JP2897237B2 - 荷電ビーム装置のビーム位置制御方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は荷電ビーム装置のビーム位置制御方法に関す
る。

〔従来の技術〕

従来、荷電ビーム装置ではチャンバ上にカラムを垂直
に取付け、カラム内を進行する荷電ビームを投影レンズ
で収束し、ポジションディフレクタで曲げることによっ
てステージ上に収束させていた。この際、カラムはステ
ージに垂直であることを前提にしてポジションディフレ
クタによる収束位置制御を行っていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、上述のような制御方法では、ステージの駆
動反力等によってカラムが倒れ込み振動を起こした際の
荷電ビームずれ角を検知することができず収束位置ずれ
を生じるといった問題があった。

本発明の目的は上記問題点を解消した荷電ビーム装置
のビーム位置制御方法を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の荷電ビーム装置のビーム位置制御方法は、荷
電ビーム銃を備えたカラムの変位又は角度を検知し、そ
の検知信号から荷電ビームのずれ角を演算して荷電ビー
ム収束位置の補正指令を得ることを特徴とする。

〔作用〕

荷電ビームとほぼ垂直な変位を検知し、又は荷電ビー
ムの角度を検知することによってカラムの倒れ込みによ
る振動を起こした際の角度を測定し、該角度によって荷
電ビーム収束位置を補正することによって荷電ビームの
収束位置ずれを解消することができる。

〔実施例〕

次に本発明の実施例について図面を参照して説明す
る。

第１図は本発明を用いた荷電ビーム描画装置の断面図
である。図において、荷電ビーム１は荷電ビーム銃２か
らカラム３内に発射されたのち投影レンズ４で収束さ
れ、ポジションディフレクタ５によりステージ６上での
収束位置が制御される。この際、ステージ６のベース７
に対する駆動反力によりチャンバ８の上部にひずみが生
じ、カラム３が倒れ込み振動を起こすことによって荷電
ビームずれ角９が生じまた、描画位置ずれ10が生じる原
因となる。

本発明ではカラム３の頂部に加速度センサ11を設置
し、カラム３の頂部の移動加速度を常時検出している。
この加速度信号をもとに角度算出部12でカラム３のチャ
ンバ８に対する傾角を算出し、補正量算出部13で荷電ビ
ーム１を所望の位置に収束させるための位置補正量を算
出する。この補正量を描画位置制御部14に送り、描画情
報15とともにポジションディフレクタ５で荷電ビーム１
の収束位置を制御する。本実施例では装置全体の倒れ込
み振動の固有振動数は130Hzであることが事前の測定に
よって判明していたため、角度算出部12では加速度信号
の130Hz成分をフィルタによって取り出し、２回積分す
ることによって変位を算出し、加速度センサ11とチャン
バ８間の距離で割ることによって角度を算出している。
また、補正量算出部13では算出された角度にチャンバ８
とステージ６間の距離を掛けることによって補正量を算
出している。なお、カラム３の倒れ込み角度を直接検知
する手段を備えた場合には角度算出部12は省略すること
ができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、カラムが倒れ込
み振動を起こした際にその角度を検知し、その検知信号
をもって荷電ビーム収束位置を制御することによって荷
電ビームの収束位置ずれを解消することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を用いた荷電ビーム描画装置の断面図で
ある。 １……荷電ビーム、２……荷電ビーム銃 ３……カラム、４……投影レンズ ５……ポジションディフレクタ、６……ステージ ７……ベース、８……チャンバ ９……荷電ビームずれ角、10……描画位置ずれ 11……加速度センサ、12……角度算出部 13……補正量算出部、14……描画位置制御部 15……描画情報

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01J 37/04 H01J 37/147 H01J 37/305 H01J 37/28 H01J 37/16 H01L 21/30 541

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】荷電ビーム銃を備えたカラムの変位又は角
   度を検知し、その検知信号から荷電ビームのずれ角を演
   算して荷電ビーム収束位置の補正指令を得ることを特徴
   とする荷電ビーム装置のビーム位置制御方法。