JP5096816B2

JP5096816B2 - Ｇｕｉを備えた電子顕微鏡

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Publication number: JP5096816B2
Application number: JP2007179180A
Authority: JP
Inventors: 光義吉家
Original assignee: Hitachi High Technologies Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 2007-07-09
Filing date: 2007-07-09
Publication date: 2012-12-12
Anticipated expiration: 2027-07-09
Also published as: JP2009016283A

Description

本発明は、音波による振動の影響を除去する手段を備えた電子顕微鏡に関し、特に、ＧＵＩ（ＧｒａｐｈｉｃａｌＵｓｅｒＩｎｔｅｒｆａｃｅ）「グラフィカル・ユーザー・インタフェース」により設定した条件にて外部からの音波による影響を除去・低減することのできる電子顕微鏡に関する。

半導体など試料を観察する走査型電子顕微鏡等の電子顕微鏡では、より微細なパターンを測定するために高分解能化が進んでおり、外部振動による観察画像の揺れやぼけ等による分解能低下の影響を低減することが重要となってきている。このため、従来では顕微鏡本体と床の間に除振台や除振装置を設け、床からの機械的な振動を吸収することで外部振動による影響を低減する装置が一般に使用されている。しかしこのような除振台や除振装置では、床からの機械的な振動は除去できるものの、外部の騒音によって生じる振動を除去することができず、特に除振台や除振装置の上部に配置されたカラムに生じる振動により、高分解能の画像観察に支障をきたしていた。

そこで、このような外部からの騒音による影響を除去する手段として、外部の騒音と逆位相の音を発生させることで騒音の影響を低減する構成が開示されている（例えば、特許文献１参照）。この構成では、顕微鏡本体部に近接した位置に騒音を収集するマイクロフォンを設け、このマイクロフォンからの音響信号と逆位相の信号を制御回路により生成し、この信号に基づく音をスピーカから供給する。これによりスピーカからの音と外部の騒音とが打ち消し合い、所定位置における振動を低減している。

特開平１０−１４８２３５号公報

しかしながら、かかる従来の装置では音波による外部振動を除去するために、ユーザーが適宜条件を設定できる振動除去手段を有しておらず、様々な音波による外部振動に対して適切に振動を除去する設定を行うことができなかった。さらに、かかる従来の装置では画像を観察する際に外部振動の影響を確認する手段がなく、外部からの騒音により画像揺れや画像ぼけが生じ画像認識が困難又は不可能な場合にも有効な手段を講ずることができなかった。このため、外部からの騒音を解消する手段を設け、ユーザーがその条件を適宜設定できる手段を備えた装置を提供すること、さらに、外部振動の影響を画像表示することの可能な装置を提供することが必要である。

そこで、本発明の電子顕微鏡では、電子顕微鏡装置のカラム周囲に設けられ、外部からの音波の信号を取り込む音波取込手段と、この音波取込手段により取り込んだ信号を設定するＧＵＩと、前記カラムの周囲に設けられ、このＧＵＩにより設定された信号を発信する音波発信手段と、前記ＧＵＩの操作画面に設けられ、前記音波取込手段により取り込んだ外部からの音波のノイズ量の時間に対する推移を表示するノイズ表示画面と、前記ＧＵＩの操作画面に設けられ、ノイズ除去機能を作動するか否か選択する際に用いられるノイズキャンセラＯＮ／ＯＦＦ選択部と、を備えた構成としている。本構成ではＧＵＩによりユーザーが任意に又は自動設定で音波発信手段から発信する音波を設定することができるため、より容易でかつ的確に外部ノイズを除去することができる。また、ＧＵＩの操作画面に設けられるノイズ表示画面によって、外部音波のノイズ量の時間推移を表示することができる。さらに、ＧＵＩの操作画面に設けられるノイズキャンセラＯＮ／ＯＦＦ選択部によって、ノイズ除去機能を作動するか否か選択することができる。

なお、外部音波の影響を最も受け易いのがカラムであるため、音波取込手段及び音波発信手段をカラム周囲に設ける必要があるが、より外部音波の影響を低減するため、カラムを取り囲むカバーを設け、このカバーに音波取込手段及び音波発信手段を設けても良い。さらに装置固有の共振周波数による共振を防止するため、カバー内部に防音材を設けると良い。更に、音波取込手段及び音波発信手段を複数組設けた構成としても良い。

本発明のＧＵＩにはノイズ除去モード選択部を有し、この選択部で音波取込手段から取り込んだ音波の信号をユーザーが任意で設定するか自動で設定するか選択することができる。また、このＧＵＩには信号増幅／周波数帯域設定部も有し、任意での設定を選択した場合には、この設定部でユーザーが任意に信号増幅値及び周波数帯域の設定をすることできる。また、この他位相を設定する位相設定部を有していても良い。これによりより詳細な設定を行うことができ、外部ノイズをより的確に除去でき、結果として装置の分解能の向上を図ることができる。

さらに、ＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面を有していても良く、この場合にはユーザーが任意に増幅率や周波数帯域を設定する替わりに以前に保存した設定値を読み出すことができる。

以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態にかかる走査型電子顕微鏡１の概略図である。この走査型電子顕微鏡１は、床からの振動を除去する除振装置５により支持された支持台２、真空ポンプ（図示せず）により内部を真空に保つことのできる支持台２上部に設けられた試料室３、並びにこの試料室３の上部に設けられ電子銃や電子線を集束させる集束レンズや対物レンズ等の光学系を有するカラム４を備えている。さらに、本発明の走査型電子顕微鏡１では、カラム４の周囲を取り囲むカバー９が設けられ、このカバー９には外部からの音波を取り込むマイクロフォン等からなる音波取込手段６、及びスピーカ等からなる音波発信手段７、及び制御部８を備えており、さらに、支持台２上部には音波発信手段７により発信される音波の振幅、周波数帯域等を適宜設定することのできるＧＵＩ１０を備えている。

図２は音波取込手段６、音波発信手段７及び制御部８のカバー９への実装形態の一例を示す図である。この図に示すように、カバー９の表面に音波取込手段６を設け、カバー９の裏面に音波発信手段７及び制御部８を設けている。このように設けることで音波取込手段６により外部からの音波を取込易くなり、また、音波発信手段７から発信される音波はカラム４方向に向けられ、カラム部での外部音波による振動をより適切に除去することが可能となる。

図３は音波取込手段６及び音波発信手段７の取り付け箇所の一例を示す図である。本実施形態では図に示したＦＲＯＮＴ、ＬＥＦＴ、ＲＩＧＨＴ、ＴＯＰの４つの部分にそれぞれ１つの音波取込手段６、音波発信手段７及び制御部８からなるノイズ除去機能をそれぞれ設けた構成を採っている。この各々のノイズ除去機能の音波取込手段６と音波発信手段７はＧＵＩ１０により設定された条件に基づきそれぞれの制御部８によって制御される。従って、各４つの方向からのそれぞれの外部音波に対してそれぞれ逆位相の音波を発信するよう設定することで適切に外部からの音波による振動を除去することができる。

なお、音波取込手段６、音波発信手段７はカラム振動を除去できるように設ければ良く、その実装方法や実装個所等は問わない。例えばカバー９を設けずに試料室３の上部に設ける等しても良い。また、本実施形態ではカバー９を四角柱としたが円筒型、六角柱等いずれの形状でも良い。また、制御部８はノイズ除去機能毎に設ける必要はなく、１つの制御部で全ての音波取込手段６及び音波発信手段７を制御するよう構成しても良く、またカバー９に設ける必要もなく、装置の何れの箇所、例えばＧＵＩ１０の部分に設けた構成とすることもできる。さらに、カバー９の内側に防音材（図示せず）を設けカラム内部の共振を低減する構成としても良い。

次に、ＧＵＩ１０の構成を詳細に説明する。図４は本発明におけるＧＵＩ１０の操作画面の第一の実施形態を示している。図に示すように、この操作画面にはノイズ除去モード選択部１１、信号増幅／周波数帯域設定部１２、ノイズ表示ＯＮ／ＯＦＦ部１３、ノイズ表示画面１４、ＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面ＯＮ／ＯＦＦ選択部１５、ＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面１６、及びノイズキャンセラＯＮ／ＯＦＦ選択部１７を備えている。

ノイズ除去モード選択部１１ではＦＵＬＬ−ＡＵＴＯ、ＳＥＭＩ−ＡＵＴＯ及びＭＡＮＵＡＬの何れかのモードを選択する。ＦＵＬＬ−ＡＵＴＯモード選択時には、装置のカバーに実装されている全ての音波発信手段７から自動設定された外部振動と逆位相の信号をカラム４に向け発信する。ＳＥＭＩ−ＡＵＴＯモード選択時には装置カバーに実装されている全ての音波発信手段７からメーカ推奨の初期値で信号増幅、周波数帯域変換された外部振動と逆位相の音波をカラム４に向け発信する。ＭＡＮＵＡＬモード選択時には、ＦＲＯＮＴ、ＬＥＦＴ、ＲＩＧＨＴ及びＴＯＰの位置に設けた各音波発信手段７から発信する音波の増幅率と周波数帯域を信号増幅／周波数帯域設定部１２でユーザーが任意に設定し、各音波発信手段７からこの設定値に基づく外部振動と逆位相の信号をカラム４に向け発信する。この際、ＦＲＯＮＴ、ＬＥＦＴ、ＲＩＧＨＴ及びＴＯＰの各位置に設けた各音波発信手段７の方向が異なるため、選択的に信号増幅の値をゼロに設定することで発信する音波の方向を実質的に制御することができる。（音波取込手段６により取り込んだ信号は微弱なため、増幅値をゼロとすると音波発信手段から発信される音波は実質的にゼロとなる）。なお、ユーザーが信号増幅／周波数帯域設定１２で設定を行う際にはノイズ表示画面１４を見ながら設定を行うことができるため、その効果を確認しながら適切な調整を行うことができる。また、より詳細な調整を行うことができるように、信号増幅と周波数帯域の他、位相も設定できるよう位相設定部を信号増幅／周波数帯域設定部１２に追加しても良い。

ノイズ表示画面１４はＦＲＯＮＴ、ＬＥＦＴ、ＲＩＧＨＴ及びＴＯＰの各位置に設けた各音波取込手段６により取り込まれた音波によるノイズ量を時間に対して表示する。このノイズ量と時間のスケールは変更可能である。またノイズ表示画面１４中に示したＳＴＡＲＴ、ＳＴＯＰボタンにより時間に対するノイズ量の表示のスタート／ストップを行うことができる。さらに表示画面１４中の（ノイズ量）の各ＦＲＯＮＴ、ＬＥＦＴ、ＲＩＧＨＴ、ＴＯＰの「数値」部分をクリックするとその時のノイズ量が数値で表示される。このノイズ表示画面１４はノイズ表示ＯＮ／ＯＦＦ部１３により表示するか否かを選択することができる。なお、本実施例ではノイズ量を表示しているが、外部ノイズの周波数を表示する構成又はノイズ量とノイズ周波数で切り替え可能な構成としても良い。

ＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面１６では、信号増幅／周波数帯域設定部１２において設定された信号増幅及び周波数帯域の設定値を保存／読み出すことができる。なお、この信号増幅値や周波数帯域設定値の他、ノイズ表示画面１４に表示されている画面や、経過時間に対するノイズ量、経過時間に対するモード選択の内容なども保存／読み出しすることができるようにしても良い。このＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面１６はＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面ＯＮ／ＯＦＦ選択部１５によって表示／非表示を選択することができる。

ノイズキャンセラＯＮ／ＯＦＦ選択部１７は、ノイズ除去機能を作動するか否か選択することができ、これをＯＮ／ＯＦＦすることでノイズ除去機能の動作（ノイズ除去の効果）が確認できる。

図５は本発明におけるＧＵＩ１０の操作画面の第二の実施形態を示している。この図に示すように本実施形態ではインデックス２０において、ＦＲＯＮＴ、ＬＥＦＴ、ＲＩＧＨＴ又はＴＯＰを選択することで各位置に配置したノイズ除去機能毎に設定する構成を採っている。ノイズ除去モード選択部１１にはＦＵＬＬ−ＡＵＴＯモード、ＳＥＭＩ−ＡＵＴＯモード、ＭＡＮＵＡＬモードの他、ＡＵＴＯモードを有する。ＡＵＴＯモードを選択した場合には、インデックス２０において選択された位置の音波発信手段７のみから自動設定された外部振動と逆位相の信号をカラム４に向け発信する。その他のモードは前述の第一の実施形態と同様である。ノイズ表示画面１４にはインデックス２０で選択されたＦＲＯＮＴ、ＬＥＦＴ、ＲＩＧＨＴ又はＴＯＰのいずれかの位置に設けられた音波取込手段６で取り込まれた音波のみが表示される。この構成では信号増幅／周波数帯域設定部１２を小さくすることができるため操作画面を小さくできる。特に、本構成では、ＦＲＯＮＴ、ＬＥＦＴ、ＲＩＧＨＴ又はＴＯＰの４箇所のみにノイズ除去機能を設けた構成としたが、より多数箇所にノイズ除去機能を設けた場合にもインデックス部分の選択部を増やすだけで足りるため有効である。

次に本発明の機能を説明する。図６は本発明のノイズ除去機能等の回路構成を示すブロック図である。この図６に示すように、音波取込手段６から取り込まれた外部の音波は制御部８の増幅アンプ２２に送られる。この増幅アンプ２２では、制御回路２１からの制御信号に基づき任意の増幅率でこの外部音波の信号を増幅する。その後、この信号は位相反転アンプ２３にて逆位相の信号に反転され周波数帯域変換部２４へ送られる。この周波数帯域変換部２４では制御回路２１からの制御信号に基づき位相反転アンプ２３から送られてきた信号を任意の周波数帯域に設定する。この際、特に、装置固有の共振周波数から外すように設定できる。そしてこの信号はその後、音波発信手段７へ送られる。

また、音波取込手段６により取り込まれた音波はＡ／Ｄ変換部２５へも送られる。このＡ／Ｄ変換部２５では送られてきた音波の信号をＡ／Ｄ変換したあとＲＡＭ２６に一時的に保持する。画面制御部２８ではＧＵＩ１０からのコマンド（例えば図４のノイズ表示画面中のスタート／ストップボタンの選択など）を制御回路２１を介して受信し、これに基づきＲＡＭ２６からデジタル信号を取り出しノイズ表示画面１４へ送信する。ノイズ表示画面１４では送信されてきたデジタル信号を表示する。なお、ＧＵＩ１０によりノイズ表示画面を表示しない設定（図４のノイズ表示画面１４によりノイズ表示ＯＦＦの設定）がされた場合には、制御回路２１からノイズ表示画面１４に制御信号が送られ、ノイズ表示画面１４はＯＦＦにされる。

次に、ユーザーが図４に示したＧＵＩ操作画面にて操作した場合の機能を説明する。ユーザーがＧＵＩ１０のノイズ除去モード選択部１１でＦＵＬＬ−ＡＵＴＯモードを選択した場合、ＧＵＩ１０からそのコマンドが制御部８の制御回路２１に送信される。制御回路２１では音波取込手段６から送られてきた外部音波の各信号（ＦＲＯＮＴ、ＬＥＦＴ、ＲＩＧＨＴ及びＴＯＰの４箇所に設けた音波取込手段６から送られてきた各信号）に基づきそれぞれ自動的に増幅率及び周波数帯域を設定し、それに基づく制御信号をそれぞれ増幅アンプ２２及び周波数帯域変換部２４へ送信する。増幅アンプ２２では既に説明したように送信されてきた制御信号に応じて音波取込手段６から送信されてきた外部音波の信号を増幅して位相反転アンプ２３へ送信する。位相反転アンプ２３ではこの信号を反転して逆位相の信号として周波数帯域変換部２４へ送信する。周波数帯域変換部２４では送られてきた信号を制御回路２１からの制御信号に応じて周波数帯域変換したのち音波発信手段７へ送信する。音波発信手段７ではこの送られてきた信号をカラム４へ向け発信し、これにより外部音波を除去・低減する。

ユーザーがＧＵＩ１０のノイズ除去モード選択部１１でＳＥＭＩ−ＡＵＴＯモードを選択した場合、ＧＵＩ１０からそのコマンドが制御部８の制御回路２１に送信される。制御回路２１ではメモリ２７からメーカ推奨値の初期値を読み出しこれに基づく制御信号を増幅アンプ２２及び周波数帯域変換部２４に送信する。以降は上記モードと同様であり、増幅アンプ２２は送信されてきた制御信号に応じて音波取込手段６から送信されてきた外部音波の信号を増幅して位相反転アンプ２３へ送信し、位相反転アンプ２３ではこの信号を逆位相の信号として周波数帯域変換部２４へ送信する。周波数帯域変換部２４では送られてきた信号を制御回路２１からの制御信号に応じて周波数帯域変換したのち音波発信手段７へ送信する。音波発信手段７ではこの送られてきた信号をカラム４に向け発信し、これにより外部音波を除去・低減する。

ユーザーがＧＵＩ１０のノイズ除去モード選択部１１でＭＡＮＵＡＬモードを選択した場合、ユーザーは信号増幅／周波数帯域設定部１２でＦＲＯＮＴ、ＬＥＦＴ、ＲＩＧＨＴ及びＴＯＰに設けられた各音波発信手段７の増幅率及び周波数帯域を個別に設定できる。またユーザーはノイズ除去モード選択部１１で設定した増幅率及び周波数帯域をＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面１６で保存したり読み出したりすることもできる。ユーザーが増幅率及び周波数帯域を設定すると、そのコマンドが制御回路２１に送信される。制御回路２１では送信されてきたコマンドに応じた制御信号を増幅アンプ２２及び周波数帯域変換部２４に送信する。一方、ユーザーが増幅率及び周波数帯域を設定する替わりにＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面１６で以前に保存した設定値を読み出す選択をすると、そのコマンドが制御回路２１に送信される。制御回路２１ではメモリ２７から保存された設定値を読み出しこれに基づく制御信号を増幅アンプ２２及び周波数帯域変換２４に送信する。また、ユーザーがノイズ除去モード選択部１１で設定した増幅率及び周波数帯域の設定をＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面１６で保存する旨の選択をした場合、そのコマンドがＧＵＩ１０から制御回路２１に送信され、制御回路２１はＧＵＩ１０から設定値を読み出しこれをメモリ２７に記録する。

ユーザーが任意に増幅率及び周波数帯域を設定する場合でも、保存した設定値を読み出す選択をした場合でも、増幅アンプ２２は送信されてきた制御信号に応じて音波取込手段６から送信されてきた外部音波の信号を増幅し位相反転アンプ２３へ送信する。位相反転アンプ２３ではこの信号を反転して逆位相の信号を周波数帯域変換部２４へ送信する。周波数帯域変換部２４では送られてきた信号を制御回路２１からの制御信号に応じて周波数帯域変換したのち音波発信手段７へ送信する。音波発信手段７ではこの送られてきた信号をカラム４に向け発信し、これにより外部音波を除去・低減することができる。なお、上記したように、音波取込手段６は逐次外部音波を取得し、その信号はＡ／Ｄ変換部２５、ＲＡＭ２６及び画面制御部２８を介してノイズ表示画面１４に表示される。従って、ユーザーは逐次本発明のノイズ除去機能の効果をこの表示画面１４を確認しながら増幅率及び周波数帯域を設定することができる。即ち、より適切な調整を行うことが可能となる。

その他、図６には示していないがＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面１６も制御回路２１とつながれており、メモリ２７に保存した設定を表示したり、保存を削除したり、ＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面１６を非表示にしたりすることができる。またＧＵＩのノイズキャンセラＯＮ／ＯＦＦ選択部１７にてＯＦＦが選択されるとそのコマンドが制御回路２１へ送信され、制御回路２１からの制御信号により音波発信手段７がＯＦＦ状態とされる。

図６中のＡ／Ｄ変換部２５、ＲＡＭ２６及び画面制御部２８は、制御部８に含ませても分離して設けても良い。またノイズ表示が必要でない場合（例えば装置構成を簡単にしたい場合等）には、Ａ／Ｄ変換部２５、ＲＡＭ２６、画面制御部２８及びノイズ表示画面１４を設けない構成としても良い。

次にＧＵＩ１０及びノイズ除去機能の処理フローを説明する。図７はＧＵＩ１０及びノイズ除去機能のフローチャートである。まずＧＵＩ１０の電源をＯＮするとＧＵＩソフトが起動する（Ｓ１）。次にＦＲＯＮＴ、ＬＥＦＴ、ＲＩＧＨＴ及びＴＯＰに設けられた各音波取込手段６から外部音波の信号が取り込まれる（Ｓ２）。ＧＵＩ１０のノイズ表示ＯＮ／ＯＦＦ部がＯＮか否かを判断し（Ｓ３）、ＯＦＦの場合にはノイズ表示画面１４は表示されない（Ｓ４）。一方ＯＮの場合にはノイズ表示画面が表示され（Ｓ５）外部ノイズが表示される。ノイズ表示ＯＮ／ＯＦＦ部がＯＮである限りＳ２に戻り順次音波取込手段６により外部音波の信号が取り込まれ、ノイズ表示画面１４に順次表示される処理が繰り返される。

また、上記処理と並行して、ＧＵＩ１０のノイズキャンセラ１７のＯＮ／ＯＦＦが判断され（Ｓ６）、ＯＦＦの場合には音波発信手段７は動作せずその後の処理は終了する（Ｓ７）。一方、ＯＮの場合にはＧＵＩ１０のノイズ除去モード選択部１１でＦＵＬＬ−ＡＵＴＯ、ＳＥＭＩ−ＡＵＴＯモード又はＭＡＮＵＡＬモードの何れかが選択される（Ｓ８）。ＦＵＬＬ−ＡＵＴＯモードが選択された場合には、取り込んだ各信号を制御回路２１で自動設定された増幅率で増幅し（Ｓ１０）、各信号の位相を反転し（Ｓ１１）、次に各信号の周波数帯域を制御回路２１で自動設定された値に変換する（Ｓ１２）。そしてＦＲＯＮＴ、ＬＥＦＴ、ＲＩＧＨＴ及びＴＯＰ部に設けられた全ての音波発信手段７から設定した音波信号を発信する（Ｓ１２）。

ステップ８でＳＥＭＩ−ＡＵＴＯモードが選択された場合には、取り込んだ各信号をメモリ２７に記録された初期設定を基に増幅し（Ｓ１３）、各信号の位相を反転し（Ｓ１４）、次に各信号の周波数帯域をメモリ２７に記録された初期設定を基に周波数帯域を変換する（Ｓ１５）。そしてＦＲＯＮＴ、ＬＥＦＴ、ＲＩＧＨＴ及びＴＯＰ部に設けられた全ての音波発信手段７から設定された音波信号を発信する（Ｓ１６）。

ステップ８でＭＡＮＵＡＬモードが選択された場合には、取り込んだ各信号を信号毎にユーザーが信号増幅／周波数帯域設定１２で任意に設定した値で増幅するか、若しくはＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面１６でメモリ２７に保存した設定値を読み出し増幅する（Ｓ１７）。（但し、ＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面１６が非表示の場合には保存した設定値を読み出すことはできない）。次に、各信号の位相を反転し（Ｓ１８）、さらに、各信号の周波数帯域をユーザーが信号増幅／周波数帯域設定部１２で任意に設定した値、若しくはＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面１６で読み出した設定で周波数帯域が変換される（Ｓ１９）。（但し、ＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面１６が非表示の場合には保存した設定値を読み出すことはできない）。そしてＦＲＯＮＴ、ＬＥＦＴ、ＲＩＧＨＴ及びＴＯＰ部に設けられた各音波発信手段７からそれぞれ設定された信号を発信する（Ｓ２０）。また、設定した値（増幅率及び周波数帯域の設定値）はＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面１６で保存する旨の設定がなされたかどうかが判断され（Ｓ２１）、保存する旨の設定がなされていない場合には設定値を保存せず（Ｓ２２）、保存する旨の設定がなされている場合には設定値をメモリ２７に保存する（Ｓ２３）。

なお、ＧＵＩソフトが起動中はいつでもＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面のＯＮ／ＯＦＦを選択することができ（Ｓ２４）、ＯＮを選択した場合にはＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面１６が表示され、ＯＦＦを選択した場合にはＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面１６が非表示とされる。

以上説明したように、本発明にかかる走査型電子顕微鏡では、外部からの音波を音波取込手段により取り込み、この取り込んだ音波をＧＵＩにより自動設定により又は任意に設定して音波発信手段から発信することができる。また特に、ＧＵＩに設けた表示画面により外部音波の影響を容易に確認・認識することもできる。従って本発明の走査型電子顕微鏡ではカラムにかかる振動を容易かつ適切に除去することが可能となる。また、装置の設置環境に依存せずユーザーが容易にカラムにかかる振動を除去する設定ができることで装置の分解能の向上を図ることもできる。

なお、上記では本発明の実施形態を図面を参照して説明したが、これは単なる例示であって、様々な変更、修正、追加等が当然可能である。また、上記例では走査型電子顕微鏡を例にして説明したが、本発明の構成は他の電子顕微鏡にも適用可能である。即ち、カラム部にかかる外部音波による振動をＧＵＩにより操作性よく除去することが可能である。

本発明の一実施形態にかかる走査型電子顕微鏡の概略図である。音波取込手段、音波発信手段及び制御部のカバーへの実装例を示す図である。音波取込手段及び音波発信手段の取り付け箇所の一例を示す図である。本発明におけるＧＵＩの操作画面の一例である。本発明におけるＧＵＩの操作画面の別の例である。本発明のノイズ除去機能等を示すブロック図である。本発明のＧＵＩ及びノイズ除去機能の処理フローである。

符号の説明

１走査型電子顕微鏡
２支持台
３試料室
４カラム
５除振装置
６音波取込手段
７音波発信手段
８制御部
９カバー
１０ＧＵＩ
１１ノイズ除去モード選択部
１２信号増幅／周波数帯域設定部
１３ノイズ表示ＯＮ／ＯＦＦ部
１４ノイズ表示画面
１５ＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面ＯＮ／ＯＦＦ選択部
１６ＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面
１７ノイズキャンセラＯＮ／ＯＦＦ選択部
２１制御回路
２２増幅アンプ
２３位相反転アンプ
２４周波数帯域変換部
２５Ａ／Ｄ変換部
２６ＲＡＭ
２７メモリ
２８画面制御部

Claims

少なくとも試料室、カラムを備えた電子顕微鏡において、
前記カラムの周囲に設けられ、外部からの音波の信号を取り込む音波取込手段と、
該音波取込手段により取り込んだ信号を設定するＧＵＩと、
前記カラムの周囲に設けられ、該ＧＵＩにより設定された信号を発信する音波発信手段と、
前記ＧＵＩの操作画面に設けられ、前記音波取込手段により取り込んだ外部からの音波のノイズ量の時間に対する推移を表示するノイズ表示画面と、
前記ＧＵＩの操作画面に設けられ、ノイズ除去機能を作動するか否か選択する際に用いられるノイズキャンセラＯＮ／ＯＦＦ選択部と、
を備えている電子顕微鏡。
前記カラムの周囲にカバーを有し、
前記音波取込手段及び前記音波発信手段が該カバーに設けられていることを特徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡。
前記音波取込手段及び前記音波発信手段が複数組設けられている請求項１又は２に記載の電子顕微鏡。
前記カバー内部に防音材が設けられている請求項２に記載の電子顕微鏡。
前記ＧＵＩにより、前記音波取込手段から取り込んだ音波の信号増幅設定、周波数帯域設定、及び／又は位相設定をユーザーが任意に又は自動で行うことの可能な請求項１乃至４のいずれかに記載の電子顕微鏡。
前記ＧＵＩがノイズ除去モード選択部を有しており、
該ノイズ除去モード選択部で、前記音波取込手段から取り込んだ音波の信号をユーザーが任意で設定するか自動で設定するか選択する請求項１乃至５のいずれかに記載の電子顕微鏡。
前記ＧＵＩが信号増幅／周波数帯域設定部を有しており、
該信号増幅／周波数帯域設定部で、前記音波取込手段から取り込んだ音波の信号幅設定及び周波数帯域設定を行う請求項６に記載の電子顕微鏡。
前記ＧＵＩがさらに位相設定部を有しており、
該位相設定部で、前記音波取込手段から取り込んだ音波の位相設定を行う請求項７に記載の電子顕微鏡。
前記ノイズ除去モード選択部の自動での設定が、前記音波取込手段により取り込まれた信号を自動設定値で信号増幅、位相反転、及び自動設定値で周波数帯域設定された信号を前記音波発信手段から発信するモードと、前記音波取込手段により取り込まれた信号を所定の初期値で信号増幅、位相反転、所定の初期値で周波数帯域設定された信号を前記音波発信手段から発信するモードを有する請求項６乃至８のいずれかに記載の電子顕微鏡。
前記ＧＵＩがＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面を有し、
該ＳＡＶＥ／ＬＯＡＤ表示画面により前記信号増幅／周波数帯域設定部で設定した設定値の保存／読み出しを行う請求項７記載の電子顕微鏡。