JP5033844B2 - イオン顕微鏡 - Google Patents
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Description
にスパッタ作用は小さくなり試料を観察するのに好適となる。ここで、水素やヘリウムイオンの試料表面への侵入による二次電子の励起領域が電子照射に比べ試料表面により局在することから、水素やヘリウムイオンを利用したSIM画像はSEM画像以上に極試料表面情報に敏感になる。さらに、顕微鏡の観点では、イオンは電子に比べて重いため、そのビーム集束において回折効果を無視でき、焦点深度の非常に深い像が得られるという特徴もある。
載した走査イオン顕微鏡が開示されている。
図面は専ら発明の理解のために用いるものであり、権利範囲を減縮するものではない。また、各実施例は適宜組み合わせることが可能であり、当該組み合わせ形態についても明細書は開示している。
また、高圧力のヘリウムガスがGM型冷凍機内部で周期的に膨張することにより寒冷を発生させ、膨張して低圧力になった低圧ヘリウムガスは、配管101を通じて圧縮機ユニットに回収される。
冷却されたヘリウムガスは、断熱されたトランスファーチューブ404内の配管403を通じて輸送され、ガス電界電離イオン源1近くに配置された熱交換器405に流入する。
また、ガス分子イオン化室には、ガス供給配管25が接続されている。このガス供給配管25により、イオン化ガスであるヘリウムガスあるいは水素ガスが供給される。このイオン化ガスは、流量調節装置40で所定の流量に制御される。ガス供給配管25は、図示はしていないが、冷却伝導体406に熱接触させた後に冷却伝導棒53に熱接触させ、冷却伝導棒53の温度まで冷却された後にガス分子イオン化室内に導かれている。
未満に短くすると、0.5nm未満の超高分解能が実現する。従来は、ガリウムなどのイオンが用いられていたため、試料からのスパッタ粒子が対物レンズを汚染して、正常動作を妨げる懸念があったが、本実施例におけるイオン顕微鏡ではこの懸念が少なく、超高分解能を実現している。
これにより、エミッタティップ21の冷却が実現する。
本発明は、イオンビームにより試料を加工して断面を形成して、この断面をイオン顕微鏡で観察する装置、及び断面観察方法にも利用できる。また、本発明は、イオン顕微鏡による試料観察、電子顕微鏡による試料観察、及び元素分析を1台で実施でき、欠陥や異物などを観察や解析する解析装置や検査装置にも利用できる。
2 イオンビーム照射系カラム
3 真空試料室
5 コンデンサレンズ
6 ビーム制限アパーチャ
7 ビーム走査電極
8 対物レンズ
9 試料
10 試料ステージ
11 二次粒子検出器
12 イオン源真空排気用ポンプ
13 試料室真空排気用ポンプ
14 イオンビーム
15 ガス分子イオン化室
16 圧縮機ユニット
17 装置架台
18 ベースプレート
19 除振機構
21 エミッタティップ
22 フィラメント
23 フィラメントマウント
24 引き出し電極
25 ガス供給配管
26 真空隔壁
27 小孔
28 側壁
29 天板
30 積層断熱材
51 真空容器
52,55 サファイアベース
53 冷却伝導棒
54,56 銅網線
60 電極
61 ベローズA
62 ベローズB
92 冷却機構制御装置
93 レンズ制御装置
94 ビーム制限アパーチャ制御装置
95 イオンビーム走査制御装置
96 二次電子検出器制御装置
97 試料ステージ制御装置
98 真空排気用ポンプ制御装置
99 計算処理装置
101,102,403,407,413,415,502,504 配管
103 支柱
400 圧縮機ユニット
401 GM型冷凍機
402,405,409,410,412,600 熱交換器
404 トランスファーチューブ
406 冷却伝導体
432 支持体
433,434 ベロー
500 液体窒素容器
506 弁
Claims (10)
- 先端が針状のエミッタティップと、前記エミッタティップが配置されたイオン化室と、前記エミッタティップの先端近傍にガス分子を供給する配管と、前記ガス分子をイオン化する電界を前記エミッタティップの先端近傍に発生させる引き出し電極と、を有する電界電離イオン源と、
試料を載置する試料台と、
前記ガス電界電離イオン源からのイオンビームを試料上に集束させるレンズと、
前記電界電離イオン源,前記試料台、及び前記レンズを支持するベースと、
装置架台と、
前記ベースと前記装置架台の間に設けられた除振機構と、を備えるイオン顕微鏡において、
前記電界電離イオン源の一部と熱的に連結する冷却熱伝導体と、
前記冷却熱伝導体と熱的に結合する熱交換器と、
前記ベースと独立している冷凍機と、
前記熱交換器と前記冷凍機との間で冷媒を循環させる往復配管と、
前記往復配管の少なくとも一部を収容する真空断熱配管と、備え、
前記真空断熱配管の一端が前記ベースに支持されているイオン顕微鏡。 - 請求項1記載のイオン顕微鏡において、
前記電界電離イオン源を冷却する極低温度の冷媒が流動する第1の往復配管と、当該第1の往復配管を熱シールドするように配置され、前記極低温度の冷媒よりは温度の高い冷媒が流動する第2の往復配管と、を備えることを特徴とするイオン顕微鏡。 - 請求項1記載のイオン顕微鏡において、
前記ベースに支持されている前記真空断熱配管の前記一端が、前記冷却熱伝導体の貫通する隔壁を備え、前記真空断熱配管内に前記熱交換器が存在し、当該熱交換器が前記電界電離イオン源から真空隔離されていることを特徴とするイオン顕微鏡。 - 請求項3記載のイオン顕微鏡において、
前記真空隔壁がハニカム構造を備えることを特徴とするイオン顕微鏡。 - 請求項1記載のイオン顕微鏡において、
前記エミッタティップを支持するベースマウントと、
前記ベースマウントと前記引き出し電極とを接続する形状可変な機構部品と、を備え、
前記イオン化室が、少なくとも、前記ベースマウント,前記引き出し電極、及び前記形状可変な機構部品から構成され、前記イオン化室が移動可能となっていることを特徴とするイオン顕微鏡。 - 請求項1記載のイオン顕微鏡において、
前記真空断熱配管が少なくとも二つに分割され、前記真空断熱配管の一方を前記ベースに支持し、他方を前記装置架台に支持し、分割されている真空断熱配管をベローで真空連結することを特徴とするイオン顕微鏡。 - 請求項1記載のイオン顕微鏡において、
前記真空断熱配管が液体窒素回路を備え、前記真空断熱配管の内部を冷却することを特徴とするイオン顕微鏡。 - 請求項7記載のイオン顕微鏡において、
前記液体窒素回路と前記往復配管とが前記真空断熱容器内で熱的に一体化していることを特徴とするイオン顕微鏡。 - 請求項1記載のイオン顕微鏡において、
前記ベースに支持されている前記真空断熱配管の前記一端が、前記往復配管の貫通する前記隔壁を備え、前記真空断熱配管内が前記電界電離イオン源から真空隔離されていることを特徴とするイオン顕微鏡。 - 請求項1記載のイオン顕微鏡において、
前記電界電離イオン源,前記試料台、及び前記レンズが存在する真空容器をベーキングする際に、前記往復配管に冷媒を循環させる運転モードを有することを特徴とするイオン顕微鏡。
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