JP2020027716A - カバー - Google Patents
カバー Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020027716A JP2020027716A JP2018151090A JP2018151090A JP2020027716A JP 2020027716 A JP2020027716 A JP 2020027716A JP 2018151090 A JP2018151090 A JP 2018151090A JP 2018151090 A JP2018151090 A JP 2018151090A JP 2020027716 A JP2020027716 A JP 2020027716A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover
- vibration
- sound
- electron microscope
- sample holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
Description
電子顕微鏡を設置した室温の変化によって電源やゴニオメーターあるいはホルダーにその影響が及ぶことにより、電子線のアライメントが狂ったり、ホルダーやゴニオメーターにドリフトが発生したりする。通常、電子顕微鏡を設置した室温は、エアコン等の空調設備を24時間365日稼動させて温度を一定に保つ必要がある。
例えば、透過型電子顕微鏡(以下、「TEM」という。)等の電子顕微鏡の近くに騒音源があると、TEMで取得した画像にノイズが入る。例えば手を叩くと像が一瞬振れる。手を叩くような振動は通常考慮しないとしても、その他、他の装置に付属している冷却ファンの音やポンプの音などが振動源となり得る。また、振動源となるものには、ポンプや外を走る車(特に近くに大きな道路がある場合にはトラック)も振動源になる。それら振動源からの振動は、やはりTEM像を揺らすため正確、鮮明な像取得の障害となる。そのため、TEM近くに騒音源となるものを置かないようにすることと、そもそも道路の近くに電子顕微鏡を置かないなどの対応を取り、TEM画像取得の際は、全ての騒音・振動を極力排他する必要がある。
TEM近くに電線や蛍光灯などがあるとその電磁場の振動が電子線を揺らしたり曲げたりしてTEMの分解能を著しく低下させる。隣の部屋のマグネティックスターラー(磁力を用いる液体撹拌装置)や同建物内のエレベーターの昇降などによって磁界の変化が生じて電子線が動くこともある。この対策としては、電子顕微鏡の周りを磁場キャンセラーで囲うことで外部からの磁場の影響を排除できる。
扉の開け閉めなどを行うと室外の気圧の影響で室内の気圧が変化することがある。気圧変化によってTEMホルダーが押されたり引張られたりするため、試料位置が一定にならない。つまり、試料ドリフトが発生する。そのようなTEM周囲の外乱に対して、電子顕微鏡そのものを箱のようなエンクロージャーで覆った製品などもあり、外乱の影響を小さくする工夫がなされてきた。
エアコンなどの空調設備によって室内の温度は一定に保たれるが、空調の風が電子顕微鏡本体やホルダーに直接当たると電子顕微鏡や試料ホルダーが揺らされることになる。直接あたらなくても気流が大きいとその影響を受けることもある。また、エアコンのコンプレッサーの音も上述の騒音・振動源になる。風が直接当たらないように迂回させたり、上記4.で紹介したゴニオカバーやエンクロージャーを用いることでそれらの影響を小さくすることができる。
1.カバー外部(又は電気顕微鏡の設置場所で)の会話や周辺装置からの音・振動(ノイズ)をカバーがまず吸収し、試料ホルダーへのノイズの悪影響を軽減する。
2.ノイズキャンセラーをカバーに付加することでノイズの影響をさらに小さくすることができる。
3.カバーにコネクターを設ける別の実施態様においては、直接試料ホルダーにノイズが伝わらない構造にし、カバーにケーブルを通す穴を不要とすると、カバーの内側は、より密閉度が上がり、カバー内外の圧力差の影響を小さくすることもできる。
4.カバーの密閉度が上がると室温や気圧変動の影響も受けにくくなるという、さらに有利な効果を奏する。
20 カバー部
30 ノイズキャンセラー
40 ハーメチック
50 コネクター
60 ケーブル
70 TEMホルダー
80 電子顕微鏡の筐体
100 カバー
Claims (6)
- 試料ホルダーの一部を覆うカバー部と、前記カバー部に設けられた、音及び振動を低減する音・振動低減部と、を備えるカバー。
- 前記カバー部は、電子顕微鏡の筺体の一部又はゴニオメーターの外側の一部に取り付けられていることを特徴とする請求項1記載のカバー。
- さらに、前記カバー部に設けられた、前記試料ホルダーから延在するケーブルを接続するコネクター部を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のカバー。
- 前記音・振動低減部は、前記音・振動の逆位相の音・振動を生成するものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のカバー。
- さらに、無線受信機を備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のカバー。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載されたカバーを備える電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018151090A JP6749544B2 (ja) | 2018-08-10 | 2018-08-10 | カバー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018151090A JP6749544B2 (ja) | 2018-08-10 | 2018-08-10 | カバー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020027716A true JP2020027716A (ja) | 2020-02-20 |
JP6749544B2 JP6749544B2 (ja) | 2020-09-02 |
Family
ID=69620272
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018151090A Active JP6749544B2 (ja) | 2018-08-10 | 2018-08-10 | カバー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6749544B2 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1196959A (ja) * | 1997-09-17 | 1999-04-09 | Hitachi Ltd | 超精密処理装置 |
JP2007066832A (ja) * | 2005-09-02 | 2007-03-15 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡用試料移動装置 |
JP2012104298A (ja) * | 2010-11-09 | 2012-05-31 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
JP2013025911A (ja) * | 2011-07-19 | 2013-02-04 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡 |
WO2013111453A1 (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-01 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡用試料ホルダ |
JP2014112471A (ja) * | 2012-12-05 | 2014-06-19 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡 |
JP2015222656A (ja) * | 2014-05-23 | 2015-12-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
-
2018
- 2018-08-10 JP JP2018151090A patent/JP6749544B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1196959A (ja) * | 1997-09-17 | 1999-04-09 | Hitachi Ltd | 超精密処理装置 |
JP2007066832A (ja) * | 2005-09-02 | 2007-03-15 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡用試料移動装置 |
JP2012104298A (ja) * | 2010-11-09 | 2012-05-31 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
JP2013025911A (ja) * | 2011-07-19 | 2013-02-04 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡 |
WO2013111453A1 (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-01 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡用試料ホルダ |
JP2014112471A (ja) * | 2012-12-05 | 2014-06-19 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡 |
JP2015222656A (ja) * | 2014-05-23 | 2015-12-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6749544B2 (ja) | 2020-09-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10371409B2 (en) | Ceiling mounted ventilation fan with illumination | |
KR102116156B1 (ko) | 잡음 완화 마이크로폰 부착물 | |
CN107509143B (zh) | 车辆用扬声器系统、以及具备该扬声器系统的车辆构造物 | |
US8737662B2 (en) | Noise mitigating microphone attachment | |
JP5537386B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2014180733A (ja) | 筐体 | |
US20220095056A1 (en) | Hybrid receiver having fixing bracket for drivers | |
JPWO2015125889A1 (ja) | マイクロフォンの保持構造、及び電子機器 | |
JP2020027716A (ja) | カバー | |
JP5645934B2 (ja) | 荷電粒子線装置および防音カバー | |
Rohlfing et al. | Ventilation duct with concurrent acoustic feed-forward and decentralised structural feedback active control | |
EP1509061A2 (en) | Speaker and method of installing the same | |
JP2008187598A (ja) | スピーカ装置及び表示装置 | |
JP4086743B2 (ja) | 騒音制御装置 | |
JP2006317312A (ja) | 耐圧防爆型監視装置及び耐圧防爆型容器 | |
JP2006079870A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
EP4300989A1 (en) | Electric device | |
JP2010161680A (ja) | 防音箱 | |
CN1799278A (zh) | 组合的传声器-扬声器 | |
JP2893241B2 (ja) | 遮断器用操作装置 | |
JP5514018B2 (ja) | 防音パネル | |
JP2006303578A (ja) | スピーカー装置 | |
JP4995246B2 (ja) | 架空支持線への屋外用機器取付構体 | |
JPH0898297A (ja) | スピーカ | |
JP2010114612A (ja) | 小型スピーカを備える表示器、及び小型スピーカ構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190522 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200319 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200421 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200515 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200609 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200623 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6749544 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |