JP7292968B2 - 荷電粒子ビーム装置 - Google Patents
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Description
上述の実施形態に係る電子ビーム描画装置1において、電子ビーム3の相対振動のピーク周波数と箇所Pにおける振動のピーク周波数との一致に基づいて、箇所Pにおける機械的な不具合が電子ビーム3の相対振動の原因であると判断される。
上述のように、ステージ制御系12、鏡筒制振フィードバック系19、および、チャンバー制振フィードバック系16についての入力量に対する被制御量の応答特性を示す値であるゲインG1,G2,G3は、可変である。ゲインG1,G2,G3が大きい場合、わずかな入力量の変化に対し、被制御量は大きく変化する。被制御量を目標値に近づけようとする場合、入力量が大きく変化すると被制御量が短い時間に大きく変化するため、被制御量が目標値を通り越す可能性がある。この結果、被制御量を目標値に戻すための制御が繰り返される。この制御の繰り返しは、制御の対象(例えば、ステージ5、チャンバー7、鏡筒8)に力が繰り返し加えられることを意味する。従って、制御の繰り返しが、制御の対象に振動を生じさせる可能性がある。従って、ステージ制御系12、鏡筒制振フィードバック系19、および、チャンバー制振フィードバック系16のゲインG1,G2,G3を調整することは、振動の抑制につながる。
第3の実施形態に係る電子ビーム描画装置1において、加振振動解析部20は、記憶装置を備える。
5…ステージ、51…Xステージ、52…Yステージ
6…ステージの駆動機構、61…モーター、62…ロッド
7…チャンバー、71…振動センサ
8…鏡筒、9…電子光学系、91…偏向器
10…排気機構
11…レーザー測長器、111…ミラー、112…インターフェロメータ
12…ステージ制御系、13…電子ビームトラッキング制御系
14…台座、141…振動センサ、15…エアサスペンション
16…チャンバー制振フィードバック系
17…エアサーボバルブ、Air…エア経路
18…アクティブ制振機構、181…アーム、182…ピエゾアクチュエータ
19…鏡筒制振フィードバック系
20…加振振動解析部、21…加振信号発生部
22…マーク台、221…マーク、221a,221b…ナイフエッジ
23…電子検出器、24…ビーム振動検出部、25…周波数解析部
Claims (5)
- 荷電粒子ビームが照射される対象物を搭載可能に構成される、移動可能なステージと、
前記ステージを収納するチャンバーと、
前記チャンバーによって直接または間接的に支持され、前記荷電粒子ビームの放射源と前記荷電粒子ビームのための電子光学系とを有し、前記放射源から放射された前記荷電粒子ビームを、前記電子光学系を用いて前記ステージに向けて照射するように構成される鏡筒と、
前記ステージに設けられ、前記鏡筒の前記電子光学系から前記荷電粒子ビームが照射されるマークと、
前記マークからの反射電子を検出する荷電粒子検出部と、
加振信号が与えられることにより、前記ステージと、前記チャンバーと、前記鏡筒と、を含む構成要素に、振動を与えるアクチュエータと、
前記アクチュエータに前記加振信号を与える加振信号発生部と、
前記荷電粒子検出部によって生成された第1振動信号の周波数成分を示す第1振動周波数信号を生成する周波数解析部と、
前記第1振動周波数信号に基づいて、前記第1振動信号に予め設定された閾値以上の振動の大きさを有するピーク周波数があるか否かを検出し、前記第1振動信号に前記閾値以上の振動の大きさを有する前記ピーク周波数がある場合、前記構成要素のいずれかに振動が励起されたと判断する加振信号解析部と
を備える、荷電粒子ビーム装置。 - さらに、前記構成要素に生じる振動を検出し、当該構成要素の振動を検出する振動センサを備える、請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記周波数解析部は、前記振動センサによって検出された第2振動信号の周波数成分を示す第2振動周波数信号を生成し、
前記加振信号解析部は、前記第1振動周波数信号と前記第2振動周波数信号とを比較した結果に基づいて、機械的な不具合が生じた前記構成要素を特定するように構成される、請求項2に記載の荷電粒子ビーム装置。 - 前記アクチュエータは、前記ステージの移動のために前記ステージを駆動し、前記ステージに振動を与えるアクチュエータである、請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記アクチュエータは、前記ステージを駆動するアクチュエータ、前記チャンバーを制振するアクチュエータ、及び前記鏡筒を制振するアクチュエータのいずれかであり、前記振動センサは、前記ステージの位置を測定するレーザー測長器、前記チャンバーに取り付けられた振動センサ、及び前記鏡筒に取り付けられた振動センサのいずれかである、請求項2または請求項3に記載の荷電粒子ビーム装置。
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