JPH11297249A - 走査電子顕微鏡の振動防止装置 - Google Patents
走査電子顕微鏡の振動防止装置Info
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- JPH11297249A JPH11297249A JP9319298A JP9319298A JPH11297249A JP H11297249 A JPH11297249 A JP H11297249A JP 9319298 A JP9319298 A JP 9319298A JP 9319298 A JP9319298 A JP 9319298A JP H11297249 A JPH11297249 A JP H11297249A
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Abstract
電子顕微鏡の振動防止装置を実現する。 【解決手段】 走査電子顕微鏡の固有振動数に相当する
周波数の音響の音圧を音圧測定ユニット12によって測
定する。この測定された音圧は音圧メモリー13に記憶
される。メモリー13に記憶された音圧の値は、演算回
路14に供給される。演算回路14では、測定した各周
波数の音圧を画像への影響度(ノイズ量)に換算する。
演算回路14で換算されたノイズ量は、補正信号調整回
路15に供給され、換算したノイズ量の信号に対して、
周波数の位相を逆にした信号を作成し、X方向走査回路
6とY方向走査回路7に供給する。
Description
響を防止するようにした、走査電子顕微鏡の振動防止装
置に関する。
み、外部振動による像のボケを低減することが重要にな
ってきた。そのため、例えば、電子顕微鏡を設置する床
からの機械的な振動を吸収する免振技術や、あるいは、
この振動を検出し振動を打ち消すような振動を電子顕微
鏡本体部に積極的に加えて、振動の影響を除去するアク
ティプ制御装置が開発されている。
以外にも、走査電子顕微鏡は騒音によっても振動が生
じ、像が影響を受けて高分解能の像観察に支障を来し、
あるいは、観察可能倍率に制限を与えている。この騒音
の画像への影響をなくすためには、走査電子顕微鏡等を
音響遮蔽ボックで覆い、騒音がボックス内に入らないよ
うにすることも行われている。
対応しやすいが、低周波数になるほど音響の位相が長く
なるため、音響遮蔽ボックスの厚さを厚くし、また、重
くしなければならない。したがって、騒音の成分によっ
ては、音響遮蔽ボックスは大きく重くなるため、設置場
所の広さ、耐加重の面で問題となる。また、鏡筒をボッ
クスの中にいれるため、装置の操作性も悪くなってしま
う。
もので、その目的は、音響遮蔽ボックスを用いず、音響
による画像上のノイズを効果的に減少させることができ
る走査電子顕微鏡の振動防止装置を実現するにある。
に騒音(音響)をあてると、観察画面上にノイズが現れ
る。この騒音で画面上にノイズが乗る要因は、大きく分
けると次の2つである。まず第1に、騒音の音が音響周
波数にかかわらず大きい音の場合である。第2は、走査
電子顕微鏡自身が有する固有周波数と一致した周波数の
音であり、この音によりノイズがより強調される。
の要因よりも第2の要因の場合に、より低い音圧で画像
上に影響が現れることが確かめられた。図1は音響周波
数とノイズ量との関係の一例を示したもので、横軸は音
響周波数、縦軸はノイズ量である。ノイズ量は、走査電
子顕微鏡の固有周波数a,b,cの時にピークA,B,
Cが現れる。このことから、第2の要因を効果的に軽減
することにより、騒音による振動の影響を著しく低下さ
せることができることになる。
電子顕微鏡の振動防止装置は、試料上で細く絞った電子
ビームを2次元的に走査し、試料への電子ビームの走査
にともなって得られた信号に基づいて画像を表示するよ
うにした走査電子顕微鏡において、走査電子顕微鏡本体
部に接近した位置に走査電子顕微鏡の固有振動数の周波
数の音圧を測定する測定手段を配置し、測定手段により
測定された音圧を画像へのノイズ量に換算する換算手段
と、換算されたノイズ量の信号の逆位相の信号を作成す
る回路と、該回路からの逆位相の信号に基づいて画像上
のノイズ量を減少させるように構成したことを特徴とし
ている。
有振動数の周波数の音圧を測定し、測定された音圧を画
像へのノイズ量に換算し、換算されたノイズ量の信号の
逆位相の信号に基づいて画像上のノイズ量を減少させ
る。
振動防止装置は、請求項1の発明において、ノイズ量の
信号の逆位相の信号に基づいて、電子ビームの走査信号
を補正し、画像上のノイズを減少させることを特徴とし
ている。
振動防止装置は、請求項1の発明において、ノイズ量の
信号の逆位相の信号に基づいて、音を発生させ、画像上
のノイズを減少させることを特徴としている。
施の形態を詳細に説明する。図2は本発明が適用された
走査電子顕微鏡を示している。図中1は電子銃であり、
電子銃1から発生し加速された電子ビームEBは、コン
デンサレンズ2、対物レンズ3により試料4上に細く集
束される。
X,Yの2方向に走査される。偏向コイル5のX走査コ
イルには、X方向走査回路6より走査信号が供給され、
偏向コイル5のY走査コイルには、Y方向走査回路7よ
り走査信号が供給される。X方向走査回路6とY方向走
査回路7は走査制御回路8によって制御される。
試料から発生した2次電子は、2次電子検出器9によっ
て検出される。2次電子検出器9の検出信号は、増幅器
10によって増幅された後、陰極線管11に供給され
る。
ニットであり、音響測定ユニット12によって測定され
た音圧の値は、音圧メモリー13に記憶される。音圧メ
モリー13に記憶された値は、演算回路14に供給さ
れ、各周波数の音圧に対し、画像への影響度(ノイズ
量)に換算される。
正信号調整回路15に供給され、X方向走査回路6とY
方向装置回路7に供給される補正信号が作成される。こ
のような構成の動作を次に説明する。
1からの電子ビームをコンデンサレンズ2と対物レンズ
3により試料4上に細く集束すると共に、走査制御回路
8から設定された走査速度と倍率でX走査回路6とY走
査回路7から偏向コイル5に走査信号を供給する。この
結果、試料上の所定領域は電子ビームEBによって2次
元的に走査されることになる。
試料から発生した2次電子は、2次電子検出器9によっ
て検出される。2次電子検出器9の検出信号は、増幅器
10によって増幅された後、走査信号に同期した陰極線
管11に供給されることから、陰極線管11には試料の
走査像が表示される。
いて説明する。まず、走査電子顕微鏡が設置された場所
において、走査電子顕微鏡の固有振動数に相当する周波
数の音響の音圧を音圧測定ユニット12によって測定す
る。この測定された音圧は音圧メモリー13に記憶され
る。
算回路14に供給される。演算回路14では、測定した
各周波数の音圧を画像への影響度(ノイズ量)に換算す
る。図3は音圧とノイズ量との関係を示したもので、図
3(a)は図1の周波数aにおけるピークAに対する関
係、図3(b)は図1の周波数bにおけるピークBに対
する関係、図3(c)は図1の周波数cにおけるピーク
Cに対する関係を示している。
正信号調整回路15に供給される。補正信号調整回路1
5では、換算したノイズ量の信号に対して、周波数の位
相を逆にした信号を作成し、X方向走査回路6とY方向
走査回路7に供給する。なお、位相差に関しては、各走
査回路に信号を加える前に、位相をずらすボリューム
(CPU制御)で補正することが望ましい。このことに
より、観察画像上で、画像のノイズが最小になるように
加える周波数の位相が補正される。
は走査電子顕微鏡の各固有振動数の周波数に対してそれ
ぞれ行われる。この結果、陰極線管11上に表示される
画像は、騒音によるノイズが著しく軽減されたものとな
る。
るが、図2の走査電子顕微鏡と同一ないしは類似の構成
要素には同一番号を付してその詳細な説明は省略する。
この実施の形態では、走査電子顕微鏡本体16に接近し
て、X方向の音響駆動回路17に接続された第1のスピ
ーカ18と、Y方向の音響駆動回路19に接続された第
2のスピーカ20とが設けられている。
発生するノイズを打ち消すために用いられる。また、第
2のスピーカ20からの音は、Y方向に発生するノイズ
を打ち消すために用いられる。X方向の音響駆動回路1
7とY方向の音響駆動回路19には、補正信号調整回路
15からの信号が供給される。
換算されたノイズ量は、補正信号調整回路15に供給さ
れる。補正信号調整回路15では、換算したノイズ量の
信号に対して、周波数の位相を逆にした信号を作成し、
X方向音響駆動回路17とY方向音響駆動回路19に供
給する。なお、位相差に関しては、各音響駆動回路に信
号を供給する前に、位相をずらすボリューム(CPU制
御)で補正することが望ましい。
信号により、第1のスピーカ18からはX方向の騒音に
よる画像上のノイズを減少させるような音、すなわち、
騒音を打ち消すような音が発生され、X方向の画像上の
ノイズは軽減される。また、Y方向音響駆動回路19か
らの信号により、第2のスピーカ20からはY方向の騒
音による画像上のノイズを減少させるような音、すなわ
ち、騒音を打ち消すような音が発生され、Y方向の画像
上のノイズは軽減される。
本発明はこの形態に限定されるものではない。例えば、
振動による画像上のノイズ量を求める際に、画像処理に
よってノイズの周波数を割りだし、各補正を行うように
しても良い。具体的には、周期的な画像上のノイズをフ
ーリエ変換等の処理を行って割り出すようにすれば良
い。なお、このときの周期は、画像上から取り出すた
め、様々なノイズのために誤差が生じるが、得られた周
期に近い固有振動数を有する周波数の値で各補正を行え
ば良い。
のではなく、画像処理を行って最もノイズ成分が少なく
なる値に自動的に行うようにすることも可能である。更
に、本発明による騒音によるノイズの除去は、固定の騒
音のみではなく、変化する騒音に対して行っても良い。
その場合、走査電子顕微鏡本体の固有振動数に相当する
周波数の値をモニターし、その音圧に応じた値を用いて
補正処理を行い、ノイズの除去を行う。
は、X,Y方向のノイズの除去について述べたが、同様
な方式でZ方向のノイズの除去を行っても良い。
固有振動数の周波数の音圧を測定し、測定された音圧を
画像へのノイズ量に換算し、換算されたノイズ量の信号
の逆位相の信号に基づいて画像上のノイズ量を減少させ
るようにしたので、少ない補正処理により効果的に騒音
による画像ノイズを減少させることができる。
振動防止装置は、請求項1の発明において、ノイズ量の
信号の逆位相の信号に基づいて、電子ビームの走査信号
を補正し、画像上のノイズを減少させるようにしたの
で、少ない補正処理により効果的に騒音による画像ノイ
ズを減少させることができる。
振動防止装置は、請求項1の発明において、ノイズ量の
信号の逆位相の信号に基づいて、音を発生させ、画像上
のノイズを減少させるようにしたので、少ない補正処理
により効果的に騒音による画像ノイズを減少させること
ができる。
る。
の一例を示す図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 試料上で細く絞った電子ビームを2次元
的に走査し、試料への電子ビームの走査にともなって得
られた信号に基づいて画像を表示するようにした走査電
子顕微鏡において、走査電子顕微鏡本体部に接近した位
置に走査電子顕微鏡の固有振動数の周波数の音圧を測定
する測定手段を配置し、測定手段により測定された音圧
を画像へのノイズ量に換算する換算手段と、換算された
ノイズ量の信号の逆位相の信号を作成する回路と、該回
路からの逆位相の信号に基づいて画像上のノイズ量を減
少させるように構成した走査電子顕微鏡の振動防止装
置。 - 【請求項2】 ノイズ量の信号の逆位相の信号に基づい
て、電子ビームの走査信号を補正し、画像上のノイズを
減少させるようにした請求項1記載の走査電子顕微鏡の
振動防止装置。 - 【請求項3】 ノイズ量の信号の逆位相の信号に基づい
て、音を発生させ、画像上のノイズを減少させるように
した請求項1記載の走査電子顕微鏡の振動防止装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09319298A JP3664872B2 (ja) | 1998-04-06 | 1998-04-06 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09319298A JP3664872B2 (ja) | 1998-04-06 | 1998-04-06 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11297249A true JPH11297249A (ja) | 1999-10-29 |
JP3664872B2 JP3664872B2 (ja) | 2005-06-29 |
Family
ID=14075727
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09319298A Expired - Fee Related JP3664872B2 (ja) | 1998-04-06 | 1998-04-06 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3664872B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009016283A (ja) * | 2007-07-09 | 2009-01-22 | Hitachi High-Technologies Corp | Guiを備えた電子顕微鏡及びそのノイズ除去方法 |
JP2009170352A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Jeol Ltd | 電子ビーム装置の振動補償器 |
-
1998
- 1998-04-06 JP JP09319298A patent/JP3664872B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2009016283A (ja) * | 2007-07-09 | 2009-01-22 | Hitachi High-Technologies Corp | Guiを備えた電子顕微鏡及びそのノイズ除去方法 |
JP2009170352A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Jeol Ltd | 電子ビーム装置の振動補償器 |
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---|---|
JP3664872B2 (ja) | 2005-06-29 |
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