JP2015222656A - 電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
図2は、本実施の形態に係る電子顕微鏡の一例として透過電子顕微鏡(TEM:Transmission electron microscope)の構成を示す図である。
≪試料ホルダ、試料ステージの構成≫
図1は、本実施の形態に係る試料ホルダを試料ステージへ導入したときの構成を示す図である。
20・・・試料ホルダ
21・・・試料
22・・・試料ホルダグリップ部(保持部)
30・・・試料ステージ
40・・・アクチュエータ
41・・・アクチュエータ接続部
50・・・第1のカバー
51・・・第2のカバー
52・・・壁部材
53・・・ヒンジ部
54・・・孔
60・・・隙間
70・・・流路
80・・・吸音部
81・・・第1の吸音材料
82・・・第2の吸音材料
83・・・第3の吸音材料
84・・・複数の吸音材料の積層により構成される吸音部
100・・・TEM本体
101・・・電子銃
102・・・電子線
103・・・収束レンズ
104・・・対物レンズ
105・・・投射レンズ
106・・・検出器
107・・・制御部
108・・・真空ポンプ
200・・・外部空間
300・・・内部空間
Claims (7)
- 試料を支持する試料ホルダと、
前記試料ホルダを支持する試料ステージと、
前記試料ホルダの移動機構と、を備えた電子顕微鏡において、
前記試料ステージの外周を覆い、かつ前記移動機構の一部を外部に露出するように構成される第1のカバー部材と、
前記試料ホルダが有する保持部の外周を覆う第2のカバー部材と、を備え、前記移動機構と前記第1のカバー部材との間には隙間が形成され、前記第1のカバー部材と前記第2のカバー部材との間には壁部材を有することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載された電子顕微鏡において、前記第1のカバー部材と前記第2のカバー部材との接触部にヒンジ部を設け、前記第2のカバー部材は当該ヒンジ部を介して前記第1のカバー部材に対して開閉可能に連結されることを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項1に記載された電子顕微鏡において、前記第2のカバー部材は、前記第1のカバー部材に対して着脱可能に連結されることを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項1に記載された電子顕微鏡において、第1のカバー部材、前記第2のカバー部材、前記壁部材のうちの少なくともいずれかにおいて、内側に吸音部を配置することを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項2に記載された電子顕微鏡において、前記第1のカバー部材と前記第2のカバー部材との連結をロックするロック機構を有することを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項3に記載の電子顕微鏡において、前記第1のカバー部材と前記第2のカバー部材との連結をロックするロック機構を有することを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項4に記載された電子顕微鏡において、前記吸音部は、複数の吸音材料を積層することにより構成されること特徴とする電子顕微鏡。
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