JP6700642B2 - 画像振動抑制装置および画像振動抑制方法 - Google Patents
画像振動抑制装置および画像振動抑制方法 Download PDFInfo
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Description
・「DCからドリフト」の場合には、Δx,Δy=δx,δy
・「高い周波数」の場合には、Δx,Δy≠δx,δy
(バーミラー13とフォトマスク12間にばね要素があり、周波数依存性があり、両者は一致しない)
となった。これは、画像のドリフトは、「DCからドリフト」に相当、即ち一定方向の移動(ドリフト)および低い周波数の振動の一方あるいは両者を合わせたものに相当し、図16の(a)の装置で十分に補正できた。
を備えるように構成する。
・(ΔX、ΔY)=(K1δX、K2δY)
となる。
・(ΔX、ΔY)=(K3δX、K4δY)
となる。
・(ΔX、ΔY)=(K5δX、K6δY)
となる。
・共振周波数F1(Hz),大きさA1,位相P1
・共振周波数F2(Hz),大きさA2,位相P2
が算出される。
・共振周波数F1(Hz),大きさA3,位相P3
・共振周波数F2(Hz),大きさA4,位相P4
が算出される。
・Y軸 空間周波数1、およびY軸 空間周波数2は、横方向のラインとして図示のように現れる。
(1)パラメータ調整方法:
電子ビーム偏向装置4に入力する信号(画像振動を無くし、あるいは低減する信号)は図10に示す形式をしている。
ステージ制御装置を用いて、ステージがXおよびY軸方向に1ミクロン移動したとレーザー干渉位置測定装置23が出力する移動量の時に、電子ビーム2がXおよびY軸方向に1ミクロンステージ移動方向に偏向するように電子ビーム2の偏向フィードバックゲインを調節することで、電子ビーム走査可能範囲内の任意のステージドリフトが生じた際に画像がドリフトしないようにする(ステージドリフトを打ち消す方向に電子ビームを偏向させてキャンセルし、画像がドリフトしないようにする)ことが出来る。ドリフト調整の場合には、位相の調整はほぼ不要である。
(3−1)図10の(a)は、X軸について「DCからドリフト」、「共振周波数1」、「共振周波数2」をそれぞれパラメータを設定し、これをもとに振動を電子ビーム2を偏向して画像振動を無くし、ないし低減する。ここで、「DCからドリフト」は(2)で上述した通りである。「共振周波数1」、「共振周波数2」について、振幅と位相のパラメータ(A1,B1,C1,D,E,F)を図示のように算出して設定し、これに従い電子ビームを偏向することにより、画像振動を無くし、ないし低減することができる。振動調整については、図11以降で再度詳細に説明する。
図13において、S11は、疑似ノイズで加振を行う。共振周波数を求めるために、DCから所定周波数(例えば1KHz)までを含む疑似ノイズを発生させて、図5の加振装置42で加振を行う。
2:電子ビーム
3:電子ビームコラム
4:電子ビーム偏向装置
5:電子検出装置
6:真空チャンバー
7:天板
8:対物レンズ
9:参照ミラー
10:移動部
11:XYステージ
12:フォトマスク
13:バーミラー
14:支持系
21:レーザー
22:干渉装置
23:レーザー干渉位置測定装置
31:弟子ビームコラム制御装置
32:フィードバック制御装置
33:画像形成装置
34:ステージ制御装置
35:PC(パソコン)
36:DISPLAY
41:電子ビーム装置
42:加振装置
43:加振信号
44:画像解析装置
45:ディスプレイ
46:キーボード
47:パラメータ入力装置
Claims (9)
- 電子を細く絞って試料に照射しつつ平面走査して当該試料から放出あるいは反射あるいは吸収された電子を検出・増幅して生成する画像の振動を抑制する画像振動抑制装置において、
前記電子を細く絞って試料に照射する位置を偏向する偏向装置と、
前記試料を固定した移動部と該移動部をX方向およびY方向に移動可能なステージと、
前記試料のX方向およびY方向のドリフトおよび振動を検出するために、前記移動部あるいは前記ステージに固定したミラーと、
前記ミラーにレーザーを照射してその入射波および反射波をもとに試料のX方向およびY方向のドリフトおよび振動を検出するレーザー干渉位置測定装置と、
前記レーザー干渉位置測定装置で測定した試料のX方向およびY方向のドリフトおよび振動のうち、X方向およびY方向のドリフトに関して当該ドリフトに従い前記偏向装置にフィードバック制御して試料を照射する位置のドリフトを無くしあるいは低減すると共に、X方向およびY方向の高い周波数の振動成分に関して共振周波数あるいは振幅の大きい周波数あるいは両者について1つあるいは複数の周波数を抽出し、当該抽出した1つあるいは複数の周波数の振幅および位相に従い前記偏向装置にフィードバック制御して試料に電子線を照射する位置の当該抽出した1つあるいは複数の周波数の振動成分の振幅および位相の差をそれぞれ個別かつ独立に制御して無くしあるいは低減する制御手段と
を備えたことを特徴とする画像振動抑制装置。 - 前記X方向およびY方向の振動の共振周波数あるいは振幅の大きい周波数は、前記試料を固定したステージあるいは該ステージを固定した装置あるいは装置を設置した接地面を強制的に加振し、そのときの試料の振動を前記レーザー干渉位置測定装置で測定して前記制御手段で制御するパラメータを、共振周波数あるいは振幅の大きい周波数あるいは両者について1つあるいは複数の周波数についてそれぞれ取得し、これを予めそれぞれ設定することを特徴とする請求項1記載の画像振動抑制装置。
- 前記画像の共振周波数および位相は、取得した画像に対して2次元周波数分析を行って共振周波数毎に振幅および位相をそれぞれ算出したことを特徴とする請求項1から請求項2のいずれかに記載の画像振動抑制装置。
- 前記試料のドリフトは、前記レーザー干渉位置測定装置の出力信号をローパスフィルタを通過させてDCあるいはDC成分と低周波成分のドリフト量を算出したことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の画像振動抑制装置。
- 前記試料の振動は、前記レーザー干渉位置測定装置の出力信号をバンドパスフィルタを通過させて当該試料の振動成分の周波数および位相をそれぞれ算出したことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の画像振動抑制装置。
- 前記制御手段は、前記試料のドリフトおよび前記試料の振動から算出したドリフト量と、1あるいは複数の周波数と位相の組をもとに、前記偏向装置をフィードバック制御することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の画像振動抑制装置。
- 前記制御手段は、前記ステージをX方向あるいはY方向のいずれか1方向に連続移動させ、ステージ移動方向の直角方向についてそのドリフト量と、1あるいは複数の周波数と位相の組をもとに、前記偏向装置にフィードバック制御することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の画像振動抑制装置。
- 前記レーザー干渉位置測定装置が
前記移動部あるいは前記ステージに固定したミラーと、
前記ミラーにレーザーを照射してその入射波および反射波をもとに試料のX方向およびY方向のドリフトおよび振動を検出するレーザー干渉計と
からなることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれかに記載の画像振動抑制装置。 - 電子を細く絞って試料に照射しつつ平面走査して当該試料から放出あるいは反射あるいは吸収された電子を検出・増幅して生成する画像の振動を抑制する画像振動抑制方法において、
前記電子を細く絞って試料に照射する位置を偏向する偏向装置と、
前記試料を固定した移動部と該移動部をX方向およびY方向に移動可能なステージと、
前記試料のX方向およびY方向のドリフトおよび振動を検出するために、前記移動部あるいは前記ステージに固定したミラーと、
前記ミラーにレーザーを照射してその入射波および反射波をもとに試料のX方向およびY方向のドリフトおよび振動を検出するレーザー干渉位置測定装置とを設け、
制御手段は、前記レーザー干渉位置測定装置で測定した試料のX方向およびY方向のドリフトおよび振動のうち、X方向およびY方向のドリフトに関して当該ドリフトに従い前記偏向装置にフィードバック制御して試料を照射する位置のドリフトを無くしあるいは低減すると共に、X方向およびY方向の高い周波数の振動成分に関して共振周波数あるいは振幅の大きい周波数あるいは両者について1つあるいは複数の周波数を抽出し、当該抽出した1つあるいは複数の周波数の振幅および位相に従い前記偏向装置にフィードバック制御して試料に電子線を照射する位置の当該抽出した1つあるいは複数の周波数の振幅および位相の差をそれぞれ個別かつ独立に制御して無くしあるいは低減する
ことを特徴とする画像振動抑制方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016030855A JP6700642B2 (ja) | 2016-02-22 | 2016-02-22 | 画像振動抑制装置および画像振動抑制方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016030855A JP6700642B2 (ja) | 2016-02-22 | 2016-02-22 | 画像振動抑制装置および画像振動抑制方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017152087A JP2017152087A (ja) | 2017-08-31 |
JP6700642B2 true JP6700642B2 (ja) | 2020-05-27 |
Family
ID=59739094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016030855A Active JP6700642B2 (ja) | 2016-02-22 | 2016-02-22 | 画像振動抑制装置および画像振動抑制方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6700642B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102019200696B4 (de) | 2019-01-21 | 2022-02-10 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Vorrichtung, Verfahren und Computerprogram zum Bestimmen einer Position eines Elements auf einer fotolithographischen Maske |
JP7292968B2 (ja) * | 2019-05-14 | 2023-06-19 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 荷電粒子ビーム装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09246134A (ja) * | 1996-03-04 | 1997-09-19 | Hitachi Ltd | 電子ビーム描画方法および装置およびこれを用いた半導体素子 |
JP3666267B2 (ja) * | 1998-09-18 | 2005-06-29 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子ビーム走査式自動検査装置 |
JP4272043B2 (ja) * | 2003-12-04 | 2009-06-03 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子ビーム装置 |
JP4927506B2 (ja) * | 2006-11-21 | 2012-05-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の撮像方法 |
JP4548432B2 (ja) * | 2007-02-26 | 2010-09-22 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微方法及びそれを用いた電子顕微鏡並び生体試料検査方法及び生体検査装置 |
JP2010092634A (ja) * | 2008-10-06 | 2010-04-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査荷電粒子顕微鏡 |
JP6114002B2 (ja) * | 2012-11-01 | 2017-04-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP6499871B2 (ja) * | 2015-01-26 | 2019-04-10 | 株式会社ホロン | 画像振動低減装置 |
-
2016
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017152087A (ja) | 2017-08-31 |
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