DE112011103712T5

DE112011103712T5 - Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen

Info

Publication number: DE112011103712T5
Application number: DE112011103712T
Authority: DE
Inventors: Yusuke Tanba; Shuichi Nakagawa; Daisuke Muto; Masanori Watanabe; Masaru Matsushima; Masahiro Akatsu; Satoshi Okada
Original assignee: Hitachi High Technologies Corp; Hitachi High Tech Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 2010-11-09
Filing date: 2011-10-14
Publication date: 2013-08-14
Also published as: JP2012104298A; US20130228686A1; JP5537386B2; US8822952B2; WO2012063406A1

Abstract

Derzeit gibt es keine schalldichte Abdeckung, insbesondere keine schalldichte Abdeckung, die in einem Reinraum eingesetzt wird, bei der Schall durch eine Struktur speziell für eine voraussichtliche, durch Umgebungsschall erzeugte Schallfrequenz absorbiert wird. Eine wirksame Schallabsorption ist daher immer noch schwierig. Die Erfindung gibt dementsprechend eine Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen an, bei der entweder ein erster Schallabsorber, der ein Schallabsorptionsvermögen speziell für einen ersten Frequenzbereich aufweist, der die Eigenfrequenz der Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen als Referenz einschließt, oder ein zweiter Schallabsorber, der ein Schallabsorptionsvermögen speziell für einen zweiten Frequenzbereich aufweist, der die Frequenz der stehenden Schallwellen, die innerhalb der Abdeckung erzeugt werden, als Referenz einschließt, oder beide, der erste und der zweite Schallabsorber, innerhalb der Abdeckung der Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen bereitgestellt werden.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen, bei der verursacht durch akustische Anregung eine Beeinträchtigung der Bilder auftritt. Die Erfindung betrifft eine schalldichte Abdeckung, die unter der Annahme, dass die schalldichte Abdeckung insbesondere in einem Reinraum oder anderen ähnlichen Orten eingesetzt wird, Schalllärm und durch die äußere Umgebung hervorgerufene Schwingungen vermindert.
Stand der Technik
Bei einer Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen wie einem Elektronenmikroskop, bei der unter Verwendung von Elektronenstrahlen Betrachtungen mit hoher Vergrößerung durchgeführt werden, zittern die Bilder aufgrund eines äußeren kleinen Schalldrucks oder einer Schwingung. Die durch Oszillation verursachte Beeinträchtigung wird immer augenfälliger, wenn die Vergrößerung steigt. Um der Beeinträchtigung der Bilder vorzubeugen, die durch den Schalllärm in der Umgebung der Anlage verursacht werden, wird eine schalldichte Abdeckung vorgesehen, um die Übertragung der auf die Vorrichtung auftreffenden Schallwellen zu unterbinden. Im Allgemeinen weist die schalldichte Abdeckung unter Beachtung der Charakteristika von Schallwellen, die sich ausbreiten und eindringen können, sowie der Einfachheit des Aufbaus und der Kosten Flächen einer Hexaederstruktur auf, die durch eine obere und untere, eine linke und rechte und eine vordere und hintere Fläche gebildet wird.
Zur Verbesserung des Schallabsorptionsvermögens der Abdeckung ist eine Schallabsorption innerhalb der Abdeckung effektiv. Demnach ist es wirkungsvoll, überall an der Innenfläche der Abdeckung poröses organisches Material anzubringen. Die Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen wird jedoch im Allgemeinen in einem Reinraum eingesetzt, sodass in diesem Fall ein Problem darin bestehen kann, dass die Staubbildung durch Abtrag des organischen Materials die Staubdichtheit des Reinraums beeinträchtigt. Zur Lösung dieses Problems offenbart PTL 1 eine Technologie, bei er ein schallabsorbierendes Material durch staubdichte Fasern bedeckt und das schallabsorbierende Material an einer äußeren Abdeckung angebracht wird.
Auf dem Gebiet der Tontechnik ist es ferner allgemein bekannt, dass abhängig von der Form eines kolbenartigen Behälters und erzeugt durch Luftschwingung an einer Öffnung des Behälterumrisses eine Resonanzfrequenz auftritt. Dies wird als Helmholtz-Resonanztheorie bezeichnet und es wurden auf der Basis dieser Theorie Technologien für die Schallabsorption entwickelt. Als eine der Strukturen, die diese Technologien einsetzen, offenbart PTL 2 eine schallabsorbierende Struktur, die aus einer kastenförmigen, mehrere kleine Bohrungen aufweisenden Komponente gebildet ist.
Liste der Referenzen des Standes der Technik
Patentdokument

PTL 1: JP-A-2006-79870
PTL 2: JP-A-2008-138505

Kurzbeschreibung der Erfindung
Technische Problemstellung
Derzeit gibt es keine schalldichte Abdeckung, insbesondere keine schalldichte Abdeckung, die in einem Reinraum eingesetzt wird, bei der Schall durch eine Struktur speziell für eine voraussichtliche, durch Umgebungsschall erzeugte Schallfrequenz absorbiert wird, sodass eine wirksame Schallabsorption schwierig ist. Eine Aufgabe der Erfindung besteht daher darin, eine Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen anzugeben, die einen schalldichten Gehäuseaufbau für die Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen aufweist, wobei der schalldichte Gehäuseaufbau eine schallabsorbierende Struktur umfasst, die mit hoher Effizienz Schall absorbieren kann, und wobei die schallabsorbierende Struktur so angeordnet ist, dass eine wirksame Schallabsorption erziel wird.
Lösung der Problemstellung
Zur Lösung der oben angegebenen Probleme wird innerhalb einer Abdeckung für eine Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen entweder ein erster Schallabsorber, der ein Schallabsorptionsvermögen speziell für einen ersten Frequenzbereich aufweist, wobei die Eigenfrequenz der Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen als Referenz eingeschlossen ist, oder ein zweiter Schallabsorber, der ein Schallabsorptionsvermögen speziell für einen zweiten Frequenzbereich einschließlich der Frequenz der stehenden Schallwellen aufweist, die innerhalb der Abdeckung als Referenz erzeugt werden, oder beide, der erste und der zweite Schallabsorber, bereitgestellt.
Vorteilhafte Wirkungen der Erfindung
Die Erfindung kann eine schalldichte Abdeckung bereitstellen, die die Eigenschwingung einer Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen sowie in der Abdeckung erzeugte stehende Schallwellen in effizienter Weise absorbiert. Die Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen, die die schalldichte Abdeckung umfasst, kann durch Lärmschall der Installationsumgebung verursachte Bildbeeinträchtigungen vermindern.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 erläutert die allgemeine Struktur eines Rasterelektronenmikroskops.
2 veranschaulicht das äußere Erscheinungsbild des Rasterelektronenmikroskops, das eine Abdeckung umfasst.
3 ist eine Querschnittdarstellung des Rasterelektronenmikroskops.
4 veranschaulicht die Struktur eines Schallabsorbers.
5 veranschaulicht eine Ausführungsform 1.
6 veranschaulicht eine Ausführungsform 2.
7 veranschaulicht eine Ausführungsform 3.
8 veranschaulicht eine Ausführungsform 4.
9 veranschaulicht stehende Schallwellen, die innerhalb der Abdeckung erzeugt werden.
10 veranschaulicht eine Ausführungsform 5.
11 ist eine Querschnittsdarstellung einer Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen, die eine Probentransfereinheit umfasst.
12 veranschaulicht eine Ausführungsform 6.
13 veranschaulicht die in Ausführungsform 6 gezeigte Struktur in dreidimensionaler Darstellung.
14 veranschaulicht eine Ausführungsform 7.
Beschreibung von Ausführungsformen
Eine hier beschriebene Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen bezieht sich auf Vorrichtungen, mit denen sehr genaue Untersuchungen, Betrachtungen und Prozesse durchgeführt werden, wie Mehrzweck-Rasterelektronenmikroskope, Messvorrichtungen (CD-SEM), Überprüfungsvorrichtungen, Defektnachweissysteme und Probenbearbeitungsvorrichtungen, die Strahlen geladener Teilchen einsetzen, und betrifft alle Vorrichtungen, die durch geringe Oszillationen der Vorrichtungen beeinträchtigt werden.
1 zeigt schematisch die allgemeine Struktur eines Rasterelektronenmikroskops als ein Beispiel für die Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen. Das in 1 dargestellte Rasterelektronenmikroskop weist eine Säule mit einem elektronenoptischen System auf, das mit optischen Elementen ausgestattet ist, wie einer Elektronenkanone 100, einer Linse 101, einem Rasterdeflektor 102, einer Objektivlinse 103, einer Probe 104 und einem Sekundärpartikel-Detektor 105, und umfasst ferner einen Tisch 106, der eine Probenhalterung, auf der eine als zu betrachtendes Ziel dienende Probe gehalten wird, in einer Richtung innerhalb einer X-Y-Ebene verschiebt, eine Steuereinheit 107 für das elektronenoptische System, das die in dem elektronenoptischen System enthaltenen optischen Elemente steuert, einen A/D-Wandler 108, der die von dem Sekundärpartikel-Detektor 105 erhaltenen Signale quantifiziert, eine Steuereinheit 109 für den Tisch, die den Tisch 106 steuert, eine allgemeine Steuereinheit 110, eine Bildverarbeitungseinheit 111, eine mit einer Anzeigevorrichtung versehene Bedieneinheit 112, eine Tastatur und eine Zeigeeinrichtung wie eine Maus, eine Speichereinheit 113 mit HDD, Speicher und anderen, ein optisches Mikroskop 114 und weiteren Komponenten. Das elektronenoptische System, die Steuereinheit 107 für das elektronenoptische System, der A/D-Wandler 108, der Tisch 104 und die Steuereinheit 109 für den Tisch, die oben beschrieben wurden, stellen ein Rasterelektronenmikroskop dar, das einer bildgebenden Einrichtung zur Aufnahme von REM-Bildern entspricht.
Zunächst wird die Probe 104 mit Hilfe einer Beladungseinrichtung (nicht dargestellt) zum Überführen einer Probe auf dem Probentisch 106 positioniert und von einer Probenvorbereitungskammer 115 in das Elektronenmikroskop 116 gebracht.
Ein primärer Elektronenstrahl 117 aus der Elektronenkanone 100 wird durch die Linsen 101 fokussiert und durch den Rasterdeflektor 102 abgelenkt. Der abgelenkte Strahl wird durch die Objektivlinsen 103 fokussiert und auf die Probe 104 gelenkt. Sekundärpartikel 118 wie Sekundärelektronen und reflektierte Elektronen werden in Übereinstimmung mit der Form und dem Material der Probe aus der Probe 104 generiert, auf die der primäre Elektronenstrahl 117 gerichtet ist. Die gebildeten Sekundärpartikel 118 werden mit dem Sekundärpartikel-Detektor 105 detektiert und von dem A/D-Wandler 108 in ein digitales Signal umgewandelt. Das von dem Sekundärpartikel-Detektor ausgegebene, in das digitale Signal umgewandelte Signal wird auch als Bildsignal bezeichnet. Ein von dem A/D-Wandler 108 ausgegebenes Signal wird zum Aufbau des REM-Bildes in die Bildverarbeitungseinheit 111 eingelesen. Die Bildverarbeitungseinheit 111 führt verschiedene Arten von Bildbearbeitungen aus, wie Defektnachweis und Defektanalyse auf der Basis von Bildvergleich.
Die in dem elektronenoptischen System enthaltenen Elemente wie die Linsen 101, der Rasterdeflektor 102 und die Objektivlinse 103 werden von der Steuereinheit 107 für das elektronenoptische System gesteuert. Die Position der Probe wird von dem Tisch 106 bestimmt, der von der Steuereinheit 109 für den Tisch gesteuert wird. Die allgemeine Steuereinheit 110 ist eine Steuerung, die alle Teile der Vorrichtung überwacht und steuert. Die allgemeine Steuereinheit 110 interpretiert die Eingabe aus der Bedieneinheit 112 und der Speichereinheit 113, steuert Komponenten wie die Steuereinheit 107 für das elektronenoptische System, die Steuereinheit 109 für den Tisch und die Bildverarbeitungseinheit 111 und gibt die Prozessergebnisse an eine Anzeigeeinrichtung (nicht gezeigt), die Teil der Bedieneinheit 112 ist, und erforderlichenfalls die Speichereinheit 113 aus.
Die allgemeine Steuereinheit 110 und die Bildverarbeitungseinheit 111, die oben beschrieben wurden, können ganz oder zum Teil von Hardware oder Software gebildet werden. Wenn sie von Hardware gebildet werden, kann die Struktur gebildet werden, indem mehrere, die erforderlichen Prozesse ausführenden Prozessoren auf einer Leiterplatte oder in einem Halbleiterchip oder Halbleiterbauteil integriert werden. Wenn sie von Software gebildet werden, kann die Struktur gebildet werden, indem eine universelle Hochleistungs-CPU verwendet wird, die im Zusammenhang mit der Ausführung von Prozessen wie Bildverarbeitung mittels Software Programme ausführt.
2 veranschaulicht das äußere Erscheinungsbild eines Beispiels der Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen. Eine äußere Abdeckung 202 ist so um den äußeren Umfang eines Elektronenmikroskops 201 angeordnet, dass sie das gesamte Elektronenmikroskop 201 umgibt. Die äußere Abdeckung 202 ist aus Stahlblech oder Kunststoff gefertigt. Eine Bedientüre 203 und ein Bedienfenster 204, die für die Bedienung vorgesehen sind, sind an der äußeren Abdeckung 202 zum Öffnen und Schließen der äußeren Abdeckung 202 angebracht. Das Bedienfenster 204 besteht aus einem Material wie Stahlblech, Kunststoff oder Glas. Es ist ferner ein Beobachtungsfenster 205 zum Betrachten des Innenraums vorgesehen. Das Beobachtungsfenster 205 ist aus Glas oder Kunststoff gefertigt, sodass der Innenraum durch das Fenster 205 eingesehen werden kann. Die Bedientüre 203, das Bedienfenster 204 und das Beobachtungsfenster 205 sind Teil der äußeren Abdeckung 202 und werden zusammen als die äußere Abdeckung 202 bezeichnet. Das Beobachtungsfenster 205 kann aus Metall gefertigt sein, unter der Voraussetzung, dass es Rasterdeflektor geöffnet und geschlossen werden kann.
Gemäß dem in 2 gezeigten Beispiel ist nur der Hauptteil des Elektronenmikroskops in der äußeren Abdeckung enthalten. Es ist jedoch klar, dass eine Probenvorbereitungskammer 206 innerhalb der äußeren Abdeckung angeordnet werden kann. Wenn ein Teil der Komponenten oder alle Komponenten wie die allgemeine Steuereinheit 110 und die Bildverarbeitungseinheit 111 wie oben dargelegt von Hardware gebildet werden, können die von Hardware gebildeten Komponenten zudem von dem gleichen Außengehäuse wie das Elektronenmikroskop umgeben sein, oder sie können in einem anderen Gehäuse gehandhabt werden, das von einem von dem Außengehäuse des Elektronenmikroskops verschiedenen Außengehäuse umgeben ist. Da es jedoch der Hauptteil des Elektronenmikroskops ist, bei dem eine Schallisolierung oder das Entfernen von Oszillationen erforderlich ist, ist es daher besser, wenn Komponenten wie die Beladungseinrichtung zum Überführen von Proben oder ein mit einem Kühlerlüfter ausgestattetes Bedienpult in einem gesonderten Gehäuse enthalten oder in einem durch Trennwände abgetrennten Raum innerhalb des Gehäuses untergebracht sind, sodass die Quellen der Schwingungen nicht in dem selben Gehäuse enthalten sind.
3 ist eine Querschnittdarstellung des in 2 gezeigten Elektronenmikroskops und der äußeren Abdeckung. Diese Figur veranschaulicht die Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen, die mit einer äußeren Abdeckung 301 und einer Grundplatte 302 ausgestattet ist. Wie in 3 dargestellt ist die Grundplatte 302 über Schwingungsisolatoren 304 auf einem Gestell 303 platziert, das mehrere auf dem Boden aufgestellte Stützen aufweist. Ein Grundkörper 300 einer Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen ist auf der Grundplatte 302 als eine Einheit aufgebaut, die mit einer Säule 306 ausgestattet ist, die das elektronenoptische System und eine Probenkammer 307 enthält, auf der die Probe platziert wird. Die Abdeckung 301 ist außen so angebracht, dass sie das Gestell 303, die Grundplatte 302 und den Grundkörper 300 der Vorrichtung abdeckt. Die Vorrichtung erzeugt im Allgemeinen Wärme, daher ist unter der Abdeckung 301 eine Öffnung 305 ausgebildet, sodass die erzeugte Wärme durch die Öffnung 305 abgeführt werden kann.
Im Folgenden wird nun die Struktur eines an einer schalldichten Abdeckung angebrachten Schallabsorbers erläutert, Der nachstehend in Bezug genommene Schallabsorber umfasst einen Teil, der mit einer schalldämpfenden Struktur versehen ist, die unabhängig von der schalldichten Abdeckung ausgebildet ist, und einen Teil der Struktur der schalldichten Abdeckung, die einstückig mit der schalldichten Abdeckung ausgebildet ist. Ein herkömmlicher Schallabsorber ist im Allgemeinen aus einem porösen organischen Material hergestellt. Organische poröse Materialien zeigen jedoch die Eigenschaft der Staubbildung, sodass sie in einem Reinraum nur schwerlich eingesetzt werden können. Wenn der Schallabsorber jedoch aus einem metallischen Werkstoff hergestellt ist, kann die Staubbildungseigenschaft beträchtlich bis auf ein Niveau gesenkt werden, das für einen Reinraum zugelassen ist.
Vorzugsweise ist ein in 4 dargestellter Schallabsorber 400 aus einem metallischen Werkstoff hergestellt. 4 erläutert ein konkretes Beispiel des Schallabsorbers 400, der aus einer porösen Platte besteht. Der Schallabsorber 400 weist eine Struktur auf, die eine Frontplatte 402 mit Öffnungen 401 umfasst, die über Trennwände 404 an einer Rückplatte 403 befestigt ist, und Hohlräume 405 enthält, die von der Frontplatte 402, der Rückplatte 403 und den Trennwänden 404 gebildet werden.
Wenn in den Öffnungen 401 enthaltene Luft durch Schallwellen, die in der Struktur von der Seite der Frontplatte 402 kommen, in die Hohlräume 405 gedrückt wird, steigt der Druck innerhalb der Hohlräume 405 an, und die in den Hohlräumen 401 enthaltene Luft wird durch den erhöhten Druck in die entgegengesetzte Richtung gedrückt. Als Folge wird ein harmonisches Bewegungssystem gebildet, wobei die in den Öffnungen 401 enthaltene Luft als Gewicht und die Luft in den Hohlräumen 405 als Feder fungiert. Unter dieser Bedingung wird Energie durch Reibung abgegeben, die zwischen der Luft und den Teilen in den Öffnungen 401 erzeugt wird, wodurch eine hohe schallabsorbierende Leistung bei einer bestimmten Frequenz erzeugt wird. Diese spezielle Frequenz ist durch den Öffnungsdurchmesser, die Länge der Öffnung und die Porosität der Öffnungen 401 und die Dicke der Hohlräume bestimmt. Eine an die Frequenz des innerhalb der schalldichten Abdeckung hauptsächlich erzeugten Schalls angepasste schalldichte Abdeckung kann erhalten werden, indem diese Faktoren in Übereinstimmung mit der Frequenz des Schalls konzipiert werden. Es ist effektiver, die Länge der Bohrungen der Öffnungen 401 variabel zu gestalten, indem röhrenförmig gestaltete Körper in die Öffnungen eingebettet werden, sodass die schallabsorbierende Frequenz einstellbar wird.
In diesem Zusammenhang bezieht sich die Frequenz des Schalls auf die Frequenz der Schwingung, die dem zu absorbierenden Schall entspricht. Die Frequenz schließt beispielsweise die Eigenfrequenz der Vorrichtung und die Frequenz der stehenden Schallwellen innerhalb der Abdeckung ein. Diese Frequenzen können z. B. vorab aus der Größe und Masse der Vorrichtung und der Abdeckung abgeschätzt werden. Demgemäß kann ein großer schallabsorbierender Effekt durch Anpassung der Absorptionsfrequenz des Schallabsorbers an diese Schallfrequenzen erzielt werden.
Wenn der Schallabsorber 400 das maximale Schallabsorptionsvermögen bei einer bestimmten Frequenz zeigt, kann mit dem Schallabsorber 400, der so konzipiert ist, dass sich die dem Maximum entsprechende Frequenz mit der Frequenz des schallabsorbierenden Targets deckt, eine wirksamere Schallreduzierung erreicht werden. Vorzugsweise stimmt die dem Maximum entsprechende Frequenz mit der Frequenz des schallabsorbierenden Targets überein. Durch die Erfindung können jedoch selbst dann, wenn die beiden Frequenzen nicht ganz gleich sind, ausreichende Vorteile erzielt werden, wenn 70 oder mehr des maximalen Schallabsorptionsvermögens bei der Frequenz des schallabsorbierenden Targets vorhanden ist. In der folgenden Beschreibung wird daher ein Frequenzband, das dem maximalen Schallabsorptionsvermögen zu 70 oder mehr entspricht, als ein Absorptionsfrequenzband definiert, und eine schallabsorbierende Struktur speziell für ein bestimmtes Frequenzband bezieht sich auf eine Struktur, die ein Schallabsorptionsvermögen für einen speziellen Frequenzkörper von 70 oder mehr erreicht.
4 zeigt zwar eine Öffnung 401, die für einen Hohlraum 405 vorgesehen ist, es können jedoch mehrere Öffnungen 401 für einen Hohlraum 405 ausgebildet werden. Anders ausgedrückt ist die Strecke zwischen benachbarten Öffnungen 402 kürzer als die Strecke zwischen benachbarten Trennwänden 404. Da die Frontplatte 402 aufgrund der Länge zwischen benachbarten Trennwänden 404, die kürzer als die Wellenlänge der Schallwellen bei der Schallabsorptionsfrequenz ist, nicht leicht durch Schallwellen angeregt werden kann, ist diese Struktur wirksam, wobei unter dieser Bedingung die eigentliche Schallabsorptionseigenschaft durch Ableitung der durch Reibung zwischen Luft und dem Bereich der Öffnungen 401 erzeugten Energie bereitgestellt wird.
Der so konzipierte Schallabsorber kann als eine schalldichte Abdeckung speziell für eine bestimmte Frequenz dienen, indem er in einer solchen Position angebracht wird, dass er Schall bei der bestimmten Frequenz in effektiver Weise absorbiert, wie beispielsweise in den folgenden Ausführungsformen gezeigt wird.
Im Folgenden werden Beispiele für die Positionierung des Schallabsorbers innerhalb der schalldichten Abdeckung erläutert. Die schalldichte Abdeckung enthält den Grundkörper der Vorrichtung, wie das Rasterelektronenmikroskop, die Probenkammer, in der Proben enthalten sind, die Grundplatte, die diese Komponenten trägt, das Gestell und weitere, Die schalldichte Abdeckung umfasst ferner eine Stromquelle für den Betrieb des Grundkörpers der Vorrichtung, und in manchen Fällen eine Bedientafel. Der freie Raum innerhalb der schalldichten Abdeckung ist also begrenzt, sodass eine wirksame Schallabsorption erforderlich ist. Hierfür ist es wichtig, den Schallabsorber, der ein Absorptionsfrequenzband aufweist, das eine bestimmte Frequenz umfasst, im Innenraum der Abdeckung in effektiver Weise zu positionieren.
Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen wird der Schallabsorber daher wie in den folgenden Ausführungsformen beschrieben in der Nähe einer Öffnung der schalldichten Abdeckung angeordnet. In diesem Zusammenhang bezieht sich die Öffnung auf einen Abstand zwischen der Außenseite der Vorrichtung und der Abdeckung, eine Öffnung, die für die Wärmeabgabe, Rohrleitungen und elektrische Leitungen vorgesehen ist. Die Position in der Nähe der Öffnung bezieht sich auf den Bereich, in dem der Effekt der Schallabsorption des durch die Öffnung eindringenden Außenschalls durch die Positionierung des Schallabsorbers erzielt werden kann. Der erzielte Effekt bezieht sich zum Beispiel auf 70% oder mehr des Schallabsorptionsvermögens. Zudem werden mehrere Schallabsorber mit unterschiedlichen Absorptionsfrequenzbändern innerhalb der schalldichten Abdeckung vorgesehen. Die unterschiedlichen Absorptionsfrequenzbänder beziehen sich beispielsweise auf Bänder von Absorptionsfrequenzen, die unterschiedlichen Maxima entsprechen.
Diese Struktur kann das Gesamtvolumen der Abdeckung und dadurch die für die Anlage erforderliche Fläche vermindern.
Die Einbaulage des Schallabsorbers wird nun anhand spezieller Beispiele erläutert. Die Position des Absorbers ist jedoch nicht auf die in den folgenden Ausführungsformen gezeigten Beispiele beschränkt. Zudem können die folgenden Ausführungsformen modifiziert und kombiniert werden.
Ausführungsform 1
5 veranschaulicht ein Beispiel für die Positionierung des Schallabsorbers. 5 veranschaulicht eine Struktur, bei der ein Schallabsorber 501 innerhalb eines Raumes positioniert wird, der zwischen der Innenfläche der Abdeckung 301 und den Stützen des Gestells 303 gebildet ist. Der Schallabsorber 501 weist vorzugsweise eine Struktur speziell für Frequenzkomponenten nahe der Eigenfrequenz des Grundkörpers 300 der Vorrichtung auf.
Bei dieser Struktur können Schallwellen, die gewöhnlich durch die Öffnung 305, die sich unter der Abdeckung 310 befindet, eindringen und dadurch ins Innere gelangen, absorbiert werden. Insbesondere können Schallwellen mit Frequenzkomponenten nahe der Eigenfrequenz des Grundkörpers 300 durch den Schallabsorber 501 absorbiert werden, bevor sie den Grundkörper 300 der Vorrichtung erreichen. Demgemäß nimmt die Schwingung des Grundkörpers ab, wodurch die Bildbeeinträchtigung kleiner wird.
Wenn es neben der Öffnung 305 eine weitere Öffnung gibt, durch die äußerer Schall eindringen kann, wird der Schallabsorber vorzugsweise auch in der Nähe dieser Öffnung vorgesehen. Wenn beispielsweise in der Seitenfläche der Abdeckung 301 eine Öffnung ausgebildet ist, durch die ein Kabel eingeführt wird, wird der Schallabsorber so angeordnet, dass er diese Öffnung umgibt.
Die Einbaureichweite des Schallabsorbers ist nicht besonders beschränkt, solange sich die Reichweite in dem in 5 gezeigten Bereich befindet. Spezielle Beispiele für die Reichweite sind in den nachfolgend beschriebenen Ausführungsformen 2 bis 5 zu sehen.
Ausführungsform 2
6 zeigt eines der modifizierten Beispiele der in 5 dargestellten Ausführungsform 1. Gemäß diesem Beispiel ist ein Schallabsorber 601 in der Nähe der Öffnung 305 an der Innenseite der Abdeckung angebracht. Zudem ist eine schallabsorbierende Fläche 602 in einer solchen Position angeordnet, dass sie in Richtung Innenraum zeigt. Die schallabsorbierende Fläche bezieht sich beispielsweise auf die Seite der Oberfläche der Frontplatte 402, die in 4 gezeigt ist. In diesem Zusammenhang bezieht sich der Innenraum auf die Seite des Raums, auf der Schall absorbiert werden soll, d. h. die Seite des Raums, auf der der Grundkörper 300 der Vorrichtung angeordnet ist. Die Bedingung, dass der Schallabsorber in der Nähe der Öffnung 305 angeordnet ist, bezieht sich auf die Bedingung, dass der Schallabsorber in dem Bereich angeordnet ist, in dem der Effekt der Absorption des durch die Öffnung eindringenden äußeren Schalls erzielt werden kann, und insbesondere die Bedingung, unter der zumindest ein Teil des Schallabsorbers zumindest einem Teil der Öffnung gegenüber liegt.
6 zeigt lediglich einen Querschnitt des Schallabsorbers 501, der Schallabsorber 501 kann jedoch in der horizontalen Ebene in jeder Lage angeordnet sein. Anders ausgedrückt kann der Schallabsorber 501 lediglich an der Fläche gegenüber dem Gestell angeordnet sein oder am gesamten Umfang in der Nähe der Öffnung der Abdeckung vorgesehen werden.
Gemäß dieser Struktur kann der schalldämpfende Effekt im Vergleich mit dem in der Ausführungsform 1 dargestellten Beispiel einfacher erzielt werden. Ferner wird die zur Positionierung des Schallabsorbers erforderliche Fläche verkleinert, wodurch die Kosten sinken.
Ausführungsform 3
7 zeigt ein modifiziertes Beispiel der in 5 dargestellten Ausführungsform 1 Gemäß diesem Beispiel ist der Schallabsorber an den Stützen angebracht, die das Gestell 303 bilden. Zudem ist die schallabsorbierende Fläche 602 in einer solchen Position angeordnet, dass sie der Innenfläche der Abdeckung gegenüber liegt, d. h. die schallabsorbierende Fläche 602 liegt der Abdeckung 301 gegenüber.
Gemäß dieser Ausführungsform sind Vorteile ähnlich wie bei der Ausführungsform 2 zu erwarten.
Ausführungsform 4
8 zeigt ein modifiziertes Beispiel der in 5 dargestellten Ausführungsform 1. In dieser Figur ist das Schnittbild zwischen benachbarten Stützen, das in 5 gezeigt ist, und eine Draufsicht so dargestellt, dass diese Ansichten einfach nachzuvollziehen sind. Ein Schallabsorber 801 ist in den Lücken zwischen benachbarten Stützen der mehreren, das Gestell 303 bildenden Stützen angeordnet. Mit anderen Worten ist der Schallabsorber 801 in Form einer Wand so angeordnet, dass er die benachbarten Stützen verbindet. In dieser Anordnung kann der Schallabsorber im Vergleich mit der Ausführungsform 3 in einem größeren Bereich vorgesehen werden. Dadurch wird die schalldämpfende Wirkung noch weiter verbessert. Zudem wird der begrenzte Raum innerhalb der Abdeckung effektiv genutzt. In dem in 8 gezeigten Beispiel ist der Schallabsorber zwar in den gesamten Lücken zwischen den vier Stützen vorgesehen, der Schallabsorber kann jedoch auch bei einem Teil der Lücken zwischen den mehreren Stützen weggelassen werden, um die Vorrichtung leichter positionieren zu können. Im Vergleich mit dem Effekt, der erzielt wird, wenn alle Lücken zwischen den Stützen mit dem Schallabsorber ausgestattet sind, wird in diesem Fall der schalldämpfende Effekt schwächer. Vorzugsweise wird der schalldämpfende Effekt daher durch die in den anderen Ausführungsformen veranschaulichten Verfahren vervollständigt.
Wenn die schallabsorbierenden Flächen 802 des Schallabsorbers 801 wie in 8 veranschaulicht so angeordnet sind, dass sie sowohl zur Innenseite als auch zur Außenseite des von dem Gestell 303 umgebenen Raums gerichtet sind, können sowohl die Schallwellen innerhalb des von dem Gestell 50 umgebenen Raums als auch die durch die Öffnung 305 eindringenden Schallwellen absorbiert werden. Demgemäß kann eine bessere Wirkung erzielt werden. Genauer ist eine erste schallabsorbierende Fläche des Schallabsorbers 801, der mehrere absorbierende Flächen aufweist, der Innenfläche der Abdeckung 301 gegenüberliegend angeordnet, wohingegen eine zweite schallabsorbierende Fläche in der gleichen Richtung wie die Innenfläche der Abdeckung 301 ausgerichtet ist. Folglich sind die erste schallabsorbierende Fläche und die zweite schallabsorbierende Fläche so angeordnet, dass sie, wie in 8 dargestellt ist, in entgegengesetzte Richtungen zeigen.
Wie in den Ausführungsformen 1 bis 4 erörtert, können Schallwellen, die gewöhnlich durch die unter der Abdeckung befindliche Öffnung 305 laufen und dadurch eindringen, durch den Schallabsorber absorbiert werden, bevor die Frequenzkomponenten in der Nähe der Eigenfrequenz des Grundkörpers 300 der Vorrichtung den Grundkörper erreichen, wenn der Schallabsorber, dessen Absorptionsband die Eigenfrequenz des Grundkörpers der Vorrichtung umfasst, in dem Raum zwischen der Innenfläche der Abdeckung und den Stützen des Gestells angeordnet ist. Demgemäß nimmt die Schwingung des Grundkörpers 300 der Vorrichtung und deswegen auch die Beeinträchtigung der Bilder ab.
In den Ausführungsformen 1 bis 4 wurde ein Schallabsorber besprochen, dessen Frequenzband die Eigenfrequenz des Grundkörpers der Vorrichtung umfasst. Der Schallabsorber ist jedoch nicht auf Schallabsorber speziell für die Eigenfrequenz beschränkt, es kann sich auch um andere Arten von Schallabsorbern handeln, vorausgesetzt sie sind für eine spezielle Frequenz konzipiert, beispielsweise die Frequenz von stehenden Schallwellen, wie nachstehend in Bezug auf 9 erläutert wird.
Ausführungsform 5
Im Folgenden wird mit Bezug auf 10 ein Beispiel erläutert, bei dem zwei Arten von Schallabsorbern, die unterschiedlich arbeiten, innerhalb der schalldichten Abdeckung positioniert werden. Bei der schalldichten Abdeckung für die Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen oder ähnliche werden in dem Raum, der von der Abdeckung 301 umschlossen wird, stehende Schallwellen erzeugt. Die erzeugten stehenden Schallwellen liegen im Bereich von etwa 100 bis 500 Hz, der unter der Eigenfrequenz eines typischen Grundkörpers 300 der Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen einschließlich Abdeckung 301 und Grundplatte 302 liegt. In den Ausführungsformen 1 bis 4 wurde die Positionierung des Schallabsorbers speziell für die Eigenfrequenz des Grundkörpers besprochen. Bei den oben besprochenen Strukturen können jedoch aufgrund des Unterschieds in der Schallabsorptionsfrequenz die stehenden Schallwellen nur schwierig absorbiert werden. Um schallabsorbierende Eigenschaften speziell für niedrige Frequenzen zu schaffen, muss die Dicke des schallabsorbierenden Materials erhöht werden. Bei einer typischen Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen wird jedoch unter der Grundplatte 302 häufig weiteres Equipment bereitgestellt. In diesem Fall kann der Raum zur Positionierung des Schallabsorbers nur schwerlich beschafft werden. In vertikaler Richtung auf der Seite über der Grundplatte 302 steht jedoch ein relativ großer Raum zur Verfügung, größer als unterhalb der Grundplatte 302. Wenn der Schallabsorber in dem oberen Raum angeordnet wird, kann er demnach dicker ausgeführt sein als in den Ausführungsformen 1 bis 4.
Entsprechend wird wie in 10 veranschaulicht ein zweiter Schallabsorber 1003 mit einem Schallabsorptionsvermögen speziell für die Frequenz der stehenden Schallwellen innerhalb der Abdeckung an der Innenseite der Abdeckung in vertikaler Richtung über der Grundplatte 302 angebracht. Der zweite Schallabsorber 1003 kann innerhalb der Abdeckung an einer beliebigen Position angeordnet werden, an der genügend Raum zum Befestigen des Schallabsorbers zur Verfügung steht. Wie oben angegeben wurde, weist der Bereich über der Grundplatte häufig ausreichend freien Raum auf. Der zweite Schallabsorber 1003 wird daher vorzugsweise an der Innenfläche der schalldichten Abdeckung in dem Bereich oberhalb der von der Grundplatte festgelegten Ebene angeordnet. Der zweite Schallabsorber 1003 kann beispielsweise an der oberen Fläche 301 angeordnet werden.
Der Öffnungsdurchmesser, die Öffnungslänge, Porosität, Hohlraumgröße und weitere Merkmale des zweiten Schallabsorbers 1003 werden so festgelegt, dass er ein Absorptionsfrequenzband aufweist, das sich von dem ersten Schallabsorber 10001 speziell für die Eigenfrequenz der Vorrichtung unterscheidet.
Wenn die beiden Arten von Schallabsorbern, die eine unterschiedliche Funktion aufweisen, innerhalb der Abdeckung angeordnet werden, kann Schall unterschiedlicher Frequenz gleichzeitig absorbiert werden. Daher ist ein besseres Schallabsorptionsvermögen zu erwarten. Der erste Schallabsorber mit einem hohen Absorptionsfrequenzband ist zudem in der Nähe der Öffnung 305 der Abdeckung 301 angeordnet, während der zweite Schallabsorber mit einem niedrigen Absorptionsfrequenzband entfernt von der Öffnung 305 der Abdeckung 301 positioniert ist. Auf diese Weise können die Schallabsorber in dem begrenzten Raum in effizienter Weise angeordnet werden. Demgemäß wird die Raumersparnis für die gesamte Vorrichtung besser.
Gemäß dieser Ausführungsform wurde das Beispiel erörtert, bei dem der zweite Schallabsorber 1003 zusammen mit dem ersten Schallabsorber 1001 speziell für die Eigenfrequenz der Vorrichtung positioniert wurde. Wenn die Schwingung bei der Eigenfrequenz jedoch keine Probleme verursacht, kann auch nur der zweite Schallabsorber 1003 speziell für eine Frequenz der ersten stehenden Schallwelle vorgesehen werden.
Gemäß dieser Ausführungsform weist der zweite Schallabsorber 1003 eine Struktur speziell für die Frequenz der stehenden Schallwellen auf. Der zweite Schallabsorber 1003 kann jedoch auch eine Struktur speziell für eine Frequenz einer anderen Störquelle haben.
In den unten als weitere modifizierte Beispiele beschriebenen Ausführungsformen 6 und 7 werden Strukturen der Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen beschrieben, die eine Probentransfereinheit 40 umfassen, wie einer Vorrichtung zum Messen, Prüfen und Betrachten von Halbleitern als typisches Beispiel.
Ausführungsform 6
11 veranschaulicht eine typische Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen, die eine Abdeckung 1101 und eine Probentransfereinheit 1102 umfasst. Wie aus 11 hervorgeht, weist die Abdeckung 1101 eine Öffnung 1103 auf, sodass eine Seite der Abdeckung 1101 vollständig offen ist. Ein Gestell 1104 mit mehreren Stützen ist auf der Bodenfläche der Abdeckung 1101 angeordnet. Ein Grundkörper 1100 der Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen ist an dem oberen Teil des Gestells 1104 über Schwingungsisolatoren 1105 und weitere befestigt. Der Grundkörper 1100 der Vorrichtung ist außer auf der Seite der Öffnung 1103 in allen Richtungen von der Abdeckung umfasst. Auf der Seite der Öffnung 1103 ist eine Einheit 1106 zum Ein- und Ausführen der Probe angeordnet. Abgesehen von dieser Komponente ist eine als Probentransfereinheit 1102 bezeichnete Einheit vorgesehen, die eine Probe über die Einheit 1106 zum Ein- und Ausführen der Probe in den Grundkörper 1100 der Vorrichtung überführt. Die Probentransfereinheit 1102 ist vor der Öffnung 1103 der Abdeckung 1101 in einer solchen Position angeordnet, dass die Öffnung 1103 verschlossen wird.
12 veranschaulicht ein Beispiel, bei dem eine schallabsorbierende Struktur an der Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen angebracht ist, die mit der Abdeckung und der mit Bezug auf 11 erläuterten Probentransfereinheit 1102 ausgestattet ist. Bei diesem Beispiel ist ein Schallabsorber 1201 so positioniert, dass der Schallabsorber 1201 von der Wandfläche der Probentransfereinheit 1102 auf der Seite gegenüber der Öffnung 1103 durch die Öffnung 1103 hindurch in Richtung Grundkörper 1100 der Vorrichtung ragt.
In diesem Fall ist eine schallabsorbierende Fläche 1202 in etwa senkrecht zur Wandfläche der Probentransfereinheit 1102 auf der Seite des Grundkörpers der Vorrichtung und in etwa parallel zur oberen Fläche oder Bodenfläche der Abdeckung 1101 angeordnet. Wenn die schallabsorbierende Fläche 1202 auf diese Weise angeordnet ist, befindet sie sich in einem Zwischenraum 1109 zwischen der Abdeckung 1101 und der Probentransfereinheit 1102 in einer solchen Position, dass sie zur Außenseite der Abdeckung gerichtet ist. Entsprechend kann von der Außenseite des Zwischenraums 1109 eindringender Schall wirksam absorbiert werden.
Für eine wirksame Schallabsorption sollte die Länge der schallabsorbierende Fläche 1202, die sich auf der Seite des Grundkörpers der Vorrichtung in Richtung senkrecht zur Wandfläche der Probetransfereinheit 1102 erstreckt, in der gleichen Richtung zumindest länger als die Länge des Zwischenraums 1109 sein, sodass die schallabsorbierende Fläche 1202 in das Innere der Abdeckung 1101 ragen kann.
Bei dieser Struktur können Schallwellen, die durch den Zwischenraum zwischen der Abdeckung 1101 und der Probentransfereinheit 1102 eindringen und durch die Öffnung 1103 ins Innere gelangen, durch den Schallabsorber 1201 absorbiert werden, bevor Frequenzkomponenten nahe der Eigenfrequenz des Grundkörpers 1100 den Grundkörper 1100 der Vorrichtung erreichen. Demgemäß nimmt die Schwingung des Grundkörpers 1100 ab, wodurch die Bildbeeinträchtigung kleiner wird.
13 veranschaulicht die Abdeckung 1101 und die Probentransfereinheit 1201, die in 12 dargestellt sind, voneinander getrennt in dreidimensionaler Darstellung. 13 zeigt ein Beispiel des Schallabsorbers 1201, der an der Probentransfereinheit 1201 angebracht ist. Der Schallabsorber 1201 kann jedoch auch einstückig mit der Wandfläche der Probentransfereinheit ausgebildet sein. Der Schallabsorber 1201 kann an der Abdeckung 1101 oder der Einheit 1106 zum Einführen der Probe befestigt sein. Der Schallabsorber 1201 kann unabhängig von der Probentransfereinheit 1102 und der Abdeckung 1101 an der Bodenfläche der Abdeckung befestigt sein.
Ausführungsform 7
Gemäß einer in 14 gezeigten Ausführungsform ist in der Struktur der mit Bezug auf die 12 erläuterten Ausführungsform 6 ferner ein zweiter Schallabsorber 1403 mit einem Schallabsorptionsvermögen speziell für die Frequenz der innerhalb der Abdeckung erzeugten stehenden Schallwellen an der Innenseite der oberen Fläche der Abdeckung 1101 angebracht. Die Einbaulage des zweiten Schallabsorbers 1403 ist nicht auf die obere Fläche der Abdeckung 1101 beschränkt, er kann auch an der Seitenfläche der Abdeckung angebracht werden. Gemäß dieser Ausführungsform kann Schall mit unterschiedlichen Frequenzbändern absorbiert werden, indem die beiden Arten von unterschiedlich arbeitenden Schallabsorbern in einer Art und Weise ähnlich der Ausführungsform 5 innerhalb der Abdeckung angebracht werden. Demgemäß ist wiederum ein hervorragendes Schallabsorptionsvermögen zu erwarten.
Wie aus dem Obigen hervorgeht, kann der Metallschallabsorber wirksam innerhalb des begrenzten Raums im Innern der Abdeckung angeordnet werden, wenn er in der in den jeweiligen Ausführungsformen oder deren Kombinationen gezeigten Art und Weise angebracht wird. Folglich kann die schalldichte Abdeckung, die auf die Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen anwendbar ist und ein hervorragendes Lärmabsorptionsvermögen bieten kann, konzipiert werden, ohne dass das Gewicht, der Aufstellungsraum und die Kosten merklich ansteigen.
Bezugszeichenliste

300, 1100: Grundkörper der Vorrichtung
400: Geräuschabsorber

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 2006-79870 A [0005]
JP 2008-138505 A [0005]

Claims

Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen, die aufweist: einen Grundkörper der Vorrichtung, der zumindest ein Rasterelektronenmikroskop aufweist, das ein Bild einer Probe aufnimmt; und eine Abdeckung, die um den Grundkörper der Vorrichtung vorgesehen ist, wobei innerhalb der Abdeckung ein Schallabsorber vorgesehen ist, der ein Frequenzband der Schallabsorption aufweist, das die Eigenfrequenz des Grundkörpers der Vorrichtung oder die Frequenz der innerhalb der Abdeckung erzeugten stehenden Schallwellen einschließt.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 1, worin der Grundkörper der Vorrichtung eine Grundplatte, die das Rasterelektronenmikroskop trägt, und ein Gestell aufweist, das mehrere Stützen umfasst, die die Grundplatte tragen; und der Schallabsorber zwischen der Abdeckung und den Stützen angebracht ist.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 2, worin der Schallabsorber innseitig an der Abdeckung oder an den Stützen angeordnet ist.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 2, worin der Schallabsorber zwischen den mehreren, das Gestell bildenden Stützen angeordnet ist.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 1, worin der Schallabsorber mehrere schallabsorbierende Flächen aufweist.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 1, worin der Schallabsorber aus einem metallischen Werkstoff hergestellt ist.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 6, worin der Schallabsorber eine poröse Platte mit mehreren Öffnungen aufweist; und jede Länge der Öffnungen variabel ist.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 6, worin der Schallabsorber eine poröse Platte mit mehreren Öffnungen, eine Rückplatte, die gegenüber der porösen Platte angeordnet ist, und mehrere Trennwände aufweist, die einen zwischen der porösen Platte und der Rückplatte ausgebildeten Hohlraum unterteilen; und jede Länge zwischen den Trennwänden kleiner ist als die Wellenlänge der Schallwellen in dem Schallabsorptionsfrequenzband des Schallabsorbers.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 1, die ferner aufweist: eine Probentransfereinheit, die in einer Position gegenüber einer Einheit zum Ein- und Ausführen der Probe angeordnet ist, worin die Abdeckung eine Öffnung an der der Einheit zum Ein- und Ausführen der Probe des Grundkörpers der Vorrichtung gegenüberliegenden Fläche aufweist, und der Schallabsorber so angeordnet ist, dass er von der Wandfläche der Probentransfereinheit an der Seite des Grundkörpers der Vorrichtung durch die Öffnung hindurch in Richtung des Grundkörpers der Vorrichtung ragt.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 9, worin der Schallabsorber in etwa senkrecht zur Wandfläche der Probentransfereinheit auf der Seite des Grundkörpers der Vorrichtung und in etwa parallel zur oberen Fläche der Abdeckung angeordnet ist.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 9, worin eine schallabsorbierende Fläche des Schallabsorbers gegenüber der Innenfläche der Abdeckung angeordnet ist.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen, die aufweist: einen Grundkörper der Vorrichtung, der zumindest ein Rasterelektronenmikroskop aufweist, das ein Bild einer Probe aufnimmt; und eine Abdeckung, die so angeordnet ist, dass die Seitenfläche und die obere Fläche des Grundkörpers der Vorrichtung abgedeckt sind, worin innerhalb der Abdeckung ein erster Schallabsorber und ein zweiter Schallabsorber vorgesehen ist, die unterschiedliche Schallabsorptionsfrequenzbänder der Schallabsorption aufweisen.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 12, worin der erste Schallabsorber ein Frequenzband der Schallabsorption aufweist, das einen ersten Frequenzbereich umfasst, der der Eigenfrequenz des Grundkörpers der Vorrichtung entspricht; und der zweite Schallabsorber ein Frequenzband der Schallabsorption aufweist, das einen zweiten Frequenzbereich umfasst, der der Frequenz der innerhalb der Abdeckung erzeugten stehenden Schallwellen entspricht.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 12, worin der Grundkörper der Vorrichtung eine Grundplatte, die das Rasterelektronenmikroskop trägt, und ein Gestell aufweist, das mehrere Stützen umfasst, die die Grundplatte tragen; und der erste Schallabsorber zwischen der Abdeckung und den Stützen angebracht ist.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 14, worin der erste Schallabsorber innenseitig an der Abdeckung oder an den Stützen angeordnet ist.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 14, worin der erste Schallabsorber zwischen den mehreren, das Gestell bildenden Stützen angeordnet ist.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 12, worin der erste Schallabsorber mehrere schallabsorbierende Flächen aufweist.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 14, worin der erste Schallabsorber unter der Grundplatte angeordnet ist; und der zweite Schallabsorber über der Grundplatte angeordnet ist.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 12, worin der erste Schallabsorber oder der zweite Schallabsorber aus einem metallischen Werkstoff hergestellt ist.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 19, worin der erste Schallabsorber oder der zweite Schallabsorber eine poröse Platte mit mehreren Öffnungen aufweist; und jede Länge der Öffnungen variabel ist.
Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen nach Anspruch 19, worin der erste Schallabsorber oder der zweite Schallabsorber eine poröse Platte mit mehreren Öffnungen, eine Rückplatte, die gegenüber der porösen Platte angeordnet ist, und mehrere Trennwände aufweist, die einen zwischen der porösen Platte und der Rückplatte ausgebildeten Hohlraum unterteilen; und jede Länge zwischen den Trennwänden kleiner ist als die Wellenlänge der Schallwellen in dem Schallabsorptionsfrequenzband des ersten Schallabsorbers oder des zweiten Schallabsorbers.