WO2012063406A1

WO2012063406A1 - 荷電粒子線装置

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Publication number: WO2012063406A1
Application number: PCT/JP2011/005748
Authority: WO
Inventors: 武藤　大輔; 眞徳渡部; 松島　勝; 中川　周一; 昌弘赤津; 裕介丹波; 岡田　聡
Original assignee: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Priority date: 2010-11-09
Filing date: 2011-10-14
Publication date: 2012-05-18
Also published as: JP2012104298A; US20130228686A1; JP5537386B2; US8822952B2; DE112011103712T5

Abstract

従来、防音カバー、特にクリーンルームで用いられる防音カバーにおいて、環境騒音によってもたらされる騒音の周波数を想定し、当該周波数に特化した構造によって騒音を吸収するものはなく、効率的に吸音を行うことができなかった。そこで、荷電粒子線装置の持つ固有振動数を基準とする第一の周波数領域に対して吸音性能が特化した第一の吸音体（１００１）と、カバー（３０１）内に発生する音響定在波の周波数を基準とした第二の周波数領域に対して特化した第二の吸音体（１００３）のどちらか一方、或いはその両方を荷電粒子線装置のカバー内に対して設けることを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。

Description

荷電粒子線装置

　本発明は、音響加振されることによって像障害が発生する荷電粒子線装置に関する。外部環境からの騒音や振動を低減するための防音カバーに関するもので、特にクリーンルームなどで使用されることを想定したものである。

　電子線を用いた高倍率の観察を行う電子顕微鏡などの荷電粒子線装置では、外部からの微小な音圧や振動によって像の揺れが発生し、振動による障害が、高倍率化に伴って顕在化している。このため、設置環境音が照射されることによって発生する像障害を防ぐことを目的に、装置へ照射される音波の伝達を遮断する手段として防音カバーが設置される。防音カバーは音波の回り込む性質を考慮し、さらに施工性や低コスト化を鑑みて通常は上下，左右，上下面を有する６面体構造の表面を形成する。

　このカバーの防音性能を向上するには、カバー内部を吸音することが有効で、有機多孔質材料をカバー内面に張り巡らすのが効果的である。しかしながら、荷電粒子線装置はクリーンルーム内で使われることが一般的であり、これら有機材料の飛沫による発塵性がクリーンルームの防塵性を阻害して問題となる場合がある。そのため防塵繊維で吸音材を覆って外装カバーに取り付ける技術が特許文献１に開示されている。

　また、一般に音響工学の分野では、フラスコ型の容器の形状の口部における空気振動に起因して容器の形状に依存した共鳴周波数が存在することが知られている。これはヘルムホルツ共鳴原理とよばれ、この原理を利用して吸音する技術がある。この技術を利用したものとして、特許文献２には、多数の小孔を備えた箱部材からなる吸音構造体が開示されている。

特開２００６－７９８７０号公報特開２００８－１３８５０５号公報

　従来、防音カバー、特にクリーンルームで用いられる防音カバーにおいて、環境騒音によってもたらされる騒音の周波数を想定し、当該周波数に特化した構造によって騒音を吸収するものはなく、効率的に吸音を行うことができなかった。そのため、本発明は、荷電粒子線装置用防音カバー構造について、効率的に吸音できる吸音構造体と、吸音効果が効率的に得られるように前記吸音構造体を配置した荷電粒子線装置を提供することを目的とする。

　上記課題を解決するために、荷電粒子線装置の持つ固有振動数を基準とする第一の周波数領域に対して吸音性能が特化した第一の吸音体と、カバー内に発生する音響定在波の周波数を基準とした第二の周波数領域に対して特化した第二の吸音体のどちらか一方、或いはその両方を荷電粒子線装置のカバー内に対して設ける。

　本発明により、荷電粒子線装置の持つ固有振動、およびカバー内で発生する音響定在波を効率的に吸収する防音カバーを構成することができ、この防音カバーを備えた荷電粒子線装置は設置環境音によって引き起こされる像障害を低減することができる。

走査電子顕微鏡の全体構成を示した図である。カバーを含めた走査電子顕微鏡の外観を示した図である。走査電子顕微鏡の断面図を示した図である。吸音体の構造を示した図である。実施例１を説明する図である。実施例２を説明する図である。実施例３を説明する図である。実施例４を説明する図である。カバー内で発生する音響定在波について説明する図である。実施例５を説明する図である。試料搬送装置をもつ荷電粒子線装置の断面図を示した図である。実施例６を説明する図である。実施例６で説明する構成の立体図である。実施例７を説明する図である。

　以下でいう荷電粒子線装置とは、汎用の走査電子顕微鏡，測長装置（ＣＤ－ＳＥＭ），レビュー装置，欠陥検査装置，荷電粒子線を用いた試料加工装置等、高精度の検査，観察，加工をする装置を指し、装置の微小な振動によって、障害が発生する装置全般をいう。

　図１は、荷電粒子線装置の一例である走査電子顕微鏡の全体構成を示す模式図である。図１の走査電子顕微鏡は、電子銃１００，レンズ１０１，走査偏向器１０２，対物レンズ１０３，試料１０４，二次粒子検出器１０５などの光学要素により構成される電子光学系を有するカラム、観察対象となる試料を保持する試料台をＸＹ面内に移動させるステージ１０６、当該電子光学系に含まれる各種の光学要素を制御する電子光学系制御部１０７、二次粒子検出器１０５の出力信号を量子化するＡ／Ｄ変換部１０８、ステージ１０６を制御するステージ制御部１０９、全体制御部１１０，画像処理部１１１，ディスプレイ，キーボード，マウスなどのポインティングデバイスからなる操作部１１２、ＨＤＤ，メモリ等の記憶部１１３，光学式顕微鏡１１４などにより構成されている。また、以上説明した電子光学系，電子光学系制御部１０７，Ａ／Ｄ変換部１０８，ステージ１０４，ステージ制御部１０９は、ＳＥＭ画像の撮像手段であるところの走査電子顕微鏡を構成する。

　まず試料を搬送するローダ（図示省略）によって試料１０４が試料ステージ１０６に設置され、試料準備室１１５から電子顕微鏡１１６内に搬送される。

　電子銃１００から発射された一次電子線１１７は、レンズ１０１で集束され、走査偏向器１０２で偏向された後、対物レンズ１０３で集束されて、試料１０４に照射される。一次電子線１１７が照射された試料１０４から、試料の形状や材質に応じて二次電子や反射電子等の二次粒子１１８が発生する。発生した二次粒子１１８は、二次粒子検出器１０５で検出された後、Ａ／Ｄ変換部１０８でデジタル信号に変換される。デジタル信号に変換された二次粒子検出器の出力信号を画像信号と称する場合もある。Ａ／Ｄ変換部１０８の出力信号は、画像処理部１１１に入力されＳＥＭ画像を形成する。画像処理部１１１は、画像比較による欠陥検出や欠陥解析等の各種画像処理を実行する。

　レンズ１０１，走査偏向器１０２，対物レンズ１０３など、電子光学系内部の光学要素の制御は、電子光学系制御部１０７で行われる。試料の位置制御は、ステージ制御部１０９で制御されたステージ１０６で実行される。全体制御部１１０は、装置全体を統括的に制御する制御部であり、操作部１１２，記憶部１１３からの入力を解釈し、電子光学系制御部１０７，ステージ制御部１０９，画像処理部１１１等を制御し、必要に応じて操作部１１２に含まれる表示部（図示省略）、記憶部１１３に処理結果を出力する。

　以上説明した全体制御部１１０，画像処理部１１１の一部または全部は、ハードウェア，ソフトウェアいずれの方式でも実現可能である。ハードウェアにより構成する場合には、必要な処理を実行する複数の演算器を配線基板上あるいは１つの半導体チップないしパッケージ内に集積することにより実現できる。ソフトウェアにより構成する場合には、画像処理等ソフトウェアで構成する処理を行うプログラムを高速な汎用ＣＰＵに実行させることにより実現できる。

　図２は、荷電粒子線装置の一例を示す外観図である。電子顕微鏡２０１の外周には、全体を包囲するように外装カバー２０２が設けられる。外装カバー２０２は、鋼板や樹脂の材質で構成される。また、外装カバー２０２には、操作用に操作扉２０３や操作窓２０４が取り付けられ、開閉可能になっている。操作窓２０４は、鋼板・樹脂・ガラス等の材質で構成される。また内部を観察するための観察窓２０５が取り付けてある。観察窓２０５は、内部が監視できるようにガラスや樹脂の材質で構成される。操作扉２０３，操作窓２０４，観察窓２０５は、外装カバー２０２の一部品であり、これらをまとめて外装カバー２０２とする。なお、観察窓２０５は、開閉式であれば金属の材質で構成してもよい。

　なお、図２では外装カバーに電子顕微鏡本体だけが入った図としたが、当然ながら、試料準備室２０６が外装カバー内部に含まれてもよい。また上記したように、全体制御部１１０や画像処理部１１１等は部分的にまたは全部がハードウェアで構成されるので、ハードウェアで構成された部分については電子顕微鏡と同じ外装筐体として囲まれてもよいし、電子顕微鏡とは別の外装板で囲まれた別筐体として扱われてもよい。ただし、防音または除震が必要なのは電子顕微鏡本体なので、同一筐体内に振動源を含まないように、試料搬送するローダや冷却ファンを有する制御基板等は別筐体とするか、筐体内に仕切り壁をつけたほうがよいと思われる。

　図３は図２に示した電子顕微鏡と外装カバーの断面図である。カバー３０１と荷重板３０２を有する荷電粒子線装置を示す。図３のように、地面の上に据え付けられた複数の支柱を備えた架台３０３に対し、除振台３０４を介して荷重板３０２が設置されており、電子光学系を含むカラム３０６と試料が載置される試料室３０７からなる前記荷電粒子線装置本体３００はこの荷重板３０２の上に構築されている。カバー３０１はその外側に構成されており、架台３０３，荷重板３０２、および装置本体３００を覆っている。一般に、装置は熱を発生するが、この熱を排出することを目的として、カバー３０１の下部には開口部３０５が設けられている。

　次に、防音カバーに取り付ける吸音体の構造について説明する。以下でいう吸音体とは防音カバーと独立に成形された吸音構造を持つ部品に加え、防音カバーと一体成形された防音カバーの構造の一部も含む。従来吸音体は有機多孔質材料からなるものが一般的であったが、これらの有機多孔質材料は発塵性があり、クリーンルーム内で使うことはできない。そこで、吸音体を金属性材料で構成することにより、クリーンルーム内で使用しても問題のないよう、発塵性を極力低減できる。

　例えば図４のような吸音体４００を金属材料で形成するとよい。図４は多孔板を用いた吸音体４００を具体的に説明したもので、開口部４０１を設けた表面板４０２を背面板４０３に対して隔壁４０４で固定し、表面板４０２と背面板４０３および隔壁４０４で形成される空洞部４０５を有した構造となっている。

　このような構造において、表面板４０２側から到来した音波によって開口部４０１を満たす空気が空洞部４０５に押し込まれると、空洞部４０５の圧力が上昇し、逆に開口部４０１を満たす空気を押し戻そうとする。このようにして、開口部４０１を満たす空気をおもり、空洞部４０５の空気をバネとする単振動系を形成し、開口部４０１における空気と部材との摩擦によってエネルギが散逸して、ある特定の周波数で高い吸音性能を有す。その特定の周波数は開口部４０１の開口径，開口長さ，開孔率，空洞部の厚さによって決まる。これらを防音カバーの中で発生する主な騒音の周波数に合わせて設計することで、騒音の周波数に特化した防音カバーを形成することができる。また、開口部４０１に筒状の物体を埋め込んで開口部４０１の穴部の長さが可変にできるようにすると吸音周波数を調整可能となりより効果的である。

　なお、ここでいう騒音の周波数とは吸音対象とする振動の周波数であり、例えば装置の固有周波数やカバー内部の音響定在波の周波数が挙げられる。これらは装置やカバーの大きさ，質量等から予め推測可能である。したがって、これらの騒音周波数に吸音体の吸収周波数を合わせることで高い吸音効果が得られる。

　吸音体４００の吸音率が特定の周波数で極大値を有していれば、吸音体４００を当該極大値の周波数と吸音対象の周波数が一致するように設計することでより効果的に防音することができる。なお、当該極大値の周波数と吸音対象の周波数は一致していることが望ましいが、完全に同一の周波数でなくても、吸音対象の周波数において、当該極大値で７０％以上の吸音率を有していれば十分に本発明の効果を奏する。よって以下では当該極大値での７０％以上の吸音率を有する周波数帯を吸収周波数帯とし、特定の周波数帯に特化した吸音構造とは、特定の周波数体において吸音率が７０％以上のものをいう。

　また、図４では一つの空洞部４０５に対して一つの開口４０１を有するように表示してあるが、一つの空洞部４０５に対して複数の開口４０１を有するように構成してもよい。すなわち隣り合う開口４０１の間隔を隣り合う隔壁４０４の間隔より短くするとよい。その際、隔壁４０４の間隔を吸音周波数における音波の波長よりも短くすることによって、表面板４０２が音波によって加振されにくくなり、開口部４０１における空気と部材との摩擦によるエネルギの散逸によって生じる本来の吸音性能を発揮させることができるため効果的である。

　以上のような吸音体を、防音カバーの吸音体として、例えば以下の実施例に示すように特定周波数を効果的に吸音するように配置することにより、特定周波数に特化した防音カバーとすることができる。

　次にこの吸音体を防音カバーの内部に配置する例について説明する。防音カバーの内部には走査電子顕微鏡などの装置本体と、試料を載置する試料室、これらを支持する荷重板，架台等が存在する。さらに、装置本体を動作させるための電源や制御板が含まれていることもある。したがって、防音カバーの内部の空きスペースは限られており、騒音を効率的に吸収する必要がある。このためには上に述べたような特定の周波数を吸収周波数帯に持つ吸音体を、カバー内部に効果的に配置することが重要となる。

　そこで、本発明に係る荷電粒子線装置では、以下の実施例で示すように、吸音体を防音カバーの開口部付近に配置することとした。ここでいう開口部とは放熱，配管，配線の都合で設けられたカバーと装置外部との隙間を指し、開口部付近とは、吸音体を設置したときこの開口部から侵入する外部騒音を吸収する効果を奏する範囲をいう。効果を奏するとは、例えば吸音率が７０％以上のことをいう。さらに、防音カバー内部に異なる吸収周波数帯をもつ複数の吸音体を配置した。異なる吸収周波数帯とは、例えば吸収周波数の極大値が異なることを指す。

　これらの構成によって、カバー全体の体積を小さく抑えることができるので、設置場所を少なくすることができる。

　以下では吸音体の配置場所について具体的に例を挙げて説明するが、吸音体の配置は以下の実施例に限定されるものではなく、また、以下の実施例の変形または組合せに係るものであってもよい。

　図５は吸音体の配置の一例を示したものである。図５では吸音体５０１がカバー３０１の内面と架台３０３の支柱の間にできる空間に設置されたことを特徴とする構造となっている。この吸音体５０１は装置本体３００の固有振動数に近い周波数成分に特化した構造であるとよい。

　このような構成とすることにより、通常、カバー３０１の下部に存在する開口部３０５から漏れて内部に侵入する音波を吸収することができる。特に、装置本体３００の固有振動数に近い周波数成分の音波を装置本体３００へ到達する前に吸音体５０１で吸収することができ、結果的に装置本体３００の振動を低減して像障害を抑えることができる。

　また外部騒音の侵入口が開口部３０５以外にもある場合には当該侵入口のまわりに吸音体を配置するとよい。例えばカバー３０１の側面にケーブルを通すための開口部がある場合には、当該開口部の周りを囲むように吸音体を配置すればよい。

　なお、吸音体の設置範囲は図５に示した範囲であればどこでもよく、その具体例として実施例２から５を示す。

　図６は図５に示した実施例１における変形例の一つで、この例では開口部３０５付近のカバーの内側に対して吸音体６０１を取り付けている。さらに、吸音面６０２を内向きとなるように設置している。吸音面とは例えば図４の表面板４０２側の面であり、内向きとは吸音するべき空間側、すなわち装置本体３００が設置された空間側を向いた状態をいう。また、開口部３０５付近に吸音体が配置された状態とは、この開口部から侵入する外部騒音を吸収する効果を奏する範囲に吸音体を配置した状態を指し、具体的には、開口部の少なくとも一部に吸音体の一部が面している状態のことをいう。

　なお、図６では断面図だけを示しているが、吸音体５０１は水平面内にどのように配置されていてもよい。すなわち、架台の対向面にだけ配置してもよいし、また、カバーの開口部付近に全周にわたって配置してもよい。

　当該構成によって、実施例１の例より簡便に吸音効果を得ることができる。また、吸音体を設置する面積が少ないので、コストを下げることができる。

　図７は図５に示した実施例１における変形例の一つで、この例では架台３０３を構成する支柱に対して吸音体を取り付けている。さらに、吸音面６０２がカバー内面に対向するように、すなわちカバー３０１に対向して設置されている。

　本実施例によっても、実施例２と同等の効果を得ることが期待できる。

　図８は、図５に示した実施例１における変形例の一つで、図５において隣り合う支柱の間の断面、および上面図を判りやすく示したものである。吸音体８０１は、架台３０３を構成する複数の支柱のうち、それぞれ隣り合う支柱の間にできる空間に設置されている。言い換えれば、隣り合う支柱をつなぐように壁状に吸音体８０１が配置される。このように配置することで実施例３に比べて広い面積に吸音体を設置することが可能であるため、より吸音効果を高めることができる。また、カバー内の限られた空間を有効利用することができる。なお、図８では４本の支柱の間全てに吸音体を配置した例を示したが、機器の配置の都合上、複数の支柱の間のうち一部に吸音体が配置されていなくてもよい。この場合支柱の間全てに吸音体を設置した場合に比べて吸音効果は低下する。したがって別の実施例で示す方法と合わせて吸音効果を補うとよい。

　またこの場合、図８のように吸音体８０１の吸音面８０２が架台３０３で囲まれた空間の内外両面を向いた構造とすると、開口部３０５から侵入する音波だけでなく、架台５０の支柱で囲まれる空間内の音波も吸収されるため、より効果的である。すなわち、複数の吸音面を持つ吸音体８０１の第一の吸音面はカバー３０１の内面と対向するように設置され、第二の吸音面はカバー３０１の内面と同じ向きに設置される。その結果、図８に示すように第一の吸音面と第二の吸音面は逆方向に向けて設置される。

　以上実施例１から４に示したとおり、装置本体の固有周波数を吸収帯に持つ吸音体をカバーの内面と架台の支柱の間にできる空間に設置することで、通常、カバー下部に存在する開口部３０５から漏れて進入する音波について、装置本体３００の固有振動数に近い周波数成分を本体へ到達する前に吸音体で吸収することができ、結果的に装置本体３００の振動を低減して像障害を抑えることができる。

　なお、実施例１から４では装置本体の固有周波数を吸収周波数帯に持つ吸音体について説明したが、特定周波数に特化した吸音体であれば、固有周波数に限られず、例えば、次に図９を用いて説明するような音響定在波の周波数に特化した吸音体であってもよい。

　図１０を用いて作用の異なる２つの吸音体を防音カバー内部に設置した例を示す。荷電粒子線装置等の防音カバーにおいて、カバー３０１で囲まれた空間には、図９に示すような音響定在波が発生する。この音響定在波の発生は、１００～５００Ｈｚ程度であり一般的なカバー３０１と荷重板３０２を有する荷電粒子線装置本体３００の固有周波数よりも低い。実施例１から４では装置の固有周波数に特化した吸音体の配置について説明したが、これまでに述べた構成では、吸音周波数の違いが原因でこの音響定在波を効率的に吸収することができない。低い周波数で吸音性能を特化させるには吸音材の厚さを厚くする必要があるが、一般的に荷電粒子線装置では荷重板３０２より下方には別の機器が設置されている場合が多く、吸音体の設置スペースの確保が難しい。一方、荷重板３０２よりも鉛直上方は、下方よりも比較的広い空間があるため、そこに設置する吸音体の厚さは、実施例１から４で述べた吸音体よりも厚くすることが可能である。

　そこで、図１０のように荷重板３０２よりも鉛直上方のカバー内側に対し、カバー内の音響定在波の周波数に対して吸音性能が特化した第二の吸音体１００３を設置する。第二の吸音体１００３の設置位置は、防音カバー内部において設置のためのスペースがある位置であればどこでもよいが、上記のように荷重板より上方はスペースが空いている場合が多く、防音カバーの内面であって荷重板のなす面より上方に位置する部分に設置するのがよい。例えば、カバー３０１の天井面に設置することもできる。

　第二の吸音体１００３は、装置の固有周波数に特化した第一の吸音体１００１とは異なる吸収周波数帯をもつように、開口径，開口長さ，開孔率，空洞部の大きさ等が設計されている。

　このように作用の異なる２つの吸音体をカバー内部に設けることで、周波数の異なる騒音を同時に吸音できるため、より高い吸音効果が期待できる。さらに、高周波数の吸収周波数帯を持つ第一の吸音体をカバー３０１の開口部３０５の近くに、低周波数の吸収周波数帯を持つ第二の吸収体をカバー３０１の開口部３０５から遠い位置に配置することで、限られた空間内に効率的に吸音体を配置することができるので、装置全体が省スペース化できる。

　なお、ここでは装置の固有周波数に特化した第一の吸音体１００１と合わせて設置する例を示したが、固有周波数の振動が問題にならない場合には、第一の音響定在波の周波数に特化した第二の吸音体１００３だけの設置であってもよい。

　また、ここでは第二の吸音体１００３は音響定在波の周波数に特化した構造としたが、音響定在波に限らず、他の騒音源の周波数に特化した構造としてもよい。

　以下、実施例６，実施例７については、別の変形例として、半導体計測・検査・観察装置等に代表される、試料搬送装置４０を有する荷電粒子線装置の構造に即して説明する。

　図１１に、カバー１１０１と試料搬送装置１１０２を有する一般的な荷電粒子線装置を示す。図１１のように、カバー１１０１は、側面のうち一面が全て開いた開口部１１０３を有している。このカバー１１０１の底面に対して複数の支柱を有する架台１１０４が配置され、荷電粒子線装置本体１１００は架台１１０４の上に除振台１１０５などを介して固定されている。装置本体１１００は、開口部１１０３以外の方向はカバーでおおわれており、試料搬入出部１１０６が開口部１１０３の方向になるよう設けられている。これとは別に装置本体１１００の内部に対して試料搬入出部１１０６を経由して試料を搬送する試料搬送装置１１０２と呼ばれる装置があり、この試料搬送装置１１０２は前記カバー１１０１の開口部１１０３に対して正面に、この開口部１１０３を塞ぐように設置される。

　図１２は図１１で説明したカバーと試料搬送装置１１０２を有する荷電粒子線装置において吸音構造を取り付けた例である。この例では、吸音体１２０１は、前記試料搬送装置１１０２の開口部１１０３に対向する側の壁面から前記開口１１０３を通って前記装置本体１１００側に突出するよう配置されたことを特徴とする構造となっている。

　このとき、吸音面１２０２が、試料搬送装置１１０２の装置本体側の壁面に対して略垂直方向に、かつ、カバー１１０１の天井面または床面に略平行方向になるように、設置される。このようにして設置されたとき吸音面１２０２はカバー１１０１と試料搬送装置１１０２の隙間１１０９に、カバーの外部を向くように配置されるので、隙間１１０９の外部から侵入する騒音を効果的に吸音することができる。

　また、効率的に吸音するためには、試料搬送装置１１０２の装置本体側の壁面に対して垂直方向の吸音面１２０２の長さは、少なくとも同方向の隙間１１０９の長さより長く、カバー１１０１の内部に突出するように設置される必要がある。

　このような構造とすることにより、カバー１１０１と試料搬送装置１１０２の隙間から漏れて開口部１１０３を通って内部に侵入する音波について、装置本体１１００の固有振動数に近い周波数成分を装置本体１１００へ到達する前に吸音体１２０１で吸収することができ、結果的に装置本体１１００の振動を低減して像障害を抑えることができる。

　図１３は図１２をカバー１１０１と試料搬送装置１１０２に分離した状態を立体的に表現したものである。図１３には、吸音体１２０１が試料搬送装置１１０２に取り付けられた例を示しているが、試料搬送装置の壁面と一体成形されていてもよい。また、吸音体１２０１はカバー１１０１や試料搬入部１１０６に固定されていてもよい。また、吸音体１２０１を試料搬送装置１１０２やカバー１１０１とは独立にカバーの床面に固定してもよい。

　図１４は図１２で説明した実施例６に対して、さらにカバー内に発生する音響定在波の周波数に対して吸音性能が特化した第二の吸音体１４０３をカバー１１０１の天井面内側に設置した実施例を示したものである。第二の吸音体１４０３の設置位置はカバー１１０１の天井面に限られず、カバー側面であってもよい。本実施例においても、実施例５と同様に作用の異なる二つの吸音体をカバー内部に設けることで、周波数帯が異なる騒音を吸収することができ、より高い吸音効果が期待できる。

　以上のように、金属製の吸音体を、各実施例および、その組合せによって示される配置とすることで、カバー内部の限られた空間において効率的に吸音体を配置することができ、重量や設置スペース，コストを大幅に増大させることなく、荷電粒子線装置で使用可能な吸音効果が高い防音カバーを構成することができる。

３００，１１００　装置本体
４００　吸音体

Claims

　試料の画像を取得する走査電子顕微鏡を少なくとも有する装置本体と、
　前記装置本体の周囲に配置されるカバーとを備え、
　前記装置本体の固有周波数、または前記カバーの内部に発生する音響定在波の周波数を吸音周波数帯にもつ吸音体を前記カバーの内部に設けられたことを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項１に記載の荷電粒子線装置において、
　前記装置本体は、前記走査電子顕微鏡を支持する荷重板と、当該荷重板を支える複数の支柱を備えた架台とを備え、
　前記吸音体は、前記カバーと前記支柱との間に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項２に記載の荷電粒子線装置において、
　前記吸音体は、前記カバーの内側または前記支柱に設置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項２に記載の荷電粒子線装置において、
　前記吸音体は、前記架台を形成する複数の支柱の間に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項１に記載の荷電粒子線装置において、
　前記吸音体は、複数の吸音面を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項１に記載の荷電粒子線装置において、
　前記吸音体は、金属性材料からなることを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項６に記載の荷電粒子線装置において、
　前記吸音体は複数の開口部を有する多孔板を有し、
　前記開口部の長さが可変であることを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項６に記載の荷電粒子線装置において、
　前記吸音体は複数の開口部を有する多孔板と、前記多孔板に対向して設けられる背面板と、前記多孔板と前記背面板の間に構成される空洞部を仕切る複数の仕切り板からなり、
　前記仕切り板の間隔は前記吸音体の吸音周波数帯における音波の波長よりも短いことを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項１に記載の荷電粒子線装置において、さらに、
　前記装置本体の試料搬入出部に対向する位置に設置された試料搬送装置を備え、
　前記カバーは、前記装置本体の試料搬入出部に対向する面に開口を有し、
　前記吸音体は、前記試料搬送装置の前記装置本体側の壁面から前記開口を通って前記装置本体側に突出するよう配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項９に記載の荷電粒子線装置において、
　前記吸音体は、前記試料搬送装置の前記装置本体側の壁面に対して略垂直方向であって、前記カバーの天井面に対して略平行方向になるように設置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項９に記載の荷電粒子線装置において、
　前記吸音体の吸音面は前記カバーの内面と対向するように設けられることを特徴とする荷電粒子線装置。
　試料の画像を取得する走査電子顕微鏡を少なくとも有する装置本体と、
　前記装置本体の側面および天井面を覆うように配置されるカバーとを備え、
　前記カバーの内部に吸音周波数帯の異なる第一の吸音体と第二の吸音体を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項１２に記載の荷電粒子線装置において、
　前記第一の吸音体は前記装置本体の固有周波数である第一の周波数領域を吸音周波数帯に持ち、前記第二の吸音体は前記カバーの内部に発生する音響定在波の周波数である第二の周波数領域を吸音周波数帯に持つことを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項１２に記載の荷電粒子線装置において、
　前記装置本体は、前記走査電子顕微鏡を支持する荷重板と、当該荷重板を支える複数の支柱を備えた架台とを備え、
　前記第一の吸音体が、前記カバーと前記支柱との間に配置されたことを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項１４に記載の荷電粒子線装置において、
　前記第一の吸音体は、前記カバーの内側または前記支柱に設置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項１４に記載の荷電粒子線装置において、
　前記第一の吸音体が、前記架台を形成する複数の支柱の間に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項１２に記載の荷電粒子線装置において、
　前記第一の吸音体は、複数の吸音面を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項１４に記載の荷電粒子線装置において、
　前記第一の吸音体は前記荷重板の下部に配置され、前記第二の吸音体は前記荷重板の上部に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項１２に記載の荷電粒子線装置において、
　前記第一の吸音体または前記第二の吸音体は、金属性材料からなることを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項１９に記載の荷電粒子線装置において、
　前記第一の吸音体または前記第二の吸音体は、複数の開口部を有する多孔板を有し、
　前記開口部の長さが可変であることを特徴とする荷電粒子線装置。
　請求項１９に記載の荷電粒子線装置において、
　前記第一の吸音体または前記第二の吸音体は複数の開口部を有する多孔板と、前記多孔板に対向して設けられる背面板と、前記多孔板と前記背面板の間に構成される空洞部を仕切る複数の仕切り板からなり、
　前記仕切り板の間隔は前記第一の吸音体または前記第二の吸音体の吸音周波数帯における音波の波長よりも短いことを特徴とする荷電粒子線装置。