JP2016018621A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 鏡筒
3 試料室
4 試料
5 ステージ
6 除振マウント
7 架台
8A、8B イオンポンプ
9 荷電粒子線
10A、10B 支持板
11A、11B 粘弾性体
12A、12B 支持板
13 フレーム
14 床振動
15 環境音
16A、16B ヒンジ
17 フレーム
18A、18B 軸受
19A、19B シャフト
20A、20B 軸受け孔
21A、21B 曲げ支持部材
22 スリット付きフレーム
23 曲げフレーム
24 上段フレーム
25 下段フレーム
26A、26B ヒンジ
27 上段フレーム
28 下段フレーム
29A、29B、29C 曲げ支持部材
Claims (9)
- 試料を内部に配置する試料室と、前記試料を搭載するステージと、荷電粒子線を前記試料に照射するための鏡筒と、前記鏡筒の内部を真空排気するポンプと、当該ポンプを支持する支持部材を備えた荷電粒子線装置であって、
前記支持部材は、当該支持部材の傾斜を許容する傾斜許容部を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記傾斜許容部は、前記鏡筒の傾斜方向と同じ方向へ、前記支持部材を選択的に傾斜させることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記傾斜許容部は、前記鏡筒が傾斜したときに、前記鏡筒と同じ方向に傾斜することのできる屈曲部であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記傾斜許容部は、前記支持部材に形成されると共に、当該支持部材の他部分より剛性が低く、前記鏡筒の傾斜に伴い前記支持部材を屈曲させる変形部であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記傾斜許容部は、回転可能で、前記鏡筒の傾斜に伴い前記支持部材を屈曲させる回転部であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記支持部材を少なくとも第1の分割支持部材と第2の分割支持部材によって構成すると共に、当該第1の支持部材の前記試料室に対する傾斜を許容する第1の傾斜許容部と、前記第2の支持部材と前記第1の支持部材に対する傾斜を許容する第2の傾斜許容部を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記第1の分割支持部材と前記第2の分割支持部材を、前記鏡筒の異なる高さ位置に配置したことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記ポンプを複数備え、当該ポンプごとに前記傾斜許容部を設けたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8において、
前記ポンプごとに設けられた傾斜許容部を支持する下段支持部材と、当該下段支持部材を、傾斜可能に支持する下段支持部材用傾斜許容部を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
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-
2014
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