JPH067472B2 - 走査電子顕微鏡の振動除去システム - Google Patents

走査電子顕微鏡の振動除去システム

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JPH067472B2
JPH067472B2 JP2500355A JP50035590A JPH067472B2 JP H067472 B2 JPH067472 B2 JP H067472B2 JP 2500355 A JP2500355 A JP 2500355A JP 50035590 A JP50035590 A JP 50035590A JP H067472 B2 JPH067472 B2 JP H067472B2
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    • H01J37/1472—Deflecting along given lines
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  • Vibration Prevention Devices (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 発明の分野 本発明は走査電子ビームを有する走査電子顕微鏡のよう
な器具に関し、特にこのような器具によって提供される
分解能を改良するシステムに関する。
技術の状態 走査電子顕微鏡のような器具は製造作業をサポートする
ために益々使用されている。例えば、半導体ウェーハ処
理施設においては、走査電子顕微鏡はオンラインでの検
査や測定に用いられる。そのもととなる電子が短波長で
あるために、走査電子顕微鏡は光学的顕微鏡に比して多
くの利点を有する。例えば、走査電子顕微鏡は半導体の
生産に適用した場合、約100から約200オングストローム
の分解能を提供するのに対し、光学的顕微鏡での製限さ
れた分解能は2,500オングストローム（すなわち0.25ミ
クロン）である。また別の面で考えると、光学的顕微鏡
での倍率の実用的限界は約2000Ｘであるのに対し、走査
電子顕微鏡での倍率は約25Ｘから約300,000Ｘまでの広
範囲に亘る。更に走査電子顕微鏡は光学的顕微鏡より数
段大きい大きさのフィールドの深さを提供する。
走査電子顕微鏡によって提供される高い倍率において
は、わずかな振動でも像の品質を損なうおそれがある。
像の品質に関して構造的な振動の影響を緩和するため
に、走査電子顕微鏡は通常、弾性を有する振動から隔離
した構造体上に載置される。このような隔離した構造体
は、少くとも部分的に減衰する多くの、しかしすべてで
はない、秒当り約数サイクルの構造的振動において比較
的効果的である。構造的振動の影響を更に緩和するため
に、走査電子顕微鏡における標本ステージを走査電子顕
微鏡の室に強固に接続することが望ましい。理想的な場
合には、ステージと室との接続構造は、振動がステージ
にも室にも均等に作用し、それによって電子ビーム走査
パターンに影響しなくなるように十分に強固なものとな
る。しかしながらこのような強固な構造は、移動可能な
又は調節可能な標本ステージを有する走査電子顕微鏡に
おいては、実用上は達成することができない。
移動可能な標本ステージを有する走査電子顕微鏡におい
ては、振動は高い倍率において像の分解能の限界又は損
失において問題となる。像の品質低下は、このような走
査電子顕微鏡が半導体製造施設における清潔な部屋の中
で用いられるとき、特に深刻である。清潔な部屋におい
て周囲の状況は通常、機械類および周囲の空気の高い流
量の乱れによってひき起される構造的な振動とともに音
波の振動を含む。このようにしてこのような環境内の走
査電子顕微鏡は、高周波数の振動とともに低周波数の振
動にさらされる。更に、音波の振動は、構造的な振動の
影響を緩和するために設けられる弾性を有する振動から
隔離した構造体によっては効果的に減衰されないことが
見出された。
上述したことから、走査電子顕微鏡を、弾性を有する支
持構造体によって完全には減衰されない振動にさらすよ
うな環境において、走査電子顕微鏡を高い分解能で用い
られうるようにする方法と手段に対する必要性が存在す
ることが理解されうる。
発明の概要 一般的には、本発明は、振動又は類似の外乱に対する像
感度を低減するために、走査電子顕微鏡のような器具に
おける電子ビームの走査パターンを調節するためのシス
テムを提供する。好適な実施例においては、本発明のシ
ステムは、少くとも２つの独立した方法においてステー
ジの振動を検知するための顕微鏡の標本台に接続された
少くとも２つの速度センサと、該標本ステージの変位を
表示するために該速度センサからの出力信号を積分する
ための積分器と、該検知された振動の影響を少くとも部
分的に除去するために該顕微鏡の電子ビームの正規な走
査パターンを調節するための、該積分器からの変位信号
を受けるために接続された手段とをそなえている。
図面の簡単な説明 図において、 第１図は走査電子顕微鏡の電気回路図であり、 第２図は本発明による第１図の走査電子顕微鏡を使用す
る振動除去装置の一般的ブロック図であり、 第３図は第２図の振動除去装置の１実施例の展開接続図
であり、 第４図は第２図の振動除去装置の他の実施例の展開接続
図である。
好ましい実施例の詳細説明 第１図は電子源13に電位を供給するために接続される電
源11を有する典型的な走査電子顕微鏡７を展開して示
す。電子源13はレンズＬ1,Ｌ２とＬ３のような複数の電
子レンズを通過して標本台18に向かって電子ビームを方
向づけるよう位置づけられる。電子源13及びそれらのレ
ンズＬ1,Ｌ２とＬ３は全て円筒状支柱17に収納され、そ
の円筒支柱はしばしば電子光学的支柱として参照され
る。チャンバー17Ａは支柱17に結合し、標本台18を囲み
支持する。光学的支柱17及びチャンバー17Ａは共に走査
電子顕微鏡７ほボディー部を備える。この顕微鏡は１秒
につき数サイクル（数ヘルツ）より大きい周波数を有す
る構造的振動を減衰する、図示しない、弾性浮遊装置の
上に据えられていることは理解されたい。
第１図の走査電子顕微鏡７は、更に標本台18を横断して
走査する電子源13からの電子ビームを選別して偏向する
電子ビーム偏向装置を含む。例示された実施例におい
て、この偏向装置は、しばしば電子ビーム走査コイルと
して参照され、光学的支柱17内に収納され、それぞれの
鋸歯状波電圧発生器19及び20に接続される対を成す磁気
偏向コイルＤ１からＤ４を具備する。典型的な慣習にお
いて、この偏向コイルは２つが相互に垂直方向に電子ビ
ームを偏向するように配列され、一般的にはそれぞれデ
カルト座標Ｘ，Ｙ方向を示す。このＸとＹの方向はこの
ビーム方向に対して一般的に垂直平面であるが、厳密な
直角は要求されない。ここにおける議論のために、コイ
ルＤ１とＤ２がＸ方向における走査ビームを偏向し、コ
イルＤ３とＤ４がＹ方向における走査ビームを偏向する
ことが仮定できる。
なお更に第１図に示されるように、電子コレクタ22が台
18のビーム受光表面に近接して配置される。一般的に、
コレクタ22は増巾器23に接続され、次に台18上の標本の
画像のリアルタイム表示を提供するブラウン管(CTR)モ
ニターに接続される。一方、コレクタ22は電流を後に分
析するために記憶されるデジタル信号に変換する。
第１図の走査電子顕微鏡７の作用において、電子源13は
電子レンズＬ1,Ｌ２とＬ３を通過する高加速電子の幅の
狭いビーム作る。この電子レンズは台18上で保たれる標
本の表面上にビームの焦点を合わせる。実際上、標本台
におけるビームの長径は、一般的に約0.01マイクロメー
タ又はそれ以下である。同時に、鋸歯状波発生器19と20
は、予め決められたパターンで標本18を横断する焦点の
合った電子ビームを走査するため、偏向コイルＤ１から
Ｄ２に電圧を供給する。通常は、鋸歯状波発生器19と20
は同期がとられ、それ故電子ビームは一定率で、Ｘ方向
に標本台を横断して掃引し、その時の各走査は、Ｘ方向
に一般的に並列である一連の走査線を形成するよう、近
接する走査に関してＹ方向に偏向される。
更に第１図の走査電子顕微鏡７の作用において、コレク
タ22は走査中、台18で、電流における変化を検出する機
能を有する。このように電子ビームは台18上の標本を走
査する時、走査点での標本の合成物、組織そして微細構
成(topography)は、コレクタ22により検出される電流の
増巾度において変化を起こす。電流が走査中にＣＲＴス
クリーン上でモニターされる時、コレクタ22における電
流の増巾度における変化は、ＣＲＴスクリーン上におけ
るスポットの輝度、又は画素の変化を起こす。完全な走
査シーケンスの間、ＣＲＴスクリーン上の画素は標本表
面の特徴に対応する画像を作成する。そのような画像
は、ビームが走査パターンをひずんで走査している間、
振動が標本台18の十分な移動を起こす時、解像度を失
う。事実、数ナノメートルのような僅かな置換を起こす
振動は、高倍率における解像度の損失引き起こし得る。
第２図は、第１図の走査電子顕微鏡７上で振動の影響を
除去するためにリアルタイムで動作するシステムを概し
て示す。特に、除去される振動は周波数が約20〜30ヘル
ツより大きく且つ数百ヘルツ以下である。第２図のシス
テムは１つの方向、すなわちｘ方向の振動だけ除去する
ことを示している。実際は、第２のシステムがｘ軸と並
行しない他の方向（たとえばｙ方向）の振動を除去する
ために備えられる。更に、第３のシステムが垂直の、つ
まりｚ方向の振動を除去するために備えられる。ｙ方向
及びｚ方向の振動を除去するシステムはｘ方向の振動を
除去するシステムと本質的に同一なので、第２図におい
てｘ方向システムだけ示す。
第２図の振動除去システムにおいて、鋸歯状波発生器19
が加算増幅器21と接続され、加算増幅器21は偏向コイル
Ｄ１及びＤ２に、交互に、電圧を印加するよう接続され
る。実際に、加算増幅器21は従来の差動動作増幅器とし
て通常に実施される。更に、第２図のシステムは相対変
位センサ35を備え、相対変位センサ35は第１図に示され
るように、通常、標本台18と結合されるが、一方、顕微
鏡７の本体の直接結合できる。相対変位センサ35は電圧
信号を与えるために可変ゲイン増幅器39を介して加算増
幅器21と接続される。
ここで、第２図のシステムの動作を記述する。初めに、
鋸歯状波発生器19が時変電圧信号を与えるために動作
し、時変電圧信号は電子ビームを予め決められた走引速
度で、第１図のＳＥＭ（走査電子顕微鏡）７の電子源13
からＸ方向の走査横断標本台18へ偏向させる。ｘ軸方向
の標本台18の変位を引き起こす振動がないとき、偏向コ
イルＤ１及びＤ２に適用する走査電圧に影響を及ぼす変
位センサ35の電圧出力はない。しかし、振動が標本台18
を変位センサ35の感度範囲内でｘ方向に動かすように起
こると、変化センサは偏向コイルＤ１及びＤ２の通常電
圧を変更する電圧出力信号を備える。更に、振動が起こ
ると、変位センサ35からの電圧信号は第２図の増幅器39
によって増幅され、そして電圧信号の極性に従って、増
幅された信号は加算増幅器21において鋸歯状波発生器19
からの走査信号と加算されたり、減算される。そして、
加算増幅器（すなわち、変更された走査信号）の出力
は、修正信号を受信するために備えられた偏向コイルに
適用される。実際、第２図のシステムの動作結果は、電
子ビームの通常走査パターンが修正されることであり、
ある意味では、振動の影響が除去される傾向となる。更
に、変位センサ35からの電圧信号は、顕微鏡の電子ビー
ムの走査パターンを調整する。この調整は、瞬時に、ビ
ームが標本台18の変位を起こす振動に比例して動くよう
にすることである。別々にいくつかの信号が決定される
と、第２図のシステムは、変位センサ35からの増幅電圧
信号が標本台18上の振動の影響を除去するために、鋸歯
状波発生器によって与えられた走査電圧ランプを調整す
るように動作する。
第１図の顕微鏡７のＺ方向の振動は、通常、走査パター
ンに影響しないが、動く距離が大きいとき焦点の合わな
い像となることがある。このような問題を補償するため
に、Ｚ方向のセンサからの出力信号は、最後のレンズＬ
３で修正信号を電流に適用するために使われる。この修
正信号の目的は、器械の焦点距離を変化させ、従って、
焦点を維持する。この技術は、大きな焦点視野深度なの
で特別な走査電子顕微鏡を要求しないので、走査電子ビ
ームを使用するいくつかの顕微鏡及び器械にこの技術が
適用する。
第２図の好適な具体例のシステムにおいて、可変ゲイン
増幅器39は手動で調節可能である。これにより、振動除
去システムの同調の初期調節が容易となり、操作者は第
１図の走査顕微鏡からのイメージを見て変位センサ35か
らの出力信号が電子ビーム走査パターンの過修正または
修正不足とならないように像のゲインを調節することに
よって解像度を改善することができる。実際に、システ
ムの初期同調は顕微鏡本体を予め定められた周波数、約
70〜80ヘルツで振動させるために振動装置を接続し、誘
起された振動により観測される影響を減少させるように
増幅器のゲインを調節することによって達成される。通
常、誘起振動の影響は代表的な大きさにおいてほぼ完全
に除去し得る。その後、使用状態においては、システム
は数ナノメータ程の微小変位を引き起こす振動の影響を
検地し除去する。
第３図は第２図のシステムに帰属する機能を提供する要
素の一具体例を示す。概略的に言えば、第３図における
要素の配置は比較的低周波数の振動に鈍感な変位センサ
と共に用いるのに特に適している。図示された具体例に
おいて、相対変位センサは完成座標に関してＸ−方向に
おける振動を検知する台18に接続された地震計または受
振器のような速度センサ51を具備している。実際に、適
切な速度センサデバイスは磁石内の可動コイルを具備し
ている。さらに第３図のシステムにおいて、速度センサ
51からの出力信号は積分器59に供給され、積分器の出力
は可変ゲイン増幅器39に接続されている。可変ゲイン増
幅器39の出力は前述したように、加算増幅器21に供給さ
れ、加算増幅器21は鋸歯状波電圧発生器19からの信号も
受け取る。
第３図のシステムの動作を振動が台18と速度センサ51と
をＸ−方向に動かす場合について説明する。この状況の
もとでは、速度センサ51の位置の変化に直線的に比例す
る大きさの信号が生成される。還元すれば、積分器59の
出力の瞬時値はセンサ51が慣性座標に対して動いた距離
を示す。積分に続いて、信号は可変ゲイン増幅器39によ
って増幅され加算増幅器21に供給される。そして加算増
幅器21は偏向コイルＤ１およびＤ２へ修正された走査信
号を供給する。
単に増幅器39のゲインを調整しただけでは振動による第
３図の速度センサ51へのすべての影響を完全に除去する
には必要的に充分なものではないことを理解すべきであ
る。例えばセンサ51からの出力信号が台18の動きを引き
起こす振動と同じ大きさで変化するがセンサ出力信号の
位相が振動に導くかまたは遅延させる場合がある。しば
しば、位相差は速度センサ51の共鳴周波数に関連付ける
ことができる。例えば、速度センサ51が地震計で実現さ
れたとき、その出力信号はセンサの共鳴周波数以上の周
波数の振動に対して通常同位相であるがセンサの共鳴周
波数以下の周波数の振動に対して通常同位相でない。し
かしながら、共鳴周波数が充分低く通常約12〜13ヘルツ
以下であれば、地震計のその様な低周波数挙動はしばし
ば無視することができ、低い周波数範囲の振動はチャン
バ17と台18の双方に等しく影響するので除去する必要は
ない。
図４は図２のシステムに帰する機能を備える要素の代案
である配置を示している。一般的にいって、図４の要素
の配置は比較的低周波および高周波の振動の両方に感度
を有する変位センサの使用に適用される。本実施例にお
いて、地震計型速度センサ51はステージ18に接続される
ことが理解され、第２の地震型速度センサ63は図１の顕
微鏡の筐体に接続されることが理解される。速度センサ
51およ63からの出力信号は、それぞれ演算増幅器65の非
反転入力および反転入力に接続されている。増幅器65の
出力は積分器59に接続され、その積分器の出力は可変ゲ
イン増幅器39に接続される。
図４のシステムの動作は、以下に説明される。振動がス
テージ18と顕微鏡の筐体に同一の振動（即ち同一方向お
よび同一速度）が起きている状況においては、速度セン
サ51および63は同一の信号を発生し、これらの信号は差
動増幅器55で相互に相殺される。さらにそのような状況
においてはこのような振動は通常ビーム走査パターンに
影響を与えないために偏向コイルＤ１およびＤ２に印加
される走査電圧に対する補正は必要でない。
振動が検出された方向においてセンサ63とは異なった速
度で発生している状況においては、図４の増幅器55は振
幅の等しい速度の異なった出力信号を発生する。従って
差動増幅器45の出力が積分器59で積分されると、振幅が
一般的にセンサ63に対するセンサ51の位置の変化に線形
計的に比例する信号が発生される。言い換えれば、積分
器の出力はセンサ63に対する（またはその逆）センサ51
の距離を示している。その後積分器59の出力信号は可変
ゲイン増幅器39で増幅され、のこぎり波発振器19からの
信号と一緒に加算増幅器21に送られ、検出された振動の
効果を本質的に相殺するようにＸ方向の電子ビーム走査
パターンが調整されるように偏向コイルＤ１およびＤ２
を操作する走査信号が発生される。図３のシステムと同
様図４のシステムにおいて、速度センサが約20から30ヘ
ルツより小さい共振周波数を有するように選択された場
合には比較的高周波の振動の効果は通常効果的に相殺さ
れる。
図３および図４のシステムは１方向の振動は相殺するけ
れども、本質的に同様なシステムは第２のまたは第２お
よび第３の一直線方向ではない振動を相殺することが可
能であり、通常はできる。実際相互に直角であり、Ｘ，
ＹおよびＺのデカルト座標に配置された一直線方向では
ない方向に選択することが一般的であり最も便利であ
る。例えば２座標系の場合には、第１の振動除去システ
ムは図１の偏向コイルＤ１およびＤ２に影響するＸ方向
の振動に作用し、第２の振動除去システムは偏向コイル
Ｄ３およびＤ４に影響を与えるＹ方向振動に作用する。
複数のセンサが走査方向に正しく配置されていない場合
には、センサ出力は走査方向に分解することができる。
本発明は望ましい実施例において説明されているが、当
業者は望ましい実施例に記載されていない代案を添付さ
れた請求の範囲に示される本発明の精神を逸脱すること
なく選択することができるであろう。
添付された請求の範囲の代案の他の例のように図３およ
び図４の速度センサは記憶されたディジタルイメージに
対する補正値を備えたものを使用することもできる。さ
らに特定すれば、記憶されたディジタルイメージの場合
には、画素情報は複数のセンサの相対的な動きに比例し
た距離動くことができ、走査速度は速度センサの帯域幅
よりも大きく、全ての走査線は検出された相対的な動き
に対応して置き換えることが可能である。ディジタルイ
メージ記憶技術が採用された場合にはまた、振動に先行
するまたは遅れる速度センサの出力信号による効果は記
憶された情報のシフトによって克服される。
最後に前述の議論は相対変位を検出するために地震計型
速度センサを強調しているが、他の形式の相対変位検出
器を使用することも可能である。例えば、上記のシステ
ムは容量型近接プローブ、渦電流型近接プローブ、差動
トランス（LVDT変位センサ）によっても操作することが
できる。

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】走査電子顕微鏡における電子ビームの走査
    パターンを調整して振動に対するイメージ感度を減じる
    ためのシステムであって、 約30ヘルツより少ない共振周波数を有する地震計手段を
    具備し、前記走査電子顕微鏡に接続され、少なくとも一
    方向の振動を検知する少なくとも１つの速度センサ手段
    と、 前記速度センサ手段からの出力信号を積分する積分手段
    と、 前記速度センサ手段からの積分信号を受信するように接
    続され、該受信した積分信号に応答して、前記走査顕微
    鏡により供給されるイメージ上の検知した振動の影響を
    減じるように該顕微鏡の電子ビームの通常の走査パター
    ンを調整するよう動作するビーム・ステアリング手段
    と、 を具備するシステム。
  2. 【請求項２】前記速度センサ手段は少なくとも２つの地
    震計を含む、請求の範囲第１項に記載のシステム。
  3. 【請求項３】前記少なくとも２つの地震計の各々はマグ
    ネット内に可動コイルを有するタイプのものである、請
    求の範囲第２項に記載のシステム。
  4. 【請求項４】前記積分手段の出力信号の振幅を調整可能
    に増大する可変ゲイン増幅器を更に含む、請求の範囲第
    １項に記載のシステム。
  5. 【請求項５】第１の方向における振動を検出するために
    少なくとも一つの速度センサ手段が配列されており、該
    第１の方向と平行ではない第２の方向における振動を検
    出するために他の一つの速度センサ手段が配列されてい
    る、請求の範囲第２項に記載のシステム。
  6. 【請求項６】走査電子顕微鏡における電子ビームの走査
    パターンを調整して振動に対するイメージ感度を減じる
    ためのシステムであって、 前記走査電子顕微鏡に接続され、少なくとも一方向の振
    動を検知する速度センサ手段であって、約30ヘルツより
    低い共振周波数を有する地震計を具備するものと、 該速度センサからの出力信号を積分し、それにより標本
    台の変位を指示する積分手段と、 該積分手段からの変位信号を受信するように接続され、
    前記顕微鏡により供給されるイメージ上の検知した振動
    の影響を減じるように該顕微鏡の電子ビームの通常の走
    査パターンを調整するよう動作するビーム・ステアリン
    グ手段と、 を具備するシステム。
  7. 【請求項７】振動に対するイメージ感度を低下させるた
    めに走査電子顕微鏡における電子ビームの走査パターン
    を調整するシステムであって、 第１の方向における標本台の振動を検出するために走査
    電子顕微鏡の標本台に結合され、約30ヘルツより低い共
    振周波数を有する地震計を具備する第１の速度センサ
    と、 該第１の方向と平行ではない第２の方向における標本台
    の振動を検知するために走査電子顕微鏡の標本台に結合
    され、やはり約30ヘルツより低い共振周波数を有する地
    震計を具備する第２の速度センサと、 該第１の方向における第１のセンサの変位を示すべく該
    第１の速度センサの出力信号を積分する第１の積分手段
    と、 該第２の方向における該第２センサの変位を示すべく該
    第２の速度センサからの出力信号を積分する第２の積分
    手段と、 該第１の積分手段の出力信号を受信するために接続さ
    れ、該第１の方向における電子ビーム走査パターン上の
    振動の影響を減じるように該顕微鏡の電子ビームの走査
    パターンを調整するように動作する第１のビーム・ステ
    アリング手段と、 該第２の積分手段の出力信号を受信するために接続さ
    れ、該第２の方向における電子ビーム走査パターン上の
    振動の影響を減じるように該顕微鏡の電子ビームの走査
    パターンを調整するよう動作する第２のビーム・ステア
    リング手段とを具備するシステム。
  8. 【請求項８】該第１の方向は該第２の方向に略直交して
    いる、請求の範囲第７項記載のシステム。
  9. 【請求項９】走査電子顕微鏡における電子ビームの走査
    パターンを調整して振動に対するイメージ感度を減じる
    ためのシステムであって、 第１の方向の本体に関連する台の振動を検知するために
    標本台と走査電子顕微鏡の本体にそれぞれ結合されてい
    る第１と第２の速度センサであって各々は約30ヘルツよ
    り低い共振周波数を有する地震計を具備するものと、 該第１の方向に一直線ではない第２の方向の顕微鏡本体
    に対する該台の振動を検知するために標本台と走査電子
    顕微鏡の本体にそれぞれ結合され、約30ヘルツより低い
    共振周波数を有する第３と第４の速度センサと、 該第１と第２の速度センサの出力の大きさの差に比例し
    た出力を与える第１の増幅手段と、 該第３と第４の速度センサの出力の大きさの差に比例し
    た出力を与える第２の増幅手段と、 該第１と第２の速度センサ間の第１方向における相対変
    位を示すために該第１の増幅手段の出力信号を積分する
    第１の積分手段と、 該第３と第４の速度センサ間の第２方向における相対変
    位を示すために第２の増幅手段に対する出力信号を積分
    する第２の積分手段と、 該第１の積分手段からの増幅された出力信号を受信する
    ために結合され、第１の方向におけるイメージ上の振動
    の影響を減じるべく顕微鏡の電子ビームの走査パターン
    を調整するよう動作する第１のステアリング調整手段
    と、 第２の積分手段からの出力信号を受信するために結合さ
    れ、第２の方向におけるイメージ上の振動の影響を減じ
    るべく顕微鏡の電子ビームの走査パターンを調整するよ
    う動作する第２のステアリング調整手段とを具備するシ
    ステム。
  10. 【請求項１０】該第１の方向は該第２の方向に略直交し
    ている、請求の範囲第９項記載のシステム。
  11. 【請求項１１】走査電子顕微鏡における電子ビームの走
    査パターンを調整して振動に対するイメージ感度を減じ
    るためのシステムであって、 走査電子顕微鏡に接続されており少なくとも１方向の振
    動を感知する速度センサ手段であって、約30ヘルツより
    低い共振周波数を有する地震計を具備するものと、 該速度センサ手段の出力信号を積分して、標本台の変位
    を表示する積分手段と、 該積分手段からの変位信号を受け取るように接続されて
    おり、感知された振動の影響を減少せしめるように顕微
    鏡により与えられたイメージ情報を調整するように動作
    する調整手段と、 を具備するシステム。
  12. 【請求項１２】該調整手段は格納されたイメージ情報の
    位置を調整する、請求の範囲第11項記載のシステム。
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