JPH08329874A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH08329874A JPH08329874A JP7133156A JP13315695A JPH08329874A JP H08329874 A JPH08329874 A JP H08329874A JP 7133156 A JP7133156 A JP 7133156A JP 13315695 A JP13315695 A JP 13315695A JP H08329874 A JPH08329874 A JP H08329874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover
- load plate
- sample
- inner cover
- optical system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 6
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 8
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【構成】架台８上で除振装置７により支えられた荷重板
６に設置された電子光学系２，試料室３および試料ステ
ージ５全体を覆い、荷重板６に固定した内側カバー１０
と内側カバー１０全体を覆い架台８に固定した外側カバ
ー１１を有する。 【効果】音波は外側カバー１１により減衰されて内側カ
バー１０に伝達し、さらに内側カバー１０で減衰される
ため、内側カバー１０内部の電子光学系２と試料ステー
ジ５に音波は伝わらず、音波障害が発生しない。
６に設置された電子光学系２，試料室３および試料ステ
ージ５全体を覆い、荷重板６に固定した内側カバー１０
と内側カバー１０全体を覆い架台８に固定した外側カバ
ー１１を有する。 【効果】音波は外側カバー１１により減衰されて内側カ
バー１０に伝達し、さらに内側カバー１０で減衰される
ため、内側カバー１０内部の電子光学系２と試料ステー
ジ５に音波は伝わらず、音波障害が発生しない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は走査電子顕微鏡における
音波障害を防止した装置に関する。
音波障害を防止した装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の装置は、騒音による空気振動が荷
重板に設置された電子光学系と試料ステージに直接伝わ
り、電子線と試料の間に相対変位が生じて、音波障害が
発生していた。この音波障害を防ぐため、電子光学系，
試料ステージおよび真空ポンプ等をカバーで覆い、空気
振動が直接伝わりにくくする方法が用いられている。
重板に設置された電子光学系と試料ステージに直接伝わ
り、電子線と試料の間に相対変位が生じて、音波障害が
発生していた。この音波障害を防ぐため、電子光学系，
試料ステージおよび真空ポンプ等をカバーで覆い、空気
振動が直接伝わりにくくする方法が用いられている。
【０００３】このようなカバーとして、実公平6−24124
号公報に記載のように、荷重板上の真空ポンプを覆うカ
バーを架台に固定し、荷重板と接触しないようにするこ
とで、カバーの受けた空気振動を荷重板上の電子光学系
と試料ステージに伝えにくくしている。
号公報に記載のように、荷重板上の真空ポンプを覆うカ
バーを架台に固定し、荷重板と接触しないようにするこ
とで、カバーの受けた空気振動を荷重板上の電子光学系
と試料ステージに伝えにくくしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、カ
バーの許容音圧値以上の音波を装置が受けた場合、カバ
ーで減衰しきれなかった音波がカバー内部の電子光学系
と試料ステージに伝わり、音波障害が発生する。そこで
カバーの許容音圧値を上げるため、カバーを厚くする方
法があるが、厚みに対する減衰効果には限界がある。ま
たカバーを減衰材料で構成する方法もあるが、上記方法
と同様に減衰効果には限界がある。一方、カバーに設け
られた孔から外部の音波がカバー内部に侵入し、カバー
の減衰効果が発揮できない問題も生じている。
バーの許容音圧値以上の音波を装置が受けた場合、カバ
ーで減衰しきれなかった音波がカバー内部の電子光学系
と試料ステージに伝わり、音波障害が発生する。そこで
カバーの許容音圧値を上げるため、カバーを厚くする方
法があるが、厚みに対する減衰効果には限界がある。ま
たカバーを減衰材料で構成する方法もあるが、上記方法
と同様に減衰効果には限界がある。一方、カバーに設け
られた孔から外部の音波がカバー内部に侵入し、カバー
の減衰効果が発揮できない問題も生じている。
【０００５】本発明の目的は、カバーの遮音効果を向上
することにある。
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は荷重板上の電子光学系と試料ステージ全体
を覆い、荷重板に固定した内側カバーと、内側カバー全
体を覆い、架台に固定した外側カバーの二重カバーを設
けた。さらに外側カバーと内側カバーは接触しない形状
であり、それらを固定した架台と荷重板は除振装置によ
り振動的に絶縁されているため、外側カバーと内側カバ
ーも振動的に絶縁した状態となっている。
に、本発明は荷重板上の電子光学系と試料ステージ全体
を覆い、荷重板に固定した内側カバーと、内側カバー全
体を覆い、架台に固定した外側カバーの二重カバーを設
けた。さらに外側カバーと内側カバーは接触しない形状
であり、それらを固定した架台と荷重板は除振装置によ
り振動的に絶縁されているため、外側カバーと内側カバ
ーも振動的に絶縁した状態となっている。
【０００７】またさらに、内側カバーが防振材を介して
荷重板に固定されているため、内側カバーと荷重板は振
動的に絶縁した状態となっている。
荷重板に固定されているため、内側カバーと荷重板は振
動的に絶縁した状態となっている。
【０００８】
【作用】カバーの許容音圧値以上の音波は外側カバーで
減衰されて、内側カバーに伝わり、さらに内側カバーで
減衰されて、内側カバー内部にある電子光学系と試料ス
テージに音波が伝わる。したがって、外側カバーの許容
音圧値を越える音波に対して、内側カバーが遮音できる
音圧値であれば音波障害は発生しない。
減衰されて、内側カバーに伝わり、さらに内側カバーで
減衰されて、内側カバー内部にある電子光学系と試料ス
テージに音波が伝わる。したがって、外側カバーの許容
音圧値を越える音波に対して、内側カバーが遮音できる
音圧値であれば音波障害は発生しない。
【０００９】さらに、外側カバーと内側カバーは除振装
置により振動的に絶縁されているため、音波により発生
する外側カバーの振動は内側カバーに伝わらない。その
結果、内側カバーの遮音効果も向上する。
置により振動的に絶縁されているため、音波により発生
する外側カバーの振動は内側カバーに伝わらない。その
結果、内側カバーの遮音効果も向上する。
【００１０】また、内側カバーが防振材により荷重板と
振動的に絶縁しているため、外側カバーが減衰した音波
により発生する内側カバーの振動は荷重板に伝わらな
い。その結果、カバーの遮音効果がさらに向上する。
振動的に絶縁しているため、外側カバーが減衰した音波
により発生する内側カバーの振動は荷重板に伝わらな
い。その結果、カバーの遮音効果がさらに向上する。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１により説明す
る。電子線１は電子光学系２により細く絞られ試料４に
照射される。電子光学系２と試料４は真空ポンプ９によ
り高真空に保たれた試料室３内に配置される。また、試
料室３内には試料４を移動する試料ステージ５が取り付
いている。試料室３は荷重板６の上に搭載され、荷重板
６は除振装置７により架台８とは絶縁されるように支持
される。そのため架台８に伝わる床振動や空気振動は除
振装置７により減衰されて荷重板６に伝わる。内側カバ
ー１０は荷重板６上に架台８とは接しない状態で固定さ
れ、電子光学系２，試料室３および試料ステージ５を覆
う形状となっている。外側カバー１１は架台８に固定さ
れ、内側カバー１０と接触しない状態で内側カバー１０
全体を覆う形状となっている。
る。電子線１は電子光学系２により細く絞られ試料４に
照射される。電子光学系２と試料４は真空ポンプ９によ
り高真空に保たれた試料室３内に配置される。また、試
料室３内には試料４を移動する試料ステージ５が取り付
いている。試料室３は荷重板６の上に搭載され、荷重板
６は除振装置７により架台８とは絶縁されるように支持
される。そのため架台８に伝わる床振動や空気振動は除
振装置７により減衰されて荷重板６に伝わる。内側カバ
ー１０は荷重板６上に架台８とは接しない状態で固定さ
れ、電子光学系２，試料室３および試料ステージ５を覆
う形状となっている。外側カバー１１は架台８に固定さ
れ、内側カバー１０と接触しない状態で内側カバー１０
全体を覆う形状となっている。
【００１２】図１より電子光学系２，試料室３および試
料ステージ５は外側カバー１１と内側カバー１０に全体
を覆われているため、カバーの許容音圧値以上の音波
は、外側カバー１１で減衰されて内側カバー１０に伝わ
り、さらに内側カバー１０で減衰されるため、電子光学
系２，試料室３および試料ステージ５に直接伝わらな
い。その結果、電子線１と試料４の間に相対変位は生じ
ず、音波障害は発生しない。さらに外側カバー１１と内
側カバー１０は接触せずに、除振装置７によりそれぞれ
絶縁された形で固定されているため、音波により発生す
る外側カバー１１の振動は内側カバー１０には伝わらな
い。その結果、内側カバー１０は外側カバー１１により
減衰された音波のみを受ける。
料ステージ５は外側カバー１１と内側カバー１０に全体
を覆われているため、カバーの許容音圧値以上の音波
は、外側カバー１１で減衰されて内側カバー１０に伝わ
り、さらに内側カバー１０で減衰されるため、電子光学
系２，試料室３および試料ステージ５に直接伝わらな
い。その結果、電子線１と試料４の間に相対変位は生じ
ず、音波障害は発生しない。さらに外側カバー１１と内
側カバー１０は接触せずに、除振装置７によりそれぞれ
絶縁された形で固定されているため、音波により発生す
る外側カバー１１の振動は内側カバー１０には伝わらな
い。その結果、内側カバー１０は外側カバー１１により
減衰された音波のみを受ける。
【００１３】本実施例によれば、外側カバー１１と内側
カバー１０がそれぞれ絶縁された状態で固定されている
ため、カバーの遮音効果が向上し、外側カバー１１の許
容音圧値以上の騒音に対しても、音波障害が発生しにく
い。
カバー１０がそれぞれ絶縁された状態で固定されている
ため、カバーの遮音効果が向上し、外側カバー１１の許
容音圧値以上の騒音に対しても、音波障害が発生しにく
い。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、二重カバーが各々振動
的に絶縁された状態で固定されるため、カバーの遮音効
果が向上し、騒音が大きい設置環境でも音波障害が発生
しにくい。
的に絶縁された状態で固定されるため、カバーの遮音効
果が向上し、騒音が大きい設置環境でも音波障害が発生
しにくい。
【００１５】また、内側のカバーが、荷重板と絶縁され
ているため、さらにカバーの遮音効果が向上する。
ているため、さらにカバーの遮音効果が向上する。
【図１】本発明の一実施例の走査電子顕微鏡の鏡体全体
の断面図。
の断面図。
１…電子線、２…電子光学系、３…試料室、４…試料、
５…試料ステージ、６…荷重板、７…除振装置、８…架
台、９…真空ポンプ、１０…内側カバー、１１…外側カ
バー。
５…試料ステージ、６…荷重板、７…除振装置、８…架
台、９…真空ポンプ、１０…内側カバー、１１…外側カ
バー。
Claims (2)
- 【請求項１】架台上で振動を減衰する除振装置により支
えられている荷重板と、前記荷重板上には、電子線を収
束して試料上を二次元的に走査させる電子光学系と、前
記試料上より放出される二次電子を検出し電気信号に変
換させる二次電子検出器と、前記電子光学系と前記二次
電子検出器が取り付き、真空ポンプにより高真空に維持
されている試料室と、前記試料室内で前記試料を移動さ
せる試料ステージが配置されている電子線装置におい
て、前記電子光学系，前記二次電子検出器，前記試料
室，前記試料ステージの荷重板上のユニット全体を覆う
形状で前記荷重板に固定するカバーと、前記カバーと接
触しないでカバー全体を覆う形状で前記架台に固定する
カバーによる二重カバーを有することを特徴とする走査
電子顕微鏡。 - 【請求項２】請求項１において、前記荷重板上の前記ユ
ニット全体を覆う形状の内側カバーを、防振材を介して
前記荷重板に固定する走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7133156A JPH08329874A (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7133156A JPH08329874A (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08329874A true JPH08329874A (ja) | 1996-12-13 |
Family
ID=15098015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7133156A Pending JPH08329874A (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08329874A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9970459B2 (en) | 2013-03-29 | 2018-05-15 | Ebara Corporation | Vacuum pump connecting apparatus and method for installing vacuum pump connecting apparatus |
-
1995
- 1995-05-31 JP JP7133156A patent/JPH08329874A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9970459B2 (en) | 2013-03-29 | 2018-05-15 | Ebara Corporation | Vacuum pump connecting apparatus and method for installing vacuum pump connecting apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2498249B1 (en) | Fan structure equipped with a noise control system | |
| Bao et al. | Experimental study of different approaches for active control of sound transmission through double walls | |
| US5253486A (en) | Silencer attenuating a noise from a noise source to be ventilated and a method for active control of its noise attenuation system | |
| KR100910840B1 (ko) | 회전 전기기계 | |
| KR101886698B1 (ko) | 내진성이 향상되는 원추형 내진 모듈장치 | |
| WO2012063406A1 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| US5127235A (en) | Low noise refrigerator and noise control method thereof | |
| JP5645934B2 (ja) | 荷電粒子線装置および防音カバー | |
| JP4120649B2 (ja) | 防音装置 | |
| CA1181013A (en) | Noise-reduction device for stationary induction apparatus | |
| US20100266138A1 (en) | Device and method for active sound damping in a closed interior space | |
| JPH0823753B2 (ja) | 消音装置 | |
| JPH08329874A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JP4086743B2 (ja) | 騒音制御装置 | |
| JPH0992192A (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
| EP0539939B1 (en) | Active noise cancellation system | |
| JP2006079870A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| JP2002228643A (ja) | 防音性能測定方法及び測定装置 | |
| JPH08203461A (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
| JP4668139B2 (ja) | 電気掃除機 | |
| JP2005003777A (ja) | 吸音システム | |
| JPH05187377A (ja) | パッケージ形スクリュー圧縮機 | |
| JP3188982B2 (ja) | 電子線照射装置の通気口装置 | |
| JP3604020B2 (ja) | 車両用遮音カバー | |
| JPS6231718Y2 (ja) |