JP2009016283A - Guiを備えた電子顕微鏡及びそのノイズ除去方法 - Google Patents
Guiを備えた電子顕微鏡及びそのノイズ除去方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009016283A JP2009016283A JP2007179180A JP2007179180A JP2009016283A JP 2009016283 A JP2009016283 A JP 2009016283A JP 2007179180 A JP2007179180 A JP 2007179180A JP 2007179180 A JP2007179180 A JP 2007179180A JP 2009016283 A JP2009016283 A JP 2009016283A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sound wave
- signal
- electron microscope
- frequency band
- setting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
外部からの騒音を解消する手段を設け、ユーザーがその条件を適宜設定できる手段を備えた装置を提供すること、さらに、外部振動の影響を画像表示することの可能な装置を提供すること。
【解決手段】
本発明の電子顕微鏡は、電子顕微鏡装置のカラム周囲に外部からの音波の信号を取り込む音波取込手段と、この音波取込手段により取り込んだ信号を設定するGUIと、このGUIにより設定された信号を発信する前記カラムの周囲に設けられた音波発信手段とを備えた構成とする。
【選択図】図1
Description
2 支持台
3 試料室
4 カラム
5 除振装置
6 音波取込手段
7 音波発信手段
8 制御部
9 カバー
10 GUI
11 ノイズ除去モード選択部
12 信号増幅/周波数帯域設定部
13 ノイズ表示ON/OFF部
14 ノイズ表示画面
15 SAVE/LOAD表示画面ON/OFF選択部
16 SAVE/LOAD表示画面
17 ノイズキャンセラON/OFF選択部
21 制御回路
22 増幅アンプ
23 位相反転アンプ
24 周波数帯域変換部
25 A/D変換部
26 RAM
27 メモリ
28 画面制御部
Claims (15)
- 少なくとも試料室、カラムを備えた電子顕微鏡において、
前記カラムの周囲に外部からの音波の信号を取り込む音波取込手段と、
該音波取込手段により取り込んだ信号を設定するGUIと、
該GUIにより設定された信号を発信する前記カラムの周囲に設けられた音波発信手段と、
を備えている電子顕微鏡。 - 前記カラムの周囲にカバーを有し、
前記音波取込手段及び前記音波発信手段が該カバーに設けられていることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡。 - 前記音波取込手段及び前記音波発信手段が複数組設けられている請求項1又は2に記載の電子顕微鏡。
- 前記カバー内部に防音材が設けられている請求項2に記載の電子顕微鏡。
- 前記GUIにより、前記音波取込手段から取り込んだ音波の信号増幅設定、周波数帯域設定、及び/又は位相設定をユーザーが任意に又は自動で行うことの可能な請求項1乃至4のいずれかに記載の電子顕微鏡。
- 前記GUIがノイズ除去モード選択部を有しており、
該ノイズ除去モード選択部で、前記音波取込手段から取り込んだ音波の信号をユーザーが任意で設定するか自動で設定するか選択する請求項1乃至5のいずれかに記載の電子顕微鏡。 - 前記GUIが信号増幅/周波数帯域設定部を有しており、
該信号増幅/周波数帯域設定部で、前記音波取込手段から取り込んだ音波の信号幅設定及び周波数帯域設定を行う請求項1乃至6のいずれかに記載の電子顕微鏡。 - 前記GUIがさらに位相設定部を有しており、
該位相設定部で、前記音波取込手段から取り込んだ音波の位相設定を行う請求項7に記載の電子顕微鏡。 - 前記ノイズ除去モード選択部の自動での設定が、前記音波取込手段により取り込まれた信号を自動設定値で信号増幅、位相反転、及び自動設定値で周波数帯域設定された信号を前記音波発信手段から発信するモードと、前記音波取込手段により取り込まれた信号を所定の初期値で信号増幅、位相反転、所定の初期値で周波数帯域設定された信号を前記音波発信手段から発信するモードを有する請求項6乃至8のいずれかに記載の電子顕微鏡。
- 前記GUIがノイズ表示画面を有し、
該ノイズ表示画面により前記音波取込手段により取り込んだ外部からの音波のノイズ量を表示する請求項6乃至9のいずれかに記載の電子顕微鏡。 - 前記GUIがSAVE/LOAD表示画面を有し、
該SAVE/LOAD表示画面により前記信号増幅/周波数帯域設定部で設定した設定値を保存/読み出しを行う請求項7記載の電子顕微鏡。 - 電子顕微鏡のカラムの周囲に設けた音波取込手段から外部音波の信号を取り込む第1のステップと、
該取り込んだ信号の設定をGUIで行う第2のステップと、
該GUIで設定した信号を前記カラムの周囲に設けた音波発信手段から発信する第3のステップと、
を少なくとも含む電子顕微鏡のノイズ除去方法。 - 前記音波取込手段から取り込んだ信号を、ユーザーが任意に設定するか自動で設定するかGUIで選択するステップを更に含み、
該ステップにおいてユーザーが任意での設定を選択した場合には、前記第2のステップが、前記音波取込手段から取り込んだ信号をユーザーが任意に設定した値で増幅し、位相を反転し、ユーザーが任意に設定した値で周波数帯域を変換するステップであり、一方、自動での設定を選択した場合には、前記第2のステップが前記音波取込手段から取り込んだ信号を自動設定値又は初期値で増幅し、位相を反転し、自動設定値又は初期値で周波数帯域変換するステップである請求項12に記載の電子顕微鏡のノイズ除去方法。 - 前記ユーザーが任意に設定するモードを選択した場合に、前記音波取込手段から取り込んだ信号を、前記ユーザーが任意に設定した値で増幅する替わりに、以前に設定し保存した値を読み出して増幅し、前記ユーザーが任意に設定した値で周波数帯域変換する替わりに、以前に設定し保存した値を読み出して周波数帯域変換する請求項13に記載の電子顕微鏡のノイズ除去方法。
- 前記GUIに前記音波取込手段から取り込んだ外部からの音波のノイズ量を表示するステップを更に含む請求項12乃至14のいずれかに記載の電子顕微鏡のノイズ除去方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007179180A JP5096816B2 (ja) | 2007-07-09 | 2007-07-09 | Guiを備えた電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007179180A JP5096816B2 (ja) | 2007-07-09 | 2007-07-09 | Guiを備えた電子顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009016283A true JP2009016283A (ja) | 2009-01-22 |
JP5096816B2 JP5096816B2 (ja) | 2012-12-12 |
Family
ID=40356920
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007179180A Active JP5096816B2 (ja) | 2007-07-09 | 2007-07-09 | Guiを備えた電子顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5096816B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012063406A1 (ja) * | 2010-11-09 | 2012-05-18 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0312520A (ja) * | 1989-06-09 | 1991-01-21 | Jeol Ltd | 微小振動測定装置 |
JPH10148235A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Jeol Ltd | 顕微鏡の振動防止装置 |
JPH1196959A (ja) * | 1997-09-17 | 1999-04-09 | Hitachi Ltd | 超精密処理装置 |
JPH11297249A (ja) * | 1998-04-06 | 1999-10-29 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡の振動防止装置 |
WO2003044821A1 (fr) * | 2001-11-21 | 2003-05-30 | Hitachi High-Technologies Corporation | Procede d'imagerie d'echantillon et systeme de faisceau de particules chargees |
JP2005249745A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Ebara Corp | 試料表面検査方法および検査装置 |
JP2006079870A (ja) * | 2004-09-08 | 2006-03-23 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
JP2006244875A (ja) * | 2005-03-03 | 2006-09-14 | Ebara Corp | 写像投影型の電子線装置及び該装置を用いた欠陥検査システム |
JP2006351636A (ja) * | 2005-06-13 | 2006-12-28 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥自動観察分類システム |
-
2007
- 2007-07-09 JP JP2007179180A patent/JP5096816B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0312520A (ja) * | 1989-06-09 | 1991-01-21 | Jeol Ltd | 微小振動測定装置 |
JPH10148235A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Jeol Ltd | 顕微鏡の振動防止装置 |
JPH1196959A (ja) * | 1997-09-17 | 1999-04-09 | Hitachi Ltd | 超精密処理装置 |
JPH11297249A (ja) * | 1998-04-06 | 1999-10-29 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡の振動防止装置 |
WO2003044821A1 (fr) * | 2001-11-21 | 2003-05-30 | Hitachi High-Technologies Corporation | Procede d'imagerie d'echantillon et systeme de faisceau de particules chargees |
JP2005249745A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Ebara Corp | 試料表面検査方法および検査装置 |
JP2006079870A (ja) * | 2004-09-08 | 2006-03-23 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
JP2006244875A (ja) * | 2005-03-03 | 2006-09-14 | Ebara Corp | 写像投影型の電子線装置及び該装置を用いた欠陥検査システム |
JP2006351636A (ja) * | 2005-06-13 | 2006-12-28 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥自動観察分類システム |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012063406A1 (ja) * | 2010-11-09 | 2012-05-18 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP2012104298A (ja) * | 2010-11-09 | 2012-05-31 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
US8822952B2 (en) | 2010-11-09 | 2014-09-02 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam apparatus having noise absorbing arrangements |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5096816B2 (ja) | 2012-12-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2389770B1 (en) | Multi-membrane microphone for high-amplitude audio capture | |
JP2014112831A (ja) | 複数のマイクロフォン及びスピーカーを管理するシステム | |
CN100505041C (zh) | 一种声音信号采集处理系统及方法 | |
JP6954296B2 (ja) | 信号処理装置、信号処理方法、およびプログラム | |
CN103200496A (zh) | 降低噪声的录音装置及其方法 | |
US8514300B2 (en) | Imaging apparatus for reducing driving noise | |
JP5096816B2 (ja) | Guiを備えた電子顕微鏡 | |
US8938082B2 (en) | Apparatus having hearing aid | |
KR20030031854A (ko) | 제 1 마이크로폰 및 적어도 하나의 제 2 마이크로폰을가진 자기공명기 | |
US20190078643A1 (en) | User-tuned, active vibration-isolation system | |
JP2013081156A (ja) | ノイズキャンセル装置 | |
JP5173590B2 (ja) | 振動絶縁システムにおける周波数応答補正のための方法および装置 | |
JP5495753B2 (ja) | 撮像装置 | |
JP2018074220A (ja) | 音声処理装置 | |
US20090208036A1 (en) | Magnetic alert detector | |
JP6929137B2 (ja) | 音声処理装置及びその制御方法 | |
JPH10148235A (ja) | 顕微鏡の振動防止装置 | |
JP2002344787A (ja) | ビデオ撮像録音装置の収音装置 | |
JP2008258748A (ja) | 液晶テレビジョン、及びテレビジョン受信機 | |
JP5506471B2 (ja) | 撮像装置 | |
JP2006229702A (ja) | 撮像装置及びフォーカス制御方法 | |
JP3664872B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
JP2016009965A (ja) | 撮像装置 | |
JP2023026918A (ja) | 音声処理装置、音声処理装置の制御方法、及びプログラム | |
JP2006253744A (ja) | 音出力制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100212 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100212 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100329 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120306 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120626 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120911 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120921 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5096816 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150928 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |