JP5838106B2 - 荷電粒子線装置用防音カバー及び荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
101 カラム
102 収束器
103 試料室
104 ステージ
105 ホルダ
106 試料
107 検出器
108 架台
109 除振台
110 電子銃
200 防音カバー
210 筒状空洞部
211 筒状空洞部の開口部
212 多孔板
Claims (15)
- 荷電粒子線装置を包囲する防音カバーにおいて、
当該防音カバーの内壁に沿った壁面を持つ筒状体を形成する空洞部形成部材を備え、
当該空洞部形成部材によって形成される筒状体の一端は開放され、
当該筒状部の他端は閉じられていることにより、当該防音カバー内で発生する音響定在波を低減し、
前記空洞形成部材は、前記防音カバーの側壁に前記筒状体を形成し、
前記筒状体は当該防音カバーの天板と接する第1の空間、当該防音カバーの高さ方向の中心領域を含む第2の空間、及び底部を含む第3の空間の少なくとも1つに位置する開口を有し、
前記筒状体は、前記側壁の高さ方向に、少なくとも4つ配列され、
天板に一番近い筒状体は、前記第1の空間に開口を持ち、
天板に2番目と3番目に近い筒状体は、前記第2の空間に開口を持ち、
天板から4番目に近い筒状体は、前記第3の空間に開口を持つことを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項1において、
前記空洞部形成部材は、複数の前記筒状体を、前記防音カバーの内壁に沿って配列するように、当該筒状体を形成することを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項1において、
前記荷電粒子線装置とは、走査電子顕微鏡、透過電子顕微鏡、及び荷電粒子線を用いた試料加工装置の少なくとも1つである荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項1において、
前記荷電粒子線装置とは、測長装置、レビュー装置、及び欠陥検査装置の少なくとも1つである荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項1において、
前記筒状体の空洞部の長さを、前記防音カバーの高さの1/4程度としたことを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項1において、
前記開口に多孔板を設置したことを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項1において、
前記空洞形成部材は、前記防音カバーの天板に前記筒状体を形成することを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項1において、
前記空洞形成部材は、前記防音カバーの底部に前記筒状体を形成することを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項1において、
前記空洞部形成部材は、前記筒状体を、前記防音カバーの内側、外側、あるいはその両方に対して、多段重ねて形成することを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 請求項1において、
前記空洞部形成部材は、前記筒状体を、前記防音カバーの内側の空間に対して、一段もしくは多段重ねて形成することを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。 - 荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線が照射される試料を保持する試料台を備えた荷電粒子線装置において、
当該荷電粒子線装置を包囲する防音カバーを有し、
当該防音カバーは、当該防音カバーの内壁に沿った壁面を持つ筒状体を形成する空洞部形成部材を備え、
当該空洞部形成部材によって形成される筒状体の一端は開放され、
当該筒状部の他端は閉じられていることにより、当該防音カバー内で発生する音響定在波を低減し、
前記空洞形成部材は、前記防音カバーの側壁に前記筒状体を形成し、
前記筒状体は、当該防音カバーの天板と接する第1の空間、当該防音カバーの高さ方向の中心領域を含む第2の空間、及び底部を含む第3の空間の内、少なくとも第2の空間に位置する開口を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項11において、
前記空洞部形成部材は、複数の前記筒状体を、前記防音カバーの内壁に沿って配列するように、当該筒状体を形成することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項11において、
前記空洞形成部材は、前記防音カバーの側壁に前記筒状体を形成し、
前記開口が、当該防音カバーの天板と接する第1の空間、当該防音カバーの高さ方向の中心領域を含む第2の空間、及び底部を含む第3の空間の少なくとも1つに位置するように、前記筒状体を形成していることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項11において、
前記荷電粒子線装置とは、走査電子顕微鏡、透過電子顕微鏡、前記荷電粒子線を用いた試料加工装置、測長装置、レビュー装置、及び欠陥検査装置の少なくとも1つであることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項11において、
前記試料台は、前記第2の空間に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
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