DE1206261B - Vorrichtung zur Abscheidung reinsten Halbleiter-materials aus einem stroemenden Gemisch einer gasfoermigen Verbindung, vorzugsweise eines Halogenids, des Halbleitermaterials und eines gasfoermigen Reaktionsmittels - Google Patents

Vorrichtung zur Abscheidung reinsten Halbleiter-materials aus einem stroemenden Gemisch einer gasfoermigen Verbindung, vorzugsweise eines Halogenids, des Halbleitermaterials und eines gasfoermigen Reaktionsmittels

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DE1206261B DES73645A DES0073645A DE1206261B DE 1206261 B DE1206261 B DE 1206261B DE S73645 A DES73645 A DE S73645A DE S0073645 A DES0073645 A DE S0073645A DE 1206261 B DE1206261 B DE 1206261B
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE1061593B (de) * 1956-06-25 1959-07-16 Siemens Ag Vorrichtung zur Gewinnung reinsten Halbleitermaterials fuer elektrotechnische Zwecke

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE1061593B (de) * 1956-06-25 1959-07-16 Siemens Ag Vorrichtung zur Gewinnung reinsten Halbleitermaterials fuer elektrotechnische Zwecke

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