JP5276860B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
図3Bに、半導体検出器16と併用する場合ついて示した模式図を示す。このような配置にすることで、二次電子検出器は半導体検出器の有感領域と干渉することなく、配置できる。
図3A、図3Bともに二次電子像の形成方法、電界供給電極、検出電極の役割の交換に関しては、図2A、2Bに示した実施例1と同様である。
Claims (14)
- 被観察試料を保持する試料台と、当該試料台を格納する試料室と、電子線を当該試料室内に照射する照射光学系と、前記電子線を試料上に集束させる対物レンズを備えた走査電子顕微鏡であって、
前記電子線の照射によって前記試料から放出される荷電粒子を検出する検出器を備え、
前記検出器が、可撓性を持つ平面状部材である基板上に形成され、互いに異なる電圧に保たれることが可能な二つ以上の電極から成っており、前記電極のいずれかもしくは全てに流れる電流を信号電流として検出し、
前記検出器が、前記対物レンズの下部に配置され、前記対物レンズの側面、前記対物レンズのポールピースの内側、又は前記試料室内の構造物に貼り付けられた、
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査電子顕微鏡であって、
前記基板上の前記電極の一つに正の電圧を印加することで、前記試料から放出される前記荷電粒子を前記試料室内で加速し、前記試料室内のガス分子との相互作用によって増幅を起こさせ、前記試料室内で増幅された前記荷電粒子を、正の電圧が印加された前記電極、又は前記基板上の正の電圧が印加された前記電極とは異なる電位に保たれた他の電極から、電流信号として検出する、
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査電子顕微鏡であって、
前記検出器は、前記基板表面に沿った方向の前記荷電粒子の移動を誘導電流として検出する、
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査電子顕微鏡であって、
前記検出器が方位角の異なる前記荷電粒子を増幅検出する領域に分割された複数の検出面を備える、
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査電子顕微鏡であって、
前記検出器が仰角の異なる前記荷電粒子を増幅検出する領域に分割された複数の検出面を備える、
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 被観察試料を保持する試料台と、当該試料台を格納する試料室と、電子線を当該試料室内に照射する照射光学系と、前記電子線を試料上に集束させる対物レンズを備えた走査電子顕微鏡であって、
前記電子線の照射によって前記試料から放出される荷電粒子を検出する検出器を備え、
前記検出器が、可撓性を持つ平面状部材である基板上に形成され、互いに異なる電圧に保たれることが可能な二つ以上の電極から成っており、前記電極のいずれかもしくは全てに流れる電流を信号電流として検出し、
前記検出器が、前記対物レンズの側面、前記対物レンズのポールピースの内側、又は前記試料室内の構造物に貼り付けられ、
前記対物レンズがセミインレンズであり、前記セミインレンズのポールピースの間隙に、前記検出器を筒状にして配置にした、
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 被観察試料を保持する試料台と、当該試料台を格納する試料室と、電子線を当該試料室内に照射する照射光学系と、前記電子線を試料上に集束させる対物レンズを備えた走査電子顕微鏡であって、
前記電子線の照射によって前記試料から放出される荷電粒子を検出する検出器を備え、
前記検出器が、可撓性を持つ平面状部材である基板上に形成され、互いに異なる電圧に保たれることが可能な二つ以上の電極から成っており、前記電極のいずれかもしくは全てに流れる電流を信号電流として検出し、
前記検出器が、前記対物レンズの側面、前記対物レンズのポールピースの内側、又は前記試料室内の構造物に貼り付けられ、
前記基板上に形成される、異なる電圧に保たれた二つ以上の前記電極は、薄膜状の絶縁体を介して前記基板面に垂直方向に層状に配置されている、
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 走査電子顕微鏡であって、
一次電子線を発生する電子銃と、
試料を保持する試料台を格納する試料室と、
前記一次電子線を当該試料室内に照射する照射光学系と、
前記一次電子線を前記試料上に集束させる対物レンズと、
前記一次電子線の照射により、前記試料から発生する二次電子を検出する二次電子検出器とを備え、
前記二次電子検出器は、可撓性を持つ平面状部材である薄膜基板と、前記基板上に形成され、互いに異なる電位に保たれうる二つ以上の電極とから成り、前記電極のいずれかもしくは全てに流れる電流を、信号電流として検出し、
前記二次電子検出器が、前記対物レンズの下部に配置され、前記対物レンズの側面、前記対物レンズのポールピースの内側、又は前記試料室の内壁に貼り付けられた、
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項8に記載の走査電子顕微鏡であって、
前記試料室は、前記一次電子線の照射の際、1〜数1000 Paの真空に保たれ、
前記二次電子検出器は、前記基板上の前記電極の一つに正の電圧を印加し、前記試料から放出される前記二次電子を前記試料室内で加速し、前記試料室内のガス分子との相互作用によって増幅を起こさせ、前記試料室内で増幅された荷電粒子を、正の電圧が印加された前記電極、又は前記基板上の正の電圧が印加された前記電極とは異なる電位に保たれた他の電極から、前記信号電流として検出する、
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項9に記載の走査電子顕微鏡であって、
前記二次電子検出器は、前記基板表面に沿った方向の前記荷電粒子の移動を誘導電流として検出する、
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項8に記載の走査電子顕微鏡であって、
前記二次電子検出器の前記基板は、前記一次電子線の光軸を囲んだドーナツ状に形成されている、
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項11に記載の走査電子顕微鏡であって、
前記二次電子検出器の前記電極は、前記一次電子線の光軸を囲んだドーナツ状に形成されている、
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項8に記載の走査電子顕微鏡であって、
前記一次電子線の照射により、前記試料から発生する反射電子を検出する、前記対物レンズの下部に配置された反射電子検出器を更に備え、
前記二次電子検出器は、前記反射電子検出器の下面より、前記電子銃側に設置される、
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項13に記載の走査電子顕微鏡であって、
前記二次電子検出器は、前記一次電子線の光軸を囲んだドーナツ状に形成され、前記反射電子検出器は、ドーナツ状の前記二次電子検出器の内側に設置される、
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。
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