JP2006079870A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
本発明の目的は、吸音材もしくは制振材から発生する異物の飛散を抑制してクリーンルームで使用可能にするとともに、吸音材もしくは制振材で効率良く音波を減衰するのに好適な荷電粒子線装置を提供することである。
【解決手段】
上記目的を達成するため、荷電粒子線装置の鏡体,試料から発生する二次信号粒子を検出する検出手段,二次信号粒子検出手段の信号により試料像を取得する試料像取得手段,試料ホールダ,試料ステージを包囲する外装カバーと、外装カバーの内面に防塵繊維で包囲された吸音材もしくは制振材を取付ける取付け手段とを具備したものである。
【選択図】図1
Description
13に防音壁33の詳細図を示す。吸音材もしくは制振材27を、鋼板,樹脂,木材,紙などの素材で形成された外装材36と内装材37で包囲する。外来音波38は防音壁33を通過する間に減衰し、音波39に低減される。吸音材もしくは制振材27にはグラスウールやウレタン系の材料が使用されており、壁の厚さは数cmから数十cmになる。防音壁の厚さは、遮音する周波数と減衰効果により変わるが、一般的に低周波音になるほど遮音は難しくなり、防音壁の厚さも増す。このような大掛かりな防音装置では、数十Hzの低周波から数キロHzの高周波まで幅広い周波数帯域で遮音効果が得られる。
Claims (4)
- 荷電粒子源と、前記荷電粒子源から発生する荷電粒子線を収束するための対物レンズと、前記荷電粒子源と前記対物レンズを内在する鏡体と、前記荷電粒子線の走査によって試料から発生する二次信号粒子を検出する検出手段と、前記二次信号粒子検出手段の信号により試料像を取得する試料像取得手段と、前記鏡体の側部から挿入され、前記荷電粒子線に照射される試料を支持する試料ホールダと、前記試料ホールダを前記荷電粒子線に対して傾斜および水平の移動機構を有する試料ステージを具備した荷電粒子線装置において、前記鏡体,前記検出手段,前記試料像取得手段,前記試料ホールダ,前記試料ステージを包囲する外装カバーと、前記外装カバーの内面に防塵繊維で包囲された吸音材もしくは制振材を取付ける取付け手段とを具備したことを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1の記載において、前記吸音材もしくは制振材は、シート状の防塵繊維で前記吸音材もしくは制振材の取付面を除く外部露出面を包囲されることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1の記載において、前記吸音材もしくは制振材は、防塵繊維が袋状に縫製され前記吸音材もしくは制振材を内在するような包囲手段で包囲されることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1乃至請求項3の記載において、前記防塵繊維のクリーン度は、少なくとも荷電粒子線装置が設置されるクリーンルームの要求クリーン度に準じた防塵繊維であることを特徴とする荷電粒子線装置。
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