JP2005327710A - 荷電粒子線装置及び試料ホルダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料ホルダ11内にメモリ303に試料ホルダの情報もしくは載っている試料の情報を格納する。電子顕微鏡に装着された試料ホルダ11のメモリ303にアクセスすることにより試料ホルダ11の情報を電子顕微鏡へ送ることで、使用者は試料ホルダの特性を間違えることなく使用する事ができ、試料の情報を誤って記録する危険性を低減できる。
【選択図】図3
Description
ONとなる。また、試料ホルダ11が試料ステージ10の所定位置に適切に装着されたとき、試料ステージ側の電極202は試料ホルダ11側の電極105と接触し、電気的な接続が図られる。
IDごとに持っており、現在装備されている対物ポールピースのギャップとそのホルダ形状データからまずTiltの動作制限を行う。電子顕微鏡本体にホルダ形状のデータがないようなホルダ種IDだった場合には、例外処置機能を起動し、動作制限をユーザーの入力によって行うこととする。その後、Tiltを動作させた場合のY方向の移動制限をその動作に合わせて設定していく。
602を図示してある。図6はTiltしていない状態を示す。この状態であれば移動制限をする必要はない。図7は試料をTiltさせた状態を示す。この場合、ポールピース601のギャップに対して試料ホルダの外形形状602が大きいため、Tiltの角度を大きくすると試料ホルダがポールピース601に接触し、破損することとなるので、これを避ける為にTilt制限をする必要がある。また、Tilt制限を行っても、Tiltさせた状態でY方向の移動を行うと、やはりポールピース601に接触するため、Tilt角度に応じたY方向の移動制限を行う必要がある。
IDとシリアルナンバーが記憶されているので、各々の装置では、取得したデータにこのホルダ種IDとシリアルナンバーを一緒に記録し、データベース404に保存する。
882の輪郭位置から所定長さだけ余裕を持たせて輪郭を設定することによって、不確定要素によるプローブ903と構造物881の衝突を、より確実に防止することができる。
90゜回転させることで、図13(c)のように目的箇所883をプローブ接触可能にすることができる。このときの観察像を図13(d)に示す。接触不可部分の表示は表示ボタンを押すことで更新できるようにできる。また、表示部分ははリアルタイムに更新することで、ユーザーはより直感的にプローブの接触不可の部分を把握することができる。
(過去の加工条件や加工時の画像ファイル名など)が表示される。このRemarks 内の情報のFIB加工時の画像ファイル名を選択した場合、下のFilename部分にそのファイル名が表示される。このFilename入力部の右にある「View」ボタンを選択すると、新たな画像表示画面が開き、FIB加工時の画像が表示される。
104…突起部、105…試料ホルダ側電極、106…絶縁部、202…電極、203…マイクロスイッチ、303…本体CPU、305…試料ホルダ駆動系、307…試料ホルダ制御系、308…試料ホルダ通信系、309…電子顕微鏡制御CPU、401…TEM、402…STEM、403…FIB、404…データベース(サーバー)、405…データベース検索用端末、406…LAN、601…対物レンズポールピース、602…外形形状。
Claims (15)
- 試料ステージと、前記試料ステージに保持される試料ホルダに装着された試料に荷電粒子線を照射する荷電粒子線照射系と、試料の位置あるいは姿勢を微動させる試料微動機構とを備える荷電粒子線装置において、
前記試料ステージに保持される試料ホルダが有するメモリにアクセスし当該メモリに対して情報の読み出し及び/又は書き込みを行うための試料ホルダ通信系を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置において、当該荷電粒子線の装置情報と前記メモリから読み出した試料ホルダに関する情報とを用いて、前記試料微動機構による試料の移動に制限を設定することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1又は2記載の荷電粒子線装置において、前記メモリから読み出した位置及び/又は傾斜角度の情報に従って前記試料微動機構を制御する機能を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 試料搭載部を有し、試料ステージに保持されて荷電粒子線装置に装着される試料ホルダにおいて、情報を記録するメモリを組み込んだことを特徴とする試料ホルダ。
- 請求項4記載の試料ホルダにおいて、前記メモリは当該試料ホルダの種類に関する情報及び当該試料ホルダをユニークに識別できる記号を記憶していることを特徴とする試料ホルダ。
- 請求項4記載の試料ホルダにおいて、前記メモリは搭載された試料に関する情報を記憶する領域を有することを特徴とする試料ホルダ。
- 請求項4記載の試料ホルダにおいて、前記メモリは当該試料ホルダが装着された荷電粒子装置によって観察あるいは加工した位置あるいは傾斜角度の情報を記憶する領域を有することを特徴とする試料ホルダ。
- 試料ステージと、前記試料ステージに保持される試料ホルダに装着された試料に荷電粒子線を照射する荷電粒子線照射系と、試料の位置あるいは姿勢を微動させる試料微動機構とを備える荷電粒子線装置において、
前記試料ステージに保持される試料ホルダが有するメモリにアクセスし当該メモリに対して、前記試料ホルダの種類、前記試料ホルダに装着される試料の高さ、前記メモリの状態、或いは前記試料ホルダに装着される複数の試料情報の読み出し及び/又は書き込みを行うための試料ホルダ通信系を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8において、
前記試料の高さ情報に基づいて、荷電粒子線照射系に含まれるレンズ強度の少なくとも上限を決定することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8において、
前記試料ホルダに対する電圧の印加を制御する制御装置を備え、当該制御装置は、前記メモリの状態に応じて、前記電圧の印加の可否を判定することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8において、
前記試料ホルダが挿入される領域を真空排気する排気システムを備え、当該排気システムは、前記試料ホルダの種類に応じて、前記真空排気の条件を選択することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8において、
前記試料上の微細構造部分を摘出するためのプローブと、前記試料の高さ情報に基づいて、前記試料の高さマップを作成する制御装置を備え、当該制御装置は、前記試料の高さ情報に基づいて、前記プローブの接触不可部分を計算することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8において、
試料ホルダに装着される複数の試料を選択する手段と、当該選択手段によって選択された試料について、イオンビームによる追加工条件を設定する手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8において、
前記試料ホルダが挿入される領域を真空排気する排気システムを備え、当該排気システムは、前記挿入される試料ホルダが冷却ホルダである場合に、前記試料ホルダが挿入される領域の予備排気時間を、室温で用いる試料ホルダの予備排気時間よりも長く設定することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 試料搭載部を有し、試料ステージに保持されて荷電粒子線装置に装着される試料ホルダにおいて、前記試料ホルダの種類、前記試料ホルダに装着される試料の高さ、前記メモリの状態、或いは前記試料ホルダに装着される複数の試料の情報を記録するメモリを組み込んだことを特徴とする試料ホルダ。
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