CN109155224A - 带电粒子束装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供即使在作用了环境音等干扰的情况下也减少支撑体的振动、保持支撑体的平行度、抑制支撑体的重量的增大并且支撑体具有支撑试料室的刚性的带电粒子束装置。支撑体(4)具有：支撑搭载物并支撑于除振支架的第一部件(5)；厚度与第一部件(5)的厚度不同并配置为与第一部件(5)重叠的第二部件(6)；固定第一部件(5)和第二部件(6)的固定部件(7)；以及刚性比固定部件(7)的刚性小并基于第一部件(5)与第二部件(6)的变位差而变形的衰减部件(8)。

Description

带电粒子束装置
技术领域
本发明涉及带电粒子束装置。
背景技术
在带电粒子束装置中，利用被称作基板的长方形的板来支撑包括试料室在内的镜筒、工作台。此处，专利文献1中公开一种减少基板的振动的方法。并且，专利文献2中公开一种减少其它工业用设备的振动的方法。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利3741558号公报
专利文献2：日本特开2013-126072号公报
发明内容
发明所要解决的课题
根据上述专利文献，无法减少因环境音等干扰引起的振动。
因此，本发明的目的在于提供一种即使在作用了环境音等干扰的情况下也减少支撑体的振动的带电粒子束装置。
用于解决课题的方案
为了解决这样的课题，本发明的带电粒子束装置的特征在于，具备：由镜筒、试料室及工作台构成的搭载物；支撑上述搭载物的支撑体；以及支撑上述支撑体的除振支架，上述支撑体具有：第一部件，其支撑上述搭载物，并且支撑于上述除振支架；第二部件，其厚度与上述第一部件的厚度不同，并且配置为与上述第一部件重叠；固定部件，其固定上述第一部件和上述第二部件；以及衰减部件，其刚性比上述固定部件的刚性小，并且基于上述第一部件与上述第二部件的变位差而变形。
发明的效果如下。
根据本发明，能够提供一种即使在作用了环境音等干扰的情况下也减少支撑体的振动的带电粒子束装置。
附图说明
图1是第一实施方式的带电粒子束装置的立体图。
图2是第一实施方式的带电粒子束装置的俯视图。
图3是第一实施方式的带电粒子束装置所具备的支撑体的截面模式图。
图4是示出支撑部件的固有振型的模式图。
图5是示出设置有加强部件的支撑部件的固有振型的模式图。
图6是示出支撑体的支撑部件、加强部件、固定部件、衰减部件的配置的模式图。
图7是第二实施方式的带电粒子束装置的立体图。
图8是示出支撑部件的其它固有振型的模式图。
图9是第三实施方式的带电粒子束装置的立体图。
图10是第三实施方式的变形例的带电粒子束装置的立体图。
图11是第四实施方式的带电粒子束装置的立体图。
图12是示出第四实施方式的带电粒子束装置所具备的支撑体的变形前的状态的截面模式图。
图13是示出第四实施方式的带电粒子束装置所具备的支撑体的变形时的状态的截面模式图。
图14是第五实施方式的带电粒子束装置的立体图。
图15是第五实施方式的带电粒子束装置所具备的支撑体的截面模式图。
具体实施方式
以下，适当地参照附图，对用于实施本发明的方式(以下称作“实施方式”)进行详细说明。此外，各图中，对共用的部分标注同一符号并省略重复的说明。
首先，对本发明的课题进行说明。若对支撑带电粒子束装置的试料室且由除振支架支撑的支撑部件(基板)作用环境音等干扰，则支撑部件振动。该振动经由试料室传递至工作台、镜筒，产生图像抖动。
在上述专利文献1中，为了减少被称作基板的大致长方形平板的四角的振动，在基板的四角设置减震部件，并在其上设置载置有防振用重物的动态吸振器。但是，由于动态吸振器只能够对成为目标的固有振型减少振动，所以在多个固有振型激励的情况下，无法减少所有的固有振型的振动。并且，为了发挥动态吸振器的振动减少效果，需要将动态吸振器的质量和刚性、衰减调整至最佳的值，但减震部件的刚性、衰减的正确的预测是困难的，进而很难将上述参数调整至最佳。
在上述专利文献2中，在安装部与支撑部之间设置有刚性较小的减震部件，并进行除振支撑以减少从安装部向支撑部的振动。但是，在对支撑部直接作用环境音等干扰的情况下，支撑部自身产生弯曲变形、扭转变形的振动。在减震部件未设置于上述固有振型的腹部位置的情况下，无法减少上述振动。并且，在要求较高的平行度的带电粒子束装置中，若成为利用刚性较小的减震部件来夹持支撑部和安装部的支撑构造，则在减震部件的刚性中心与位于试料室之上的搭载物的质量中心并未在同一铅垂线上的情况下，搭载物倾斜而无法保持平行度。另外，在质量较大的带电粒子束装置中，为了支撑该带电粒子束装置，需要增大支撑部和安装部的板厚。在利用刚性较小的减震部件来夹持支撑部和安装部的支撑构造中，由于各部分的刚性不相互影响，所以各部分需要具有支撑装置所需的刚性、即板厚。因此，支撑构造的重量增大。
因此，在以下的实施方式中，对即使在作用了环境音等干扰的情况下也能够减少支撑体的振动、保持支撑体的平行度、抑制支撑体的重量的增大且支撑体具有支撑试料室的刚性的带电粒子束装置进行说明。
《第一实施方式》
〈带电粒子束装置S〉
使用图1对第一实施方式的带电粒子束装置S进行说明。图1是第一实施方式的带电粒子束装置S的立体图。
第一实施方式的带电粒子束装置S是SEM(Scanning Electron Microscope；扫描式电子显微镜)，具备输出电子束的镜筒1、真空密封试料(未图示)的试料室2、使试料移动至所希望的位置以便能够从各种角度观察试料的工作台3、从试料室2侧支撑上述部件的支撑体4、支撑支撑体4的除振支架9、以及从除振支架9的下方进行支撑的架台10。
并且，支撑体4具备：支撑试料室2的支撑部件(第一部件、负载板)5；加强支撑部件5的加强部件(第二部件、减振板)6；固定支撑部件5和加强部件6的固定部件7；以及结合支撑部件5和加强部件6的衰减部件8。即，支撑部件5和加强部件6由具有刚性的固定部件7来固定，并且由使支撑部件5的振动能量衰减的衰减部件8来结合。此外，在下文中使用图2等对支撑体4进行详细说明。
镜筒1设置于试料室2的上部或者侧面(图1中示出在试料室2的上部设置有镜筒1的例子)。并且，工作台3设置于试料室2的侧面。支撑体4的支撑部件5设置为能够从底面或者侧面支撑试料室2(图1中示出在支撑部件5的上表面从底面支撑试料室2的例子)。而且，除振支架9从支撑部件5的下表面支撑支撑体4。
此外，第一实施方式的带电粒子束装置S的构成要素不限定于此，也可以具备其它构成要素。并且，第一实施方式的带电粒子束装置S的支撑部件5为长方形的板构造，但并不限定于此，例如也可以是多边形的板构造。并且，支撑部件5不限定于板构造，例如可以是梁构造(参照后述的第三实施方式)，若是能够支撑试料室2的构造，则也可以是其它构造。
〈支撑体4〉
接下来，使用图2以及图3，进一步对第一实施方式的带电粒子束装置S所具备的支撑体4进行说明。图2是第一实施方式的带电粒子束装置S的俯视图。图3是第一实施方式的带电粒子束装置S所具备的支撑体4的截面模式图。此外，图3所示的截面模式图是以通过支撑部件5以及加强部件6的方式剖切支撑体4而成的截面模式图。
支撑部件5是支撑试料室2(包括设于试料室2的上表面或者侧面的镜筒1以及工作台3在内的搭载物)的基板，图1的例子中具有长方形的板构造。此外，支撑部件5在上表面侧的大致中央支撑作为搭载物的试料室2。并且，支撑部件5在支撑部件5的下表面侧经由除振支架9支撑于架台10。
加强部件6设置为，在支撑部件5的上表面侧支撑部件5与加强部件6重叠。并且，加强部件6的板厚与支撑部件5的板厚不同。例如，加强部件6的板厚大致为支撑部件5的板厚的1/3以上2/3以下的厚度即可。
此外，若支撑部件5的板厚具有能够支撑试料室2的刚性，则没有限定，但大致为20mm以上50mm以下。并且，支撑部件5、加强部件6的材料不仅是钢材，例如也可以是FC(Ferrum Casting；灰铸铁)、FCD(Ferrum Casting Ductile；球墨铸铁)等金属材料、陶瓷、陶瓷和金属材料的复合材料等衰减性能较高的材料。由此，部件自身的衰减性能也变高，因而支撑体4的振动减少效果变得更高。
并且，在支撑部件5以及加强部件6设有作为贯通支撑部件5以及加强部件6的贯通孔的固定用孔11以及结合用孔12(参照图3)。此外，加强部件6的孔的位置设于在将加强部件6设置于支撑部件5时加强部件6的孔的中心轴与支撑部件5的孔的中心轴位于同轴线上的位置。
固定部件7是具有比衰减部件8高的刚性且在支撑部件5振动时也进行固定以使支撑部件5和加强部件6不分离的部件。固定部件7例如由金属的螺栓7a和螺母7b构成，配置于贯通支撑部件5以及加强部件6的固定用孔11(参照图3)，固定支撑部件5和加强部件6。并且，图1以及图2中，为了与衰减部件8区别，图示出固定部件7是螺栓头部的外形呈六棱柱状的六角螺栓，但并不限定于此。
此外，对固定部件7是使用螺栓7a和螺母7b的部件的情况进行了说明，但并不限定于此。固定部件7也可以利用焊接、铆接、基于销的结合来固定支撑部件5和加强部件6。并且，对固定用孔11是贯通支撑部件5以及加强部件6的贯通孔的情况进行了说明，但并不限定于此。也可以构成为在支撑部件5和加强部件6中任一方设置螺纹孔，将作为固定部件7的螺栓7a拧入来进行固定。
衰减部件8是具有比固定部件7低的刚性(例如为固定部件7的刚性的1/10以下的刚性)且利用摩擦、部件的材料自身的粘弹性来使支撑部件5的振动能量衰减的部件。即，若支撑部件5振动而在衰减部件8的位置在支撑部件5与加强部件6之间产生相对变位，则衰减部件8变形。当衰减部件8变形时，可使支撑部件5的振动能量消散，减少支撑部件5的振动。衰减部件8例如由树脂、橡胶等的螺栓8a和螺母8b构成，配置于贯通支撑部件5以及加强部件6的结合用孔12(参照图3)，结合支撑部件5和加强部件6。并且，图1以及图2中，为了与固定部件7区别，图示出衰减部件8是螺栓头部的外形呈圆柱状的带孔螺栓(其中省略头部孔)，但并不限定于此。
此外，对衰减部件8使用螺栓8a和螺母8b的情况进行了说明，但并不限定于此。并且，对结合用孔12是贯通支撑部件5以及加强部件6的贯通孔的情况进行了说明，但并不限定于此。也可以构成为在支撑部件5和加强部件6中任一方设置螺纹孔，将作为衰减部件8的螺栓8a拧入来进行结合。
另外，对于衰减部件8而言，若是与支撑部件5、加强部件6的材料相比衰减较高且杨氏模量为1/10以下的材料，则也可以不是橡胶、树脂等。并且，衰减部件8的构造可以不是能够由材料自身的衰减较高的橡胶、树脂等形成的螺栓、螺母构造，若是能够利用摩擦等衰减并且其构造的刚性为支撑部件5、加强部件6的刚性的1/10以下的构造，则也可以是任意构造。例如，也可以是在支撑部件5和加强部件6的结合用孔12插入销的构造。并且，若能够使衰减部件8的构造是衰减较高的构造而且使刚性能够为支撑部件5、加强部件6的刚性的1/10以下，则衰减部件8的材料也可以不是支撑部件5、加强部件6的材料的杨氏模量的1/10以下，例如可以是镁合金等衰减性能较高的金属材料。
此处，使用图4对长方形的板构造的支撑部件5的固有振型进行说明。图4是示出支撑部件5的固有振型的模式图，(a)是板的四角的相邻的角部反相地振动的模式的例子，(b)是板的四角的角部同相地振动的模式的例子。此外，图4(后述的图5、图8也相同)中，以细实线示出振动前的支撑部件5的外形，并且各固有振型中的支撑部件5的形状比实际的振幅大地强调地示出。并且，以点的阴影的浓淡来示出振幅的大小，以振幅越大的区域内越稀疏且振幅越小的区域点越密集的方式标注阴影。
上述固有振型的节部位置主要是试料室2的附近(图4中，以虚线20示出设置试料室2的区域)。此外，即使支撑部件5是长方形的板构造以外的形状，由于支撑部件5固定于试料室2，所以固有振型的节部位置也大致成为试料室2的附近。
并且，上述固有振型的腹部位置成为图4的箭头21所示的位置。上述位置主要成为支撑部件5的四角。
因此，如图1、图2所示，固定部件7固定支撑部件5和加强部件6的位置(设置固定用孔11的位置)例如能够设为支撑部件5的固有振型的节部位置附近。并且，如图1、图2所示，衰减部件8结合支撑部件5和加强部件6的位置(设置结合用孔12的位置)例如能够设为支撑部件5的固有振型的腹部位置附近。
接下来，使用图5对在支撑部件5设置有加强部件6的支撑体4的固有振型进行说明。图5是示出设置有加强部件6的支撑部件5的固有振型的模式图。此外，图5中，示出板的四角的相邻的角部反相地振动的模式(参照图4的(a)所示的模式)的例子。
在环境音等干扰作用于支撑部件5且支撑部件5的固有振型被激励的情况下，如图5所示，在支撑部件5的固有振型的腹部位置，在支撑部件5与加强部件6之间产生相对变位。而且，在产生上述相对变位的部位，衰减部件8变形，可使支撑部件5的振动能量消散，减少支撑部件5的振动。
此处，就支撑部件5的板的弯曲模式而言，支撑部件5的四角处成为腹部位置的模式较多，因而若成为第一实施方式的带电粒子束装置S所具备的支撑体4的结构，则能够减少多个固有振型的振动。
并且，第一实施方式的带电粒子束装置S所具备的支撑体4是使支撑部件5和加强部件6重叠、利用固定部件7来固定并且利用衰减部件8来结合的构造，并非如专利文献1所公开的动态吸振器那样进行刚性、衰减的调整，能够减少支撑部件5的振动。
并且，若加强部件6与支撑部件5的板厚相比刚性过小，则刚性差过大而致使加强部件6的变形追随支撑部件5的变形，从而在两者之间不容易产生相对变位。因此，若支撑部件5与加强部件6为同一材料，则加强部件6的板厚为支撑部件5的板厚的1/3～2/3左右。另外，由于第一实施方式的带电粒子束装置S所具备的支撑体4仅以支撑部件5来支撑试料室2之上的搭载物，所以加强部件6不需要具有支撑试料室2之上的搭载物的刚性。
并且，由于支撑部件5的刚性较高，所以即使设置具有重量的试料室2之上的搭载物，也基本不变形，能够保持平行度。
根据以上的结构，即使环境音等干扰作用于支撑部件5的各个部位，也能够容易减少多个固有振型的振动，进一步地能够维持支撑部件5的平行度以及刚性。
此处，在图6所示的条件下进行了参数调查。图6是示出支撑体4中的支撑部件5、加强部件6、固定部件7、衰减部件8的配置的模式图。此外，对于固定部件7、衰减部件8的配置，仅示出与图的右上的加强部件6对应的图示，与其它加强部件6对应的固定部件7、衰减部件8的配置相同，从而省略图示。
此处，将正方形板状的支撑部件5的一边的长度设为L5(＝1000mm)，将正方形板状的加强部件6的一边的长度设为L6(＝350mm)，将固定部件7距支撑部件5的端部的位置设为L7，并将衰减部件8距支撑部件5的端部的位置设为L8。并且，将支撑部件5的中心以及距支撑部件5的中心最近的固定部件7的位置作为评价点P，评价了评价点P的支撑部件5的振动。
不论如何配置固定部件7以及衰减部件8，在支撑部件5均振动时，在衰减部件8的位置，在支撑部件5与加强部件6之间产生相对变位，衰减部件8变形可使支撑部件5的振动能量消散，从而能够减少支撑部件5的振动。
尤其，使固定部件7距板的端部的位置L7为支撑部件5的长度L5的1/7以上1/6以下的范围内，并使衰减部件8距板的端部的位置L8为支撑部件5的长度L5的1/5以上1/4以下的范围内，从而能够更加减少支撑部件5的振动。
《第二实施方式》
接下来，使用图7对第二实施方式的带电粒子束装置SA进行说明。图7是第二实施方式的带电粒子束装置SA的立体图。
第二实施方式的带电粒子束装置SA与第一实施方式的带电粒子束装置S比较，支撑体4A的结构不同。具体而言，在支撑部件5设置加强部件6的位置不同。即，第一实施方式的带电粒子束装置S在支撑部件5的四角设置有加强部件6，与此相对，图7所示的第二实施方式的带电粒子束装置SA在支撑部件5的四角设置加强部件6a，还在支撑部件5的各边中央附近追加加强部件6b。其它结构相同，省略重复的说明。
在设置于支撑部件5的各边中央的加强部件6b中，在试料室2的附近设置固定部件7，在支撑部件5的各边中央附近设置衰减部件8。
图8是示出支撑部件5的其它固有振型的模式图，是试料室2的附近(图8中，以虚线20示出设置试料室2的区域)成为节部、并且箭头22所示的支撑部件5的各边的中央成为腹部的固有振型的例子。
根据第二实施方式的带电粒子束装置SA，通过在支撑部件5的各边中央附近追加加强部件6b，从而能够使图8所示的固有振型的振动衰减。并且，由于与第一实施方式的带电粒子束装置S相同地在支撑部件5的四角配置有加强部件6a，所以能够使图4的(a)(b)所示的固有振型的振动衰减。即，根据第二实施方式的带电粒子束装置SA，能够使比第一实施方式的带电粒子束装置S更多的固有振型的振动衰减。
《第三实施方式》
接下来，使用图9对第三实施方式的带电粒子束装置SB进行说明。图9是第三实施方式的带电粒子束装置SB的立体图。
第三实施方式的带电粒子束装置SB与第一实施方式的带电粒子束装置S比较，支撑体4B的支撑部件5B的形状不同。并且，在第一实施方式的带电粒子束装置S中，支撑部件5从底面支撑试料室2，与此相对不同点在于：，在第三实施方式的带电粒子束装置SB中，支撑部件5B分割，从侧面支撑试料室2。其它结构相同，从而省略重复的说明。
并且，第三实施方式的带电粒子束装置SB的支撑部件5B也可以在由除振支架9支撑的两点之间设置不影响试料室2的支撑的切口51。由此，能够抑制支撑部件5B的中央成为腹部位置的固有振型的振动。
此外，在第三实施方式的带电粒子束装置SB的支撑体4B中，利用两个支撑部件5B来支撑试料室2，但在以四点来支撑的情况下利用四个支撑部件来支撑试料室2，也可以使支撑部件的大小仅在直线地结合除振支架9和试料室2的范围内。
并且，在第三实施方式的带电粒子束装置SB的支撑体4B中，对支撑部件5B是板构造的情况进行了说明，但并不限定于此。图10是第三实施方式的变形例的带电粒子束装置SC的立体图。如图10所示，也可以使支撑体4C的支撑部件5C为梁构造。
此外，加强部件6C、固定部件7以及衰减部件8的位置与第一实施方式相同而适当地设置即可。
以上，根据第三实施方式的带电粒子束装置SB、SC，通过将支撑部件5B、5C设置于需要的部位，能够实现支撑部件5B、5C的小型、轻型化。
《第四实施方式》
接下来，使用图11对第四实施方式的带电粒子束装置SD进行说明。图11是第四实施方式的带电粒子束装置SD的立体图。
第四实施方式的带电粒子束装置SD与第一实施方式的带电粒子束装置S比较，支撑体4D的衰减部件8D的构造不同。其它结构相同，从而省略重复的说明。
第一实施方式的带电粒子束装置S在与支撑部件5的板的弯曲模式的腹部位置周边相当的支撑部件5的四角的内侧设置有衰减部件8，与此相对，第四实施方式的带电粒子束装置SD在支撑部件5D以及加强部件6D的腹部位置周边的侧面设置衰减部件8D。
图12是示出第四实施方式的带电粒子束装置SD所具备的支撑体4D的变形前的状态的截面模式图。图13是示出第四实施方式的带电粒子束装置SD所具备的支撑体4D的变形时的状态的截面模式图。
如图12所示，衰减部件8D由橡胶等减震部件的衰减部81和刚性比橡胶的刚性高的树脂、金属材料的支撑部82构成。衰减部件8的衰减部81分别设置于支撑部件5D和加强部件6D的侧面，利用支撑部82来结合两个衰减部81。此外，图示出在支撑部件5和加强部件6分别各设置一个衰减部81的情况，但个数并不限定于此。并且，衰减部81的大小也可以与支撑部件5以及加强部件6的大小相配而变得大型。
如图13所示，若支撑部件5D和加强部件6D变形，则减震部件的衰减部81产生剪切变形，可使振动能量消散。
根据第四实施方式的带电粒子束装置SD，由于能够使衰减部件8D的衰减部分(衰减部81)变得大型，所以与第一实施方式的带电粒子束装置S的衰减部件8(螺栓8a、螺母8b)比较，能够提高弯曲模式的振动抑制效果。
《第五实施方式》
接下来，使用图14对第五实施方式的带电粒子束装置SE进行说明。图14是第五实施方式的带电粒子束装置SE的立体图。
第五实施方式的带电粒子束装置SE与第一实施方式的带电粒子束装置S比较，支撑体4E的衰减部件8E的构造不同。其它结构相同，从而省略重复的说明。
图15是第五实施方式的带电粒子束装置SE所具备的支撑体4E的截面模式图。
在支撑部件5E设置有带台阶的槽13，并在其内部设置衰减部件8E，从而成为由支撑部件5E和加强部件6E从上下压缩并夹持衰减部件8E的构造。此外，若带台阶的槽13的构造是能够在内部收纳衰减部件8E的大小，则可以是任意形状。并且，成为在支撑部件5E的一侧设置带台阶的槽13的结构，但也可以在加强部件6E的一侧设置带台阶的槽13。
即使衰减部件8被加强部件6压缩而变形，带台阶的槽13也会成为衰减部件8的变形的释放场所。并且，即使在支撑部件5与加强部件6之间产生相对变位，由于衰减部件8退避进入带台阶的槽13的部分复原，所以支撑部件5和加强部件6也维持由衰减部件8而结合的状态。
根据以上的结构，根据第五实施方式的带电粒子束装置SE，能够与固有振型的变形形状相配地配置衰减部件8E的形状，并且其大小也能够任意，从而与第一实施方式的带电粒子束装置S的衰减部件8比较，能够提高弯曲模式的振动抑制效果。
《变形例》
此外，本实施方式(第一～第五实施方式)的带电粒子束装置S～SE不限定于上述实施方式的结构，在不脱离发明的主旨的范围内能够进行各种变更。
对本实施方式的带电粒子束装置S～SE是SEM的情况进行了说明，但并不限定于此。例如也可以是FIB(Focused Ion Beam System；聚焦电子束装置)、TEM(TransmissionElectron Microscope；透射式电子显微镜)。
符号的说明
1—镜筒，2—试料室，3—工作台，4—支撑体，5—支撑部件(第一部件)，6—加强部件(第二部件)，7—固定部件，8—衰减部件，9—除振支架，10—架台，11—固定用孔，12—结合用孔，13—带台阶的槽。

Claims (9)

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，
具备：由镜筒、试料室及工作台构成的搭载物；支撑上述搭载物的支撑体；以及支撑上述支撑体的除振支架，
上述支撑体具有：
第一部件，其支撑上述搭载物，并且支撑于上述除振支架；
第二部件，其厚度与上述第一部件的厚度不同，并且配置为与上述第一部件重叠；
固定部件，其固定上述第一部件和上述第二部件；以及
衰减部件，其刚性比上述固定部件的刚性小，并且基于上述第一部件与上述第二部件的变位差而变形。
2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
上述固定部件配置于上述第一部件的与固有振型的节部位置对应的部位，
上述衰减部件配置于上述第一部件的与固有振型的腹部位置对应的部位。
3.根据权利要求2所述的带电粒子束装置，其特征在于，
上述固定部件配置于上述第一部件的与板的弯曲模式的节部位置对应的部位，
上述衰减部件配置于上述第一部件的与板的弯曲模式的腹部位置对应的部位。
4.根据权利要求3所述的带电粒子束装置，其特征在于，
上述第一部件为长方形的板形状，
上述固定部件配置于上述第一部件的与四角振动的板的弯曲模式的节部位置对应的部位，
上述衰减部件配置于上述第一部件的与四角振动的板的弯曲模式的腹部位置对应的部位。
5.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
上述第一部件为正方形的板形状，
上述固定部件配置在从上述第一部件的板的端部起为上述第一部件的一边的长度的1/7以上1/6以下的范围内，
上述衰减部件配置在从上述第一部件的板的端部起为上述第一部件的一边的长度的1/5以上1/4以下的范围内。
6.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
上述第一部件是板厚为20mm以上50mm以下的板构造，
上述第二部件是板厚为上述第一部件的板厚的1/3以上2/3以下的板构造。
7.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
上述第一部件分割成多个。
8.根据权利要求1～7任一项中所述的带电粒子束装置，其特征在于，
上述衰减部件配置于上述第一部件以及上述第二部件的外周侧面。
9.根据权利要求1～7任一项中所述的带电粒子束装置，其特征在于，
上述衰减部件配置于在上述第一部件或者上述第二部件设置的带台阶的槽。
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