JP2012138324A - 二次電子検出器、及び荷電粒子ビーム装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シンチレーター21をフォトマルチプライヤー23の入射側面23aに、電子をシンチレーター21に引き込むシンチレーターキャップ22をシンチレーター21の周囲に配置する。フォトマルチプライヤー23はその周囲に真空シールを設け、試料室に配置する。シンチレーターキャップ22とフォトマルチプライヤー23との間には不透明素材からなる絶縁部材25を配置し、絶縁部材25はシンチレーターキャップ22とフォトマルチプライヤー23を絶縁すると共に、フォトマルチプライヤー23の側周部23bを覆いフォトマルチプライヤー23への光の入射を防止する。シンチレーター21とフォトマルチプライヤー23の入射側面23aとの間には、光学顕微鏡の照明光を遮断するバンドフィルター27を配置し、光学顕微鏡との同時観察を可能とする。
【選択図】図2
Description
11 鏡筒
12 電子線源
13 電子線
14 コンデンサレンズ
15 偏向コイル
16 対物レンズ
17 試料室
18 試料
19 二次電子
20 二次電子検出器
21 シンチレーター
22 シンチレーターキャップ
23 フォトマルチプライヤー(光電子増倍管)
23a 入射側面
23b 側周部
24 ソケット
25 絶縁部材
25a 円筒部
25b 回り込み部
26 接着剤
26a、26b 回り込み部
27 バンドフィルター
28 取付部材
29 ケーブル
30 光学顕微鏡
100 制御装置
110 入力装置
120 画像表示装置
Claims (7)
- 電子を吸収して光を発生するシンチレーターと、このシンチレーターからの光を増服する光電子増倍管とを備えた二次電子検出器であって、
前記シンチレーターを前記光電子増倍管の入射側端部に配置し、
電子を前記シンチレーターに向け加速する電極部材を前記シンチレーターの周囲を覆うように配置し、
前記電極部材と前記光電子増倍管との間に前記電極部材及び前記光電子増倍管に接触して両者を絶縁する絶縁部材を配置した、
ことを特徴とする二次電子検出器。 - 前記光電子増倍管は、その周面に二次電子検出器が取り付けられる機器の取り付け部との間で真空シール部を形成することを特徴とする請求項1に記載の二次電子検出器。
- 前記シンチレーターと光電倍増管の入射側端部との間であって、前記絶縁部材の厚みで形成される空間部に特定の波長領域の光を遮断し前記光電子増倍管への進入を遮断するパスフィルターを配置したことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の二次電子検出器。
- 前記絶縁部材は、光の進入を防止する不透明の素材で、前記光電倍増管の周面を覆うように構成したことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の二次電子検出器。
- 試料に電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と、請求項1から請求項4のいずれかに記載の二次電子検出器を備えることを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
- 光学顕微鏡と試料の照明装置とを備え、前記電子ビームでの観察と光学顕微鏡での観察を行うことを特徴とする請求項5に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 装置本体に請求項1から請求項4のいずれかに記載の二次電子検出器が、前記光電子増倍管の側面で真空シールされて取り付けられていることを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の荷電粒子ビーム装置。
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