JP7336594B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents

Description

本発明は、荷電粒子線装置に関し、より詳細には、イオンポンプを備える荷電粒子線装置に関する。

走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡、及び半導体検査装置などの荷電粒子線装置は、鏡筒の上部に配置された荷電粒子線源で発生させた荷電粒子線を、試料室の内部に配置された試料に照射し、この照射によって得られる荷電粒子などを検出して、試料の形状や組成に関する情報などを可視化する装置である。荷電粒子線装置は、マイクロメートル、ナノメートル、またはサブナノメートル領域の高い分解能で試料の形状や組成に関する情報などを得ることができるため、現在では、例えば半導体デバイスの製造現場などにおいて広く利用されている。

荷電粒子線装置の鏡筒の内部には、荷電粒子線の試料への照射や結像などのために電子レンズが備えられている。最近では、荷電粒子線装置の高分解能化や高スループット化などの要求に応えるために、電子レンズが多段化したり複雑化したりし、これに伴って鏡筒が長大化してきた。

荷電粒子線装置では、荷電粒子線源の近傍、すなわち鏡筒の上部にイオンポンプが接続され、イオンポンプによって超高真空を維持することで、荷電粒子線源の汚染を防いでいる。イオンポンプは、鏡筒の上部に片持ち支持で接続されていること、すなわち一端だけが鏡筒に接続されて支持されていることが多い。このため、試料を移動させるステージを駆動した際に発生する反力が試料室に作用すると、鏡筒を介して、イオンポンプの固有振動が励起される。

イオンポンプは、磁石を含む部品で構成されている。このため、荷電粒子線装置では、イオンポンプの固有振動に伴う磁場変動によって荷電粒子線が揺らされ、観察画質が悪化する。観察に影響を及ぼす程度に観察画質が悪化している間は、観察を中断する必要があり、スループットが低下する。スループットの向上のためには、ステージ駆動直後のイオンポンプの固有振動を速やかに減衰させる必要がある。

特許文献１には、イオンポンプの固有振動を減衰させることができる荷電粒子線装置の例が記載されている。特許文献１に記載の荷電粒子線装置では、試料室に固定されたフレームと鏡筒に接続されたイオンポンプとの間に粘弾性体シートを備える振動吸収体が設けられ、イオンポンプの固有振動を短時間で減衰させる。

特許文献２には、一端が試料室に固定され、他端が鏡筒に固定された制振部材を備え、制振部材が粘弾性シートを備えて、鏡筒の傾きと上下方向の振動を抑制する荷電粒子線装置が記載されている。

特許文献３には、複数の鏡筒を備えており、一端が１つの鏡筒に取り付けられ、他端が別の鏡筒に取り付けられた接続部材を備え、接続部材が粘弾性シートを備えて、複数の鏡筒の振動を抑制する荷電粒子線装置が記載されている。

特開２０１１－００３４１４号公報 国際公開第２０１１／０４３３９１号 特開２０１７－１５２２７６号公報

特許文献１に記載の発明では、荷電粒子線装置において、イオンポンプの固有振動を減衰させるために、振動吸収体とフレームとを用いてイオンポンプを試料室から支持する。荷電粒子線装置では、前述したように、電子レンズの多段化と複雑化のために鏡筒が長大化してきた。鏡筒が長大化すると、イオンポンプと試料室との間隔が大きくなり、特許文献１に開示されているようにイオンポンプを試料室から支持すると、支持体であるフレームが大型化する。支持体が大型化すると、荷電粒子線装置全体の重量が増すとともに製造コストが増大し、好ましくない。

特許文献２と特許文献３に開示されているように、粘弾性体を備える部材で鏡筒を支持すると、鏡筒の振動を減衰させることはできても、鏡筒に接続されたイオンポンプの固有振動を減衰させることができない。

本発明は、鏡筒の長さに依存せず、鏡筒に接続されたイオンポンプの固有振動を減衰させることができる荷電粒子線装置を提供することを目的とする。

本発明による荷電粒子線装置は、荷電粒子線を試料に照射するための鏡筒と、前記鏡筒に接続され、前記鏡筒の内部を排気するイオンポンプと、一端が前記イオンポンプに接続され、他端が前記鏡筒に接続された支持部材とを備える。前記支持部材は、前記鏡筒の中心軸に対して略平行に配置された粘弾性体を備える。

本発明によると、鏡筒の長さに依存せず、鏡筒に接続されたイオンポンプの固有振動を減衰させることができる荷電粒子線装置を提供することができる。

従来の荷電粒子線装置の全体構成を示す概略図。 イオンポンプの固有振動のモードの向きを説明する図。 図２Ａに示した鏡筒、フランジ、配管、及びイオンポンプの上面図。 図２Ａに示した鏡筒、フランジ、配管、及びイオンポンプの右側面図。 図２Ａに示した鏡筒、フランジ、配管、及びイオンポンプの正面図。 本発明の実施例１による荷電粒子線装置の全体構成を示す概略図。 積層構造体の構成の一例を示す図。 積層構造体を備える支持部材の分解図。 積層構造体を備える支持部材が接続された鏡筒とイオンポンプを示す図。 本発明の実施例２による荷電粒子線装置の全体構成を示す概略図。 本発明の実施例２による荷電粒子線装置において、支持部材が１つの粘弾性体を備える構成を示す概略図。 本発明の実施例２による荷電粒子線装置において、第一の鏡筒側支持体が鏡筒の複数の箇所に接続する構成を示す斜視図。 本発明の実施例２による荷電粒子線装置において、第一の鏡筒側支持体が鏡筒の複数の箇所に接続する構成を示す断面図。 本発明の実施例３による荷電粒子線装置において、支持部材と鏡筒を示す斜視図。 ２つのイオンポンプがｚ方向に並んで鏡筒に接続され連結材で互いに接続された構成における、イオンポンプの固有振動を説明する図。 図１０Ａに示した鏡筒、フランジ、配管、第一イオンポンプ、第二イオンポンプ、及び連結材の上面図。 図１０Ａに示した鏡筒、フランジ、配管、第一イオンポンプ、第二イオンポンプ、及び連結材の右側面図。 図１０Ａに示した鏡筒、フランジ、配管、第一イオンポンプ、第二イオンポンプ、及び連結材の正面図。 本発明の実施例４による荷電粒子線装置において、鏡筒、第一イオンポンプ、及び第二イオンポンプを示す斜視図。 図１１に示した荷電粒子線装置において、粘弾性体１１８Ｄを備えない構成を示す図。 図１１に示した荷電粒子線装置において、粘弾性体１１８Ａを備えない構成を示す図。 本発明の実施例４による荷電粒子線装置において、第二の支持部材が鏡筒に直接、接続する構成を示す斜視図。 本発明の実施例４による荷電粒子線装置において、第二の支持部材が鏡筒に直接、接続する構成を示す断面図。

本発明による荷電粒子線装置は、荷電粒子線を試料に照射するための鏡筒と、鏡筒に接続されたイオンポンプと、イオンポンプに接続された支持部材を備える。支持部材は、イオンポンプと鏡筒に接続されており、鏡筒の中心軸に対して略平行に配置された粘弾性体を備える。本発明による荷電粒子線装置は、イオンポンプを試料室から支持する必要がないため、鏡筒の長さに依存せず、イオンポンプの固有振動を短時間のうちに減衰させることができる。したがって、本発明による荷電粒子線装置は、イオンポンプの支持部材を大型化することなく、高分解能の観察画像を高速に取得でき、スループットを向上することができる。

初めに、従来の荷電粒子線装置について説明する。なお、荷電粒子線装置において、試料に照射する荷電粒子線は、電子線やイオンビームである。以下では、一例として、電子線を試料に照射する荷電粒子線装置について説明する。

図１は、従来の荷電粒子線装置１００の全体構成を示す概略図である。従来の荷電粒子線装置１００は、鏡筒１０１、イオンポンプ１０４、試料室１０９、及びステージ１１０を備える。

鏡筒１０１は、上部に電子銃１０５が配置されており、電子銃１０５から放出された電子線１０６を電子レンズ１０７で集束させる。鏡筒１０１の中心軸を鏡筒中心軸１１４と呼ぶ。鏡筒中心軸１１４と平行な方向は、鉛直方向である。

イオンポンプ１０４は、配管１０３とフランジ１０２を介して、鏡筒１０１の上部に片持ち支持で（すなわち、一端だけで）接続されている。イオンポンプ１０４は、鏡筒１０１の上部を超高真空状態に維持する。

試料室１０９は、ターボ分子ポンプ１１１とドライポンプ１１２によって真空に排気されており、内部に観察対象の試料１０８が配置される。なお、試料室１０９は、除振マウント１１３で支持され、床振動から絶縁される。

ステージ１１０は、試料室１０９の内部に備えられ、駆動して試料１０８を移動させる。試料１０８は、観察時にステージ１１０に載置される。

電子線１０６は、電子レンズ１０７によって、試料１０８上に電子スポットとして集束する。試料１０８の観察時には、電子スポットは、走査コイル（図示せず）により、プローブとして試料１０８上を移動する。このとき発生する信号（電子）は、検出器（図示せず）で電気信号に変換され、電子スポットの座標と組み合わされて、試料１０８の形状や組成に関する情報などとして可視化される。

以下の説明では、図１において、鏡筒１０１からみてイオンポンプ１０４が接続されている方向をｘ方向と定義し、ｘ方向と直交し、かつ鏡筒中心軸１１４に直交する方向をｙ方向と定義し、鏡筒中心軸１１４と平行な方向（鉛直方向）をｚ方向と定義する。また、ｘ軸、ｙ軸、及びｚ軸の周りの回転方向を、それぞれθｘ、θｙ、及びθｚで表す。さらに、イオンポンプ１０４を六面体として扱い、配管１０３が接続されておりフランジ１０２及び鏡筒１０１と向かい合う面とは反対側の面を、取付面１１５と呼ぶ。イオンポンプ１０４の取付面１１５は、ｙｚ面と平行である。

ｘｙ面は、ｚ方向に垂直な面、すなわち、鏡筒中心軸１１４（鉛直方向）に垂直な面である。ｙｚ面は、ｘ方向に垂直な面、すなわち、鏡筒１０１からみてイオンポンプ１０４が接続されている方向に垂直な面である。ｚｘ面は、ｙ方向に垂直な面、すなわち、ｘ方向とｚ方向に平行な面である。

図２Ａは、イオンポンプ１０４の固有振動のモードの向きを説明する図である。ステージ１１０を駆動した際に発生する反力が試料室１０９に作用すると、この反力が鏡筒１０１、フランジ１０２、及び配管１０３を介してイオンポンプ１０４に伝わり、イオンポンプ１０４の固有振動がθｘ、θｙ、及びθｚ方向に励起されることが、実験及び解析から明らかになった。イオンポンプ１０４の固有振動のθｘ方向のモードは、イオンポンプ１０４が、配管１０３を中心にしてｘ軸の周りに回転するモードである。θｙ方向のモードは、イオンポンプ１０４が、配管１０３とイオンポンプ１０４の接続部を中心にしてｙ軸の周りに回転するモードである。θｚ方向のモードは、イオンポンプ１０４が、配管１０３とイオンポンプ１０４の接続部を中心にしてｚ軸の周りに回転するモードである。

図２Ｂ、図２Ｃ、及び図２Ｄは、ｚｘ面を正面としたときの、図２Ａに示した鏡筒１０１、フランジ１０２、配管１０３、及びイオンポンプ１０４の、それぞれ上面図、右側面図、及び正面図である。図２Ｂに示すように、θｚ方向のモードは、ｘｙ面（紙面）と平行な成分を持つ。図２Ｃに示すように、θｘ方向とθｙ方向とθｚ方向のモードは、いずれもｙｚ面（紙面）と平行な成分をもつ。図２Ｄに示すように、θｙ方向のモードは、ｚｘ面（紙面）と平行な成分を持つ。

イオンポンプ１０４は、磁石を含む部品で構成されている。このため、イオンポンプ１０４の振動に伴って発生する磁場変動によって電子線１０６が揺らされ、観察画質が悪化する。観察に影響を及ぼす程度に観察画質が悪化している間は、観察を中断する必要があり、スループットが低下する。スループットの向上のためには、ステージ１１０を駆動して試料１０８を観察位置へと移動させた直後のイオンポンプ１０４の固有振動を、速やかに（例えば、０．１秒以内に）減衰させる必要がある。

以下、本発明の実施例による荷電粒子線装置を、図面を用いて説明する。なお、本明細書で用いる図面において、同一のまたは対応する構成要素には同一の符号を付け、これらの構成要素については繰り返しの説明を省略する場合がある。

以下の実施例では、一例として、電子線１０６を試料１０８に照射する荷電粒子線装置について説明し、荷電粒子線装置として半導体検査装置を例に挙げて説明する。なお、前述したように、荷電粒子線装置において試料１０８に照射する荷電粒子線は、電子線やイオンビームであり、本発明による荷電粒子線装置は、イオンビームを試料１０８に照射することもできる。また、以下の実施例で説明する内容は、イオンポンプ１０４の固有振動を減衰させる構成に限らず、試料１０８の観察時に鏡筒１０１に取り付けられた機器（例えば、検出器、対物絞り、サイドエントリステージ、フィードスルー、または非蒸発型ゲッターポンプなど）の振動を減衰させる構成に対しても適用することができる。

本発明の実施例１による荷電粒子線装置を説明する。

図３は、本実施例による荷電粒子線装置１の全体構成を示す概略図である。本実施例による荷電粒子線装置１は、鏡筒１０１とイオンポンプ１０４とに支持部材１１７が接続されている点が、図１に示した従来の荷電粒子線装置１００と異なる。以下では、本実施例による荷電粒子線装置１について、従来の荷電粒子線装置１００と異なる点を主に説明する。

鏡筒１０１は、従来の荷電粒子線装置１００と同様に、荷電粒子線（電子線１０６）を試料１０８に照射するための部材である。鏡筒１０１の中心軸である鏡筒中心軸１１４は、鉛直方向（ｚ方向）に平行である。

イオンポンプ１０４は、一端が配管１０３とフランジ１０２を介して鏡筒１０１の上部に接続され、鏡筒１０１の内部を排気して超高真空状態に維持する。

支持部材１１７は、イオンポンプ側支持体１１９と、鏡筒側支持体１２０と、粘弾性体１１８を備え、一端がイオンポンプ１０４に接続され、他端が鏡筒１０１に接続されており、イオンポンプ１０４の振動を減衰させる部材である。イオンポンプ側支持体１１９は、イオンポンプ１０４と接続する。鏡筒側支持体１２０は、鏡筒１０１と接続する。粘弾性体１１８は、鏡筒中心軸１１４に対して略平行に配置されており、イオンポンプ側支持体１１９と鏡筒側支持体１２０の間に配置される。図３では、粘弾性体１１８は、ｙｚ面と略平行に配置されている。

イオンポンプ１０４は、一端が鏡筒１０１に接続され、他端が支持部材１１７に接続されている。支持部材１１７が鏡筒１０１に接続されているので、イオンポンプ１０４の他端は、支持部材１１７を介して鏡筒１０１に接続されている。

本実施例による荷電粒子線装置１では、イオンポンプ１０４は、一端が鏡筒１０１に接続され、他端が粘弾性体１１８を備える支持部材１１７を介して鏡筒１０１に接続されているので、鏡筒１０１の長さに依存せず、鏡筒１０１に接続されたイオンポンプ１０４の固有振動を減衰させることができる。

図２Ｃを用いて説明したように、θｘ方向とθｙ方向とθｚ方向に励起されるイオンポンプ１０４の固有振動は、ｙｚ面と平行な成分をもつ。本実施例では、図３に示すように、粘弾性体１１８がｙｚ面と略平行に配置されているので、粘弾性体１１８は、θｘ方向とθｙ方向とθｚ方向のどの方向に励起されるイオンポンプ１０４の固有振動に対しても減衰させることができる。

イオンポンプ１０４の固有振動を十分に減衰させるためには、粘弾性体１１８には、鏡筒１０１、イオンポンプ１０４、イオンポンプ側支持体１１９、及び鏡筒側支持体１２０を構成する材料よりも、大きな減衰比を有する材料（例えば、ゴムなどの高分子材料）を用いるのが好ましい。

粘弾性体１１８の形状は、任意であり、例えばシート状やコイン状とすることができる。イオンポンプ１０４の振動の減衰を大きくしたいときには、粘弾性体１１８の厚さを減らしたり、粘弾性体１１８の面積を増やしたりすればよい。

粘弾性体１１８は、鏡筒中心軸１１４に対して、必ずしも平行に配置されていなくてもよい。例えば、粘弾性体１１８のシート面（イオンポンプ側支持体１１９または鏡筒側支持体１２０に接する面）と鏡筒中心軸１１４との角度（すなわち、粘弾性体１１８のｚ方向に対する角度）が３０度以下であれば、イオンポンプ１０４の固有振動を十分に減衰させることができる。

また、粘弾性体１１８のシート面は、必ずしもｙｚ面と平行でなくてもよい。例えば、粘弾性体１１８のシート面とｙｚ面との角度が３０度以下であれば、イオンポンプ１０４の固有振動を十分に減衰させることができる。

粘弾性体１１８の材料として高分子材料を用いると、粘弾性体１１８は、イオンポンプ１０４のベーキング時の高温には耐えられない。したがって、ベーキング時には、粘弾性体１１８をイオンポンプ１０４から取り外す必要がある。粘弾性体１１８は、イオンポンプ１０４から容易に取り外すことができるように、例えば図４に示すような積層構造体１２１で置き換えることができる。

図４は、積層構造体１２１の構成の一例を示す図である。積層構造体１２１は、第一の支持体１２２と、粘弾性体１２３と、第二の支持体１２４を備える。粘弾性体１２３は、第一の支持体１２２と第二の支持体１２４の間に配置される。積層構造体１２１は、粘弾性体１２３を挟み込んだ第一の支持体１２２と第二の支持体１２４を、接着剤や両面テープなどで固定した構造としてもよい。

第一の支持体１２２と第二の支持体１２４の材料には、粘弾性体１２３の材料（例えば、ゴムなどの高分子材料）よりも、小さな減衰比を有する材料（例えば、金属やセラミックなど）を用いるのが好ましい。第一の支持体１２２と第二の支持体１２４の厚さは、粘弾性体１２３の厚さと同じか、粘弾性体１２３の厚さより大きいのが望ましい。第一の支持体１２２と第二の支持体１２４には、他の部品に取り付けることができるように、ネジ穴（図示せず）を設けてもよい。

図５Ａは、積層構造体１２１を備える支持部材１１７の分解図である。図５Ｂは、積層構造体１２１を備える支持部材１１７が接続された鏡筒１０１とイオンポンプ１０４を示す図である。支持部材１１７は、イオンポンプ側支持体１１９と積層構造体１２１と鏡筒側支持体１２０を備える。

図５Ａに示すように、イオンポンプ１０４の取付面１１５と支持部材１１７のイオンポンプ側支持体１１９とが接続される。イオンポンプ側支持体１１９と積層構造体１２１の第一の支持体１２２とが接続される。第一の支持体１２２と第二の支持体１２４は、粘弾性体１２３を挟み込んで積層構造体１２１を構成している。積層構造体１２１の第二の支持体１２４と支持部材１１７の鏡筒側支持体１２０の一端とが接続される。鏡筒側支持体１２０の他端と鏡筒１０１とが接続される。なお、支持部材１１７をイオンポンプ１０４と鏡筒１０１とに接続する工程では、上記に記載した順序で接続しなくてもよい。

上記の接続にボルトやネジなどの固定部材１２５を用いると、イオンポンプ１０４のベーキング時に積層構造体１２１をイオンポンプ１０４から容易に取り外すことができる。なお、上記の接続には、全てに固定部材１２５を用いなくてもよく、一部を溶接や接着などの方法で接続してもよい。

イオンポンプ１０４は、製作時に一部の部品を溶接して組み立てるため、寸法のばらつきが避けられず、イオンポンプ１０４の取付面１１５の位置に数ミリメートル程度の取り付け誤差が生じることがある。そこで、イオンポンプ側支持体１１９の固定部材１２５が通る穴を、固定部材１２５の径より大きな径を持つ穴や長円穴とすることで、取付面１１５でのイオンポンプ側支持体１１９の位置を移動させ、取付面１１５に対するイオンポンプ側支持体１１９の位置を調整することができる。

なお、支持部材１１７そのものの振動に伴う磁場変動を抑制するために、支持部材１１７は、一部または全部が非磁性体材料で構成されているのが望ましい。すなわち、支持部材１１７を構成するイオンポンプ側支持体１１９と、粘弾性体１１８と、鏡筒側支持体１２０と、積層構造体１２１を構成する第一の支持体１２２と、粘弾性体１２３と、第二の支持体１２４と、接続に用いる固定部材１２５は、一部または全部が非磁性体材料で構成されているのが望ましい。

本発明の実施例２による荷電粒子線装置１を説明する。

図６は、本実施例による荷電粒子線装置１の全体構成を示す概略図である。本実施例による荷電粒子線装置１は、支持部材１１７の構成が、図３に示した実施例１による荷電粒子線装置１と異なる。以下では、本実施例による荷電粒子線装置１について、実施例１による荷電粒子線装置１と異なる点を主に説明する。

支持部材１１７は、イオンポンプ側支持体１１９と、粘弾性体１１８Ｂと、第二の鏡筒側支持体１２８Ｂと、粘弾性体１１８Ａと、第一の鏡筒側支持体１２８Ａを備え、イオンポンプ１０４と鏡筒１０１とに接続され、イオンポンプ１０４の振動を減衰させる部材である。

イオンポンプ側支持体１１９は、イオンポンプ１０４と接続する。粘弾性体１１８Ｂは、ｙｚ面と略平行に（すなわち、鏡筒中心軸１１４に対して略平行に）配置されており、イオンポンプ側支持体１１９と第二の鏡筒側支持体１２８Ｂの間に配置される。第二の鏡筒側支持体１２８Ｂは、粘弾性体１１８Ｂと粘弾性体１１８Ａとを接続する。粘弾性体１１８Ａは、ｘｙ面と略平行に（すなわち、鏡筒中心軸１１４に対して略直交するように）配置されており、第二の鏡筒側支持体１２８Ｂと第一の鏡筒側支持体１２８Ａの間に配置される。第一の鏡筒側支持体１２８Ａは、鏡筒１０１と接続する。

本実施例による荷電粒子線装置１では、イオンポンプ１０４は、一端が鏡筒１０１に接続され、他端が粘弾性体１１８Ａ、１１８Ｂを備える支持部材１１７を介して鏡筒１０１に接続されているので、鏡筒１０１の長さに依存せず、鏡筒１０１に接続されたイオンポンプ１０４の固有振動を減衰させることができる。

図２Ｂを用いて説明したように、イオンポンプ１０４の固有振動のうちθｚ方向に励起されるモードは、ｘｙ面と平行な成分を持つ。本実施例では、図６に示すように、粘弾性体１１８Ａがｘｙ面と略平行に配置されているので、粘弾性体１１８Ａは、θｚ方向に励起されるイオンポンプ１０４の固有振動を減衰させることができる。また、粘弾性体１１８Ｂがｙｚ面と略平行に配置されているので、粘弾性体１１８Ｂは、実施例１で説明したように、θｘ方向とθｙ方向とθｚ方向のどの方向に励起されるイオンポンプ１０４の固有振動に対しても減衰させることができる。

本実施例による荷電粒子線装置１では、図６に示すように、支持部材１１７が粘弾性体１１８Ａ、１１８Ｂを備えるので、θｘ方向とθｙ方向とθｚ方向に励起されるイオンポンプ１０４の固有振動の全てを減衰させることができ、特にθｚ方向に励起される固有振動を大きく減衰させることができる。

粘弾性体１１８Ａ、１１８Ｂの形状は、任意であり、例えばシート状やコイン状とすることができる。

粘弾性体１１８Ａは、鏡筒中心軸１１４に対して、必ずしも直交するように配置されていなくてもよく、粘弾性体１１８Ｂは、鏡筒中心軸１１４に対して、必ずしも平行に配置されていなくてもよい。例えば、粘弾性体１１８Ａのシート面（第一の鏡筒側支持体１２８Ａまたは第二の鏡筒側支持体１２８Ｂに接する面）と鏡筒中心軸１１４との角度（すなわち、粘弾性体１１８Ａのｚ方向に対する角度）が３０度以下であり、粘弾性体１１８Ｂのシート面（イオンポンプ側支持体１１９または第二の鏡筒側支持体１２８Ｂに接する面）と鏡筒中心軸１１４との角度（すなわち、粘弾性体１１８Ｂのｚ方向に対する角度）が３０度以下であれば、イオンポンプ１０４の固有振動を十分に減衰させることができる。

また、粘弾性体１１８Ａのシート面は、必ずしもｘｙ面と平行でなくてもよく、粘弾性体１１８Ｂのシート面は、必ずしもｙｚ面と平行でなくてもよい。例えば、粘弾性体１１８Ａのシート面とｘｙ面との角度が３０度以下であり、粘弾性体１１８Ｂのシート面とｙｚ面との角度が３０度以下であれば、イオンポンプ１０４の固有振動を十分に減衰させることができる。

粘弾性体１１８Ａ、１１８Ｂの一部または全部は、イオンポンプ１０４から容易に取り外すことができるように、例えば図４に示したような積層構造体１２１で置き換えることができる。

また、粘弾性体１１８Ａ、１１８Ｂは、１つの粘弾性体で構成することもできる。

図７は、本実施例による荷電粒子線装置１において、支持部材１１７が１つの粘弾性体１１８Ｃを備える構成を示す概略図である。粘弾性体１１８Ｃは、図６に示した粘弾性体１１８Ａ、１１８Ｂに置き換わって、支持部材１１７に設けられる。粘弾性体１１８Ｃは、ｙｚ面と略平行な面と、ｘｙ面と略平行な面を備える。ｙｚ面と略平行な面は、イオンポンプ側支持体１１９と第二の鏡筒側支持体１２８Ｂの間に位置し、図６に示した粘弾性体１１８Ｂの役割を果たす。ｘｙ面と略平行な面は、第二の鏡筒側支持体１２８Ｂと第一の鏡筒側支持体１２８Ａの間に位置し、図６に示した粘弾性体１１８Ａの役割を果たす。

また、支持部材１１７の第一の鏡筒側支持体１２８Ａは、図８Ａと図８Ｂに示すように、鏡筒１０１の複数の箇所に接続することもできる。

図８Ａと図８Ｂは、本実施例による荷電粒子線装置１において、第一の鏡筒側支持体１２８Ａが鏡筒１０１の複数の箇所に接続する構成を示す概略図である。図８Ａは、支持部材１１７と鏡筒１０１を示す斜視図である。図８Ｂは、支持部材１１７と鏡筒１０１を示す断面図である。図８Ａと図８Ｂには、一例として、第一の鏡筒側支持体１２８Ａが鏡筒１０１の２箇所に接続する構成を示している。

第一の鏡筒側支持体１２８Ａは、少なくとも１つのステー支持部１３１と、複数のステー１３０と、複数の鏡筒接続部１２９を備える。ステー支持部１３１は、第二の鏡筒側支持体１２８Ｂとの間で粘弾性体１１８Ａを挟むとともに、ステー１３０を支持する部材である。ステー１３０は、ステー支持部１３１と鏡筒接続部１２９を接続する保持部材であり、支持部材１１７を鏡筒１０１の複数の箇所に接続する。鏡筒接続部１２９は、鏡筒１０１の周方向の複数の箇所に設けられ、ステー１３０が接続する部材である。

支持部材１１７の第一の鏡筒側支持体１２８Ａは、複数のステー１３０により、鏡筒１０１の複数の箇所に接続されている。

図８Ａと図８Ｂに示すように、支持部材１１７の第一の鏡筒側支持体１２８Ａが、鏡筒１０１の周方向の（すなわち、ｘｙ面上の）複数の箇所で鏡筒１０１に接続する構成では、図５Ｂに示したような支持部材１１７が１箇所で鏡筒１０１に接続する構成よりも、鏡筒１０１に対するイオンポンプ１０４のｘｙ面上の支持剛性が増大する。このため、イオンポンプ１０４の固有振動のモードうち、特にθｚ方向に励起されるモード（図２Ｂ）に対して大きな減衰を与えることができる。

本発明の実施例３による荷電粒子線装置１を説明する。

図９は、本実施例による荷電粒子線装置１において、支持部材１１７と鏡筒１０１を示す斜視図である。本実施例による荷電粒子線装置１は、支持部材１１７の構成が、図８Ａと図８Ｂに示した実施例２による荷電粒子線装置１と異なる。図９には、一例として、図８Ａと図８Ｂに示した荷電粒子線装置１と同様に、支持部材１１７の第一の鏡筒側支持体１２８Ａが、複数の箇所で鏡筒１０１に接続する荷電粒子線装置１を示している。以下では、本実施例による荷電粒子線装置１について、図８Ａと図８Ｂに示した荷電粒子線装置１と異なる点を主に説明する。

支持部材１１７は、イオンポンプ側支持体１１９と、粘弾性体１１８Ｂと、第二の鏡筒側支持体１２８Ｂと、粘弾性体１１８Ａと、第一の鏡筒側支持体１２８Ａを備え、イオンポンプ１０４と鏡筒１０１とに接続され、イオンポンプ１０４の振動を減衰させる部材である。

イオンポンプ側支持体１１９は、イオンポンプ１０４と接続する。粘弾性体１１８Ｂは、鏡筒中心軸１１４に対して略平行で、ｚｘ面と略平行（すなわち、鏡筒中心軸１１４に対して略平行に）に配置されており、イオンポンプ側支持体１１９と第二の鏡筒側支持体１２８Ｂの間に配置される。図９では、粘弾性体１１８Ｂは、イオンポンプ１０４の２つの側面（ｚｘ面）にそれぞれ配置されている。第二の鏡筒側支持体１２８Ｂは、粘弾性体１１８Ｂと粘弾性体１１８Ａとを接続する。図９では、第二の鏡筒側支持体１２８Ｂは、イオンポンプ１０４と粘弾性体１１８Ｂを覆うように設置されている。粘弾性体１１８Ａは、ｘｙ面と略平行に（すなわち、鏡筒中心軸１１４に対して略直交するように）配置されており、第二の鏡筒側支持体１２８Ｂと第一の鏡筒側支持体１２８Ａの間に配置される。第一の鏡筒側支持体１２８Ａは、ステー支持部１３１とステー１３０と鏡筒接続部１２９を備え、鏡筒１０１と接続する。

本実施例による荷電粒子線装置１では、イオンポンプ１０４は、一端が鏡筒１０１に接続され、他端が粘弾性体１１８Ａ、１１８Ｂを備える支持部材１１７を介して鏡筒１０１に接続されているので、鏡筒１０１の長さに依存せず、鏡筒１０１に接続されたイオンポンプ１０４の固有振動を減衰させることができる。

図２Ｂを用いて説明したように、イオンポンプ１０４の固有振動のうちθｚ方向に励起されるモードは、ｘｙ面と平行な成分を持つ。図２Ｄを用いて説明したように、θｙ方向に励起されるモードは、ｚｘ面と平行な成分を持つ。本実施例では、図９に示すように、粘弾性体１１８Ａがｘｙ面と略平行に配置されているので、粘弾性体１１８Ａは、θｚ方向に励起されるイオンポンプ１０４の固有振動を減衰させることができる。また、粘弾性体１１８Ｂがｚｘ面と略平行に配置されているので、粘弾性体１１８Ｂは、θｙ方向に励起されるイオンポンプ１０４の固有振動を減衰させることができる。

粘弾性体１１８Ａ、１１８Ｂの形状は、任意であり、例えばシート状やコイン状とすることができる。

粘弾性体１１８Ａは、鏡筒中心軸１１４に対して、必ずしも直交するように配置されていなくてもよく、粘弾性体１１８Ｂは、鏡筒中心軸１１４に対して、必ずしも平行に配置されていなくてもよい。例えば、粘弾性体１１８Ａのシート面（第一の鏡筒側支持体１２８Ａまたは第二の鏡筒側支持体１２８Ｂに接する面）と鏡筒中心軸１１４との角度（すなわち、粘弾性体１１８Ａのｚ方向に対する角度）が３０度以下であり、粘弾性体１１８Ｂのシート面（イオンポンプ側支持体１１９または第二の鏡筒側支持体１２８Ｂに接する面）と鏡筒中心軸１１４との角度（すなわち、粘弾性体１１８Ｂのｚ方向に対する角度）が３０度以下であれば、イオンポンプ１０４の固有振動を十分に減衰させることができる。

また、粘弾性体１１８Ａのシート面は、必ずしもｘｙ面と平行でなくてもよく、粘弾性体１１８Ｂのシート面は、必ずしもｚｘ面と平行でなくてもよい。例えば、粘弾性体１１８Ａのシート面とｘｙ面との角度が３０度以下であり、粘弾性体１１８Ｂのシート面とｚｘ面との角度が３０度以下であれば、イオンポンプ１０４の固有振動を十分に減衰させることができる。

粘弾性体１１８Ａ、１１８Ｂの一部または全部は、イオンポンプ１０４から容易に取り外すことができるように、例えば図４に示したような積層構造体１２１で置き換えることができる。

本実施例（図９）では、支持部材１１７の粘弾性体１１８Ｂは、ｚｘ面と略平行に配置されている。実施例２（例えば、図８Ａ、８Ｂ）では、粘弾性体１１８Ｂは、ｙｚ面と略平行に配置されている。すなわち、本実施例では、粘弾性体１１８Ｂの向きが実施例２と異なる。本実施例の構成では、イオンポンプ１０４の側面（ｚｘ面）に粘弾性体１１８Ｂが配置されているので、イオンポンプ１０４の、鏡筒１０１が接続されている面と反対側の面（ｙｚ面）の周囲の空間を空けることができる。このため、本実施例の構成では、例えばベーキングヒーターのケーブルなどの配線を、イオンポンプ１０４の周囲に配置する作業を容易に行うことができる。

本発明の実施例４による荷電粒子線装置１を説明する。

実施例１から実施例３では、荷電粒子線装置１が１台のイオンポンプ１０４を備えている。本実施例による荷電粒子線装置１は、複数のイオンポンプ１０４を備える。以下では、一例として、荷電粒子線装置１が２台のイオンポンプ１０４（すなわち、第一イオンポンプと第二イオンポンプ）を備える構成について説明する。

半導体検査装置などの荷電粒子線装置１では、第一イオンポンプと第二イオンポンプの振動特性は、互いに同じであるか類似していることが多い。第一イオンポンプと第二イオンポンプの固有振動を減衰させるためには、実施例１から実施例３のいずれかで説明した支持部材１１７で鏡筒１０１と第一イオンポンプを接続し、さらに、実施例１から実施例３のいずれかで説明した支持部材１１７で鏡筒１０１と第二イオンポンプを接続することができる。

以下では、第一イオンポンプと第二イオンポンプの固有振動を減衰させるための、別の構成を説明する。

図１０Ａは、第一イオンポンプ１０４Ａと第二イオンポンプ１０４Ｂがｚ方向に並んで鏡筒１０１に接続され、かつ両イオンポンプが連結材１３３で互いに接続された構成における、イオンポンプの固有振動を説明する図である。第一イオンポンプ１０４Ａと第二イオンポンプ１０４Ｂは、振動特性が互いに同じであるか類似しているとする。

第一イオンポンプ１０４Ａと第二イオンポンプ１０４Ｂは、連結材１３３で互いに接続されただけでは、十分な制振効果が得られず、イオンポンプ１０４Ａ、１０４Ｂの固有振動が主にθｙ方向とθｚ方向に励起されることが、実験及び解析から明らかになった。

図１０Ｂ、図１０Ｃ、及び図１０Ｄは、ｚｘ面を正面としたときの、図１０Ａに示した鏡筒１０１、フランジ１０２、配管１０３、第一イオンポンプ１０４Ａ、第二イオンポンプ１０４Ｂ、及び連結材１３３の、それぞれ上面図、右側面図、及び正面図である。図１０Ｂに示すように、イオンポンプ１０４Ａ、１０４Ｂの固有振動のうち、θｚ方向に励起されるモードは、ｘｙ面（紙面）と平行な成分を持つ。図１０Ｃに示すように、θｙ方向とθｚ方向に励起されるモードは、いずれもｙｚ面（紙面）と平行な成分をもつ。図１０Ｄに示すように、θｙ方向に励起されるモードは、ｚｘ面（紙面）と平行な成分を持つ。

図１１は、本実施例による荷電粒子線装置１において、鏡筒１０１、第一イオンポンプ１０４Ａ、及び第二イオンポンプ１０４Ｂを示す斜視図である。本実施例による荷電粒子線装置１は、２つのイオンポンプ（第一イオンポンプ１０４Ａ、及び第二イオンポンプ１０４Ｂ）を備え、第一イオンポンプ１０４Ａと第二イオンポンプ１０４Ｂが支持部材１１７と第二の支持部材１５７で互いに接続されている点が、図９に示した実施例３による荷電粒子線装置１と異なる。以下では、本実施例による荷電粒子線装置１について、図９に示した荷電粒子線装置１と異なる点を主に説明する。

本実施例による荷電粒子線装置１では、鏡筒１０１と第一イオンポンプ１０４Ａとが、支持部材１１７（図９）で接続され、支持部材１１７と第二イオンポンプ１０４Ｂとが第二の支持部材１５７で接続されている。すなわち、第一イオンポンプ１０４Ａと第二イオンポンプ１０４Ｂは、支持部材１１７と第二の支持部材１５７で互いに接続されている。

第二の支持部材１５７は、第二イオンポンプ側支持体１３６と、粘弾性体１１８Ｄと、支持体１３７を備え、一端が第二イオンポンプ１０４Ｂに接続され、他端が支持部材１１７に接続されており、第一イオンポンプ１０４Ａと及び第二イオンポンプ１０４Ｂの振動を減衰させる部材である。

第二イオンポンプ側支持体１３６は、第二イオンポンプ１０４Ｂと接続する。粘弾性体１１８Ｄは、ｚｘ面と略平行に（すなわち、鏡筒中心軸１１４に対して略平行に）配置されており、第二イオンポンプ側支持体１３６と支持体１３７の間に配置される。支持体１３７は、支持部材１１７と接続する。図１１では、粘弾性体１１８Ｄと支持体１３７は、第二イオンポンプ１０４Ｂの２つの側面（ｚｘ面）にそれぞれ配置されている。

本実施例による荷電粒子線装置１では、第一イオンポンプ１０４Ａは、一端が鏡筒１０１に接続され、他端が粘弾性体１１８Ａ、１１８Ｂを備える支持部材１１７を介して鏡筒１０１に接続されている。第二イオンポンプ１０４Ｂは、一端が鏡筒１０１に接続され、他端が粘弾性体１１８Ｄを備える第二の支持部材１５７と支持部材１１７を介して鏡筒１０１に接続されている。このため、本実施例による荷電粒子線装置１は、鏡筒１０１の長さに依存せず、鏡筒１０１に接続された第一イオンポンプ１０４Ａと第二イオンポンプ１０４Ｂの固有振動を減衰させることができる。

図１０Ｂから図１０Ｄを用いて説明したように、イオンポンプ１０４Ａ、１０４Ｂの固有振動のうち、θｙ方向に励起されるモードは、少なくともｚｘ面と平行な成分を持ち、θｚ方向に励起されるモードは、少なくともｘｙ面と平行な成分を持つ。本実施例では、図１１に示すように、粘弾性体１１８Ａがｘｙ面と略平行に配置されているので、粘弾性体１１８Ａは、θｚ方向に励起されるイオンポンプ１０４Ａ、１０４Ｂの固有振動を減衰させることができる。また、粘弾性体１１８Ｂ、１１８Ｄがｚｘ面と略平行に配置されているので、粘弾性体１１８Ｂ、１１８Ｄは、θｙ方向に励起されるイオンポンプ１０４Ａ、１０４Ｂの固有振動を減衰させることができる。

なお、試料１０８の観察に影響を与えない程度にイオンポンプ１０４Ａ、１０４Ｂの固有振動を減衰させることができれば、本実施例による荷電粒子線装置１は、粘弾性体１１８Ａ、１１８Ｂ、１１８Ｄのうち一部の粘弾性体を備えなくてもよい。このような構成の荷電粒子線装置１の例を、図１２Ａと図１２Ｂに示す。

図１２Ａは、図１１に示した荷電粒子線装置１において、粘弾性体１１８Ｄを備えない構成を示す図である。

図１２Ｂは、図１１に示した荷電粒子線装置１において、粘弾性体１１８Ａを備えない構成を示す図である。

本実施例による荷電粒子線装置１では、第一イオンポンプ１０４Ａと第二イオンポンプ１０４Ｂの両方に対して、特にθｚ方向に励起される固有振動を大きく減衰させるために、第二の支持部材１５７が直接、鏡筒１０１に接続することもできる。すなわち、第二の支持部材１５７は、支持部材１１７を介さずに直接、鏡筒１０１に接続してもよい。

図１３Ａと図１３Ｂは、本実施例による荷電粒子線装置１において、第二の支持部材１５７が鏡筒１０１に直接、接続する構成を示す概略図である。図１３Ａは、支持部材１１７と第二の支持部材１５７と鏡筒１０１を示す斜視図である。図１３Ｂは、支持部材１１７と第二の支持部材１５７と鏡筒１０１を示す断面図である。

図１３Ａと図１３Ｂに示すように、支持部材１１７は、鏡筒１０１と第一イオンポンプ１０４Ａを接続し、第二の支持部材１５７は、鏡筒１０１と第二イオンポンプ１０４Ｂを接続する。支持部材１１７と第二の支持部材１５７は、互いに接続される。

第二の支持部材１５７は、第二イオンポンプ側支持体１３６と、ｚｘ面と略平行に配置された粘弾性体１１８Ｄと、支持体１３７と、粘弾性体１１８Ｅと、ステー支持部１３９と、ステー１３８と、鏡筒接続部１２９を備える。

粘弾性体１１８Ｅは、ｘｙ面と略平行に（すなわち、鏡筒中心軸１１４に対して略直交するように）配置されており、支持体１３７とステー支持部１３９の間に配置される。

ステー支持部１３９は、支持体１３７との間で粘弾性体１１８Ｅを挟むとともに、ステー１３８を支持する部材である。ステー１３８は、ステー支持部１３９と鏡筒接続部１２９を接続する支柱部材であり、第二の支持部材１５７を複数の箇所で鏡筒１０１に接続する。鏡筒接続部１２９は、鏡筒１０１の周方向の複数の箇所に設けられ、ステー１３８が接続する部材である。すなわち、第二の支持部材１５７は、ステー１３８によって鏡筒１０１と接続する。

粘弾性体１１８Ａ、１１８Ｂ、１１８Ｄ、１１８Ｅの形状は、任意であり、例えばシート状やコイン状とすることができる。

粘弾性体１１８Ａと粘弾性体１１８Ｅは、鏡筒中心軸１１４に対して、必ずしも直交するように配置されていなくてもよく、粘弾性体１１８Ｂと粘弾性体１１８Ｄは、鏡筒中心軸１１４に対して、必ずしも平行に配置されていなくてもよい。例えば、粘弾性体１１８Ａのシート面と鏡筒中心軸１１４との角度（すなわち、粘弾性体１１８Ａのｚ方向に対する角度）と、粘弾性体１１８Ｅのシート面（支持体１３７またはステー支持部１３９に接する面）と鏡筒中心軸１１４との角度（すなわち、粘弾性体１１８Ｅのｚ方向に対する角度）と、粘弾性体１１８Ｂのシート面と鏡筒中心軸１１４との角度（すなわち、粘弾性体１１８Ｂのｚ方向に対する角度）と、粘弾性体１１８Ｄのシート面（第二イオンポンプ側支持体１３６または支持体１３７に接する面）と鏡筒中心軸１１４との角度（すなわち、粘弾性体１１８Ｄのｚ方向に対する角度）が、それぞれ３０度以下であれば、イオンポンプ１０４の固有振動を十分に減衰させることができる。

また、粘弾性体１１８Ａのシート面と粘弾性体１１８Ｅのシート面は、必ずしもｘｙ面と平行でなくてもよく、粘弾性体１１８Ｂのシート面と粘弾性体１１８Ｄのシート面は、必ずしもｚｘ面と平行でなくてもよい。例えば、粘弾性体１１８Ａのシート面とｘｙ面との角度と、粘弾性体１１８Ｅのシート面とｘｙ面との角度と、粘弾性体１１８Ｂのシート面とｚｘ面との角度と、粘弾性体１１８Ｄのシート面とｚｘ面との角度が、それぞれ３０度以下であれば、イオンポンプ１０４Ａ、１０４Ｂの固有振動を十分に減衰させることができる。

粘弾性体１１８Ａ、１１８Ｂ、１１８Ｄ、１１８Ｅの一部または全部は、イオンポンプ１０４Ａ、１０４Ｂから容易に取り外すことができるように、例えば図４に示したような積層構造体１２１で置き換えることができる。

なお、第二の支持部材１５７そのものの振動に伴う磁場変動を抑制するために、第二の支持部材１５７は、支持部材１１７と同様に、一部または全部が非磁性体材料で構成されているのが望ましい。

本実施例では、２台のイオンポンプ１０４Ａ、１０４Ｂを備える荷電粒子線装置１について説明した。３台以上のイオンポンプ１０４を備える荷電粒子線装置１でも、本実施例で説明した構成を用いたり、本実施例で説明した構成と実施例１から実施例３で説明した構成のいずれかの構成とを組み合わせたりすることで、３台以上のイオンポンプ１０４の固有振動を減衰させることができる。

なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、上記の実施例は、本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、本発明は、必ずしも説明した全ての構成を備える態様に限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能である。また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、削除したり、他の構成を追加・置換したりすることが可能である。

１…荷電粒子線装置、１００…従来の荷電粒子線装置、１０１…鏡筒、１０２…フランジ、１０３…配管、１０４…イオンポンプ、１０４Ａ…第一イオンポンプ、１０４Ｂ…第二イオンポンプ、１０５…電子銃、１０６…電子線、１０７…電子レンズ、１０８…試料、１０９…試料室、１１０…ステージ、１１１…ターボ分子ポンプ、１１２…ドライポンプ、１１３…除振マウント、１１４…鏡筒中心軸、１１５…取付面、１１７…支持部材、１１８、１１８Ａ、１１８Ｂ、１１８Ｃ、１１８Ｄ、１１８Ｅ…粘弾性体、１１９…イオンポンプ側支持体、１２０…鏡筒側支持体、１２１…積層構造体、１２２…第一の支持体、１２３…粘弾性体、１２４…第二の支持体、１２５…固定部材、１２８Ａ…第一の鏡筒側支持体、１２８Ｂ…第二の鏡筒側支持体、１２９…鏡筒接続部、１３０…ステー、１３１…ステー支持部、１３３…連結材、１３６…第二イオンポンプ側支持体、１３７…支持体、１３８…ステー、１３９…ステー支持部、１５７…第二の支持部材。

Claims (13)

1. 荷電粒子線を試料に照射するための鏡筒と、
   前記鏡筒に接続され、前記鏡筒の内部を排気するイオンポンプと、
   一端が前記イオンポンプに接続され、他端が前記鏡筒に接続された支持部材と、
   を備え、
   前記支持部材は、前記鏡筒の中心軸に対して略平行に配置された粘弾性体を備える、
   ことを特徴とする荷電粒子線装置。
2. 前記支持部材は、前記鏡筒の中心軸に対して略直交するように配置された粘弾性体をさらに備える、
   請求項１に記載の荷電粒子線装置。
3. 前記イオンポンプを複数備え、
   前記支持部材は、前記一端が複数の前記イオンポンプの１つに接続されている、
   請求項１に記載の荷電粒子線装置。
4. 前記支持部材は、前記鏡筒の中心軸に対して略直交するように配置された粘弾性体をさらに備える、
   請求項３に記載の荷電粒子線装置。
5. 第二の支持部材を備え、
   前記支持部材の前記一端が接続されている前記イオンポンプを第一イオンポンプと呼ぶと、
   前記第二の支持部材は、前記第一イオンポンプ以外の前記イオンポンプの１つと前記支持部材とに接続されており、前記鏡筒の中心軸に対して略平行に配置された粘弾性体を備える、
   請求項３に記載の荷電粒子線装置。
6. 前記支持部材は、前記鏡筒の中心軸に対して略直交するように配置された粘弾性体をさらに備える、
   請求項５に記載の荷電粒子線装置。
7. 前記第二の支持部材は、前記鏡筒に接続されている、
   請求項５に記載の荷電粒子線装置。
8. 前記支持部材は、前記鏡筒の中心軸に対して略直交するように配置された粘弾性体をさらに備える、
   請求項７に記載の荷電粒子線装置。
9. 前記第二の支持部材は、前記鏡筒の中心軸に対して略直交するように配置された粘弾性体をさらに備える、
   請求項７に記載の荷電粒子線装置。
10. 前記粘弾性体は、シート状である、
    請求項１に記載の荷電粒子線装置。
11. 前記支持部材は、前記他端に複数の保持部材を備え、前記保持部材により前記鏡筒の複数の箇所に接続されている、
    請求項１に記載の荷電粒子線装置。
12. 前記支持部材は、一部または全部が非磁性体材料で構成されている、
    請求項１に記載の荷電粒子線装置。
13. 前記第二の支持部材は、一部または全部が非磁性体材料で構成されている、
    請求項５に記載の荷電粒子線装置。

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