DE1224273B - Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen - Google Patents
Vorrichtung zum tiegelfreien ZonenschmelzenInfo
- Publication number
- DE1224273B DE1224273B DES91655A DES0091655A DE1224273B DE 1224273 B DE1224273 B DE 1224273B DE S91655 A DES91655 A DE S91655A DE S0091655 A DES0091655 A DE S0091655A DE 1224273 B DE1224273 B DE 1224273B
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- rod
- seed crystal
- heating coil
- induction heating
- melting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
- C30B13/28—Controlling or regulating
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T117/00—Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
- Y10T117/10—Apparatus
- Y10T117/1024—Apparatus for crystallization from liquid or supercritical state
- Y10T117/1076—Apparatus for crystallization from liquid or supercritical state having means for producing a moving solid-liquid-solid zone
- Y10T117/1088—Apparatus for crystallization from liquid or supercritical state having means for producing a moving solid-liquid-solid zone including heating or cooling details
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DES91655A DE1224273B (de) | 1964-06-23 | 1964-06-23 | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen |
| NL6503268A NL6503268A (enrdf_load_stackoverflow) | 1964-06-23 | 1965-03-15 | |
| CH683265A CH421902A (de) | 1964-06-23 | 1965-05-17 | Verfahren zum tiegelfreien Zonenschmelzen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| US458944A US3310384A (en) | 1964-06-23 | 1965-05-26 | Method and apparatus for cruciblefree zone melting |
| BE665683D BE665683A (enrdf_load_stackoverflow) | 1964-06-23 | 1965-06-21 | |
| FR21626A FR1444375A (fr) | 1964-06-23 | 1965-06-21 | Procédé de fusion de zone sans creuset et dispositif pour sa réalisation |
| GB26676/65A GB1045664A (en) | 1964-06-23 | 1965-06-23 | A process for melting a rod of polycrystalline material zone-by-zone |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DES91655A DE1224273B (de) | 1964-06-23 | 1964-06-23 | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1224273B true DE1224273B (de) | 1966-09-08 |
Family
ID=7516653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DES91655A Pending DE1224273B (de) | 1964-06-23 | 1964-06-23 | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US3310384A (enrdf_load_stackoverflow) |
| BE (1) | BE665683A (enrdf_load_stackoverflow) |
| CH (1) | CH421902A (enrdf_load_stackoverflow) |
| DE (1) | DE1224273B (enrdf_load_stackoverflow) |
| GB (1) | GB1045664A (enrdf_load_stackoverflow) |
| NL (1) | NL6503268A (enrdf_load_stackoverflow) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1299326B (de) * | 1964-02-06 | 1969-07-17 | Computron Corp | Speicherverfahren fuer einen aus einer Verzoegerungsleitung aufgebauten dynamischen Speicher und Anordnung zur Durchfuehrung des Verfahrens |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1519908A1 (de) * | 1966-12-30 | 1970-07-02 | Siemens Ag | Vorrichtung zum Herstellen eines kristallinen Stabes durch tiegelfreies Zonenschmelzen |
| US3776703A (en) * | 1970-11-30 | 1973-12-04 | Texas Instruments Inc | Method of growing 1-0-0 orientation high perfection single crystal silicon by adjusting a focus coil |
| DE2508369A1 (de) * | 1975-02-26 | 1976-09-02 | Siemens Ag | Verfahren zum herstellen von scheibenfoermigen siliciumkoerpern, insbesondere fuer solarzellen |
| US5033948A (en) * | 1989-04-17 | 1991-07-23 | Sandvik Limited | Induction melting of metals without a crucible |
| US5003551A (en) * | 1990-05-22 | 1991-03-26 | Inductotherm Corp. | Induction melting of metals without a crucible |
| US5319670A (en) * | 1992-07-24 | 1994-06-07 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Velocity damper for electromagnetically levitated materials |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1128413B (de) * | 1960-11-25 | 1962-04-26 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung von zersetzungsfreiem einkristallinem Silicium durch tiegelfreies Zonenschmelzen |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1061527B (de) * | 1953-02-14 | 1959-07-16 | Siemens Ag | Verfahren zum zonenweisen Umschmelzen von Staeben und anderen langgestreckten Werkstuecken |
| US2972525A (en) * | 1953-02-26 | 1961-02-21 | Siemens Ag | Crucible-free zone melting method and apparatus for producing and processing a rod-shaped body of crystalline substance, particularly semiconductor substance |
| US2897329A (en) * | 1957-09-23 | 1959-07-28 | Sylvania Electric Prod | Zone melting apparatus |
| US3117859A (en) * | 1957-12-30 | 1964-01-14 | Westinghouse Electric Corp | Zone refining process |
| US3046100A (en) * | 1958-01-20 | 1962-07-24 | Du Pont | Zone melting of semiconductive material |
| US3023091A (en) * | 1959-03-02 | 1962-02-27 | Raytheon Co | Methods of heating and levitating molten material |
| US3134700A (en) * | 1959-04-22 | 1964-05-26 | Siemens Ag | Dislocation removal by a last pass starting at a location displaced from the original seed into the grown crystal |
| NL112832C (enrdf_load_stackoverflow) * | 1959-05-08 | |||
| US2992311A (en) * | 1960-09-28 | 1961-07-11 | Siemens Ag | Method and apparatus for floatingzone melting of semiconductor rods |
-
1964
- 1964-06-23 DE DES91655A patent/DE1224273B/de active Pending
-
1965
- 1965-03-15 NL NL6503268A patent/NL6503268A/xx unknown
- 1965-05-17 CH CH683265A patent/CH421902A/de unknown
- 1965-05-26 US US458944A patent/US3310384A/en not_active Expired - Lifetime
- 1965-06-21 BE BE665683D patent/BE665683A/xx unknown
- 1965-06-23 GB GB26676/65A patent/GB1045664A/en not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1128413B (de) * | 1960-11-25 | 1962-04-26 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung von zersetzungsfreiem einkristallinem Silicium durch tiegelfreies Zonenschmelzen |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1299326B (de) * | 1964-02-06 | 1969-07-17 | Computron Corp | Speicherverfahren fuer einen aus einer Verzoegerungsleitung aufgebauten dynamischen Speicher und Anordnung zur Durchfuehrung des Verfahrens |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| NL6503268A (enrdf_load_stackoverflow) | 1965-12-24 |
| US3310384A (en) | 1967-03-21 |
| GB1045664A (en) | 1966-10-12 |
| BE665683A (enrdf_load_stackoverflow) | 1965-12-21 |
| CH421902A (de) | 1966-10-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE1224273B (de) | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen | |
| DE3530231C2 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
| DE1166486B (de) | Vorrichtung zum Behandeln von Halbleitergrundstoffen im hochfrequenten Induktionsfeld in einem Tiegel | |
| DE1260439B (de) | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen | |
| DE69609937T2 (de) | Vorrichtung zur Herstellung Silizium Einkristallen | |
| DE2331004B2 (de) | Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen | |
| DE3534807A1 (de) | Geraet zum abziehen von dendritischem siliziumgewebe aus einer siliziumschmelze | |
| DE3226713A1 (de) | Als flachspule ausgebildete induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen | |
| DE1094711B (de) | Verfahren zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstaeben, insbesondere aus Silizium | |
| DE1257740B (de) | Verfahren und Vorrichtung zum tiegellosen Zonenschmelzen | |
| DE1263698B (de) | Verfahren zum tiegelfreien Zonenschmelzen | |
| DE1644004A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen eines kristallinen Stabes,insbesondere Halbleiterstabes | |
| DE3143146C2 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
| DE1296132B (de) | Verfahren zur Herstellung von Halbleiterstaeben durch Ziehen aus der Schmelze | |
| DE2534448C3 (de) | Vorrichtung zur Funkentstörung eines Scherenstromabnehmers | |
| DE1905906A1 (de) | Induktive Hebevorrichtung | |
| DE1275996B (de) | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen | |
| DE2812216A1 (de) | Verfahren zum besseren aufschmelzen des vorratsstabes beim tiegelfreien zonenschmelzen | |
| AT221138B (de) | Einrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von lotrecht stehenden Stäben aus Halbleitermaterial | |
| DE1198324B (de) | Verfahren zum tiegelfreien Zonenschmelzen | |
| DE1080695B (de) | Verfahren zur Herstellung eines Elektrodensystems mit einem halbleitenden Koerper und mindestens einer Legierungselektrode | |
| AT223659B (de) | Verfahren zur Herstellung von versetzungsfreiem einkristallinem Silizium durch tiegelfreies Zonenschmelzen | |
| DE2531099B2 (de) | Vorrichtung zum Abstützen des den Keimkristall enthaltenden Stabendes beim tiegelfreien Zonenschmelzen durch eine Trichterhülse | |
| DE656943C (de) | Metalldampfentladungsgefaess, insbesondere Quecksilberdampfstromrichter | |
| DE1197631B (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Zuechtung von metallischen Einkristallen in Form von haarfeinen Staebchen |