JPH06162982A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH06162982A JPH06162982A JP4316781A JP31678192A JPH06162982A JP H06162982 A JPH06162982 A JP H06162982A JP 4316781 A JP4316781 A JP 4316781A JP 31678192 A JP31678192 A JP 31678192A JP H06162982 A JPH06162982 A JP H06162982A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- electron beam
- sample
- relative displacement
- electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 27
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【目的】走査電子顕微鏡において、床振動等により電子
ビームと試料との間に相対変位を発生させないこと。 【構成】本装置は、振動検出器８とその信号より電子ビ
ーム２を偏向コイル４で偏向させる制御回路１３を有す
る。電子ビーム２と試料６との間に相対変位を生じさせ
る振動は振動検出器８により検出され、その検出信号を
用いて制御回路１３は偏向コイル４に電流を流し、電子
ビーム２と試料６との相対変位を減少するように電子ビ
ーム２を偏向させる。 【効果】振動により発生する電子ビームと試料の相対変
位を、電子ビームを偏向させることにより補正できるの
で、あらゆる周波数，振幅の床振動および音波振動によ
り発生する二次電子像障害を防止する。
ビームと試料との間に相対変位を発生させないこと。 【構成】本装置は、振動検出器８とその信号より電子ビ
ーム２を偏向コイル４で偏向させる制御回路１３を有す
る。電子ビーム２と試料６との間に相対変位を生じさせ
る振動は振動検出器８により検出され、その検出信号を
用いて制御回路１３は偏向コイル４に電流を流し、電子
ビーム２と試料６との相対変位を減少するように電子ビ
ーム２を偏向させる。 【効果】振動により発生する電子ビームと試料の相対変
位を、電子ビームを偏向させることにより補正できるの
で、あらゆる周波数，振幅の床振動および音波振動によ
り発生する二次電子像障害を防止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査電子顕微鏡に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の装置では、装置に伝達された振動
により発生する二次電子像障害を防止するため特開昭59
−60854 号に記載のように、試料ステージと対物レンズ
を接触させて一体化することにより振動による電子ビー
ムと試料との相対変位を少なくしていた。
により発生する二次電子像障害を防止するため特開昭59
−60854 号に記載のように、試料ステージと対物レンズ
を接触させて一体化することにより振動による電子ビー
ムと試料との相対変位を少なくしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、振動
により生じる試料と電子ビームの相対変位を少なくする
ために対物レンズと試料ステージを接触させているが、
そのために試料ステージの動作に制限が発生する問題が
あり、また特定の周波数の振動においては共振して、相
対変位が発生する問題があった。
により生じる試料と電子ビームの相対変位を少なくする
ために対物レンズと試料ステージを接触させているが、
そのために試料ステージの動作に制限が発生する問題が
あり、また特定の周波数の振動においては共振して、相
対変位が発生する問題があった。
【０００４】本発明の目的は、試料ステージの動作の制
限なく、また全ての周波数の振動に対して、振動により
生じる試料と電子ビームの相対変位を除去することにあ
る。
限なく、また全ての周波数の振動に対して、振動により
生じる試料と電子ビームの相対変位を除去することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、装置に伝達される振動を検出し、その検出信号より
電子ビームを偏向させて、振動により生じる試料と電子
ビームの相対変位を除去したものである。
に、装置に伝達される振動を検出し、その検出信号より
電子ビームを偏向させて、振動により生じる試料と電子
ビームの相対変位を除去したものである。
【０００６】
【作用】除振装置により支持された支持板に設けられて
いる振動測定器により、試料ステージと電子光学系に伝
達される水平及び垂直方向の振動を検出し、その検出信
号から振動により発生する試料と電子ビームの相対変位
を演算し、その演算結果より電子光学系に設けられたコ
イルに電流を流し、電子ビームを水平方向に偏向させて
振動により生じる試料と電子ビームの相対変位を除去す
る。
いる振動測定器により、試料ステージと電子光学系に伝
達される水平及び垂直方向の振動を検出し、その検出信
号から振動により発生する試料と電子ビームの相対変位
を演算し、その演算結果より電子光学系に設けられたコ
イルに電流を流し、電子ビームを水平方向に偏向させて
振動により生じる試料と電子ビームの相対変位を除去す
る。
【０００７】
【実施例】以下本発明の一実施例を図１により説明す
る。電子銃１より照射された電子ビーム２は電子光学系
３により細く絞られ、試料ステージ７に搭載された試料
６上を走査する。電子光学系３と試料ステージ７は試料
室５に取付けられ、中は真空ポンプ１１により高真空に
保たれている。試料室５は支持板１０に固定される。支
持板１０は除振装置９を介して架台１２に取付けられて
いるため、床からの振動は架台１２を伝わり除振装置９
により減衰されて支持板１２に伝わる。支持板１０上に
は振動検出器８が配置され、振動検出器８の信号より制
御回路１３は電子光学系３に設けられた偏向コイル４に
電流を流し電子ビーム２を偏向させる。以上より構成さ
れている。
る。電子銃１より照射された電子ビーム２は電子光学系
３により細く絞られ、試料ステージ７に搭載された試料
６上を走査する。電子光学系３と試料ステージ７は試料
室５に取付けられ、中は真空ポンプ１１により高真空に
保たれている。試料室５は支持板１０に固定される。支
持板１０は除振装置９を介して架台１２に取付けられて
いるため、床からの振動は架台１２を伝わり除振装置９
により減衰されて支持板１２に伝わる。支持板１０上に
は振動検出器８が配置され、振動検出器８の信号より制
御回路１３は電子光学系３に設けられた偏向コイル４に
電流を流し電子ビーム２を偏向させる。以上より構成さ
れている。
【０００８】電子ビーム２と試料６との間に相対変位を
生じさせる支持板１０上の振動は振動検出器８により検
出され、その検出信号より制御回路１３は電子ビーム２
と試料６との相対変位を演算し、それに応じた電流を偏
向コイル４に流して電子ビーム２と試料６との相対変位
を減少するように電子ビーム２を偏向させる。
生じさせる支持板１０上の振動は振動検出器８により検
出され、その検出信号より制御回路１３は電子ビーム２
と試料６との相対変位を演算し、それに応じた電流を偏
向コイル４に流して電子ビーム２と試料６との相対変位
を減少するように電子ビーム２を偏向させる。
【０００９】
【発明の効果】本発明によれば、振動により発生する電
子ビームと試料の相対変位を、電子ビームを偏向させる
ことにより補正できるので、あらゆる周波数，振幅の床
振動および音波振動により発生する二次電子像障害を防
止する効果がある。
子ビームと試料の相対変位を、電子ビームを偏向させる
ことにより補正できるので、あらゆる周波数，振幅の床
振動および音波振動により発生する二次電子像障害を防
止する効果がある。
【図１】本発明による一実施例を示すもので、走査電子
顕微鏡の鏡体の断面図である。
顕微鏡の鏡体の断面図である。
１…電子銃、２…電子ビーム、３…電子光学系、４…偏
向コイル、５…試料室、６…試料、７…試料ステージ、
８…振動検出器、９…除振装置、１０…支持板、１１…
真空ポンプ、１２…架台、１３…制御回路。
向コイル、５…試料室、６…試料、７…試料ステージ、
８…振動検出器、９…除振装置、１０…支持板、１１…
真空ポンプ、１２…架台、１３…制御回路。
Claims (1)
- 【請求項１】電子ビームを試料上で走査し、試料より発
生する二次電子等の信号を検出して像表示する電子ビー
ム装置において、試料ステージと電子光学系を搭載し除
振装置に支持された支持板の特定の箇所に水平及び垂直
方向での振動を検出する測定器を配備し、その検出信号
を演算して電子光学系に設けられたコイルにより水平方
向に電子ビームを偏向させて、支持板の振動により生じ
る電子ビームと試料ステージの相対変位を補正すること
を特徴とした走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4316781A JPH06162982A (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4316781A JPH06162982A (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06162982A true JPH06162982A (ja) | 1994-06-10 |
Family
ID=18080844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4316781A Pending JPH06162982A (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06162982A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08298088A (ja) * | 1995-02-28 | 1996-11-12 | Ebara Corp | 電子顕微鏡 |
| WO1998050938A3 (de) * | 1997-05-03 | 1999-04-29 | Peter Heiland | Abbildende und/oder abtastende vorrichtung mit einer kompensierung von, durch die umgebung verursachter abbildungsverschlechterung |
| EP0922929A1 (de) * | 1997-12-10 | 1999-06-16 | Peter Heiland | In einem Rastermodus abtastende Vorrichtung mit einer Kompensation des Störeinflusses von mechanischen Schwingungen auf dem Abtastvorgang |
| GB2321555B (en) * | 1997-01-27 | 1999-12-22 | Hitachi Ltd | Charged particle beam apparatus |
-
1992
- 1992-11-26 JP JP4316781A patent/JPH06162982A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08298088A (ja) * | 1995-02-28 | 1996-11-12 | Ebara Corp | 電子顕微鏡 |
| GB2321555B (en) * | 1997-01-27 | 1999-12-22 | Hitachi Ltd | Charged particle beam apparatus |
| US6043490A (en) * | 1997-01-27 | 2000-03-28 | Hitachi, Ltd. | Vibration cancellation system for a charged particle beam apparatus |
| WO1998050938A3 (de) * | 1997-05-03 | 1999-04-29 | Peter Heiland | Abbildende und/oder abtastende vorrichtung mit einer kompensierung von, durch die umgebung verursachter abbildungsverschlechterung |
| US6884992B1 (en) | 1997-05-03 | 2005-04-26 | Peter Heiland | Imaging and/or raster-mode scanning system provided with a device for compensating the image degradations resulting from environmental factors |
| EP0922929A1 (de) * | 1997-12-10 | 1999-06-16 | Peter Heiland | In einem Rastermodus abtastende Vorrichtung mit einer Kompensation des Störeinflusses von mechanischen Schwingungen auf dem Abtastvorgang |
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