JP2013025911A - 電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、試料を装填する試料台に電圧を印加する機能を備えた試料ホルダーと、前記試料台に印加される電圧を供給する電圧源と、一端が前記試料ホルダーに接続される電圧ケーブルとを備え、更に、前記電圧ケーブルの他端が接続される中継器が、電子顕微鏡の鏡筒を支持する架台上に設置されたことを特徴としている。
【選択図】 図1
Description
以下、図面を参照し、本発明の実施例について詳細に説明する。本実施例では、サイドエントリー式試料ホルダーを備えた電子顕微鏡の構成例について説明する。
図5には、本実施例の電子顕微鏡の外観全体図を示す。本実施例の電子顕微鏡は、実施例1で説明した電子顕微鏡の機能と同等の機能に加えて、電子光学鏡筒1および架台2を囲むカバー41が設けられた電子顕微鏡である。
本実施例では、インレンズSEMの構成例について説明する。
2 架台
3 サイドエントリー型試料ステージ(試料ステージ)
4 試料ホルダー
5 電圧ケーブル(電圧供給ケーブル)
6 中継器
7 高電圧源
8 電圧ケーブル
11 グリップ
12 Oリング
13 試料
14 ガイドピン
15 試料台
16 シャフト
17 コネクタA(BNCコネクタA)
18 電圧導入線
19 一次電子線
21 高圧ガード
22 BNCコネクタB
23 スイッチプレート
24 コネクタ装着検知スイッチ
25 つまみ
26 先端ねじ(つまみ先端ねじ)
27 ねじ
28 ピン
29 高圧ガード装着検知スイッチ
31 電源
32 高電圧制御手段(高圧制御手段)
33 真空監視手段
41 カバー
42 第一の扉
43 第二の扉
44 第三の扉
45 操作画面
51 上磁極
52 下磁極
Claims (14)
- 一次電子線を試料に照射し、当該一次電子線照射により得られる二次荷電粒子を検出して画像信号として出力する電子光学鏡筒と、当該電子光学鏡筒を支持する架台とを備えた電子顕微鏡において、
前記試料を載置する試料台を有し、当該試料台に電圧を印加する機能を備えた試料ホルダーと、
前記試料台に印加される電圧を供給する電圧源と、
一端が前記試料ホルダーに接続される電圧ケーブルとを備え、
更に、前記電圧ケーブルの他端が接続される中継器が前記架台上に設置されたことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記電圧ケーブルの長さが前記試料ホルダーの長さよりも短いことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記電圧ケーブルのもう一方の端部に前記中継器との接続端子を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記中継器が、前記ケーブルの接続を検知する検知手段を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記中継器が、前記試料台と前記電圧源との導通をオンオフするための第1のスイッチを備えたことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項5に記載の電子顕微鏡において、
前記中継器が、前記電圧源の起動をオンオフする第2のスイッチを備えたことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項5に記載の電子顕微鏡において、
前記中継器および前記電圧ケーブルの前記中継器側の端部に設けられたBNC端子を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項7に記載の電子顕微鏡において、
前記第2のスイッチが前記中継器側のBNC端子の根元に設けられ、
前記第1のスイッチが前記中継器側のBNC端子の近傍に設けられ、
更に、前記中継器および前記電圧ケーブルのBNC端子を締め付けるリング状のキャップを備えることにより、前記第1のスイッチおよび第2のスイッチをオンできるよう構成したことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記電子光学鏡筒および架台を覆う多面体形状のカバーと、
当該カバーの側面に設けられた扉とを備えたことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項9に記載の電子顕微鏡において、
前記カバーの側面に、第1の扉および第2の扉が設けられていることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項9に記載の電子顕微鏡において、
前記中継器に設けられる前記電圧ケーブルとの接続面が、前記扉に対する前記中継器の背面以外の面に設けられることを特徴とする電子顕微鏡。 - 一次電子線を試料に走査し、当該一次電子線走査により得られる二次荷電粒子を検出して画像信号として出力する電子光学鏡筒と、当該電子光学鏡筒を支持する架台とを備えた走査電子顕微鏡において、
前記試料を載置する試料台を有し、当該試料台に電圧を印加する機能を備えた試料ホルダーと、
前記試料台に印加される電圧を供給する電圧源と、
一端が前記試料ホルダーに接続される電圧ケーブルとを備え、
更に、前記電圧ケーブルの他端が接続される中継器が前記架台上に設置されたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項12に記載の走査電子顕微鏡において、
前記試料ホルダーが前記電子光学鏡筒の側面から真空フィードスルーを介して鏡筒内部に挿入されるサイドエントリー型ステージであることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項12に記載の走査電子顕微鏡において、
前記電子光学鏡筒がインレンズ型の対物レンズを備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020027716A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | 株式会社メルビル | カバー |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN109441918A (zh) * | 2018-10-23 | 2019-03-08 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种连接组件及扫描电镜主机架 |
JP7291049B2 (ja) * | 2019-09-25 | 2023-06-14 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 荷電粒子ビーム装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000106122A (ja) * | 1998-09-30 | 2000-04-11 | Jeol Ltd | 高電圧導入機構 |
JP2000268759A (ja) * | 1999-03-17 | 2000-09-29 | Jeol Ltd | 高電圧導入機構 |
JP2001028250A (ja) * | 1999-04-05 | 2001-01-30 | Jeol Ltd | 高電圧導入機構 |
JP2005327710A (ja) * | 2004-04-16 | 2005-11-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置及び試料ホルダ |
JP2006185661A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
JP2011013196A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5254857A (en) * | 1991-05-31 | 1993-10-19 | Kachina Technologies, Inc. | Fast scanning electron microscope (FSEM) |
US7381968B2 (en) * | 2004-04-16 | 2008-06-03 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam apparatus and specimen holder |
JP4977509B2 (ja) * | 2007-03-26 | 2012-07-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
JP5276860B2 (ja) * | 2008-03-13 | 2013-08-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
CN101388317B (zh) * | 2008-03-21 | 2010-08-25 | 汉民微测科技(北京)有限公司 | 扫描电子显微镜 |
JP5492405B2 (ja) * | 2008-12-02 | 2014-05-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP5259688B2 (ja) * | 2010-12-09 | 2013-08-07 | 本田技研工業株式会社 | 走査型電子顕微鏡 |
JP2012138324A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-19 | Topcon Corp | 二次電子検出器、及び荷電粒子ビーム装置 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000106122A (ja) * | 1998-09-30 | 2000-04-11 | Jeol Ltd | 高電圧導入機構 |
JP2000268759A (ja) * | 1999-03-17 | 2000-09-29 | Jeol Ltd | 高電圧導入機構 |
JP2001028250A (ja) * | 1999-04-05 | 2001-01-30 | Jeol Ltd | 高電圧導入機構 |
JP2005327710A (ja) * | 2004-04-16 | 2005-11-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置及び試料ホルダ |
JP2006185661A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
JP2011013196A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020027716A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | 株式会社メルビル | カバー |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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WO2013011612A1 (ja) | 2013-01-24 |
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