JP2006185661A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、荷電粒子ビームを発生する荷電粒子ビーム発生源と、荷電粒子ビームが照射される試料を載置する加工用の試料台と、荷電粒子ビーム発生源に加速電圧を印加する荷電粒子ビーム発生源用高電圧電源と、試料に照射する荷電粒子ビームの照射速度を減速する減速電圧を加工用の試料台に印加する減速手段とを備え、減速手段は、昇圧電源部と、低圧供給用外部電源部とを有し、昇圧電源部を加工用の試料台に設けたことを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
Claims (8)
- 荷電粒子ビームを発生する荷電粒子ビーム発生源と、前記荷電粒子ビームが照射される試料を載置する試料台と、前記荷電粒子ビーム発生源に加速電圧を印加する荷電粒子ビーム発生源用高電圧電源と、前記試料に照射する前記荷電粒子ビームの照射速度を減速する減速電圧を前記試料台に印加する減速手段とを備え、
前記減速手段は、昇圧電源部と、低圧供給用外部電源部とを有し、
前記昇圧電源部を前記試料台に設けたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子ビームを発生する荷電粒子ビーム発生源と、前記荷電粒子ビーム発生源を内置し、かつ内部が真空に保たれる鏡筒部と、前記荷電粒子ビームが照射される試料を載置する試料台と、前記試料台を内置し、かつ内部が真空に保たれる試料室と、前記荷電粒子ビーム発生源に加速電圧を印加する荷電粒子ビーム発生源用高電圧電源と、前記試料に照射する前記荷電粒子ビームの照射速度を減速する減速電圧を前記試料台に印加する減速手段とを備え、
前記減速手段は、昇圧電源部と、低圧供給用外部電源部とを有し、
前記昇圧電源部を前記試料台に設け、
前記低圧供給用外部電源部を前記試料室の外に備え、
前記昇圧電源部と低圧供給用外部電源部とを低圧供給線を介して接続したことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1または2に記載された荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子ビームの照射により前記試料から発生する二次荷電粒子を検出する二次荷電粒子検出手段を設け、
前記二次荷電粒子検出手段に印加する検出印加電圧が前記減速電圧よりも高いことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項2に記載された荷電粒子線装置において、
前記低圧供給用外部電源部より前記昇圧電源部に供給する供給電圧は、DC24V以下であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子ビームを発生する荷電粒子ビーム発生源と、前記荷電粒子ビーム発生源に加速電圧を印加する荷電粒子ビーム発生源用高電圧電源と、前後左右および上下方向に移動自在なる移動ステージと、前記移動ステージにステージ用絶縁材を介して置かれる載置基台と、前記載置基台に載せ替えされる加工用の試料台および測定用の試料台と、前記移動ステージ、前記加工用の試料台および前記測定用の試料台を内置し、かつ内部が真空に保たれる試料室と、前記載置基台に設けられ、かつ載せ替えされる加工用の試料台および測定用の試料台を取り外し自在に保持するクランプとを備え、
前記加工用の試料台および測定用の試料台は、前記荷電粒子ビームが照射される試料を載置する試料搭載部を有し、
前記載置基台に前記加工用の試料台を載置して、前記試料に荷電粒子ビームによる加工を施す際には、前記試料搭載部に減速電圧を印加して前記荷電粒子ビームの照射速度を減速し、
前記荷電粒子ビームの照射速度を減速させる減速手段は、前記試料台に設ける昇圧電源部と、前記試料室の外に備える低圧供給用外部電源部と、前記昇圧電源部と低圧供給用外部電源部とを接続する低圧供給線を有し、
前記載置基台に前記測定用の試料台を付け替えて、前記試料に照射する荷電粒子ビームのビーム量を測定する際には、前記低圧供給線を測定用の信号線として用いて測定信号を前記試料室の外に導くことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子ビームを発生する荷電粒子ビーム発生源と、前記荷電粒子ビーム発生源に加速電圧を印加する荷電粒子ビーム発生源用高電圧電源と、前後左右および上下方向に移動自在なる移動ステージと、前記移動ステージにステージ用絶縁材を介して載置される載置基台と、前記載置基台を内置し、かつ内部が真空に保たれる試料室とが備わる荷電粒子線装置の前記載置基台に取り外し自在に載置される加工用の試料搭載台において
この試料台は、前記荷電粒子ビームが照射される試料を載置する試料搭載部を有し、
前記試料に照射する前記荷電粒子ビームの照射速度を減速する減速電圧を前記試料搭載部に印加するところの減速手段の昇圧電源部を前記試料台に設けたことを特徴とする加工用の試料搭載ユニット。 - 請求項6に記載された加工用の試料台において、
この試料台は、前記試料搭載部の下側に試料搭載部側絶縁部材を介して設けられる昇圧電源部用載置部を有し、
前記昇圧電源部を前記昇圧電源部用載置部に載置したことを特徴とする加工用の試料台。 - 請求項7に記載された加工用の試料台において、
この試料台は、前記昇圧電源部用載置部の下側に昇圧電源部側絶縁部材を介して設けられる試料台底板部を有し、
前記載置基台に設けたクランプが掛けられる係合部を前記試料台底板部に設けたことを特徴とする加工用の試料台。
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