DE112017002865T5

DE112017002865T5 - Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung

Info

Publication number: DE112017002865T5
Application number: DE112017002865.5T
Authority: DE
Inventors: Hirohisa Enomoto; Wataru Suzuki
Original assignee: Hitachi High Technologies Corp; Hitachi High Tech Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 2016-07-20
Filing date: 2017-06-21
Publication date: 2019-02-28
Also published as: JP6633986B2; CN109155224A; US20190259566A1; JP2018014198A; WO2018016255A1; US10622185B2; CN109155224B

Abstract

Es ist eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung vorgesehen, bei der ein Tragkörper steif genug ist, um eine Probenkammer zu tragen, während die Vibrationen des Tragkörpers selbst beim Einwirken einer Störung in der Art von Umgebungstönen verringert werden, der Grad an Parallelität des Tragkörpers aufrechterhalten wird und eine Erhöhung des Gewichts des Tragkörpers unterdrückt wird. Der Tragkörper (4) weist Folgendes auf: ein erstes Element (5), welches das angebrachte Objekt trägt und von der Vibrationsdämpfungslagerung getragen wird, zweite Elemente (6), deren Dicke von jener des ersten Elements (5) verschieden ist und welche das erste Element (5) überlappen, Befestigungselemente (7), die das erste Element (5) und die zweiten Elemente (6) befestigen, und Dämpfungselemente (8), die eine geringere Steifigkeit als die Befestigungselemente (7) aufweisen und durch eine Variationsdifferenz zwischen dem ersten Element (5) und den zweiten Elementen (6) verformt werden.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung.
Technischer Hintergrund
Bei einer mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung werden eine Säule und ein Tisch, welche eine Probenkammer aufweisen, von einer als Basisplatte bezeichneten rechteckigen Platte getragen. In dieser Hinsicht offenbart PTL 1 ein Verfahren, durch das Vibrationen der Basisplatte verringert werden. PTL 2 offenbart ein Verfahren, bei dem Vibrationen in anderen Industriemaschinen verringert werden.
Zitatliste
Patentliteratur

PTL 1: japanisches Patent 3741558
PTL 2: JP-A-2013-126072

Kurzfassung der Erfindung
Technisches Problem
Gemäß den vorstehenden PTL können durch Störungen in der Art von Umgebungstönen hervorgerufene Vibrationen nicht verringert werden.
Dementsprechend besteht eine Aufgabe der Erfindung darin, eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung bereitzustellen, bei der die Vibrationen eines Tragkörpers selbst beim Einwirken von Störungen in der Art von Umgebungstönen verringert werden.
Lösung des Problems
Zur Lösung eines solchen Problems weist die mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung gemäß der Erfindung ein angebrachtes Objekt auf, das Folgendes aufweist: eine Säule, eine Probenkammer und einen Tisch, einen Tragkörper, der das angebrachte Objekt trägt, und eine Vibrationsdämpfungslagerung, die den Tragkörper trägt, wobei der Tragkörper Folgendes aufweist: ein erstes Element, welches das angebrachte Objekt trägt und von der Vibrationsdämpfungslagerung getragen wird, ein zweites Element, dessen Dicke von jener des ersten Elements verschieden ist und welches das erste Element überlappt, ein Befestigungselement, welches das erste und das zweite Element befestigt, und ein Dämpfungselement, dessen Steifigkeit geringer als jene des Befestigungselements ist und das durch die Variationsdifferenz zwischen dem ersten Element und dem zweiten Element verformt wird.
Vorteilhafte Wirkung
Gemäß der Erfindung kann eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung bereitgestellt werden, bei der Vibrationen eines Tragkörpers selbst beim Einwirken von Störungen in der Art von Umgebungstönen verringert werden.
Figurenliste
Es zeigen:

1 eine perspektivische Ansicht einer mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform,
2 eine Draufsicht der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform,
3 eine schematische Schnittansicht eines Tragkörpers, der in der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform enthalten ist,
die 4A und 4B schematische Ansichten einer Eigenmode eines Tragelements,
5 eine schematische Ansicht der Eigenmode des Tragelements, worauf Verstärkungselemente angeordnet sind,
6 eine schematische Ansicht einer Anordnung des Tragelements, der Verstärkungselemente, von Befestigungselementen und von Dämpfungselementen im Tragkörper,
7 eine perspektivische Ansicht einer mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform,
8 eine schematische Ansicht einer anderen Eigenmode des Tragelements,
9 eine perspektivische Ansicht einer mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform,
10 eine perspektivische Ansicht einer mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung gemäß einer Modifikation der dritten Ausführungsform,
11 eine perspektivische Ansicht einer mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform,
12 eine schematische Schnittansicht eines Zustands eines Tragkörpers, der in der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform enthalten ist, vor der Verformung,
13 eine schematische Schnittansicht eines Zustands des Tragkörpers, der in der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform enthalten ist, während der Verformung,
14 eine perspektivische Ansicht einer mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform und
15 eine schematische Schnittansicht eines in der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform enthaltenen Tragkörpers.

Beschreibung von Ausführungsformen
Nachstehend werden Ausführungsformen zur Implementation der Erfindung (nachstehend als „Ausführungsformen“ bezeichnet) angemessen detailliert mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben. In den Zeichnungen sind gemeinsame Abschnitte mit den gleichen Bezugszahlen bezeichnet, und es wird auf eine wiederholte Beschreibung von ihnen verzichtet.
Zuerst wird das durch die Erfindung zu lösende Problem beschrieben. Wenn eine Störung in der Art eines Umgebungstons auf ein Tragelement (die Basisplatte) einwirkt, welches eine Probenkammer der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung trägt und von einer Vibrationsdämpfungslagerung getragen wird, vibriert das Tragelement. Die Vibration wird über die Probenkammer auf einen Tisch oder eine Säule übertragen, wodurch eine Bildverwacklung hervorgerufen wird.
In PTL 1 sind zur Verringerung der Vibrationen an vier Ecken einer als Basisplatte bezeichneten im Wesentlichen rechteckigen flachen Platte Dämpfungselemente an den vier Ecken der Basisplatte angeordnet und sind darauf Vibrationsdämpfungsgewichte tragende dynamische Vibrationsabsorber angeordnet. Weil der dynamische Vibrationsabsorber jedoch nur die Vibrationen in einer Ziel-Eigenmode verringern kann, können nicht die Vibrationen in allen Eigenmoden verringert werden, wenn mehrere Eigenmoden angeregt werden. Ferner müssen zum Erreichen einer Vibrationsverringerung durch den dynamischen Vibrationsabsorber seine Masse, Steifigkeit und Dämpfung auf optimale Werte eingestellt werden, wobei es jedoch schwierig ist, die Steifigkeit und die Dämpfung der Dämpfungselemente genau vorherzusagen und sich die Parameter nur schwer optimal einstellen lassen.
In PTL 2 ist ein Dämpfungselement mit einer geringen Steifigkeit zwischen einem Anbringungsabschnitt und einem Tragabschnitt angeordnet, um eine Vibrationsentfernungsunterstützung zur Verringerung der Vibrationen vom Anbringungsabschnitt zum Tragabschnitt zu bewirken. Wenn Störungen in der Art von Umgebungstönen direkt auf den Tragabschnitt einwirken, erzeugt der Tragabschnitt jedoch Biegeverformungsvibrationen oder Torsionsverformungsvibrationen. Wenn sich das Dämpfungselement nicht an einer Bauchposition der Eigenmode befindet, können die Vibrationen nicht verringert werden. Zusätzlich wird, falls bei der einen hohen Grad an Parallelität erfordernden mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung eine Tragstruktur so ausgebildet ist, dass sich zwischen dem Tragabschnitt und dem Anbringungsabschnitt sandwichförmig ein Dämpfungselement mit einer geringen Steifigkeit befindet, wenn das Steifigkeitszentrum des Dämpfungselements und der Schwerpunkt eines über der Probenkammer angebrachten Objekts nicht auf derselben vertikalen Linie liegen, das angebrachte Objekt geneigt und kann der Parallelitätsgrad nicht aufrechterhalten werden. Ferner ist es bei der eine hohe Masse aufweisenden mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung für das Tragen der Vorrichtung erforderlich, eine hohe Dicke der Platte des Tragabschnitts und des Anbringungsabschnitts bereitzustellen. Bei der Tragstruktur, bei der das Dämpfungselement mit einer geringen Steifigkeit sandwichförmig zwischen dem Tragabschnitt und dem Anbringungsabschnitt angeordnet ist, müssen, damit die Steifigkeiten der jeweiligen Abschnitte einander nicht beeinflussen, die jeweiligen Abschnitte die notwendige Steifigkeit aufweisen, d. h. die notwendige Plattendicke, um die Vorrichtung zu tragen. Daher nimmt das Gewicht der Tragstruktur zu.
Daher wird in den folgenden Ausführungsformen eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung beschrieben, bei der ein Tragkörper steif genug ist, um eine Probenkammer zu tragen, während die Vibrationen des Tragkörpers selbst beim Einwirken einer Störung in der Art von Umgebungstönen verringert werden, der Grad der Parallelität des Tragkörpers aufrechterhalten wird und eine Erhöhung des Gewichts des Tragkörpers unterdrückt wird.
Erste Ausführungsform
Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung S
Eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung S gemäß einer ersten Aus führungs form wird mit Bezug auf 1 beschrieben. 1 ist eine perspektivische Ansicht der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform.
Die mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform ist ein Rasterelektronenmikroskop (SEM) und weist eine Säule 1, die einen Elektronenstrahl ausgibt, eine Probenkammer 2, die eine Probe (nicht dargestellt) in ein Vakuum einschließt, einen Tisch 3, der die Probe zu einer gewünschten Position bewegt, so dass sie aus verschiedenen Winkeln betrachtet werden kann, einen Tragkörper 4, der die Säule 1 und den Tisch 3 von der Probenkammer 2 trägt, eine Vibrationsdämpfungslagerung 9, die den Tragkörper 4 trägt, und einen Basisrahmen 10, der die Vibrationsdämpfungslagerung 9 von der Unterseite trägt, auf.
Ferner weist der Tragkörper 4 ein Tragelement (erstes Element, Lastplatte) 5, das die Probenkammer 2 trägt, Verstärkungselemente (zweites Element, Dämpfungsplatte) 6, welche das Tragelement 5 verstärken, Befestigungselemente 7, welche das Tragelement 5 und die Verstärkungselemente 6 befestigen, und Dämpfungselemente 8, welche das Tragelement 5 und die Verstärkungselemente 6 koppeln, auf. Das heißt, dass das Tragelement 5 und die Verstärkungselemente 6 durch die steifen Befestigungselemente 7 befestigt sind und durch das Dämpfungselement 8, das die Vibrationsenergie des Tragelemente 5 dämpft, gekoppelt sind. Einzelheiten des Tragkörpers 4 werden später mit Bezug auf 2 oder dergleichen beschrieben.
Die Säule 1 ist auf dem oberen Abschnitt oder an einer Seitenfläche der Probenkammer 2 angeordnet (1 zeigt ein Beispiel, bei dem die Säule 1 auf dem oberen Abschnitt der Probenkammer 2 angeordnet ist) . Der Tisch 3 ist an einer Seitenfläche der Probenkammer 2 angeordnet. Das Tragelement 5 des Tragkörpers 4 ist so eingerichtet, dass es die Probenkammer 2 von einer Bodenfläche oder einer Seitenfläche tragen kann (1 zeigt ein Beispiel, bei dem die Probenkammer 2 von der Bodenfläche durch eine obere Fläche des Tragelements 5 getragen wird). Ferner trägt die Vibrationsdämpfungslagerung 9 den Tragkörper 4 von einer unteren Fläche des Tragelements 5.
Die Bestandteile der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform sind nicht auf die vorstehend erwähnten beschränkt, und es können andere Bestandteile aufgenommen werden. Das Tragelement 5 der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform hat eine rechteckige Plattenstruktur, die Struktur ist jedoch nicht darauf beschränkt und kann beispielsweise eine polygonale Plattenstruktur sein. Das Tragelement 5 ist nicht auf die Plattenstruktur beschränkt und kann beispielsweise eine Auslegerstruktur (siehe die später beschriebene dritte Ausführungsform) oder eine andere Struktur sein, solange die Probenkammer 2 getragen werden kann.
Tragkörper 4
Als nächstes wird der in die mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform aufgenommene Tragkörper 4 näher mit Bezug auf die 2 und 3 beschrieben. 2 ist eine Draufsicht der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform. 3 ist eine schematische Schnittansicht des in der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform enthaltenen Tragkörpers 4. Bei der in 3 dargestellten schematischen Schnittansicht ist der Tragkörper 4 durch das Tragelement 5 und das Verstärkungselement 6 verlaufend unterteilt.
Das Tragelement 5 ist eine Basisplatte, welche die Probenkammer 2 trägt (angebrachtes Objekt, das die auf einer oberen Fläche oder der Seitenfläche der Probenkammer 2 und des Tisches 3 angeordnete Säule 1 aufweist) und die rechteckige Plattenstruktur aus dem Beispiel aus 1 aufweist. Das Tragelement 5 trägt die Probenkammer 2, die im Wesentlichen im Zentrum auf der Seite der oberen Fläche des Tragelements 5 angebracht ist. Ferner wird das Tragelement 5 am Basisrahmen 10 über die Vibrationsdämpfungslagerung 9 auf der Seite der unteren Fläche des Tragelements gehalten.
Das Verstärkungselement 6 ist so auf der Seite der oberen Fläche des Tragelements 5 angeordnet, dass sich das Tragelement 5 und das Verstärkungselement 6 überlappen. Ferner unterscheidet sich die Plattendicke des Verstärkungselements 6 von der Plattendicke des Tragelements 5. Beispielsweise kann die Plattendicke des Verstärkungselements 6 zwischen etwa 1/3 und 2 /3 der Plattendicke des Tragelements 5 liegen.
Die Plattendicke des Tragelements 5 ist nicht beschränkt, solange das Tragelement 5 steif genug ist, um die Probenkammer 2 zu tragen, und sie liegt zwischen etwa 20 mm und 50 mm. Das Material des Tragelements 5 und des Verstärkungselements 6 ist nicht auf Stahl beschränkt und kann auch ein Material mit einer hohen Dämpfungswirkung in der Art eines Metallmaterials in der Art von Ferrum Casting (FC) oder Ferrum Casting Ductile (FCD), eine Keramik oder ein Verbundmaterial aus Keramik und einem Metallmaterial sein. Weil sich die Dämpfungswirkung des Elements verbessert, wird die Vibrationsverringerungswirkung des Tragköpers 4 daher weiter verbessert.
Das Tragelement 5 und die Verstärkungselemente 6 sind mit Befestigungslöchern 11 und Kopplungslöchern 12 versehen, welche das Tragelement 5 und die Verstärkungselemente 6 durchdringende Durchgangslöcher sind (siehe 3). Die Position des Lochs des Verstärkungselements 6 befindet sich dort, wo die Mittelachse des Lochs des Verstärkungselements 6 mit der Mittelachse des Lochs des Tragelements 5 koaxial ist, wenn das Verstärkungselement 6 auf dem Tragelement 5 angeordnet ist.
Das Befestigungselement 7 hat eine höhere Steifigkeit als das Dämpfungselement 8 und fixiert das Tragelement 5 und das Verstärkungselement 6, so dass diese Elemente selbst dann nicht voneinander getrennt werden, wenn das Tragelement 5 vibriert. Das Befestigungselement 7 ist beispielsweise durch einen Metallbolzen 7a und eine Mutter 7b gebildet und wird im Befestigungsloch 11 (siehe 3) angeordnet, welches das Tragelement 5 und das Verstärkungselement 6 durchdringt, um das Tragelement 5 und das Verstärkungselement 6 zu fixieren. Zusätzlich ist zur Unterscheidung vom Dämpfungselement 8 das Befestigungselement 7 in den 1 und 2 als hexagonaler Bolzen mit einem Bolzenkopfabschnitt, dessen äußere Form eine hexagonale Säule ist, dargestellt, jedoch nicht darauf beschränkt.
Das Befestigungselement 7 wird als eines beschrieben, das den Bolzen 7a und die Mutter 7b verwendet, ist jedoch nicht darauf beschränkt. Das Befestigungselement 7 kann das Tragelement 5 und das Verstärkungselement 6 durch Schweißen, Nieten oder Bonden durch einen Stift fixieren. Zusätzlich wird das Befestigungsloch 11 als ein Durchgangsloch beschrieben, welches das Tragelement 5 und das Verstärkungselement 6 durchdringt, ist jedoch nicht darauf beschränkt. Das Befestigungsloch im Tragelement 5 oder im Verstärkungselement 6 kann ein Schraubloch sein, und der Bolzen 7a, der das Befestigungselement 7 ist, kann in das Befestigungsloch geschraubt werden, um die Elemente zu fixieren.
Das Dämpfungselement 8 hat eine geringere Steifigkeit als das Befestigungselement 7 (beispielsweise eine Steifigkeit, die höchstens 1/10 der Steifigkeit des Befestigungselements 7 ist), und es handelt sich dabei um ein Element, das die Vibrationsenergie des Tragelements 5 durch Reibung oder die Viskoelastizität des Materials des Elements dämpft. Das heißt, dass, wenn das Tragelement 5 vibriert und eine relative Variation zwischen dem Tragelement 5 und dem Verstärkungselement 6 an einer Position des Dämpfungselements 8 auftritt, das Dämpfungselement 8 verformt wird. Wenn das Dämpfungselement 8 verformt wird, wird die Vibrationsenergie des Tragelements 5 abgeführt und werden die Vibrationen des Tragelements 5 verringert. Das Dämpfungselement 8 besteht beispielsweise aus einem Bolzen 8a und einer Mutter 8b aus Harz, Gummi oder dergleichen und befindet sich im Kopplungsloch 12 (siehe 3), welches das Tragelement 5 und das Verstärkungselement 6 durchdringt, um das Tragelement 5 und das Verstärkungselement 6 zu koppeln. Zusätzlich ist in den 1 und 2 das Dämpfungselement 8 zur Unterscheidung vom Befestigungselement 7 als ein Bolzen mit einem Loch dargestellt, der einen Bolzenkopfabschnitt aufweist, dessen äußere Form zylindrisch ist (es ist jedoch ein Loch am Kopfabschnitt fortgelassen), es ist jedoch nicht darauf beschränkt.
Das Dämpfungselement 8 wird als eines beschrieben, das den Bolzen 8a und die Mutter 8b verwendet, ist jedoch nicht darauf beschränkt. Zusätzlich wird das Kopplungsloch 12 als ein Durchgangsloch beschrieben, welches das Tragelement 5 und das Verstärkungselement 6 durchdringt, ist jedoch nicht darauf beschränkt. Das Kopplungsloch im Tragelement 5 oder im Verstärkungselement 6 kann ein Schraubloch sein, und der Bolzen 8a, der das Dämpfungselement 8 ist, kann in das Kopplungsloch geschraubt werden, um die Elemente zu koppeln.
Ferner kann das Dämpfungselement 8 zusätzlich zu Gummi, Harz oder dergleichen aus einem Material mit einer hohen Dämpfung und einem Young-Modul von höchstens 1/10 dessen des Materials des Tragelements 5 und des Verstärkungselements 6 bestehen. Die Struktur des Dämpfungselements 8 ist nicht auf eine Bolzen- und Mutterstruktur aus Gummi, Harz oder dergleichen beschränkt, wobei es sich um Materialien mit einer hohen Dämpfung handelt, und es kann sich dabei um eine beliebige Struktur handeln, solange sie durch Reibung oder dergleichen gedämpft werden kann und eine Steifigkeit von höchstens 1/10 jener des Tragelements 5 und des Verstärkungselements 6 aufweist. Beispielsweise kann die Struktur derart sein, dass ein Stift in das Kopplungsloch 12 des Tragelements 5 und des Verstärkungselements 6 eingeführt wird. Falls die Struktur des Dämpfungselements 8 eine hohe Dämpfung aufweist und die Steifigkeit auf höchstens 1/10 jener des Tragelements 5 oder des Verstärkungselements 6 gelegt werden kann, braucht das Material des Dämpfungselements 8 kein Young-Modul von höchstens 1/10 des Materials des Tragelements 5 oder des Verstärkungselements 6 aufzuweisen und kann beispielsweise ein Metallmaterial mit einer hohen Dämpfungswirkung in der Art einer Magnesiumlegierung sein.
Hier wird die Eigenmode des Tragelements 5 mit der rechteckigen Plattenstruktur mit Bezug auf die 4A und 4B beschrieben. Die 4A und 4B sind schematische Ansichten einer Eigenmode des Tragelements 5, wobei 4A ein Beispiel einer Mode ist, bei der benachbarte Eckabschnitte der vier Ecken der Platte in entgegengesetzten Phasen vibrieren, und 4B ein Beispiel einer Mode ist, bei der die Eckabschnitte der vier Ecken der Platte in der gleichen Phase vibrieren. In den 4A und 4B (das Gleiche gilt für die 5 und 8, die später beschrieben werden) ist die äußere Form des Tragelements 5 vor der Vibration durch eine dünne durchgezogene Linie dargestellt und ist die Form des Tragelements 5 in jeder Eigenmode hervorgehoben und größer als die eigentliche Amplitude dargestellt. Zusätzlich ist der Betrag der Amplitude durch eine Punktschattierung angegeben, wobei die Schattierung so angewendet ist, dass die Punkte umso spärlicher sind, je größer die Amplitude in einem Gebiet ist, und die Punkte umso dichter sind, je kleiner die Amplitude in einem Gebiet ist.
Knotenpositionen in der Eigenmode befinden sich hauptsächlich in der Nähe der Probenkammer 2 (in den 4A und 4B ist ein Gebiet, in dem sich die Probenkammer 2 befindet, durch eine gestrichelte Linie 20 angegeben). Weil das Tragelement 5 an der Probenkammer 2 befestigt ist, liegen die Knotenpositionen in den Eigenmoden im Wesentlichen in der Nähe der Probenkammer 2, selbst wenn das Tragelement 5 eine andere Form als die rechteckige Plattenstruktur aufweist.
Die Bauchpositionen der Eigenmode sind in den 4A und 4B durch Pfeile 21 angegeben, und die Positionen befinden sich hauptsächlich an den vier Ecken des Tragelements 5.
Daher können, wie in den 1 und 2 dargestellt ist, die Positionen, an denen die Befestigungselemente 7 das Tragelement 5 und die Verstärkungselemente 6 fixieren (die Positionen, an denen die Befestigungslöcher 11 bereitgestellt sind), beispielsweise in der Nähe der Knotenpositionen des Tragelements 5 in der Eigenmode liegen. Ferner können, wie in den 1 und 2 dargestellt ist, die Positionen, an denen die Dämpfungselemente 8 das Tragelement 5 und die Verstärkungselemente 6 koppeln (die Positionen, an denen die Kopplungslöcher 12 bereitgestellt sind), beispielsweise in der Nähe der Bauchpositionen des Tragelements 5 in der Eigenmode liegen.
Als nächstes wird die Eigenmode des Tragkörpers 4, worin die Verstärkungselemente 6 auf dem Tragelement 5 angeordnet sind, mit Bezug auf 5 beschrieben. 5 zeigt schematisch die Eigenmode des Tragelements 5, worauf die Verstärkungselemente 6 angeordnet sind. 5 zeigt ein Beispiel einer Mode, in der benachbarte Eckabschnitte der vier Ecken der Platte in entgegengesetzten Phasen vibrieren (siehe die in 4A dargestellte Mode).
Wenn eine Störung in der Art eines Umgebungstons auf das Tragelement 5 wirkt und die Eigenmode des Tragelements 5 angeregt wird, wie in 5 dargestellt ist, geschieht der relative Versatz zwischen dem Tragelement 5 und dem Verstärkungselement 6 an der Bauchposition des Tragelements 5 in der Eigenmode. Ferner wird das Dämpfungselement 8 an einer Position verformt, an der der relative Versatz auftritt, wird die Vibrationsenergie des Tragelements 5 abgeführt und wird die Vibration des Tragelements 5 verringert.
Weil eine Biegemode der Platte des Tragelements 5 im Allgemeinen eine Mode ist, bei der die vier Ecken des Tragelements 5 Bauchpositionen sind, kann hierbei die Vibration in mehreren Eigenmoden verringert werden, falls der in der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform enthaltene Tragkörper 4 wie vorstehend erwähnt ausgebildet ist.
Ferner ist der Tragkörper 4, der in der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform enthalten ist, so aufgebaut, dass das Tragelement 5 und die Verstärkungselemente 6 einander überlappen, durch die Befestigungselemente 7 fixiert sind und durch die Dämpfungselemente 8 gekoppelt sind und die Vibrationen des Tragelements 5 verringert werden können, ohne die Steifigkeit und die Dämpfung wie beim in PTL 1 offenbarten dynamischen Vibrationsabsorber einzustellen.
Wenn die Steifigkeit des Verstärkungselements 6 in Bezug auf die Plattendicke des Tragelements 5 zu gering ist, ist die Steifigkeitsdifferenz zu hoch, folgt die Verformung des Verstärkungselements 6 der Verformung des Tragelements 5 und ist es weniger wahrscheinlich, dass der relative Versatz dazwischen auftritt. Falls das Tragelement 5 und das Verstärkungselement 6 aus dem gleichen Material bestehen, beträgt die Plattendicke des Verstärkungselements 6 daher etwa 1/3 bis 2/3 jener des Tragelements 5. Ferner ist es, weil der in der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform enthaltene Tragkörper 4 das an der Probenkammer 2 angebrachte Objekt nur durch das Tragelement 5 trägt, nicht erforderlich, dass das Verstärkungselement 6 steif genug ist, um das an der Probenkammer 2 angebrachte Objekt zu tragen.
Zusätzlich kann der Grad an Parallelität aufrechterhalten werden, weil das Tragelement 5 eine hohe Steifigkeit aufweist und kaum verformt wird, selbst wenn ein schweres an der Probenkammer 2 angebrachtes Objekt angeordnet wird.
Mit der vorstehenden Konfiguration können selbst dann, wenn Störungen in der Art von Umgebungstönen auf verschiedene Abschnitte des Tragelements 5 einwirken, die Vibrationen in mehreren Eigenmoden leicht verringert werden und können ferner der Grad an Parallelität und die Steifigkeit des Tragelements 5 aufrechterhalten werden.
Hier wurde eine Parameteruntersuchung unter der in 6 dargestellten Bedingung ausgeführt. 6 ist eine schematische Ansicht einer Anordnung des Tragelements 5, der Verstärkungselemente 6, der Befestigungselemente 7 und der Dämpfungselemente 8 im Tragkörper 4. Die Anordnung der Befestigungselemente 7 und der Dämpfungselemente 8 ist nur an einem dem Verstärkungselement 6 auf der oberen rechten Seite der Zeichnung entsprechenden Abschnitt dargestellt, während die den anderen Verstärkungselementen 6 entsprechenden Abschnitte ähnlich sind und auf ihre Darstellung verzichtet wird.
Hier wurden die Länge einer Seite des quadratischen plattenförmigen Tragelements 5 auf L5 (= 1000 mm) gesetzt, die Länge einer Seite des quadratischen plattenförmigen Verstärkungselements 6 auf L6 (= 350 mm) gesetzt, die Position des Befestigungselements 7 von einem Ende des Tragelements 5 auf L7 gesetzt und die Position des Dämpfungselements 8 von einem Ende des Tragelements 5 auf L8 gesetzt. Das Zentrum des Tragelements 5 und die Position des Befestigungselements 7, die dem Zentrum des Tragelements 5 am nächsten lag, wurden als Beurteilungspunkte P festgelegt, und es wurden die Vibrationen des Tragelements 5 an den Beurteilungspunkten P beurteilt.
Unabhängig davon, wie das Befestigungselement 7 und das Dämpfungselement 8 angeordnet sind, geschieht, wenn das Tragelement 5 vibriert, ein Versatz zwischen dem Tragelement 5 und dem Verstärkungselement 6 an der Position des Dämpfungselements 8, wird das Dämpfungselement 8 verformt und wird die Vibrationsenergie des Tragelements 5 abgeführt, so dass die Vibration des Tragelements 5 verringert werden kann.
Insbesondere werden die Position L7 des Befestigungselements 7 von einem Ende der Platte auf einen Bereich zwischen 1/7 und 1/6 der Länge L5 des Tragelements 5 gesetzt und die Position L8 des Dämpfungselements 8 von einem Ende der Platte auf einen Bereich zwischen 1/5 und 1/4 der Länge L5 des Tragelements 5 gesetzt, so dass die Vibrationen des Tragelements 5 weiter verringert werden können.
Zweite Ausführungsform
Als nächstes wird eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung SA gemäß einer zweiten Ausführungsform mit Bezug auf 7 beschrieben. 7 ist eine perspektivische Ansicht der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SA gemäß der zweiten Ausführungsform.
Die mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung SA gemäß der zweiten Ausführungsform unterscheidet sich von der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform in der Konfiguration eines Tragkörpers 4A. Insbesondere sind Positionen, an denen die Verstärkungselemente 6 am Tragelement 5 angeordnet sind, verschieden. Das heißt, dass die Verstärkungselemente 6 bei der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform an den vier Ecken des Tragelements 5 angeordnet sind, während bei der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SA gemäß der zweiten Ausführungsform, die in 7 dargestellt ist, Verstärkungselemente 6a an vier Ecken des Tragelements 5 angeordnet sind und Verstärkungselemente 6b ferner in der Nähe des Zentrums jeder Seite des Tragelements 5 hinzugefügt sind. Andere Konfigurationen sind ähnlich, und es wird auf eine wiederholte Beschreibung verzichtet.
Beim Verstärkungselement 6b, das im Zentrum jeder Seite des Tragelements 5 angeordnet ist, befindet sich das Befestigungselement 7 in der Nähe der Probenkammer 2 und befindet sich das Dämpfungselement 8 in der Nähe des Zentrums jeder Seite des Tragelements 5.
8 ist eine schematische Ansicht einer anderen Eigenmode des Tragelements 5, und es handelt sich dabei um ein Beispiel der Eigenmode, bei der die Umgebung der Probenkammer 2 (in 8 ist ein Gebiet, in dem sich die Probenkammer 2 befindet, durch die unterbrochene Linie 20 angegeben) ein Knoten ist und das durch einen Pfeil 22 angegebene Zentrum jeder Seite des Tragelements 5 ein Bauch ist.
Weil bei der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SA gemäß der zweiten Ausführungsform in der Nähe des Zentrums jeder Seite des Tragelements 5 das Verstärkungselement 6b hinzugefügt ist, kann die Vibration in der in 8 dargestellten Eigenmode gedämpft werden. Weil die Verstärkungselemente 6a ferner ähnlich wie bei der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform an den vier Ecken des Tragelements 5 angeordnet sind, können die Vibrationen in der in den 4A und 4B dargestellten Eigenmode gedämpft werden. Das heißt, dass bei der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SA gemäß der zweiten Ausführungsform mehr Vibrationen in der Eigenmode als bei der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform gedämpft werden können.
Dritte Ausführungsform
Als nächstes wird eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung SB gemäß einer dritten Ausführungsform mit Bezug auf 9 beschrieben. 9 ist eine perspektivische Ansicht der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SB gemäß der dritten Ausführungsform.
Die mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung SB gemäß der dritten Ausführungsform unterscheidet sich von der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform in Bezug auf die Form eines Tragelements 5B eines Tragkörpers 4B. Zusätzlich trägt bei der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform das Tragelement 5 die Probenkammer 2 von ihrer Bodenfläche, während bei der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SB gemäß der dritten Ausführungsform das Tragelement 5B unterteilt ist und die Probenkammer 2 von ihrer Seitenfläche getragen wird. Andere Konfigurationen sind ähnlich, und es wird auf eine wiederholte Beschreibung verzichtet.
Das Tragelement 5B der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SB gemäß der dritten Ausführungsform kann mit einer Kerbe 51 zwischen zwei von der Vibrationsdämpfungslagerung 9 gehaltenen Punkten versehen sein, wodurch die Unterstützung der Probenkammer 2 nicht beeinträchtigt wird. Dadurch können die Vibrationen in der Eigenmode unterdrückt werden, bei der das Zentrum des Tragelements 5B die Bauchposition ist.
Beim Tragkörper 4B der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SB gemäß der dritten Ausführungsform wird die Probenkammer 2 durch zwei Tragelemente 5B getragen, bei einer Unterstützung an vier Punkten kann die Probenkammer 2 jedoch auch durch vier Tragelemente getragen werden und kann die Größe des Tragelements nur in einen Bereich gesetzt werden, in dem die Vibrationsdämpfungslagerung 9 und die Probenkammer 2 linear gekoppelt sind.
Beim Tragkörper 4B der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SB gemäß der dritten Ausführungsform wird das Tragelement 5B als Plattenstruktur beschrieben, ist jedoch nicht darauf beschränkt. 10 ist eine perspektivische Ansicht einer mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SC gemäß einer Modifikation der dritten Ausführungsform. Wie in 10 dargestellt ist, kann ein Tragelement 5C eines Tragkörpers 4C eine Auslegerstruktur aufweisen.
Die Positionen der Verstärkungselemente 6C, der Befestigungselemente 7 und der Dämpfungselemente 8 können ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform geeignet bereitgestellt werden.
Wie vorstehend beschrieben wurde, können bei den mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtungen SB, SC gemäß der dritten Ausführungsform die Größe und das Gewicht der Tragelemente 5B, 5C durch Anordnen der Tragelemente 5B, 5C an erforderlichen Positionen verringert werden.
Vierte Ausführungsform
Als nächstes wird eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung SD gemäß einer vierten Ausführungsform mit Bezug auf 11 beschrieben. 11 ist eine perspektivische Ansicht der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SD gemäß der vierten Ausführungsform.
Die mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung SD gemäß der vierten Ausführungsform unterscheidet sich von der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform in Bezug auf den Aufbau eines Dämpfungselements 8D eines Tragkörpers 4D. Andere Konfigurationen sind ähnlich, und es wird auf eine wiederholte Beschreibung verzichtet.
Bei der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform befindet sich das Dämpfungselement 8 innerhalb der vier Ecken des Tragelements 5 in der Nähe der Bauchpositionen der Platte des Tragelements 5 im Biegemodus, während sich das Dämpfungselement 8D bei der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SD gemäß der vierten Ausführungsform an einer Seitenfläche in der Nähe der Bauchposition eines Tragelements 5D und eines Verstärkungselements 6D befindet.
12 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Zustand des in der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SD gemäß der vierten Ausführungsform enthaltenen Tragkörpers 4D vor der Verformung zeigt. 13 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Zustand des in der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SD gemäß der vierten Ausführungsform enthaltenen Tragkörpers 4D während der Verformung zeigt.
Wie in 12 dargestellt ist, ist das Dämpfungselement 8D aus Dämpfungsabschnitten 81 aus einem dämpfenden Material in der Art von Gummi und einem Tragabschnitt 82 aus einem Harz, dessen Steifigkeit höher als jene von Gummi ist, oder einem Metallmaterial gebildet. Die Dämpfungsabschnitte 81 des Dämpfungselements 8 befinden sich an jeweiligen Seitenflächen des Tragelements 5D und des Verstärkungselements 6D, und die beiden Dämpfungsabschnitte 81 sind durch den Tragabschnitt 82 gekoppelt. Es ist dargestellt, dass ein Dämpfungsabschnitt 81 jeweils am Tragelement 5 und am Verstärkungselement 6 angeordnet ist, die Anzahl ist jedoch nicht darauf beschränkt. Ferner kann die Größe des Dämpfungsabschnitts 81 entsprechend der Größe des Tragelements 5 und des Verstärkungselements 6 erhöht werden.
Wie in 13 dargestellt ist, machen die Dämpfungsabschnitte 81 des Dämpfungsmaterials eine Scherverformung durch und wird die Vibrationsenergie abgeführt, wenn das Tragelement 5D und das Verstärkungselement 6D verformt werden.
Weil bei der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SD gemäß der vierten Ausführungsform der Dämpfungsteil (Dämpfungsabschnitte 81) des Dämpfungselements 8D vergrößert werden kann, kann die Vibrationsunterdrückungswirkung in der Biegemode gegenüber dem Dämpfungselement 8 (dem Bolzen 8a und der Mutter 8b) der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform erhöht werden.
Fünfte Ausführungsform
Als nächstes wird eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung SE gemäß einer fünften Ausführungsform mit Bezug auf 14 beschrieben. 14 ist eine perspektivische Ansicht der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SE gemäß der fünften Ausführungsform.
Die mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung SE gemäß der fünften Ausführungsform unterscheidet sich von der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform in Bezug auf den Aufbau eines Dämpfungselements 8E eines Tragkörpers 4E. Andere Konfigurationen sind ähnlich, und es wird auf eine wiederholte Beschreibung verzichtet.
15 ist eine schematische Schnittansicht des in der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SE gemäß der fünften Ausführungsform enthaltenen Tragkörpers 4E.
Ein Tragelement 5E ist mit abgestuften Rillen 13 versehen, in denen sich Dämpfungselemente 8E befinden, welche von der Ober- und Unterseite durch das Tragelement 5E und das Verstärkungselement 6E komprimiert und sandwichförmig dazwischen eingeschlossen werden. Die abgestufte Rille 13 kann eine beliebige Form annehmen, solange die Struktur groß genug ist, um das Dämpfungselement 8E darin aufzunehmen. Wenngleich die abgestufte Rille 13 auf einem Seitenabschnitt des Tragelements 5E bereitgestellt ist, kann sie auf einem Seitenabschnitt des Verstärkungselements 6E bereitgestellt werden.
Selbst wenn das Dämpfungselement 8 durch das Verstärkungselement 6 komprimiert und verformt wird, ist die abgestufte Rille 13 eine ausweichende Verformungsstelle des Dämpfungselements 8. Selbst wenn ein Versatz zwischen dem Tragelement 5 und dem Verstärkungselement 6 auftritt, bleiben das Tragelement 5 und das Verstärkungselement 6 durch das Dämpfungselement 8 gekoppelt, weil ein Teil des Dämpfungselements 8, der in die abgestufte Rille 13 entwichen ist, in den ursprünglichen Zustand zurückkehrt.
Bei der vorstehend beschriebenen Konfiguration kann die Form des Dämpfungselements 8E bei der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung SE gemäß der fünften Ausführungsform entsprechend einer verformten Gestalt in der Eigenmode eingerichtet werden und kann die Größe des Dämpfungselements 8E beliebig festgelegt werden, so dass die Vibrationsunterdrückungswirkung in der Biegemode gegenüber dem Dämpfungselement 8 der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung S gemäß der ersten Ausführungsform erhöht werden kann.
Modifikation
Die mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtungen S bis SE gemäß der vorliegenden Ausführungsform (ersten bis fünften Ausführungsform) sind nicht auf die Konfigurationen der vorstehenden Ausführungsformen beschränkt, und es können verschiedene Modifikationen vorgenommen werden, ohne vom Schutzumfang der Erfindung abzuweichen.
Die mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtungen S bis SE gemäß den Ausführungsformen wurden als SEM beschrieben, sind jedoch nicht darauf beschränkt. Beispielsweise kann es sich um ein mit einem fokussierten Ionenstrahl arbeitendes System (FIB) oder ein Transmissionselektronenmikroskop (TEM) handeln.
Bezugszeichenliste

1: Säule
2: Probenkammer
3: Tisch
4: Tragkörper
5: Tragelement (erstes Element)
6: Verstärkungselement (zweites Element)
7: Befestigungselement
8: Dämpfungselement
9: Vibrationsdämpfungslagerung
10: Basisrahmen
11: Befestigungsloch
12: Kopplungsloch
13: abgestufte Rille

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 3741558 [0002]
JP 2013126072 A [0002]

Claims

Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung, welche Folgendes aufweist: ein angebrachtes Objekt, das eine Säule, eine Probenkammer und einen Tisch aufweist, einen Tragkörper, der das angebrachte Objekt trägt, und eine Vibrationsdämpfungslagerung, die den Tragkörper trägt, wobei der Tragkörper Folgendes aufweist: ein erstes Element, welches das angebrachte Objekt trägt und von der Vibrationsdämpfungslagerung getragen wird, ein zweites Element, dessen Dicke von jener des ersten Elements verschieden ist und welches das erste Element überlappt, ein Befestigungselement, welches das erste und das zweite Element befestigt, und ein Dämpfungselement, dessen Steifigkeit geringer als jene des Befestigungselements ist und das durch die Variationsdifferenz zwischen dem ersten Element und dem zweiten Element verformt wird.
Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Befestigungselement an einer Position angeordnet ist, die einer Knotenposition des ersten Elements in einer Eigenmode entspricht, und wobei das Dämpfungselement an einer Position angeordnet ist, die einer Bauchposition des ersten Elements in der Eigenmode entspricht.
Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei das Befestigungselement an einer Position angeordnet ist, die einer Knotenposition einer Platte des ersten Elements in einer Biegemode entspricht, und wobei das Dämpfungselement an einer Position angeordnet ist, die einer Bauchposition der Platte des ersten Elements in der Biegemode entspricht.
Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei das erste Element eine rechteckige Plattenform aufweist, das Befestigungselement an einer Position angeordnet ist, die einer Knotenposition der Platte des ersten Elements entspricht, wobei ihre vier Ecken in der Biegemode vibrieren, und das Dämpfungselement an einer Position angeordnet ist, die einer Bauchposition der Platte des ersten Elements entspricht, wobei die vier Ecken in der Biegemode vibrieren.
Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das erste Element eine quadratische Plattenform aufweist, das Befestigungselement in einem Bereich zwischen 1/7 und 1/6 der Länge einer Seite des ersten Elements von einem Ende der Platte des ersten Elements angeordnet ist und das Dämpfungselement in einem Bereich zwischen 1/5 und 1/4 der Länge einer Seite des ersten Elements von einem Ende der Platte des ersten Elements angeordnet ist.
Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das erste Element eine Plattenstruktur ist, deren Dicke zwischen 20 mm und 50 mm liegt, und das zweite Element eine Plattenstruktur ist, deren Dicke zwischen 1/3 und 2/3 jener des ersten Elements liegt.
Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das erste Element in mehrere Abschnitte unterteilt ist.
Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei das Dämpfungselement auf äußeren Umfangsseitenflächen des ersten Elements und des zweiten Elements angeordnet ist.
Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei das Dämpfungselement in einer im ersten oder im zweiten Element bereitgestellten abgestuften Rille angeordnet ist.