JP5241922B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

Description

本発明は、走査電子顕微鏡の防振技術に関し、特に卓上型の走査電子顕微鏡に関する防振技術に関する。

従来から高倍率が得られる走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope：ＳＥＭ）は、試料を集束された電子ビ−ムで走査し、それによって試料から出てきた電子を検出して、その検出された信号を用いて画像表示装置に試料の走査電子像を表示することができる。これら電子顕微鏡は、電子線を発生させるのに用いられる電子銃の性質から、数十キロボルトの高電圧が必要である。また、安定した電子線のため、電子顕微鏡内は、真空に保たれていなければならない。したがって、高電圧の発生装置や真空ポンプ、電子顕微鏡自体は耐圧構造でなければならないなど、装置が大がかりになりがちで専用の部屋が必要なこともある。このため、クリーンルームや測定室などに設置される大型のものが一般的であった。また、電子顕微鏡で試料を観察する場合、試料像の劣化を防止する防振技術は必須となる。

従来の電子顕微鏡の防振構造を図２に示す。電子顕微鏡は、通常かなり大型の装置であり、電子顕微鏡本体と、電子顕微鏡本体を制御する制御装置や観察画像を表示するモニタとが別々の架台に保持される。図２に示す構成では、電子銃２０１，レンズ系２０３，試料室２０２および試料ステージ２０４を含む電子顕微鏡本体２０５が荷重板２０６に固定されており、それら荷重板２０６を含む全体の系が、ダンパー２０７を介して第１架台２０８の上に搭載される。このような構造にすることで、床からの振動が電子顕微鏡本体２０５に伝わりにくくしている。

また、電子顕微鏡本体内を真空排気するためのメインポンプ２０９は試料室２０２下部に接続され、試料室２０２を真空排気する。一方、メインポンプ２０９からの排気経路は、配管２１０を介して電子銃２０１にも接続され、電子銃２０１およびレンズ系２０３の内部も真空排気する。メインポンプ２０９と試料室２０２の間には、防振用のダンパー２１１が介してある。本構造により、ポンプから発生する振動の電子顕微鏡本体２０５への伝播を軽減できる。特許文献１には、このような構造の一例が開示されている。

一方、観察画像が表示されるモニタ２１２は第２架台２１３上に保持される。第２架台２１３の内部には、電子顕微鏡本体２０５の制御部２１４やモニタ２１２に表示される観察画像の画像処理を実行するコンピュータ２１５が保持される。制御部２１４やコンピュータ２１５には冷却用のファンが設けられる場合が多く、電子顕微鏡本体２０５にとってはこれらも振動源となる。振動源となるメインポンプ２０９と、制御部２１４およびコンピュータ２１５とを分離して異なる架台で保持することにより、電子顕微鏡本体２０５へ伝播される振動量を低減し、結果として、振動によるノイズがない良好な観察画像を取得することができる。

近年の小型化技術により、テーブルや作業台に設置して使用可能な小型の電子顕微鏡装置が提案されている。このような卓上型の電子顕微鏡は、机上設置という性格上、振動源となる電子顕微鏡本体の制御部や真空ポンプを別々の架台に分離して設置することはできず、同一の筐体内に配置せざるを得ない。図３には、電子顕微鏡本体の制御部や真空ポンプを単純に同一筐体内に設置した卓上型の電子顕微鏡の構造例を示す。電子顕微鏡本体３０５は、電子銃３０１，レンズ系３０３，試料室３０２および試料ステージ３０４などを含んで構成される。電子顕微鏡本体３０５は、系全体を支える底板３１２に固定され、その間には、防振用のダンパー３１３が配置される。底板３１２自身は脚部３１７によって支持される。また、電子顕微鏡本体内を真空排気するメインポンプ３０９はレンズ系３０３の上部と接続され、その間には、防振用のダンパー３１４が設けられる。また、全体を支えている底板３１２の上には、電源および基板を含む制御系３１５が搭載される。制御系３１５の中には空冷用のファン等が備えられる。電子銃３０１，レンズ系３０３，試料室３０２および試料ステージ３０４を含む電子顕微鏡本体３０５および制御系３１５は全てカバー３１６によって覆われている。

以上のように、従来の電子顕微鏡の構成要素を単純に同一筐体内に集約した場合、床からの振動およびポンプから発生している振動をダンパーで吸収する構成が採用されることが多い。

実開昭６１−７９４５０号公報

図３に示した構造の卓上型の電子顕微鏡では、制御系３１５が底板３１２上に固定されている。従って、空冷用ファンから発生する、ダンパー３１３では防振しきれない振動が電子顕微鏡本体に伝播される場合がある。この結果、画像障害となって観察画像に表れてくることもある。

本発明が解決しようとする課題は、電子顕微鏡本体，排気系，電源あるいは空冷ファンを含む制御系が同一底板上に設置される卓上型の電子顕微鏡において、従来よりも防振機能を向上させた卓上型の電子顕微鏡を実現することを目的とする。

本発明に係る技術思想の一側面によれば、電子顕微鏡本体を支持するダンパーを、電子顕微鏡本体と制御系が支持される底板の高さ方向の位置よりも、電子顕微鏡が設置される設置面側に伸ばすことにより、上記の課題を解決する。より具体的には、底板に開口を設け、上記ダンパーを当該開口よりも下側に伸ばすことにより、従来よりも防振機能を向上させる。ダンパーは、設置面と直接接していてもよいし、何らかの部材を介して設置面と接触していてもよい。

ダンパーの長さを従来よりも長く取ることができるため、電子顕微鏡本体のサイズ（特に高さ）が同じであれば、固有振動数を従来よりも低くすることができる。従って、振動周波数における除振帯域を従来よりも広く取ることが可能となり、その結果、防振性能が従来に比べて向上する。

実施例１の電子顕微鏡の防振構造。 従来の電子顕微鏡の構造。 従来の卓上型電子顕微鏡の構造。 実施例１の電子顕微鏡の電子光学カラムの内部構成図。 実施例１の電子顕微鏡の防振構造の変形例。 実施例２の電子顕微鏡の防振構造。 実施例２の電子顕微鏡の上面図。 ダンパーと脚部を兼用しない場合の走査電子顕微鏡のレイアウトの上面図。

以下、実施形態について説明する。

本実施例では、底板に設けた開口を介して、ダンパーを直接床面と接触させる構成の卓上型走査電子顕微鏡の構成例について説明する。

先ず、電子顕微鏡本体の構造について、図４を用いて以下に説明する。本実施例の走査電子顕微鏡本体は、電子銃１，レンズ系３および試料室２などの構成要素により構成される。図示されてはいないが、試料室２の内部には試料ステージも格納されている。装置使用時には、装置内部は所定の真空度以上となるように真空排気される。電子源１７に高圧を印加すると、電子線１８が放出される。放出された電子線１８はウェネルト電極１９の電位により収束作用を受け、軌道を曲げられてウェネルト電極１９とアノード電極２０の間に第一のクロスオーバー２１を作る。電子線１８は更に、ウェネルト電極１９とアノード電極２０の間の電位差（加速電圧）により加速された状態でアノード電極２０を通過し、第一のコンデンサレンズ２２により収束作用を受ける。この結果、第一のコンデンサレンズ２２と第二のコンデンサレンズ２３の間に第二のクロスオーバー２４が形成される。２４のクロスオーバー位置を通過した電子線１８は、第二のコンデンサレンズ２３により収束作用を受け、第二のコンデンサレンズ２３と対物レンズ２５の間に第三のクロスオーバー２６を形成する。２６のクロスオーバー位置を通過した電子線１８は、ある広がりをもった状態で対物絞り２７を通過し、この結果、一部の電子線のみが対物レンズ２５に入射する。対物レンズ２５に入射した電子線は収束され、試料台２８の表面に照射される。試料表面に照射された電子線１８は試料表面で跳ね返ってくる反射電子および試料表面から飛び出てくる二次電子等を発生させる。図示は省略しているが、試料室２内（対物レンズの下面）には検出器が設置されており、これら反射電子および二次電子を検出して検出信号として信号出力する機能を有する。検出信号は、増幅回路およびＡＤ変換器を経た後、画像信号としてモニタに伝送され、画像として表示される。表示される画像の画質は、装置の振動，ノイズあるいは汚れなどの因子に影響を受ける。

図１は、本実施例の走査電子顕微鏡の全体構造を示す断面図である。本実施例の卓上型電子顕微鏡では、電子銃１，レンズ系３，試料室２および試料ステージ４を含む電子顕微鏡本体５は、全体を支える底板１２には固定されず、防振用のダンパー１３といった振動吸収性を持つ支持部材を介して、装置設置面である床の上に直接設置される。このため、底板１２には開口部１０８が設けられており、ダンパー１３はこの開口部を通過して床面と接触する。図示はされていないが、ダンパー１３は底板のコーナー４箇所設けられており、電子顕微鏡本体５は設置面に対して４点で支持される。また、底板１２自身は、設置面に対しては脚部１０６により支持される。

電子顕微鏡本体５内を真空排気するメインポンプ９は、防振用のダンパー１４を介してレンズ系３の上部と接続される。底板１２の上には、電子顕微鏡本体５やメインポンプ９の電源や制御基板、あるいは空冷用ファンなどを含む制御系１５が設置される。空冷用ファンは電源，基板を含む制御系１５の冷却およびメインポンプ９の冷却のために必須となるものである。電子銃１，レンズ系３，試料室２および試料ステージ４を含む電子顕微鏡本体５および制御系１５はカバー１６で覆われている。カバー１６も底板１２により支持されるが、電子顕微鏡本体５とは接触しないように構成される。

図３に示した従来構造では、本実施例の開口部１０８が無く、ダンパー１３は全て底板１２上に設置されている。従って従来構造では、ダンパー１３の長さは試料室２の底面から底板１２の上面１０７（一点鎖線で示した）までの長さしか取れなかった。それに対し、本実施例の場合には、上面１０７を超えて設置面側にダンパーの長さを延ばすことができるため、ダンパーの固有振動数を小さくすることができる。従って、従来技術に比べて除振帯域を広くすることができる。

本実施例の電子顕微鏡のもう一つの構造的な特徴は、電子顕微鏡本体５を底板１２から切り離して、設置面で直接支持することにより、装置内部で発生する振動をダンパー１３から切り離すことができるという点にある。装置内部の主要な振動源は、メインポンプ９と制御系１５に設けられた空冷用ファンである。真空排気する必要上、メインポンプ９を電子顕微鏡本体５から切り離すことは困難であるが、制御系１５であれば、電気配線を除けば電子顕微鏡本体５と切り離しても差し支えない。

振動源の一つとなる制御系１５については、図２に示すように電子顕微鏡本体５とは完全に別ユニットにするという手段もある。しかしながら、卓上型電子顕微鏡の場合には、装置小型化の必要上、電子顕微鏡本体５と制御系１５は、同一筐体内に一体配置することが要求される。従って、卓上型電子顕微鏡の場合には本実施例の構造が有効である。

図１の構造では、振動源となる制御系１５は底板１２から切り離されているため、従来よりも防振性能は向上している。しかしながら、電子顕微鏡本体５が底板１２には全く固定されない状態であるため、装置を移動する際に、電子顕微鏡本体５が移動に追従できず、引きずられる格好になってしまう。また、何らかの衝撃を受けることで、電子顕微鏡本体５がダンパーごと飛び上がって底板１２上に乗り上げてしまう可能性もある。そこで本実施例では、上記の問題を解決するために、底板の動きに対して電子顕微鏡本体を追従させるための追従機構を底板下部に設けた。以下、この追従機構の構成例について説明する。

図５には本実施例の電子顕微鏡を試料室側から見た正面図を示す（筐体の図示は省略している）。説明の便宜上、主要な構成要素は大きさを強調して記載しているが、各構成要素のサイズは実際には図１に示した電子顕微鏡とほぼ同一である。

本実施例の追従機構は、基本的には、ばねを用いて追従のための張力を発生させる点を特徴としている。図５の構成例では、電子顕微鏡本体５を支持しているダンパー１３は途中で分離され、間に板部材３１が設けられる。従って、板部材３１は、底板１２の下側に底板とは離間されて配置されている。ダンパーを分離する構成ではなく、単に板部材３１上にダンパーを載せ、ダンパーの下部に第２脚部５００を設ける構成にしてもよい。ここで、第２脚部５００は床に対して滑らかに動ける方が望ましいため、摩擦係数の小さいポリテトラフルオロエチレン等のフッ化炭素樹脂やデルリンで構成される。

底板１２と板部材３１の間の空間には、ばね２９が設けられる。また、板部材３１上には、ばね２９の一端を固定するためのピン３２が設けられる。一方、ばね２９のもう一方の端は、底板１２の底面に設けられたピン３０に固定する。これにより、底板１２と電子顕微鏡本体５を支持しているダンパー１３との間に張力３３が発生し、底板１２の動きに電子顕微鏡本体５が追従するようになる。この際、ピン３０，ピン３２およびばね２９の配置は、張力の釣り合い位置が、試料室２の底面の中心あるいは重心になるように配置する。これにより、ばねの釣り合いの位置では、ダンパー１３は各開口部１０８の中心に位置することになるため、底板１２と接触しない状態が保たれる。よって、底板からの振動の伝播を防止することができる。

図５では、紙面左右方向の追従機構を示しているが、紙面奥行き方向についてもピンとばねを設けて、追従のための張力を前後方向にも発生させる構造にする。これにより、底板底面内のＸＹ方向に対して張力が作用するため、電子顕微鏡本体５も移動に追従できるようになる。

電子顕微鏡本体５の底板１２上への乗り上げという問題に対しては、試料室２の下部側面にフランジ５０１を設けて、当該フランジ上にピン３４を設置する。同時に、底板１２上にシャーシ３５を設けて、シャーシの上面がフランジ５０１に対向するような配置にする。シャーシ３５にはピン３４を挿入させるための穴３６を設け、この際、穴３６の大きさをピン３４に接触しない程度の大きさにする。これにより、電子顕微鏡本体５が上に飛び上がろうとしたときにシャーシ３５で受けとめられるため、乗り上げという問題も解決することができる。

なお、図５の説明では、ピン３４は試料室２の下部側面に設けたフランジ５０１上に垂直に固定しているが、フランジを形成せずに試料室２の側面にピンを横向きに固定し、底板１２上に穴の開いた板状部材を垂直に立てて、この穴に横向きにピンを挿入するよう構成しても良い。

実施例１では、電子顕微鏡本体を支持するダンパーを直接床面に接触させた卓上型電子顕微鏡の構成について説明した。しかしながら、単純にダンパーを装置設置面に設置する方式では、底板と電子顕微鏡本体との追従の問題が発生し、実施例２のような追従機構が必要となる。そこで本実施例では、ダンパーの長さを従来よりも長く取ることができるという本発明の利点を活かしつつ、実施例１のような追従の問題が発生しない構成について説明する。

初めに、本実施例の防振構造について説明する。なお、電子光学カラムの内部構成については実施例１と同様であるので説明は省略する。

図６には、本実施例の卓上型電子顕微鏡の断面構造を示した。電子銃６０１，レンズ系６０２，主排気ポンプ６０３，試料室６０５および試料ステージ６０５を含む電子顕微鏡本体６０６が底板６１１には固定されず、制御系６１３と筺体６１０のみが底板６１１に固定される構成は、実施例１と同じである。電子顕微鏡本体６０６の内部を真空排気する主排気ポンプ６０３は、防振用の緩衝器６１２を介してレンズ系６０２の上部に接続される。制御系６１３は、電子光学カラム（電子銃６０１とレンズ系６０２によって構成される）ないし主排気ポンプ６０３の電源や制御基板、あるいは空冷用ファンなどを含んで構成される。以上の電子顕微鏡本体６０６および制御系６１３は全て筐体６１４内に格納されている。

電子顕微鏡本体６０６は、４個の防振用緩衝器６０８によって支持される。ここで、底板６１１には、少なくとも４個の開口穴６０７が形成されており、上記４個の防振用緩衝器６０８がそれぞれ通される。一方、４個の開口穴６０７の下部には第２脚部６０９がそれぞれ設けられ、底板６１１とネジ止めされている。第２脚部６０９の底には、第２脚部受け部材６２９が取付けられる。第２脚部受け部材は、振動の影響を軽減できるような部材にすることで、外部振動の影響を受けにくくすることができる。

本実施例の防振構造の特徴は、防振用緩衝器６０８を直接床面とは接触させずに、底板６１１の下面に設けられた第２脚部６０９に固定した点にある。防振用緩衝器６０８と第２脚部６０９の固定面は、当然ながら底板６１１よりも下側に位置するので、防振用緩衝器６０８を底板６１１の上面で固定していた従来技術よりも防振用緩衝器６０８の長さを長くすることができる。本実施例の場合、第２脚部６０９の内面に凹部を設け、凹部の内壁面に防振用緩衝器６０８を固定しているため、凹部を作らずに第２脚部６０９の上面で防振用緩衝器６０８を固定するよりも、第２脚部６０９の長さを長く取ることができる。同時に、第２脚部６０９は底板６１１に固定され、かつ防振用緩衝器６０８も底板６１１に固定されているため、実施例１のような追従の問題が起きることはない。

また、上の説明では、第２脚部６０９は底板６１１とは別の部品として構成しネジで固定しているが、プレスなどの方法により底板から第２脚部を打ち出すことにより、底板と第２脚部を一体成型しても本実施例の作用効果を奏することができることは明らかである。但し、振動源である筺体１０から完全ではないにしても切り離しができ、内部振動の影響を軽減できる効果が生まれるため、第２脚部６０９と底板６１１底板は別部材で構成する方がよい。

また、実施例１と同様、本実施例の構造でも内部振動は設置面へ分散して伝播される。つまり、冷却ファン等から発生する内部振動は、先ず、底板６１１から第２脚部６０９に伝播し、一部は第２脚部受け部材を経由して床面に伝播する。残りが防振用緩衝器６０８に伝播し、防振用緩衝器６０８にて減衰してから前記電子銃６０１，レンズ系６０２，主排気ポンプ６０３，試料室６０４および試料ステージ６０５を含む電子顕微鏡本体６０６に伝播する。

これに対し、図３に示される従来の卓上顕微鏡の構造では、電子顕微鏡本体３０３を搭載するダンパー３１３は、底板３１２上に固定されている。したがって、冷却ファン等から発生する内部振動は、底板３１２からダンパー３１３を介して電子顕微鏡本体３０３に伝播するため、本実施例における構造と比較して、内部から発生する振動の影響を受けやすくなる。よって、本実施例の構造では、内部で発生する振動の影響を従来よりも軽減できる。

また、本実施例によれば、電子顕微鏡本体６０６を底板６１１に載せたと想定したときよりも、防振用緩衝器６０８と電子顕微鏡本体６０６との固定面を低くすることができる。従って、装置全体の重心位置を従来よりも低くすることができる。電子顕微鏡本体６０６の高さが従来と変わらないのであれば、筐体６１４の高さ方向の寸法も、防振用緩衝器６０８と電子顕微鏡本体６０６との固定面の差分だけ小さくすることができる。

本実施例に係る防振構造を備えた電子顕微鏡のもう一つの特徴点として、電子顕微鏡本体を支える防振用緩衝器と底板を支持する脚部が同一の支持点を有する点があげられる。図７と図８には、第１脚部と第２脚部の配置を示す上面図を示した。図７が防振用緩衝器と底板を支持する脚部が同一の支持点を有する場合の配置、図８が有さない場合の配置に対応する。

図７において、参照番号７０１が示す矩形は底板を示し、当該底板７０１上に、電子銃を含む電子光学カラムと試料室が位置している。図示されていないが、筐体は、底板７０１の上に固定されている。点線で示される矩形７０３は電子顕微鏡本体の底面（ほとんど試料室）の底板７０１への投影面を示す。試料を試料室に搬出あるいは搬入する試料搬入出面は、資料室の正面側（図７の紙面下側）に設けられている。電子光学カラムは７０２の位置に存在する。制御系は、底板７０１上で電子顕微鏡本体の反対側に配置されている。７０６は冷却用ファンを示す。矩形７０５は制御手段の底面の底板７０１への投影面である。主排気ポンプは、底板７０１の概ね中心付近に位置する。

制御手段の投影面７０５の内部には、底板７０１の幅方向に渡って配置される一対の第１脚部７０８が一組配置されている。同じく電子顕微鏡本体の投影面７０３の内部には、一対の第２脚部７０７が２組配置されている。

図８の場合、底板７０１の四隅に第１脚部７０８と第２脚部７０７を配置しているが、電子顕微鏡本体の下部には必ず振動吸収性を持つ支持部材を配置する必要があり、本発明のように防振用緩衝器が底板を貫通して設置面まで延伸する構造の場合、防振用緩衝器と脚部とが干渉するため、図８に示されるように試料室の幅を大きくとれない。

一方、本実施例の場合、図６の一点鎖線で示されるように、防振用緩衝器６０８と第２脚部６０９とは同軸に固定されている。つまり、防振用緩衝器６０８が荷重を受ける位置と第２脚部６０が荷重を受ける位置とは電子顕微鏡の設置面内で同一である。図７でいえば、防振用緩衝器６０８は一対の第２脚部７０７の位置に配置されており、防振用緩衝器と脚部が干渉することがない。従って、図８の構造に比べて試料室の幅を底板の幅一杯まで大きくすることができる。

また、実施例１〜３で示される各実施例の装置の構成要素では電子顕微鏡本体の重量が最も重いため、底板面内での装置全体の重心位置は、底板の中心（図７の一点鎖線の交点）よりも電子顕微鏡本体側に位置している。そこで各実施例では、底板を支える脚部の数を、制御系側よりも電子顕微鏡本体側で多くしている。図７の例では、一対の第１脚部７０８を制御系側に一組配置し、一対の第２脚部７０７を電子顕微鏡本体側に二組配置している。これにより、底板７０１を支える各脚部への荷重を平均化させている。

１，２０１，３０１，６０１ 電子銃
２，２０２，３０２，６０４ 試料室
３，２０３，３０３，６０２ レンズ系
４，２０４，３０４，６０５ 試料ステージ
５，２０５，３０５，６０６ 電子顕微鏡本体
９，２０９，３０９ メインポンプ
１２，３１２，６１１，７０１ 底板
１３，１４，２０７，２１１，３１３，３１４，６１２ ダンパー
１７ 電子源
１８ 電子線
１９ ウェネルト電極
２０ アノード電極
２１ 第一のクロスオーバー
２２ 第一のコンデンサレンズ
２３ 第二のコンデンサレンズ
２４ 第二のクロスオーバー
２５ 対物レンズ
２６ 第三のクロスオーバー
２７ 対物絞り
２８ 試料台
２９ ばね
３０，３２，３４ ピン
３１ 板
３３ 張力
３５ シャーシ
３６ シャーシに設けられた穴
１０６，３１７，６１６ 脚部
１０７ 底板の上面
１０８ 開口部
２０６ 荷重板
２０８ 第１架台
２１０ 配管
２１２ モニタ
２１３ 第２架台
２１４ 制御部
２１５ コンピュータ
３１５，６１３ 制御系
３１６，６１４ カバー
５００，６０９ 第２脚部
５０１ フランジ
６０３，７０４ 主排気ポンプ
６０７ 開口穴
６０８ 防振用緩衝器
６１０ 筺体
６１５ 第１脚部
６２９ 第２脚部受け部材
７０２ 電子銃の位置
７０３ 走査電子顕微鏡本体の底板への投影面
７０５ 制御手段の底板への投影面
７０６ 冷却用ファンの位置
７０７ 一対の第２脚部
７０８，７０９ 一対の第１脚部

Claims (14)

1. 電子光学カラムと試料室とを含む走査電子顕微鏡本体と、当該走査電子顕微鏡本体の制御手段とが同一の筐体内に配置される走査電子顕微鏡において、
   前記筐体、前記走査電子顕微鏡本体および前記制御手段の下部に配置された底板と、
   前記底板の前記制御手段側の底面に設けられた第１脚部と、
   前記底板の前記走査電子顕微鏡側に設けられた開口と、
   前記走査電子顕微鏡本体の底面に固定され、かつ前記開口を貫通するよう配置されるダンパーとを備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。
2. 請求項１に記載の走査電子顕微鏡において、
   前記ダンパーが設置面に対して直接接触するように構成されたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
3. 請求項１に記載の走査電子顕微鏡において、
   前記開口の下部に設けられた第２脚部を備え、
   前記ダンパーが第２脚部の内壁面に固定されたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
4. 請求項１に記載の走査電子顕微鏡において、
   前記底板ないし前記筐体の動きに前記走査電子顕微鏡本体を追従させるための追従機構を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
5. 請求項４に記載の走査電子顕微鏡において、
   前記追従機構は、
   前記ダンパーと固定され、かつ前記底板の設置面側に当該底板とは離間して設けられる板部材と、
   前記板部材と底板の間に設けられたばねと、
   当該ばねを前記底板の底面および前記板部材の表面に固定する固定手段とを備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。
6. 請求項１に記載の走査電子顕微鏡において、
   前記底板の上面側に設けられ、かつ開口を有するシャーシと、
   前記試料室に取り付けられ、かつ前記開口に挿入されたピンとを備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
7. 電子光学カラムと試料室とを含む走査電子顕微鏡本体と、当該走査電子顕微鏡本体の制御手段とが同一の筐体内に配置される走査電子顕微鏡において、
   前記筐体、前記走査電子顕微鏡本体および前記制御手段の下部に配置された底板と、
   前記底板の前記制御手段側の底面に設けられた第１脚部と、
   前記底板の前記走査電子顕微鏡側の底面に設けられた第２脚部と、
   前記走査電子顕微鏡本体の底面に固定され、かつ前記第２脚部と同軸に固定されたダンパーとを備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。
8. 請求項７に記載の走査電子顕微鏡において、
   前記ダンパーが、前記底板に設けられた貫通孔を介して前記ダンパーの内壁面と固定されたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
9. 請求項７に記載の走査電子顕微鏡において、
   前記第２脚部は、前記底板とは別の部材により構成されることを特徴とする走査電子顕微鏡。
10. 請求項７に記載の走査電子顕微鏡において、
    前記第２脚部は、前記底板と一体成型された部材であることを特徴とする走査電子顕微鏡。
11. 請求項７に記載の走査電子顕微鏡において、
    前記第２脚部の底面に設けられた受け部材を更に備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。
12. 請求項７に記載の走査電子顕微鏡において、
    前記ダンパーは前記走査電子顕微鏡本体の下面に少なくとも４つ配置され、
    前記第１脚部は、前記底板の前記制御手段側下面に少なくとも２つ配置されることを特徴とする走査電子顕微鏡。
13. 電子光学カラムと試料室とを含む走査電子顕微鏡本体と、当該走査電子顕微鏡本体の制御手段とが同一の筐体内に配置される走査電子顕微鏡において、
    前記筺体の底板の前記制御手段側の底面に複数の脚部が設けられ、
    前記底板の前記走査電子顕微鏡側に複数の開口が設けられ、
    前記走査電子顕微鏡本体の下面に固定された複数のダンパーが、前記複数の開口を貫通するように配置され、且つ、底板の脚部の内壁面に固定され、
    更に、前記底板の脚部の数は、前記底板の前記走査電子顕微鏡本体側で前記制御手段側よりも多いことを特徴とする走査電子顕微鏡。
14. 請求項１３に記載の走査電子顕微鏡において、
    前記複数のダンパーが固定される底板の脚部が、底板とは別の部材により構成されることを特徴とする走査電子顕微鏡。

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