JPH0648190B2 - 光学式変位測定装置 - Google Patents
光学式変位測定装置Info
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- JPH0648190B2 JPH0648190B2 JP61255025A JP25502586A JPH0648190B2 JP H0648190 B2 JPH0648190 B2 JP H0648190B2 JP 61255025 A JP61255025 A JP 61255025A JP 25502586 A JP25502586 A JP 25502586A JP H0648190 B2 JPH0648190 B2 JP H0648190B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、投光手段から検知エリアに投光される光ビー
ムの被検知物体による反射光を、投光手段の側方に所定
距離をもって配置された受光手段にて受光し、受光手段
出力に基づいて検知エリア内の被検知物体までの距離の
変位を測定するようにした三角測量方式の光学式変位測
定装置に関するものである。
ムの被検知物体による反射光を、投光手段の側方に所定
距離をもって配置された受光手段にて受光し、受光手段
出力に基づいて検知エリア内の被検知物体までの距離の
変位を測定するようにした三角測量方式の光学式変位測
定装置に関するものである。
（背景技術） 従来、この種の三角測量方式の光学式変位測定装置は、
第２図及び第３図に示すようになっており、被検知物体
Ｘに対して光ビームＰを投光する投光手段１は、投光タ
イミングを設定するクロックパルスを発生する発振回路
１０、投光用発光素子１２を駆動するドライブ回路１１
および凸レンズよりなる投光用光学系１３にて形成され
ており、投光用発光素子１２から発せられる光を投光用
光学系１３にて光ビームＰに成形して検知エリアに投光
するようになっている。この投光手段１から所定距離l0
をもって側方に配設され被検知物体Ｘによる光ビームＰ
の反射光Ｒを集光する受光用光学系３は凸レンズにて形
成されている。この受光用光学系３の集光面に配設され
集光スポットＳの位置(距離lに対応してＭ方向に移動す
る)に対応した相反する一対の位置信号ＩA,ＩBを出力す
る位置検出手段４は、例えば１次元位置検出素子(以
下、ＰＳＤ４と称する)にて形成されており、この位置
信号ＩA,ＩBは相反した電流信号となっている。ＰＳＤ
４の出力に基づいて被検知物体Ｘまでの距離lの変位を
演算する演算手段５は、ＰＳＤ４から出力される位置信
号(相反する電流信号ＩA,ＩB)をそれぞれ増幅して電圧
信号ＶA,ＶBに変換する受光回路２１a,２１bと、受光回
路２１a,２１bの出力レベルを発振回路１０の出力に基
づいてチェック(クロックパルスに同期してレベルを判
定)するレベル検出回路２２a,２２bと、レベル検出回路
２２a,２２bの出力(位置信号ＩA,ＩBのレベルに１：１
に対応するので、以下において、ＩA,ＩBと称する)の演
算を行う演算回路２３と、レベル検出回路２２a,２２b
の出力ＩA,ＩBの加算を行う加算回路２４と、減算回路
２３から出力される第１の信号(ＩA−ＩB)と、加算回路
２４から出力される第２の信号(ＩA＋ＩB)との比率を演
算する除算回路２５とで形成されており、除算回路２５
から測距信号Ｌ0(＝(ＩA−ＩB)／(ＩA＋ＩB))が出力さ
れるようになっている。なお、上述のＰＳＤ４に代え
て、２個のフォトダイオードをＭ方向(集光スポットＳ
の移動方向)に連設したものを用いて各フォトダイオー
ド出力を位置信号ＩA,ＩBとしても良いことは言うまで
もない。
第２図及び第３図に示すようになっており、被検知物体
Ｘに対して光ビームＰを投光する投光手段１は、投光タ
イミングを設定するクロックパルスを発生する発振回路
１０、投光用発光素子１２を駆動するドライブ回路１１
および凸レンズよりなる投光用光学系１３にて形成され
ており、投光用発光素子１２から発せられる光を投光用
光学系１３にて光ビームＰに成形して検知エリアに投光
するようになっている。この投光手段１から所定距離l0
をもって側方に配設され被検知物体Ｘによる光ビームＰ
の反射光Ｒを集光する受光用光学系３は凸レンズにて形
成されている。この受光用光学系３の集光面に配設され
集光スポットＳの位置(距離lに対応してＭ方向に移動す
る)に対応した相反する一対の位置信号ＩA,ＩBを出力す
る位置検出手段４は、例えば１次元位置検出素子(以
下、ＰＳＤ４と称する)にて形成されており、この位置
信号ＩA,ＩBは相反した電流信号となっている。ＰＳＤ
４の出力に基づいて被検知物体Ｘまでの距離lの変位を
演算する演算手段５は、ＰＳＤ４から出力される位置信
号(相反する電流信号ＩA,ＩB)をそれぞれ増幅して電圧
信号ＶA,ＶBに変換する受光回路２１a,２１bと、受光回
路２１a,２１bの出力レベルを発振回路１０の出力に基
づいてチェック(クロックパルスに同期してレベルを判
定)するレベル検出回路２２a,２２bと、レベル検出回路
２２a,２２bの出力(位置信号ＩA,ＩBのレベルに１：１
に対応するので、以下において、ＩA,ＩBと称する)の演
算を行う演算回路２３と、レベル検出回路２２a,２２b
の出力ＩA,ＩBの加算を行う加算回路２４と、減算回路
２３から出力される第１の信号(ＩA−ＩB)と、加算回路
２４から出力される第２の信号(ＩA＋ＩB)との比率を演
算する除算回路２５とで形成されており、除算回路２５
から測距信号Ｌ0(＝(ＩA−ＩB)／(ＩA＋ＩB))が出力さ
れるようになっている。なお、上述のＰＳＤ４に代え
て、２個のフォトダイオードをＭ方向(集光スポットＳ
の移動方向)に連設したものを用いて各フォトダイオー
ド出力を位置信号ＩA,ＩBとしても良いことは言うまで
もない。
ここに、この測距信号Ｌ0は変位距離Δlに対して以下の
ような関係になっている。すなわち、変位測定装置から
被検知物体Ｘまでの距離lをl＝lc＋Δl(但し、lcは集光
スポットＳが位置検出手段たるＰＳＤ４の中央点に集光
されるときの距離であり、Δlは距離lcからの変位距離)
とし、受光用光学系３からＰＳＤ４までの距離をＦ、被
検知物体Ｘからの反射光Ｒの集光スポットＳのＰＳＤ４
の中央点からの移動距離をΔx、投光手段１と受光用光
学系３の光軸の交差角をθとすれば、 (lc／cosθ＋Δlcosθ)Δx＝(Δlsinθ)Ｆ ∴Δx＝(tanθ)ＦΔl／(lc／cos2θ＋Δl) ここで、 a＝(tanθ)Ｆ，b＝lc／cos2θとおくと、 Δx＝aΔl／(b＋Δl) …(1) となり、移動距離Δxと変位距離Δlの関係はノンリニア
となっている。
ような関係になっている。すなわち、変位測定装置から
被検知物体Ｘまでの距離lをl＝lc＋Δl(但し、lcは集光
スポットＳが位置検出手段たるＰＳＤ４の中央点に集光
されるときの距離であり、Δlは距離lcからの変位距離)
とし、受光用光学系３からＰＳＤ４までの距離をＦ、被
検知物体Ｘからの反射光Ｒの集光スポットＳのＰＳＤ４
の中央点からの移動距離をΔx、投光手段１と受光用光
学系３の光軸の交差角をθとすれば、 (lc／cosθ＋Δlcosθ)Δx＝(Δlsinθ)Ｆ ∴Δx＝(tanθ)ＦΔl／(lc／cos2θ＋Δl) ここで、 a＝(tanθ)Ｆ，b＝lc／cos2θとおくと、 Δx＝aΔl／(b＋Δl) …(1) となり、移動距離Δxと変位距離Δlの関係はノンリニア
となっている。
ここに、ＰＳＤ４から出力される位置信号ＩA,ＩBと移
動距離Δxとの関係は、ＰＳＤ４の有効長を２lpとすれ
ば、 (ＩA−ＩB)／(ＩA＋ＩB)＝Δx／lp …(2) となっている。したがって、(1),(2)式から明らかなよ
うに演算手段５から出力される測距信号Ｌ0は、変位距
離Δlの情報を含む信号であるが、変位距離Δlに対して
リニアな関係になっていない。したがって、変位距離Δ
lの測定精度を距離変化(変位の大小)があっても同一に
するためには、リニアリティ補正回路６を設けて、リニ
アな測距信号Ｌが得られるように補正する必要があっ
た。第３図(b)に示されるリニアリティ補正回路６は、
オペアンプＯＰ、ダイオードＤ1〜Ｄ3、ボリュームＶＲ
1〜ＶＲ6及び抵抗Ｒ1，Ｒ2にて形成され、測距信号Ｌ0
を４本の折れ線で近似してリニアリティ補正を行うもの
であり、折れ点は３点となっている。このリニアリティ
補正回路６から得られる測距信号Ｌは、被検知物体Ｘの
変位距離Δlに対してリニアな関係となっている。
動距離Δxとの関係は、ＰＳＤ４の有効長を２lpとすれ
ば、 (ＩA−ＩB)／(ＩA＋ＩB)＝Δx／lp …(2) となっている。したがって、(1),(2)式から明らかなよ
うに演算手段５から出力される測距信号Ｌ0は、変位距
離Δlの情報を含む信号であるが、変位距離Δlに対して
リニアな関係になっていない。したがって、変位距離Δ
lの測定精度を距離変化(変位の大小)があっても同一に
するためには、リニアリティ補正回路６を設けて、リニ
アな測距信号Ｌが得られるように補正する必要があっ
た。第３図(b)に示されるリニアリティ補正回路６は、
オペアンプＯＰ、ダイオードＤ1〜Ｄ3、ボリュームＶＲ
1〜ＶＲ6及び抵抗Ｒ1，Ｒ2にて形成され、測距信号Ｌ0
を４本の折れ線で近似してリニアリティ補正を行うもの
であり、折れ点は３点となっている。このリニアリティ
補正回路６から得られる測距信号Ｌは、被検知物体Ｘの
変位距離Δlに対してリニアな関係となっている。
しかしながら、この従来例にあっては、第４図に示すよ
うに、被検知物体Ｘの拡散反射率に応じて、距離Δlに
対する測距信号Ｌの傾きが変化するという問題があっ
た。たとえば、被検知物体Ｘが白紙である場合と黒紙で
ある場合とでは、僅かではあるが、Δlに対して１．０
％程度は、黒紙の方が測距信号Ｌの傾きが減少する。こ
の現象は、理論的には起こり得ないものであるが、現実
には、投光ビームが有限の大きさを持ち、また、理想的
なビーム形状とはならず、受光レンズにも種々の収差が
あるなどの原因により、受光素子上の受光スポット形状
は理想的な点とはならず、複雑な形状となるためであ
る。このような問題点のため、従来の変位測定装置で
は、拡散反射率の異なる被検知物体を拡散反射率の相違
に拘わらず精度良く検出することは困難であった。
うに、被検知物体Ｘの拡散反射率に応じて、距離Δlに
対する測距信号Ｌの傾きが変化するという問題があっ
た。たとえば、被検知物体Ｘが白紙である場合と黒紙で
ある場合とでは、僅かではあるが、Δlに対して１．０
％程度は、黒紙の方が測距信号Ｌの傾きが減少する。こ
の現象は、理論的には起こり得ないものであるが、現実
には、投光ビームが有限の大きさを持ち、また、理想的
なビーム形状とはならず、受光レンズにも種々の収差が
あるなどの原因により、受光素子上の受光スポット形状
は理想的な点とはならず、複雑な形状となるためであ
る。このような問題点のため、従来の変位測定装置で
は、拡散反射率の異なる被検知物体を拡散反射率の相違
に拘わらず精度良く検出することは困難であった。
なお、特開昭６１−１７８６１０号や特開昭６１−１０
４２０２号に開示されているように、被検知物体の拡散
反射率の相違に拘わらず受光量が一定となるようにフィ
ードバック制御を行うことが知られているが、この場
合、距離の変位の測定信号に含まれる拡散反射率の相違
による誤差は除去できない。
４２０２号に開示されているように、被検知物体の拡散
反射率の相違に拘わらず受光量が一定となるようにフィ
ードバック制御を行うことが知られているが、この場
合、距離の変位の測定信号に含まれる拡散反射率の相違
による誤差は除去できない。
（発明の目的） 本発明は上述のような点に鑑みてなされたものであり、
その目的とするところは、被検知物体の拡散反射率の違
いによる距離の変位の測定誤差を補正可能な光学式変位
測定装置を提供するにある。
その目的とするところは、被検知物体の拡散反射率の違
いによる距離の変位の測定誤差を補正可能な光学式変位
測定装置を提供するにある。
（発明の開示） 構 成 本発明に係る光学式変位測定装置にあっては、光ビーム
を検知エリアに投光する投光手段と、投光手段の側方に
所定距離をもって配設され被検知物体による光ビームの
反射光を集光する受光用光学系と、受光用光学系の集光
面に配設され被検知物体までの距離に応じて集光面内で
移動する集光スポットの位置に対応した相反する一対の
位置信号を出力する位置検出手段と、位置検出手段出力
に基づいて被検知物体までの距離の変位を演算する演算
手段とより成る光学式変位測定装置において、演算手段
から出力される距離の変位の測定信号に含まれる被検知
物体の拡散反射率の相違による誤差を無くすように補正
を加える手段を設けて成るものであり、被検知物体の拡
散反射率の相違による距離の変位の測定誤差を補正可能
としたものである。
を検知エリアに投光する投光手段と、投光手段の側方に
所定距離をもって配設され被検知物体による光ビームの
反射光を集光する受光用光学系と、受光用光学系の集光
面に配設され被検知物体までの距離に応じて集光面内で
移動する集光スポットの位置に対応した相反する一対の
位置信号を出力する位置検出手段と、位置検出手段出力
に基づいて被検知物体までの距離の変位を演算する演算
手段とより成る光学式変位測定装置において、演算手段
から出力される距離の変位の測定信号に含まれる被検知
物体の拡散反射率の相違による誤差を無くすように補正
を加える手段を設けて成るものであり、被検知物体の拡
散反射率の相違による距離の変位の測定誤差を補正可能
としたものである。
実施例１ 第１図は本発明の一実施例のブロック回路図を示すもの
で、第２図及び第３図に示す従来例と同様の光学式変位
測定装置において、関数回路７と乗算回路８とを付加し
たものである。関数回路７は、加算回路２４から出力さ
れる受光量(ＩA＋ＩB)に応じて、関数電圧α(ＩA＋ＩB)
を発生させる。関数回路７の入出力特性を第５図に示
す。横軸は受光量(ＩA＋ＩB)であり、縦軸は関数電圧α
(ＩA＋ＩB)の値である。被検知物体Ｘが黒紙である場合
には、拡散反射率が低いので、受光量(ＩA＋ＩB)は小さ
く、被検知物体Ｘが白紙である場合には、拡散反射率が
高いので、受光量(ＩA＋ＩB)は大きい。このときの関数
電圧α(ＩA＋ＩB)の値をα０とすると、黒紙の場合に比
べて白紙の場合には、関数電圧α(ＩA＋ＩB)の値は、α
0の１％程度小さくなるようにしている。
で、第２図及び第３図に示す従来例と同様の光学式変位
測定装置において、関数回路７と乗算回路８とを付加し
たものである。関数回路７は、加算回路２４から出力さ
れる受光量(ＩA＋ＩB)に応じて、関数電圧α(ＩA＋ＩB)
を発生させる。関数回路７の入出力特性を第５図に示
す。横軸は受光量(ＩA＋ＩB)であり、縦軸は関数電圧α
(ＩA＋ＩB)の値である。被検知物体Ｘが黒紙である場合
には、拡散反射率が低いので、受光量(ＩA＋ＩB)は小さ
く、被検知物体Ｘが白紙である場合には、拡散反射率が
高いので、受光量(ＩA＋ＩB)は大きい。このときの関数
電圧α(ＩA＋ＩB)の値をα０とすると、黒紙の場合に比
べて白紙の場合には、関数電圧α(ＩA＋ＩB)の値は、α
0の１％程度小さくなるようにしている。
乗算回路８では、除算回路２５から出力された測距信号
Ｌ0(＝(ＩA−ＩB)／(ＩA＋ＩB))に、関数回路７から出
力される関数電圧α(ＩA＋ＩB)の値を乗算し、拡散反射
率による誤差を含まない測距信号Ｌ0′(＝α(ＩA＋ＩB)
(ＩA−ＩB)／(ＩA＋ＩB))を作成する。この測距信号
Ｌ0′をリニアリティ補正回路６にてリニアライズする
ことにより、拡散反射率の違いによる距離の変位の測定
誤差を除くことができる。その他の構成及び動作につい
ては、従来例と同様であるので、説明を省略する。
Ｌ0(＝(ＩA−ＩB)／(ＩA＋ＩB))に、関数回路７から出
力される関数電圧α(ＩA＋ＩB)の値を乗算し、拡散反射
率による誤差を含まない測距信号Ｌ0′(＝α(ＩA＋ＩB)
(ＩA−ＩB)／(ＩA＋ＩB))を作成する。この測距信号
Ｌ0′をリニアリティ補正回路６にてリニアライズする
ことにより、拡散反射率の違いによる距離の変位の測定
誤差を除くことができる。その他の構成及び動作につい
ては、従来例と同様であるので、説明を省略する。
なお、関数回路７の関数型を変えたり、利得を調整した
りすることによって、種々の光学系や被検知物体に対応
する補正が可能であることは言うまでもない。
りすることによって、種々の光学系や被検知物体に対応
する補正が可能であることは言うまでもない。
実施例２ 第６図は本発明の他の実施例のブロック図である。本実
施例にあっては、測距演算のために除算回路２５を用い
ないで、全受光量(ＩA＋ＩB)が略一定となるように光量
フィードバックを掛けることにより測距演算を行ってい
る。全受光量(ＩA＋ＩB)は加算回路２４の出力として得
られるので、これを補正差動回路２６を介して差動回路
２７に入力して基準電圧Ｖrefと比較し、差動回路２７
の出力Ｖmを積分回路２８にて積分し、変調回路１４を
介して投光用発光素子１２のドライブ回路１１に供給
し、投光用発光素子１２の発光量をフィードバック制御
している。変調回路１４は、投光タイミングを設定する
クロックパルスを発生する発振回路１０の発振出力に同
期して、積分回路２８の出力をチョッピングしてドライ
ブ回路１１に伝達する。
施例にあっては、測距演算のために除算回路２５を用い
ないで、全受光量(ＩA＋ＩB)が略一定となるように光量
フィードバックを掛けることにより測距演算を行ってい
る。全受光量(ＩA＋ＩB)は加算回路２４の出力として得
られるので、これを補正差動回路２６を介して差動回路
２７に入力して基準電圧Ｖrefと比較し、差動回路２７
の出力Ｖmを積分回路２８にて積分し、変調回路１４を
介して投光用発光素子１２のドライブ回路１１に供給
し、投光用発光素子１２の発光量をフィードバック制御
している。変調回路１４は、投光タイミングを設定する
クロックパルスを発生する発振回路１０の発振出力に同
期して、積分回路２８の出力をチョッピングしてドライ
ブ回路１１に伝達する。
上記の光量フィードバックを行う場合において、図に示
すように、被検知物体の拡散反射率の違いを、積分回路
２８の出力から取り出し、補正差動回路２６で受光量
(ＩA＋ＩB)へ局部帰還を掛けることにより、測距演算の
分母の式に操作を加え、補正を行っている。その演算式
を求めるために、第６図の光量フィードバック系をブロ
ック図で書き出したのが、第７図である。第７図におい
て、Ｇ1は積分回路２８のゲイン、Ｇ2は受光ゲイン、Ｇ
3は補正差動回路２６における局部帰還のゲイン、Ａは
拡散反射率である。また、Ｖref,Ｖmは上述のように、
それぞれ差動回路２７の基準電圧及び出力電圧である。
すように、被検知物体の拡散反射率の違いを、積分回路
２８の出力から取り出し、補正差動回路２６で受光量
(ＩA＋ＩB)へ局部帰還を掛けることにより、測距演算の
分母の式に操作を加え、補正を行っている。その演算式
を求めるために、第６図の光量フィードバック系をブロ
ック図で書き出したのが、第７図である。第７図におい
て、Ｇ1は積分回路２８のゲイン、Ｇ2は受光ゲイン、Ｇ
3は補正差動回路２６における局部帰還のゲイン、Ａは
拡散反射率である。また、Ｖref,Ｖmは上述のように、
それぞれ差動回路２７の基準電圧及び出力電圧である。
第７図のフィードバック系において、次式が成立する。
Ｖm＝Ｖref−(ＡＧ1Ｇ2Ｖm−Ｇ1Ｇ3Ｖm) よって、 したがって、測距演算式は、 となり、分母の の項が、受光量の大小に応じて測距演算式の傾きに補正
を加えている。そして、その補正量は、補正差動回路２
６のゲインＧ3を変えることによって調整可能である。
なお、補正差動回路２６と差動回路２７及び積分回路２
８は、第８図の具体回路例に示すように、オペアンプＯ
Ｐ1〜ＯＰ3とＣＲ素子によって実現することができる。
を加えている。そして、その補正量は、補正差動回路２
６のゲインＧ3を変えることによって調整可能である。
なお、補正差動回路２６と差動回路２７及び積分回路２
８は、第８図の具体回路例に示すように、オペアンプＯ
Ｐ1〜ＯＰ3とＣＲ素子によって実現することができる。
（発明の効果） 本発明は上述のように、投光手段から検知エリアに投光
される光ビームの被検知物体による反射光を、投光手段
の側方に所定距離をもって配置された受光手段にて受光
し、受光手段出力に基づいて検知エリア内の被検知物体
までの距離の変位を測定するようにした三角測量方式の
光学式変位測定装置において、理論的には起こり得ない
が、現実には光ビームが有限の大きさを持つことや受光
用光学系の収差の影響を受けることにより位置検出手段
上の受光スポット形状が理想的な点とはならず、複雑な
形状となるというような原因によって、演算手段から出
力される距離の変位の測定信号には、被検知物体の拡散
反射率の相違による誤差が生じることを発見し、この誤
差を無くすように補正を加える手段を設けたものである
から、例えば、特開昭６１−１７８６１０号や特開昭６
１−１０４２０２号のような従来例では、その存在さえ
も知られていなかった被検知物体の拡散反射率の相違に
よる距離の変位の測定誤差を防止できるものであり、従
来よりも高精度の光学式変位測定装置を実現できるとい
う効果がある。
される光ビームの被検知物体による反射光を、投光手段
の側方に所定距離をもって配置された受光手段にて受光
し、受光手段出力に基づいて検知エリア内の被検知物体
までの距離の変位を測定するようにした三角測量方式の
光学式変位測定装置において、理論的には起こり得ない
が、現実には光ビームが有限の大きさを持つことや受光
用光学系の収差の影響を受けることにより位置検出手段
上の受光スポット形状が理想的な点とはならず、複雑な
形状となるというような原因によって、演算手段から出
力される距離の変位の測定信号には、被検知物体の拡散
反射率の相違による誤差が生じることを発見し、この誤
差を無くすように補正を加える手段を設けたものである
から、例えば、特開昭６１−１７８６１０号や特開昭６
１−１０４２０２号のような従来例では、その存在さえ
も知られていなかった被検知物体の拡散反射率の相違に
よる距離の変位の測定誤差を防止できるものであり、従
来よりも高精度の光学式変位測定装置を実現できるとい
う効果がある。
第１図は本発明の一実施例のブロック回路図、第２図
(a)は従来例の要部概略構成を示す図、同図(b)は同上の
要部断面図、第３図(a)は同上の要部ブロック回路図、
同図(b)は同上の要部回路図、第４図は同上の動作説明
図、第５図は本発明の動作説明図、第６図は本発明の他
の実施例のブロック回路図、第７図は同上のフィードバ
ック系のブロック図、第８図は同上の要部具体回路図で
ある。 １は投光手段、３は受光用光学系、４は位置検出手段、
５は演算手段、６はリニアリティ補正回路、７は関数回
路、８は乗算回路である。
(a)は従来例の要部概略構成を示す図、同図(b)は同上の
要部断面図、第３図(a)は同上の要部ブロック回路図、
同図(b)は同上の要部回路図、第４図は同上の動作説明
図、第５図は本発明の動作説明図、第６図は本発明の他
の実施例のブロック回路図、第７図は同上のフィードバ
ック系のブロック図、第８図は同上の要部具体回路図で
ある。 １は投光手段、３は受光用光学系、４は位置検出手段、
５は演算手段、６はリニアリティ補正回路、７は関数回
路、８は乗算回路である。
Claims (3)
- 【請求項１】光ビームを検知エリアに投光する投光手段
と、投光手段の側方に所定距離をもって配設され被検知
物体による光ビームの反射光を集光する受光用光学系
と、受光用光学系の集光面に配設され被検知物体までの
距離に応じて集光面内で移動する集光スポットの位置に
対応した相反する一対の位置信号を出力する位置検出手
段と、位置検出手段出力に基づいて被検知物体までの距
離の変位を演算する演算手段とより成る光学式変位測定
装置において、演算手段から出力される距離の変位の測
定信号に含まれる被検知物体の拡散反射率の相違による
誤差を無くすように補正を加える手段を設けて成ること
を特徴とする光学式変位測定装置。 - 【請求項２】演算手段は、上記一対の位置信号を加算す
る加算回路と、その加算結果にて上記位置信号を除算す
る除算回路とを具備し、上記補正を加える手段は、前記
加算回路の加算結果に応じて関数電圧を発生させる関数
回路と、その関数電圧を前記除算器の除算結果に乗算す
る乗算回路とを具備することを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の光学式変位測定装置。 - 【請求項３】演算手段は、受光量を一定に保つ光量フィ
ードバック回路を具備し、上記補正を加える手段は、前
記光量フィードバック回路における誤差増幅部から出力
されるフィードバック電圧の一部を誤差増幅部の入力側
に局部帰還する局部帰還回路より成ることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の光学式変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61255025A JPH0648190B2 (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | 光学式変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61255025A JPH0648190B2 (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | 光学式変位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63108218A JPS63108218A (ja) | 1988-05-13 |
| JPH0648190B2 true JPH0648190B2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=17273139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61255025A Expired - Lifetime JPH0648190B2 (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | 光学式変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648190B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0312617A (ja) * | 1989-06-12 | 1991-01-21 | Chinon Ind Inc | 撮像プリント装置 |
| JPH0560532A (ja) * | 1990-11-27 | 1993-03-09 | Nkk Corp | 光学式形状計 |
| JPH051904A (ja) * | 1990-11-27 | 1993-01-08 | Nkk Corp | 光学式形状計 |
| KR100380133B1 (ko) * | 1996-12-24 | 2003-08-14 | 주식회사 포스코 | 광센서에서 피측정물의 반사광 강도에 따른 오차 보상방법 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5995413A (ja) * | 1982-11-24 | 1984-06-01 | Canon Inc | 距離検出装置 |
| JPS6095318A (ja) * | 1983-10-31 | 1985-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光式距離測定装置 |
| JPH0752087B2 (ja) * | 1984-10-26 | 1995-06-05 | 三菱電機株式会社 | 光変位計 |
| JPS61178610A (ja) * | 1985-02-01 | 1986-08-11 | Sankusu Kk | 反射型距離センサ |
-
1986
- 1986-10-27 JP JP61255025A patent/JPH0648190B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63108218A (ja) | 1988-05-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |