DE2402111B2 - Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen - Google Patents
Reihenverdampfer für VakuumbedampfungsanlagenInfo
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen, insbesondere für
Bandbedampfungsanlagen, bestehend aus mehreren, einzeln in der Leistung steuerbaren, durch Stromdurchgang beheizten, auf stützenförmig ausgebildeten elektrischen Zuleitungen befestigten Verdampfern.
Bei Reihenverdampfern handelt es sich um Verdampfungseinrichtungen, die aus mehreren, in einer Reihe
angeordneten Verdampferelementen von im wesentlichen gleicher Bauart bestehen. Sie werden in den Fällen
eingesetzt, in denen eine größere Fläche möglichst gleichmäßig mit dem zu verdampfenden Stoff beschichtet werden soll. Besonders hohe Anforderungen an eine
gleichmäßige Niederschlagsrate bzw. Schichtdickenverteilung werden bei Bedampfungsanlagen für die
Bedampfung von Bändern und Folien mit erheblichen Breiten gestellt. Hierbei wird ein Band mit großer
Geschwindigkeit oberhalb einer reihenförmigen Verdampfungsanordnung bewegt Aufgrund der bei solchen
Bändern auftretenden Randeffekte und der bei einzelnen Verdampfern auftretenden Dampfstrahlen mit
Vorzugsrichtung können breite Bänder mit einem einzigen Verdampfer nicht gleichmäßig beschichtet
werden, auch dann nicht wenn der Verdampfer eine Länge besitzt, die im wesentlichen der Breite des
Bandes entspricht. Als Grund hierfür ist die Unmöglichkeit anzusehen, einzelne Zonen eines solchen langen
niedrigere Verdampfungsrate zu steuern bzw. zu regeln.
r> Schaffung des Reihenverdampfers gelöst, bei dem jedes
besitzt, die zu einem eigens für diese Verdampfereinheit
vorgesehenen Stellglied führt. Diese Maßnahme bedingt
eine Vielzahl von elektrischen Zuleitungen, welche
ίο vakuumdicht durch das Gehäuse der Bedampfungsanlage ins freie geführt werden müssen. Darüber hinaus
bedingt die thermische Belastung der Verdampfer eine intensive Kühlung der Kontakte bzw. Einspannstellen
der Verdampferschiffchen. Auch hiermit ist wiederum
notwendigerweise eine Vielzahl von Zu- und Ableitungen für die Führung einer Kühlflüssigkeit verbunden.
Bereits bei einem Reihenverdampfer, der aus acht Verdampferelementen besteht, führt dies zu einem
nahezu unübersehbaren Wirrwarr von Leitungen mit
2» den entsprechenden Dichtungsproblemen.
Durch das DE-Gm 70 37 932 ist es bereits bekannt, die Vielzahl der Leitungen und deren Durchführungsstellen durch die Wand der Vakuumkammer dadurch
auf die Hälfte zu reduzieren, daß man die Kühlmittelhin-
und -rückleitungen als Koaxial-Leitungen ausführt, von
denen die äußere gleichzeitig zur Stromzuführung dient. Die bekannte Anordnung besitzt jedoch immer noch
eine unerwünscht große Anzahl von Leitungen und Wanddurchführungen, insbesondere dann, wenn die
Anzahl der einzelnen Verdampferelemente weiter erhöht wird, was beispielsweise bei der Bedampfung
von breiteren Bändern unerläßlich ist Außerdem erschweren die teilweise gekrümmt verlegten Leitungen die Reinigung der Anlage außerordentlich, so daß
is der Wunsch nach starker Vereinfachung des Konstruktionsaufwandes entstanden ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Reihenverdampfer der eingangs beschriebenen Bauart
anzugeben, bei dem die Dichtungsprobleme weiter
·><> reduziert werden und bei der eine Verdampferanordnung entsteht, deren Äußeres bei völligem Verzicht auf
äußerlich sichtbare Leitungen einen glatten und geschlossenen Eindruck macht, so daß eine Reinigung
leicht möglich ist.
Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei dem eingangs beschriebenen Reihenverdampfer gemäß der
vorliegenden Erfindung dadurch, daß die stützenförmigen Zuleitungen zu den Verdampfern auf einem sich
über die gesamte Länge des Reihenverdampfers
erstreckenden, elektrisch leitfähigen Hohlkörper befestigt sind und die Zuleitungen der einen Polarität
elektrisch leitend mit dem Hohlkörper verbunden sind, während die Zuleitungen der anderen Polarität isoliert
durch den Hohlkörper hindurchgeführt und mit im
Innern des Hohlkörpers isoliert angeordneten Leitungsdrähten verbunden sind, und der Hohlkörper als
Behälter für ein Kühlmittel eingerichtet ist
Bei Befolgung der erfindungsgemäßen Lehre wird die
Reinigung des Reihenverdampfers aufgrund der glatten
Oberfläche des elektrisch leitfähigen Hohlkörpers
wesentlich vereinfacht. Eine regelmäßige Reinigung ist deswegen erforderlich, weil bei der Verdampfung von
Metallen ein Teil des Metalles auf dem unvermeidbaren elektrischen Isolatoren kondensiert und den Isolations-
ii5 widerstand beträchtlich herabsetzt. Eine Reinigung ist
aber auch deswegen erforderlich, weil ein Teil des verdampften Stoffes auf anderen Flächen als dem
Substrat kondensiert, nach Erreichen einer größeren
Schichtdicke abblättert und die gesamte Anlage verunreinigt.
Durch die gemeinsame Kühlung aller Einspannstellen bei Reihenverdampfern können weniger temperaturbeständige
Werkstoffe verwendet werden, >o daß die Herstellkosten gesenkt werden können. Aufgrund der
Anordnung der Leitungsdrähte im Innern des Hohlkörpers werden die Leitungsdrähte zwangsweise durch das
sie umströmende Kühlmittel gekühlt, so daß kleinere Querschnitte verlegt werden können, die eine leichtere
Verlegung m:t sich bringen. Spannungs- und Kühlwasserdurchführung
durch die Vakuumkammer sind miteinander identisch; es wird für jeden Reihenverdampfer
nur eine einzige Durchführung durch die Wand der Vakuumkammer benötigt. Die vakuumdichte Durchführung
der stützenförmigen Zuleitungen durch den Hohlkörper ist relativ unproblematisch, weil es sich
hierbei um einfache Bauteile handelt, für deren Abdichtung ausreichend Platz zur Verfügung steht Im
übrigen kann die Montage des Reihenverdampfers außerhalb der Vakuumanlage durchgeführt und die
erforderliche Vakuumdichtheit außerhalb der Anlage überprüft werden.
Die stützenförmigen Zuleitungen zu den Verdampfern dienen zur Einspannung und Halterung des
jeweiligen Verdampfers sowie zu dessen Stromversorgung. Sie können in verschiedener Weise ausgeführt
sein, jedoch empfiehlt sich infolge der notwendigen Abdichtung eine Ausbildung in Form eines rotationssymmetrischen
Zapfens, der mit Mitteln für das vakuumdichte Einsetzen in den Hohlkörper ausgestattet
ist und an den im eingebauten Zustand nach oben weisenden Ende eine Einspannmöglichkeit für den
einzelnen Verdampfer bzw. das Verdampferschiffchen besitzt. Die Zuleitung hat somit das Aussehen einer
Stützsäule mit elektrischer Leitfähigkeit. Eine sehr einfache Ausführung auch im Hinblick auf den
Herstellungsaufwand ergibt sich gemäß der weiteren Erfindung dann, wenn der elektrisch leitfähige Hohlkörper
als quaderförmiger Kasten ausgebildet ist, in dessen oberer Wand zwei parallele Reihen von Bohrungen
angeordnet sind, von denen die eine Reihe zur Aufnahme der Zuleitungen einer Polarität und die
andere Reihe zur Aufnahme der Zuleitungen der anderen Polarität dient.
Der zu treibende Fertigungsaufwand kann dadurch noch weiter verringert werden, daß die stützenförmigen
Zuleitungen beider Polaritäten mindestens an eier Stelle des Durchtritts durch den Hohlkörper identisch
ausgebildet sind und daß für die elektrisch leitende Verbindung mit dem Hohlkörper metallische Dichtelemente
und für die isolierte Durchführung nichtleitende Dichtelemente von identischen Abmessungen vorgesehen
sind. Ein derart konstruierter Reihenverdampfer läßt sich nach Art eines Baukastensystems aus wenigen,
vorgefertigten Teilen zusammensetzen, wobei je nach der Polarität der stützenförmigen Zuleitung lediglich
das entsprechende, leitende oder nichtleitende Dichtelement ausgewählt werden muß. Weitere Vorteile
ergeben sich aus der nachfolgenden Detailbeschreibung.
Ein Ausführungsbeispiel des Gegenstandes der Erfindung sei nachfolgend anhand der F i g. 1 und 2
näher beschrieben. Es zeigt
F i g. 1 einen Querschnitt durch ein Verdampferelement und
F i g. 2 eine Draufsicht auf einen Ausschnitt aus einem Reihenverdampfer gernäß F i g. 1.
In F i g. 1 ist mit 10 ein Verdampferschiffchen bezeichnet, welches in seinem mittleren Teil eine
Ausnehmung 11 zur Aufnahme des geschmolzenen und zu verdampfenden Materials 12 enthält. Da das
Verdampferschiffchen durch Stromdurchgang beheizbar ist, besteht es aus einem elektrisch leitfähigen
Material. Hierfür kommen beispielsweise Graphit oder hochtemperaturbeständige Metalle in Frage, wie
beispielsweise Wolfram, sowie Keramik-Metall-Verbindungen.
ίο Das zu verdampfende Material wird während des
Betriebes kontinuierlich in Form eines Drahtes 13 von einer Vorratsrolle 14 zugeführt. Das Verdampferschiffchen
10 ist an seinem einen Ende unter guter Kontaktgabe in einer stützenförmigen Zuleitung 15
eingespannt, die aus gutleitendem Metall besteht und im wesentlichen rotationssymmetrisch ausgebildet ist. Am
oberen Ende der Zuleitung 15 befindet sich eine der Breite des Verdampferschiffchens 10 entsprechende
Ausnehmung 16, die beidseitig von Spannbacken 17 begrenzt wird. Der Stromübergang erfolgt durch
zwischengelegte Graphitfolie, die elastisch genug ist, bei Wärmeausdehnungen der Schiffchen den elektrischen
Kontakt aufrechtzuerhalten.
Die Zuleitung 15 besitzt einen ringförmigen Flansch 18, an den sich ein zylindrischer Fortsatz 19, ein
Gewinde 20 und ein stark verjüngter Zapfen 21 anschließen.
Unterhalb des Verdampferschiffchens 10 befindet sich ein kastenförmiger, metallischer Hohlkörper 22
entsprechenden Querschnitts, dessen obere Wand 23 mit zwei parallelen Reihen von Bohrungen 24 und 25
versehen ist, von denen in F i g. 1 nur jeweils die in der Schnittebene liegenden Bohrungen zu sehen sind. Durch
die in der Zeichnung rechts liegende Bohrung 24 ist die Zuleitung 15 mittels des zylindrischen Fortsatzes 19
hindurchgeführt Der Flansch 18 stützt sich hierbei unter Zwischenschaltung eines isolierenden Dichtelements 26
auf der Oberseite der oberen Wand 23 ab. Ihm gegenüber ist ein zweites, isolierendes Dichtelement 27
angeordnet, welches mittels einer Spannmutter 28 gegen die Wand 23 vakuumdicht verschraubt ist. Die
Dichtwirkung kann durch besondere Rundschnurringe 29 zusätzlich verbessert werden. An dem Zapfen 21 ist
mittels einer Klemme 30 einer der Leitungsdrähte 31 für die Stromversorgung des Schiffchens 10 befestigt.
Das andere andere Ende des Verdampferschiffchens 10 ist in analoger Weise zwischen Spannbacken 17'
eingespannt, welche Teil einer stützenförmigen Zuleitung 15' sind, die mit der Zuleitung 15 identisch ist. Auch
so die Art der Befestigung in der in der Figur links
liegenden Bohrung 25 ist identisch, jedoch mit dem Unterschied, daß als Material für die Dichtelemente 26'
und 27' ein elektrisch gutleitender Werkstoff verwendet wird.
Eine Phase der Stromversorgung ist an den Hohlkörper 22 angeschlossen, während die andere
Phase mit dem Leitungsdraht 31 verbunden ist. Der Heizstrom für das Verdampferschiffchen 10 fließt somit
vom Hohlkörper 22 über die Dichtelemente 26', 27' zur
bo Zuleitung 15' und von hier über das Verdampferschiffchen
10 zur Zuleitung 15 bis zum Gewindezapfen 21 und über die Klemme 30 zum Leitungsdraht 31. Analoge
Verhältnisse gelten für ein dahinterliegendes, in der Zeichnung nicht dargestelltes Verdampferelement, von
n-) dem nur ein weiterer Leitungsdraht 32 sichtbar ist
Durch die angegebene Stromführung können sämtliche Verdampferschiffchen 10 bzw. 10a parallel, jedoch mit
unterschiedlicher Leistungsregelung betrieben werden.
Es ist zu erkennen, daß der Hohlkörper 22 nicht nur die Leitungsdrähte 31 und 32 zum Zwecke einer intensiven
Kühlung mittels eines darin befindlichen Kühlmediums umschließt, sondern auch einen Teil der stützenförmigen
Zuleitungen 15 bzw. 15'. Hierdurch ist es möglich, ·>
auch die unteren Enden dieser Zuleitungen stark zu kühlen, so daß eine übermäßige Aufheizung insbesondere
der Durchführungen durch die obere Wand 23 durch einen unvermeidbaren Wärmefluß vom Schiffchen 10
her vermieden, mindestens aber stark reduziert wird. ι«
Aus Fig.2 ist die Parallelanordnung zweier Verdampferelemente
mit den Verdampferschiffchen 10 und 10a gezeigt. Die Schiffchen sind auf ihrer linken Seite
zwischen den Spannbacken 17' bzw. 17a'befestigt. Eine
analoge Befestigung erfolgt auf der gegenüberliegenden Seite mittels der Spannbacken 17 usw. Die Leitungs
drähte 31 und 32 verlaufen auf einem Teil ihres Wege parallel zueinander und sind am Ende des kastenform!
gen Hohlkörpers 22 durch eine Abschlußwand 3; geführt, die aus zwei Platten 34 und 35 besteht. Dii
Platten sind gegeneinander verspannbar, wobei mittel einer entsprechenden Anzahl von Rundschnurringen 3<
die erforderliche Abdichtung erreicht wird. Zwischei Abschlußwand 33 und Hohlkörper 22 befindet sich eil
weiterer Rundschnurring 37.
Die Anzahl der Verdampferschiffchen 10 bzw. 1Oi
beträgt natürlich ein Vielfaches der in F i g. 2 dargestell ten Zahl, wobei zu jeder der in F i g. 2 rechts liegendei
Zuleitungen 15 ein Leitungsdraht 31 bzw. 32 führt.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (3)
1. Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen, insbesondere für Bandbedampfungsanlagen,
bestehend aus mehreren, einzeln in der Leistung steuerbaren, durch Stromdurchgang beheizten, auf
stützenförmig ausgebildeten elektrischen Zuleitungen befestigten Verdampfern, dadurch gekennzeichnet, daß die stützenförmigen Zuleitungen (15, 15') auf einem sich über die gesamte
Länge des Reihenverdampfers erstreckenden, elektrisch leitfähigen Hohlkörper (22) befestigt sind und
die Zuleitungen (15') der einen Polarität elektrisch leitend mit dem Hohlkörper verbunden sind,
während die Zuleitungen (15) der anderen Polarität isoliert durch den Hohlkörper hindurchgeführt und
mit im Innern des Hohlkörpers isoliert angeordneten Leitungsdrähten (31,32) verbunden sind, und der
Hohlkörper als Behälter für ein Kühlmittel eingerichtet ist
2. Reihenverdampfer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der elektrisch leitfähige Hohlkörper (22) als quaderförmiger Kasten ausgebildet
ist, in dessen oberer Wand (23) zwei parallele Reihen von von Bohrungen (24, 25) angeordnet sind, von
denen die eine Reihe zur Aufnahme der Zuleitungen (15) einer Polarität und die andere Reihe zur
Aufnahme der Zuleitungen (15') der anderen Polarität dient.
3. Reihenverdampfer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die stützenförmigen Zuleitungen (15, 15') beider Polaritäten mindestens an
der Stelle des Durchtritts durch den Hohlkörper (22) identisch ausgebildet sind und daß für die elektrisch
leitende Verbindung mit dem Hohlkörper metallische Dichtelemente (26', 27') und für die isolierte
Durchführung nichtleitende Dichtelemente (26, 27) von identischen Abmessungen vorgesehen sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19742402111 DE2402111C3 (de) | 1974-01-17 | 1974-01-17 | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19742402111 DE2402111C3 (de) | 1974-01-17 | 1974-01-17 | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
Publications (3)
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DE2402111A1 DE2402111A1 (de) | 1975-07-31 |
DE2402111B2 true DE2402111B2 (de) | 1978-05-11 |
DE2402111C3 DE2402111C3 (de) | 1979-01-11 |
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ID=5904995
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE19742402111 Expired DE2402111C3 (de) | 1974-01-17 | 1974-01-17 | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2402111C3 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4016225A1 (de) * | 1990-05-19 | 1991-11-21 | Leybold Ag | Reihenverdampfer fuer vakuumbedampfungsanlagen |
DE4015385A1 (de) * | 1990-05-14 | 1991-11-21 | Leybold Ag | Reihenverdampfer fuer vakuumbedampfungsanlagen |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3330092A1 (de) * | 1983-08-20 | 1985-03-07 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren zum einstellen der oertlichen verdampfungsleistung an verdampfern in vakuumaufdampfprozessen |
DE4123342C2 (de) * | 1991-07-15 | 1999-08-19 | Leybold Ag | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
US5343022A (en) * | 1992-09-29 | 1994-08-30 | Advanced Ceramics Corporation | Pyrolytic boron nitride heating unit |
-
1974
- 1974-01-17 DE DE19742402111 patent/DE2402111C3/de not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4015385A1 (de) * | 1990-05-14 | 1991-11-21 | Leybold Ag | Reihenverdampfer fuer vakuumbedampfungsanlagen |
DE4016225A1 (de) * | 1990-05-19 | 1991-11-21 | Leybold Ag | Reihenverdampfer fuer vakuumbedampfungsanlagen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2402111A1 (de) | 1975-07-31 |
DE2402111C3 (de) | 1979-01-11 |
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