JP2009170352A - 電子ビーム装置の振動補償器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料1の透過像及び/又は試料の走査透過像を取得できる電子ビーム装置の振動補償器であって、観察試料の試料ホルダ2に取り付けて試料ホルダ2及びゴニオメータ3の振動を測定する加速度計15と、該加速度計15から求められた振動を周波数分析し、複数の加速度のピーク周波数を検出する検出手段と、求めた該複数の加速度のピークをバンドパスフィルタ35で抽出する際に、その中心周波数を検出されたピーク周波数に追随するように制御する制御手段と、それぞれの抽出信号を変位に変換する二重積分器36と、該二重積分器36で積分した値に適切なゲインを乗じて、電子ビーム偏向器10に与える振動補償信号出力手段と、とを含んで構成される。
【選択図】図2
Description
(3)請求項3記載の発明は、前記電子ビーム偏向器に振動補償信号を与えるに際し、STEM像の観察時には照射系の偏向器に、TEM像の観察時には結像系の偏向器にそれぞれ与えることを特徴とする。
図1は本発明の一実施の形態を示す構成図である。図6と同一のものは、同一の符号を付して示す。図2は本発明の一実施の形態を示す回路図であり、信号処理系の構成を示している。試料ホルダ2の後端部には三軸加速度計15が取り付けられている。それぞれの加速度信号31は、信号解析部32で周波数解析を行ない、複数のピーク周波数を求める。この時、加速度ピークの周波数の測定精度を高めるために平均化処理を行なうが、この際、新しいデータほど重みを大きくする指数平均を行なう。この指数平均を行なう結果、複数の加速度のピーク周波数を正確に検出することができる。
Eavg(Xi)=((N−1)×Eavg(Xi-1)+Xi)/N
但しi>Nの時
Xiは測定i番目のデータ
Nは平均回数
偏向信号生成部33には、複数のピーク周波数34それぞれを抽出するマルチバンドパスフィルタ35が設けられており、その中心周波数は信号解析部32で得られたピーク周波数34にそれぞれ一致するように制御される。このような制御が必要な理由は、バンドパスフィルタの帯域を狭く、また、フィルタ次数を高めて、複数の周波数ピークを独立させて抽出するためである。
また、本発明によれば、電子ビーム装置内に振動を発生する音響加振装置を設けた場合を例にとった。このように構成することで、各周波数に基づく振動を電子ビーム装置に与えることができ、振動補償信号を効率よく得ることができる。
10B Y偏向器
31 加速度信号
32 信号解析部
33 偏向信号生成部
35 マルチバンドパスフィルタ
36 二重積分器
37 ビーム偏向信号
Claims (4)
- 試料の透過像及び/又は試料の走査透過像を取得できる電子ビーム装置の振動補償器であって、
観察試料の試料ホルダに取り付けて試料ホルダ及びゴニオメータの振動を測定する加速度計と、
該加速度計から求められた振動を周波数分析し、複数の加速度のピーク周波数を検出する検出手段と、
求めた該複数の加速度のピークをバンドパスフィルタで抽出する際に、その中心周波数を検出されたピーク周波数に追随するように制御する制御手段と、
それぞれの抽出信号を変位に変換する二重積分器と、
該二重積分器で積分した値に適切なゲインを乗じて、電子ビーム偏向器に与える振動補償信号出力手段と、
とを含んで構成される電子ビーム装置の振動補償器。 - 前記検出された複数の加速度のピーク周波数を検出するに際し、指数平均法を用いることを特徴とする請求項1記載の電子ビーム装置の振動補償器。
- 前記電子ビーム偏向器に振動補償信号を与えるに際し、STEM像の観察時には照射系の偏向器に、TEM像の観察時には結像系の偏向器にそれぞれ与えることを特徴とする請求項1又は2記載の電子ビーム装置の振動補償器。
- 前記測定された加速度のピーク周波数それぞれに一致した正弦波による音響加振を行なうことを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の電子ビーム装置の振動補償器。
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-
2008
- 2008-01-18 JP JP2008009340A patent/JP2009170352A/ja active Pending
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