 angeordnet sind.
Da die Schrauben 28 außerdem durch eine Bohrung 31 im
Kragenteil 13 hindurchgeführt ist, die weit größer be
messen ist als der Durchmesser des Schafts der Schraube
28, wird eine elektrisch leitende Verbindung zwischen
der Zuleitung 4 und dem Tragkörper 6 ausgeschlossen.
An einer Seitenfläche 32 des Kragenteils 13 liegt ein
Druckstück 33 an, das unter der Kraft der Druckfeder 8
steht, die in einer Isolierhülse 34 gelagert und abge
stützt ist, die ihrerseits Teil eines Führungskörpers
23 ist, der mit einer Schraube 35 am Tragkörper 6 ge
halten ist.
Da die Schraube 35 die Bohrung 36 mit Spiel durch
greift, kann der Führungskörper 23 in bestimmten
Grenzen auf dem Tragkörper 6 verschoben werden. Der
Führungskörper 23 stützt sich an einer ortsfest, jedoch
drehbar gelagerten Nockenwelle bzw. an einem Nockenrad
24 ab, so daß die Kraft, mit der die Feder 8 auf die
Zuleitung 4 in Pfeilrichtung A einwirkt, einstellbar
ist.
Die Zuleitung 4 ist elektrisch leitend mit dem Lei
tungsdraht 7, der schlauchförmig ausgebildet ist,
verbunden, wobei der Leitungsdraht 7 eine Schlauch
leitung 11 umschließt, durch die Kühlmittel in den
Kanal 12 gefördert werden kann. Dieses Kühlmittel kann
dann, nachdem es die Kammer 12 durchströmt hat, durch
eine Schlauch- oder flexible Rohrleitung 37 wieder
abgepumpt werden.
Zwischen den Nasen 16 bzw. 15 der beiden stützenförmi
gen Zuleitungen 3, 4 und dem zwischen ihnen gehaltenen
bzw. eingeklemmten Verdampferpaar 5a, 5b sind zylin
drisch ausgeformte Lagerelemente 19, 20 eingelegt, die
dafür Sorge tragen, daß ein möglichst verlustloser
Stromübergang zwischen den Zuleitungen 3, 4 und dem
Verdampferpaar 5a, 5b erfolgt und sich diese Verdampfer
5a, 5b dennoch in bestimmten Grenzen verformen oder
verschieben können.
Wird nun die Nockenwelle bzw. das Nockenrad 24 gegen
über der dargestellten Position verdreht, dann verrin
gert sich die auf den Verdampfer 5 einwirkende Spann
kraft der Feder 8, so daß die Zuleitung 4 geringfügig
in Pfeilrichtung B ausweichen kann; die Verdampfer 5a,
5b lassen sich dann ohne weiteres gegen ein anderes
Verdampferpaar von gleicher Gesamtlänge austauschen.
Im übrigen ist am Kragenteil 13 der stützenförmigen
Zuleitung 4 noch ein schirmförmiger Balg 21 vorgesehen,
der sicherstellt, daß keine Verdampfungsreste oder
sonstiger Schmutz in die Bohrungen 22 und 31 gerät und
die freie Beweglichkeit der Zuleitung 4 behindert.
Auf dem Tragkörper 6 ist ein Stützbock 39 fest
angebracht, auf dessen kammartigen oberen Ende der
Verdampfer 5a aufliegt, so daß er einerseits in einer
horizontalen Position gehalten wird und sich anderer
seits aber ungehindert vom Stützbock 39 in seiner Länge
verändern kann.
Wie Fig. 2 zeigt, ist zur Verbindung der beiden Ver
dampfer 5a, 5b (bzw. jeweils eines Verdampferpaares)
eine Gelenkverbindung vorgesehen, die aus dem zylin
drischen bzw. rollenförmigen Lagerelement 38 gebildet
wird, das sich an den entsprechend halbschalenförmig
ausgebildeten Stirnflächen 10, 18 der Verdampfer 5a, 5b
abstützt bzw. an diesen halbschalenförmigen Flächen
anliegt. Es ist klar, daß auch die Nasen 15, 16 mit
entsprechend ausgeformten halbschalenförmigen Abstütz
flächen 41, 42 versehen sind, in denen die rollenför
migen Lagerelemente 19, 20 liegen. Um einen möglichst
guten elektrischen Stromfluß durch die Verdampfer 5a,
5b zu gewährleisten, sind die Rollen bzw. Lagerelemente
19, 20, 38 zweckmäßigerweise aus dem gleichen Werkstoff
gefertigt wie die Verdampfer 5a, 5b selbst.
Auflistung der Einzelteile
3 Zuleitung
4 Zuleitung
5a, 5b Verdampfer, Verdampferschiffchen
6 Tragkörper
7 Leitungsdraht, Hochstromzuführung
8 Federelement
9 Kopfteil
10 Stirnfläche
11 Kühlschlauch
12 Kanal
13 Kragenteil
14 Isolierstück
15 Nase
16 Nase
17 Kopfteil
18 Stirnfläche
19 Lagerelement
20 Lagerelement
21 Balg
22 Öffnung
23 Führungskörper
24 Nockenrad
25 Stützkörper
26 Verschraubung
27 Führungsplatte
28 Schraube
29 Isolierstück
30 Isolierstück
31 Bohrung
32 Seitenfläche
33 Druckstück
34 Isolierhülse
35 Schraube
36 Bohrung
37 flexible Rohrleitung
38 Lagerelement
39 Stützbock
40 Stützfläche
41 Stützfläche
42 Stützfläche
4 Zuleitung
5a, 5b Verdampfer, Verdampferschiffchen
6 Tragkörper
7 Leitungsdraht, Hochstromzuführung
8 Federelement
9 Kopfteil
10 Stirnfläche
11 Kühlschlauch
12 Kanal
13 Kragenteil
14 Isolierstück
15 Nase
16 Nase
17 Kopfteil
18 Stirnfläche
19 Lagerelement
20 Lagerelement
21 Balg
22 Öffnung
23 Führungskörper
24 Nockenrad
25 Stützkörper
26 Verschraubung
27 Führungsplatte
28 Schraube
29 Isolierstück
30 Isolierstück
31 Bohrung
32 Seitenfläche
33 Druckstück
34 Isolierhülse
35 Schraube
36 Bohrung
37 flexible Rohrleitung
38 Lagerelement
39 Stützbock
40 Stützfläche
41 Stützfläche
42 Stützfläche
Claims (6)
1. Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen,
insbesondere für Bandbedampfungsanlagen, bestehend
aus mehreren, einzeln in der Leistung steuerbaren,
durch Stromdurchgang beheizten, an stützenförmig
ausgebildeten elektrischen Zuleitungen (3, 4) an
liegenden Verdampfern (5a, 5b), wobei die stützen
förmigen Zuleitungen (3, 4) von einem sich über
die gesamte Länge des Reihenverdampfers erstrec
kenden, elektrisch leitfähigen Tragkörper (6)
gehalten sind und die Zuleitungen (3) der einen
Polarität elektrisch leitend mit dem Tragkörper
(6) verbunden sind, während die Zuleitungen (4)
der anderen Polarität isoliert durch den Tragkör
per (6) hindurchgeführt und mit isoliert angeord
neten Leitungsdrähten (7) verbunden sind, dadurch
gekennzeichnet, daß sich die Verdampfer (5a, 5b)
über vorzugsweise als Zylinderabschnitte ausge
formte Lagerelemente (19, 20) an den oberen Enden
oder Nasen (15, 16) der Zuleitungen (3, 4) abstüt
zen, wobei die Lagerelemente (19, 20) aus einem
stromleitenden Werkstoff, beispielsweise einer
Keramik, gebildet sind.
2. Reihenverdampfer nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß sich die Rotationsachsen der Lager
elemente (19, 20) horizontal und quer zur Längs
achse der trogförmigen, im wesentlichen parallel
epipeden Verdampfer (5a, 5b) erstrecken.
3. Reihenverdampfer nach den Ansprüchen 1 und 2, da
durch gekennzeichnet, daß an den Stirnflächen der
Verdampfer (5a, 5b) sich horizontal erstreckende,
rinnen- oder schalenförmige Vertiefungen vorge
sehen sind, die zusammen mit gleichartig ausge
formten, diesen gegenüberliegenden Vertiefungen in
den Nasen (15, 16) der Zuleitungen (3, 4) paar
weise jeweils das Lager für ein Lagerelement (19,
20) bilden.
4. Reihenverdampfer nach den Ansprüchen 1 bis 3, da
durch gekennzeichnet, daß jeweils zwei Verdampfer
(5a, 5b) paarweise hintereinanderliegend angeord
net sind, wobei jeweils die einander zugekehrten,
mit rinnen- oder schalenförmigen Vertiefungen
versehenen Stirnflächen (10, 18) eines Verdampfer
paares (5a, 5b) sich über ein einziges Lagerele
ment (38) aneinander abstützen.
5. Reihenverdampfer nach einem oder mehreren der vor
hergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
jeweils der eine Verdampfer (5a) eines Verdampfer
paares (5a, 5b) auf einem Stützbock (39) aufliegt,
der seinerseits auf dem Tragkörper (6) befestigt
ist, wobei die mit der Unterseite des Verdampfers
(5a) in Berührung stehende Abstützfläche (40)
kammrückenförmig ausgebildet ist.
6. Reihenverdampfer nach einem oder mehreren der vor
hergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
die paarweise hintereinanderliegend angeordneten
Verdampfer (5a, 5b) jeweils an ihren Stirnflächen
rinnen- oder schalenförmige Vertiefungen mit glei
chen Abmessungen aufweisen, deren Symmetrieachsen
parallel zueinander, in gleicher Ebene und quer
zur Längserstreckung der Verdampfer (5a, 5b) ange
ordnet sind, wobei die in den drei Vertiefungen
gehaltenen Lagerelemente (19, 38, 20) Wälzkörper
aus elektrisch leitendem Werkstoff sind und
vorzugsweise aus dem gleichen Werkstoff gebildet
sind, aus dem auch die Verdampfer (5a, 5b) selbst
bestehen.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4016225A DE4016225C2 (de) | 1990-05-19 | 1990-05-19 | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
US07/574,595 US5179622A (en) | 1990-05-19 | 1991-08-29 | Series evaporator for vacuum vapor-deposition apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4016225A DE4016225C2 (de) | 1990-05-19 | 1990-05-19 | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4016225A1 true DE4016225A1 (de) | 1991-11-21 |
DE4016225C2 DE4016225C2 (de) | 1997-08-14 |
Family
ID=6406829
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4016225A Expired - Fee Related DE4016225C2 (de) | 1990-05-19 | 1990-05-19 | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5179622A (de) |
DE (1) | DE4016225C2 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5261964A (en) * | 1991-12-03 | 1993-11-16 | Leybold Aktiengesellschaft | Evaporator boat for an apparatus for coating substrates |
US5265189A (en) * | 1991-07-15 | 1993-11-23 | Leybold Aktiengesellschaft | Serial evaporator for vacuum vapor depositing apparatus |
DE19607400C2 (de) * | 1996-02-28 | 1999-09-09 | Leybold Ag | Verdampferschiffchen für eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten |
EP0989201A1 (de) * | 1998-09-24 | 2000-03-29 | Leybold Systems GmbH | Verdampferkörper |
DE4404550C2 (de) * | 1994-02-12 | 2003-10-30 | Applied Films Gmbh & Co Kg | Anordnung zur Regelung der Verdampferrate von Tiegeln |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5481086A (en) * | 1994-08-09 | 1996-01-02 | Dynamic Systems Inc. | High temperature deformable crucible for use with self-resistively heated specimens |
DE19632581B4 (de) * | 1996-08-13 | 2007-11-22 | Applied Materials Gmbh & Co. Kg | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
EP1408135A1 (de) * | 2002-10-08 | 2004-04-14 | Galileo Vacuum Systems S.R.L. | Vorrichtung zur physikalischen Dampfabscheidung |
US20120090544A1 (en) * | 2010-10-18 | 2012-04-19 | Kim Mu-Gyeom | Thin film deposition apparatus for continuous deposition, and mask unit and crucible unit included in thin film deposition apparatus |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3387116A (en) * | 1965-10-08 | 1968-06-04 | Contiental Can Company Inc | Contacts for vaporizers employed in vacuum metallizing |
DE2402111B2 (de) * | 1974-01-17 | 1978-05-11 | Leybold-Heraeus Gmbh & Co Kg, 5000 Koeln | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2554902A (en) * | 1948-03-25 | 1951-05-29 | Nat Res Corp | Thermionic discharge device control |
US2969448A (en) * | 1959-03-03 | 1961-01-24 | Continental Can Co | Heater vaporizer element support |
US3117887A (en) * | 1961-11-13 | 1964-01-14 | Republic Steel Corp | Apparatus and procedure for evaporating metal in vacuum metalizing |
US3281517A (en) * | 1963-11-19 | 1966-10-25 | Melpar Inc | Vacuum furnace |
CH452313A (de) * | 1965-12-18 | 1968-05-31 | Balzers Patent Beteilig Ag | Vorrichtung zur Verdampfung von Stoffen im Vakuum |
US3554512A (en) * | 1969-03-24 | 1971-01-12 | George H Elliott | Crucible for holding molten semiconductor materials |
US3563202A (en) * | 1969-06-25 | 1971-02-16 | Pennwalt Corp | Mobile vbaporative firing source |
US3617348A (en) * | 1969-10-15 | 1971-11-02 | Motorola Inc | Method and apparatus for the evaporation of chromium-silver |
US3637980A (en) * | 1970-07-13 | 1972-01-25 | Motorola Inc | Electrical and mechanical connections and support for evaporating boats |
US4264803A (en) * | 1978-01-10 | 1981-04-28 | Union Carbide Corporation | Resistance-heated pyrolytic boron nitride coated graphite boat for metal vaporization |
JPS552709A (en) * | 1978-06-19 | 1980-01-10 | Ricoh Co Ltd | Evaporation source for metallizing |
DE3140458A1 (de) * | 1981-10-12 | 1983-04-21 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | Atomisierungsvorrichtung fuer die atomabsorptionsspektroskopie |
DE3316554C1 (de) * | 1983-05-06 | 1984-07-12 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Verdampfervorrichtung mit Strahlheizung zum Aufdampfen mehrerer Materialien |
-
1990
- 1990-05-19 DE DE4016225A patent/DE4016225C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-08-29 US US07/574,595 patent/US5179622A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3387116A (en) * | 1965-10-08 | 1968-06-04 | Contiental Can Company Inc | Contacts for vaporizers employed in vacuum metallizing |
DE2402111B2 (de) * | 1974-01-17 | 1978-05-11 | Leybold-Heraeus Gmbh & Co Kg, 5000 Koeln | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5265189A (en) * | 1991-07-15 | 1993-11-23 | Leybold Aktiengesellschaft | Serial evaporator for vacuum vapor depositing apparatus |
DE4123342C2 (de) * | 1991-07-15 | 1999-08-19 | Leybold Ag | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
US5261964A (en) * | 1991-12-03 | 1993-11-16 | Leybold Aktiengesellschaft | Evaporator boat for an apparatus for coating substrates |
DE4404550C2 (de) * | 1994-02-12 | 2003-10-30 | Applied Films Gmbh & Co Kg | Anordnung zur Regelung der Verdampferrate von Tiegeln |
DE19607400C2 (de) * | 1996-02-28 | 1999-09-09 | Leybold Ag | Verdampferschiffchen für eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten |
EP0989201A1 (de) * | 1998-09-24 | 2000-03-29 | Leybold Systems GmbH | Verdampferkörper |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4016225C2 (de) | 1997-08-14 |
US5179622A (en) | 1993-01-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
AT398581B (de) | Langgestreckte gestelle und zugehörige teile zum lösbaren befestigen von zu galvanisierenden leiterplatten, sowie zugehörige leiterplatten | |
DE4016225C2 (de) | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen | |
EP3686102A1 (de) | Pedelec-tretlagerantriebseinheit | |
EP0667547A3 (de) | Stereo-Endoskop | |
DE4214935A1 (de) | Linearbewegungsanlage mit fehlausrichtungs-beseitigung | |
DE20118841U1 (de) | System zur Bildung einer Standwand für Flachbildschirmgeräte | |
DE3441887C1 (de) | Ofen fuer die Waermebehandlung von Halbleiter-Substraten | |
EP0523311B1 (de) | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen | |
EP0456892B1 (de) | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen | |
EP0763248B1 (de) | Isolierträger für vakuumschaltröhren | |
WO1998045579A1 (de) | Mehrzylinder-brennkraftmaschine mit zwei einlass- und zwei auslassventilen | |
DE3631401A1 (de) | Laengsfuehrung, insbesondere fuer positionierbare anschlageinrichtungen | |
EP1980359B1 (de) | Verstelleinheit | |
DE2549281C3 (de) | ||
DE69412731T2 (de) | Verbindungsvorrichtung für elektrische Leiter für Abzweig- oder Anschlussklemmen | |
DE2317407C3 (de) | Flüssigkeitsstandanzeiger | |
DE3336922C2 (de) | ||
DE828838C (de) | Stopfenwalzwerk | |
DE3432536C1 (de) | Vorrichtung zur Linearführung, insbes. Geradführung | |
DE3800148A1 (de) | Kugelgelenklager | |
DE3004240A1 (de) | Vorrichtung zum hydraulischen abspritzen bzw. entzundern von walzgut, insbesondere von bloecken mit unterschiedlich grossen querschnittsabmessungen | |
DE456758C (de) | Anordnung von Reihenklemmen fuer elektrische Leitungen | |
DE19632581B4 (de) | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen | |
DE102006005544A1 (de) | Anschlusselement für elektrische Kondensatoren | |
DE2745001C2 (de) | Düsenaggregat für gasdynamische Hochleistungslaser |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 |
|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: UNAXIS DEUTSCHLAND HOLDING GMBH, 63450 HANAU, DE |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |