DE112006003065T5

DE112006003065T5 - Prüfvorrichtung, Befestigungsplatte und Stiftelektronikkarte

Info

Publication number: DE112006003065T5
Application number: DE112006003065T
Authority: DE
Inventors: Daisuke Watanabe
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2005-10-28
Filing date: 2006-10-16
Publication date: 2008-09-25
Also published as: US20080218178A1; JPWO2007049475A1; KR20080070689A; KR100949282B1; TW200716989A; WO2007049475A1; TWI401441B; US7795879B2; JP4944789B2

Abstract

Prüfvorrichtung zum Prüfen einer Vorverstärkungsfunktion einer eine Vorverstärkungsschaltung enthaltenden geprüften Vorrichtung, welche Vorverstärkungsschaltung eine vorbestimmte Komponente eines Ausgangssignals der geprüften Vorrichtung verstärkt und das sich ergebende Ausgangssignal ausgibt, welche Prüfvorrichtung aufweist:
ein Filter, das das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Ausgangssignal in im Wesentlichen derselben Weise dämpft wie eine Übertragungsleitung, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung implementiert ist, das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Ausgangssignal dämpft; und
eine Prüfschaltung, die das von dem Filter ausgegebene Ausgangssignal misst und die Vorverstärkungsfunktion der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage des Ergebnisses der Messung prüft.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Prüfvorrichtung zum Prüfen der Vorverstärkungsfunktion einer geprüften Vorrichtung wie einer Halbleiterschaltung, eine in der Prüfvorrichtung verwendete Befestigungsplatte und eine Stiftelektronikkarte. Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auf die folgende Japanische Patentanmeldung, deren Inhalt hier einbezogen wird, sofern dies anwendbar ist.
Japanische Patentanmeldung Nr. 2005-315294 , die am 28. Oktober 2005 eingereicht wurde.
STAND DER TECHNIK
Eine herkömmliche elektronische Vorrichtung wie eine Halbleiterschaltung verstärkt eine vorbestimmte Komponente eines Ausgangssignals und gibt das sich ergebende Signal aus. Beispielsweise ist bekannt, dass eine elektronische Vorrichtung eine Vorverstärkungsschaltung enthält, die eine vorbestimmte Komponente eines Ausgangssignals verstärkt, damit das Ausgangssignal der elektronischen Vorrichtung vorher korrigiert wird für die durch eine Übertragungsleitung, die verwendet wird, wenn die elektronische Vorrichtung implementiert wird, zu erzeugende Dämpfung.
Die Vorverstärkungsschaltung gibt das Ausgangssignal mit einer Wellenform aus, bei der beispielsweise die ansteigenden und abfallenden Flanken verstärkt sind. Das Ausgangssignal wird über die Übertragungsleitung, die verwendet wird, wenn die elektronische Vorrichtung implementiert wird, übertragen. Auf diese Weise kann eine Empfängerschaltung ein Signal empfangen, das in Bezug auf die Dämpfungskomponenten korrigiert wurde. Wenn die elektronische Vorrichtung eine derartige Vorverstärkungsschaltung enthält, ist es erforderlich, eine Prüfung durchzuführen, ob die Vorverstärkungsschaltung korrekt arbeitet. Es wurde kein relevantes Bezugsmaterial einschließlich Patentdokumenten erkannt, und es werden derartige Dokumente hier nicht erwähnt.
OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME
Es ist jedoch schwierig, die Funktionalität der Vorverstärkungsschaltung während der Prüfung der die Vorverstärkungsschaltung enthaltenden elektronischen Vorrichtung zu prüfen. Allgemein gesprochen, der Signalübertragungsabstand zwischen der geprüften Vor richtung und der Prüfvorrichtung ist viel kürzer als der Signalübertragungsabstand, der definiert wird, wenn die elektronische Vorrichtung implementiert wird. Dies bedeutet, dass die Prüfvorrichtung das Ausgangssignal, dessen vorbestimmte Komponente verstärkt bleibt, misst. Daher kann die Prüfvorrichtung die Funktionalität der in der geprüften Vorrichtung enthaltenen Vorverstärkungsschaltung nicht genau prüfen.
Beispielsweise kann die Prüfvorrichtung die logischen Werte des Ausgangssignals zu vorbestimmten Zeitpunkten erfassen, um die Einstellzeit und die Haltezeit des Ausgangssignals der geprüften Vorrichtung zu prüfen. In diesem Fall kann die Prüfvorrichtung verstärkte logische Werte des Ausgangssignals in Abhängigkeit von den vorbestimmten Zeitpunkten erfassen. Demgemäß können die von der Prüfvorrichtung erfassten logischen Werte unterschiedlich gegenüber den logischen Werten des Ausgangssignals sein, die von der Empfängerschaltung empfangen werden, wenn die elektronische Vorrichtung implementiert ist. Anstelle der logischen Werte des Ausgangssignals kann die Prüfvorrichtung die Wellenform des Ausgangssignals erfassen und die erfasste Wellenform mit einer spezifizierten Wellenform vergleichen. Um die Wellenform des Ausgangssignals zu erfassen, verwendet die Prüfvorrichtung bekannte Mittel wie ein Echtzeitoszilloskop, ein Abtastoszilloskop und eine Zeitintervall-Analysevorrichtung. Die Verwendung derartiger Geräte verlängert jedoch die Prüfzeit, was seinerseits den Durchsatz bei der Herstellung der Vorrichtung verringert.
Eine der bekannten Vorrichtung zur Erfassung der Wellenform des Ausgangssignals ist eine Digitalisiererschaltung. Wenn die Prüfvorrichtung die geprüfte Vor richtung unter Verwendung einer Digitalisiererschaltung prüft, ist es jedoch erforderlich, eine Digitalisiererschaltung bei jeder von einer großen Anzahl von Eingangsschaltungen der Prüfvorrichtung zu installieren. Dies erhöht beträchtlich die Kosten der Prüfvorrichtung.
Ein anderes mögliches Verfahren zur Erfassung der Wellenform des Ausgangssignals besteht darin, den Abtastzeitpunkt aufeinander folgend zu verändern, um die Wellenform des Ausgangssignals unter Verwendung einer herkömmlichen Prüfvorrichtung aufzuzeichnen. Hier verändert die Prüfvorrichtung den Abtastzeitpunkt mit einem Intervall gleich der Prüfperiode. Daher wird eine sehr lange Zeit benötigt, um eine ausreichend große Anzahl von Proben zu messen. Wie vorstehend festgestellt ist, kann die herkömmliche Prüfvorrichtung die die Vorverstärkungsschaltung enthaltende Vorrichtung nicht genau prüfen oder es werden hohe Kosten benötigt, um eine derartige Vorrichtung genau zu prüfen.
Angesichts des Vorstehenden ist es ein Vorteil einiger Aspekte der vorliegenden Erfindung, eine Prüfvorrichtung, eine Befestigungsplatte und eine Stiftelektronikkarte vorzusehen, die in der Lage sind, die vorgenannten Probleme zu lösen. Dieser Vorteil wird erzielt durch Kombinieren der in den unabhängigen Ansprüchen wiedergegebenen Merkmale. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere wirksame spezifische Beispiele der vorliegenden Erfindung.
MITTEL ZUM LÖSEN DER PROBLEME
Um die vorgenannten Probleme zu lösen, sieht ein erstes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer Vorverstärkungsfunktion einer geprüften Vorrichtung enthaltend eine Vorverstärkungsschaltung vor. Hier verstärkt die Vorverstärkungsschaltung eine vorbestimmte Komponente eines Ausgangssignals der geprüften Vorrichtung und gibt das sich ergebende Ausgangssignal aus. Die Prüfvorrichtung enthält ein Filter, das das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Ausgangssignal in einer im Wesentlichen derselben Weise wie eine Übertragungsleitung, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung implementiert ist, das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Ausgangssignal dämpft, und eine Prüfschaltung, die das von dem Filter ausgegebene Ausgangssignal misst, und prüft die Vorverstärkungsfunktion der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage eines Ergebnisses der Messung.
Das Filter kann die Dämpfung durch Eliminieren einer verstärkten Komponente, die von der Vorverstärkungsschaltung erzeugt wurde, aus dem von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignal erzeugen. Die Prüfvorrichtung kann weiterhin eine Filtersteuerschaltung enthalten, der vorher Verstärkungskomponenteninformationen über die verstärkte Komponente, von der erwartet wird, dass sie von der Vorverstärkungsschaltung erzeugt wird, zugeführt werden, und die eine Signaldurchlasscharakteristik des Filters auf der Grundlage der Verstärkungskomponenteninformationen steuert.
Die elektronische Vorrichtung kann ein Einstellregister enthalten, das einen Einstellwert speichert, der die Verstärkungskomponente anzeigt, von der erwartet wird, dass sie erzeugt wird, wobei die Vorverstärkungsschaltung die Verstärkungskomponente gemäß dem in dem Einstellregister gespeicherten Einstellwert erzeugen kann, und die Prüfvorrichtung kann weiterhin eine Filtersteuerschaltung enthalten, die den in dem Einstellregister gespeicherten Einstellwert erhält und eine Signaldurchlasscharakteristik des Filters auf der Grundlage des erhaltenen Einstellwerts steuert.
Die Prüfschaltung kann die Vorverstärkungsfunktion der geprüften Vorrichtung prüfen durch Beurteilen, ob eine Einstellzeit und eine Haltezeit des von dem Filter ausgegebenen Ausgangssignals einer Einstellzeit und einer Haltezeit genügen, die vorher für die geprüfte Vorrichtung bestimmt wurden.
Das Filter kann mehrere Übertragungsleitungen aufweisen, von denen jede eine unterschiedliche Leitungslänge hat, und die Filtersteuerschaltung kann die Signaldurchlasscharakteristik steuern durch Auswählen einer der mehreren Übertragungsleitungen und bewirken, dass das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Ausgangssignal über die ausgewählte Übertragungsleitung übertragen wird.
Die Prüfvorrichtung kann weiterhin eine Funktionsplatte, auf der die geprüfte Vorrichtung angeordnet ist, und eine Befestigungsplatte mit einem Kabel, das die Prüfschaltung und die Funktionsplatte elektrisch miteinander verbindet, enthalten. Hier kann das Filter in der Befestigungsplatte vorgesehen sein. Das Filter kann das in der Befestigungsplatte vorgesehene Kabel als eine oder mehr der mehreren Übertragungsleitungen, über die das Ausgangssignal übertragen wird, verwenden.
Die Prüfvorrichtung kann weiterhin eine Funktionsplatte, auf der die geprüfte Vorrichtung angeordnet ist, und eine Befestigungsplatte mit einem Kabel, das elektrisch die Prüfschaltung und die Funktionsplatte miteinander verbindet, enthalten. Hier kann das Filter in der Prüfschaltung vorgesehen sein.
Die Prüfvorrichtung kann weiterhin eine Schalteranordnung enthalten, welche schaltet, ob das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Ausgangssignal in das Filter oder in die Prüfschaltung eingegeben wird. Die Prüfvorrichtung kann weiterhin eine Filterbewertungsschaltung enthalten, die das Ausgangssignal, das durch das Filter hindurchgegangen ist, und das Ausgangssignal, das nicht durch das Filter hindurchgegangen ist, miteinander vergleicht, um zu bewerten, ob eine Signaldurchlasscharakteristik des Filters im Wesentlichen dieselbe wie eine vorbestimmte Charakteristik ist. Wenn die Filterbewertungsschaltung feststellt, dass die Signaldurchlasscharakteristik des Filters im Wesentlichen dieselbe wie die vorbestimmte Charakteristik ist, kann die Prüfschaltung die geprüfte Vorrichtung prüfen.
Ein zweites Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht eine Befestigungsplatte zur Verwendung in einer Prüfvorrichtung zum Prüfen einer Vorverstärkungsfunktion einer eine Vorverstärkungsschaltung enthaltenden geprüften Vorrichtung vor. Die Vorverstärkungsschaltung verstärkt eine vorbestimmte Komponente eines Ausgangssignals der geprüften Vorrichtung und gibt das sich ergebende Ausgangssignal aus, und die Befestigungsplatte verbindet eine Funktionsplatte, auf der die geprüfte Vorrichtung angeordnet ist, und eine Prüfschaltung, die beurteilt, ob die geprüfte Vorrichtung annehmbar ist, miteinander. Hier enthält die Befestigungsplatte ein Filter, das das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Ausgangssignal im Wesentlichen in derselben Weise dämpft wie eine Übertragungsleitung, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung implementiert ist, das Ausgangssignal dämpft.
Ein drittes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht eine Stiftelektronikkarte zur Verwendung in einer Prüfvorrichtung zum Prüfen einer Vorverstärkungsfunktion einer eine Vorverstärkungsschaltung enthaltenden geprüften Vorrichtung vor. Die Vorverstärkungsschaltung verstärkt eine vorbestimmte Komponente eines Ausgangssignals der geprüften Vorrichtung und gibt das sich ergebende Ausgangssignal aus, und die Stiftelektronikkarte tauscht ein Signal mit jedem Stift der geprüften Vorrichtung aus. Hier enthält die Stiftelektronikkarte ein Filter, das das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Ausgangssignal im Wesentlichen in derselben Weise dämpft wie eine Übertragungsleitung, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung implementiert ist, das Ausgangssignal dämpft.
Hier sind nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung in der Zusammenfassung aufgeführt. Die Unterkombinationen der Merkmale können die Erfindung werden.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 illustriert eine beispielhafte Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung 200.
2 illustriert beispielhafte Wellenformen der von einer Vorverstärkungsschaltung 210 und einem Filter 20 ausgegebenen Signale.
3 illustriert eine andere beispielhafte Konfiguration der Prüfvorrichtung 100.
4 illustriert ein Beispiel für die von einer Prüfschaltung 30 durchgeführte Prüfung.
5 ist ein Flussdiagramm, das eine beispielhafte Arbeitsweise der Prüfvorrichtung 100 illustriert.
6 illustriert eine beispielhafte Konfiguration des Filters 20.
7 illustriert eine andere beispielhafte Konfiguration des Filters 20.
8 illustriert eine andere beispielhafte Konfiguration des Filters 20.
9 illustriert eine andere beispielhafte Konfiguration der Prüfvorrichtung 100.
10 illustriert eine andere beispielhafte Konfiguration der Prüfvorrichtung 100.
11 illustriert eine andere beispielhafte Konfiguration der Prüfvorrichtung 100.
BESTE ART DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beschrieben. Das Ausführungsbeispiel beschränkt nicht die Erfindung gemäß den Ansprüchen, und alle Kombinationen der in dem Ausführungsbeispiel beschriebenen Merkmale sind nicht notwendigerweise wesentlich für Mittel, die durch Aspekte der Erfindung vorgesehen sind.
1 illustriert eine beispielhafte Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung 200. die geprüfte Vorrichtung 200 ist eine elektronische Vorrichtung wie eine Halbleiterschaltung. Die geprüfte Vorrichtung 200 hat eine Vorverstärkungsschaltung 210 an ihrem Ausgangsende. Die geprüfte Vorrichtung 200 erzeugt ein Ausgangssignal in Übereinstimmung mit einer vorbestimmten Spezifikation und gibt das erzeugte Ausgangssignal in die Vorverstärkungsschaltung 210 ein. Die Vorverstärkungsschaltung 210 verstärkt eine vorbestimmte Komponente des von der geprüften Vorrichtung 200 ausgegebenen Ausgangssignals und gibt das sich ergebende Signal aus. Beispielweise gibt die Vorverstärkungsschaltung 210 das Ausgangssignal mit einer Wellenform aus, deren ansteigende und abfallende Flanken gemäß der Dämpfung verstärkt sind, die durch eine Übertragungsleitung, über die das Ausgangssignal übertragen wird, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist, zu bewirken ist.
Die Vorverstärkungsschaltung 210 kann ausgebildet sein zum Verstärken der Hochfrequenzkomponenten des Ausgangssignals. Beispielsweise kann die Vorverstärkungsschaltung 210 ausgebildet sein zum Verringern der Hochfrequenzimpedanz auf der Übertragungsleitung, durch die das Ausgangssignal übertragen wird, oder zum Überlagern harmonischer Komponenten über das Ausgangssignal. Wenn sie in der vorbeschriebenen Weise ausgebildet ist, kann die geprüfte Vorrichtung 200 ein Signal ausgeben, das vorher korrigiert ist für den von der Übertragungsleitung zu bewirkenden Verlust, durch die das Signal zu einer Empfängerschal tung übertragen wird, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist. D. h., die geprüfte Vorrichtung 200 kann das Signal, das mit der vorbestimmten Spezifikation übereinstimmt, zu der Empfängerschaltung übertragen.
Die Prüfvorrichtung 100 enthält Schalteranordnungen 10-1 und 10-2 (nachfolgend insgesamt als die Schalteranordnungen 10 bezeichnet), ein Filter 20 und eine Prüfschaltung 30. Das Filter 20 dämpft das von der geprüften Vorrichtung 200 ausgegebene Ausgangssignal im Wesentlichen in derselben Weise wie die Übertragungsleitung, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist. Beispielsweise dämpft das Filter 20 das Ausgangssignal durch Eliminieren der verstärkten Komponente, von der erwartet wird, dass sie von der Vorverstärkungsschaltung 210 zu erzeugen ist, aus dem von der geprüften Vorrichtung 200 ausgegebenen Ausgangssignal. Die verstärkte Komponente, von der erwartet wird, dass sie von der Vorverstärkungsschaltung 210 zu erzeugen ist, wird vorher bestimmt durch den Betrag der Signaldämpfung, die von der Übertragungsleitung, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist, erzeugt wird. Beispielsweise hat die Vorverstärkungsschaltung 210 Entwurfsspezifikationen, Einstellwerte und dergleichen, die alle durch den Betrag der Signaldämpfung bestimmt sind. Das Filter 20 kann beispielsweise ein Tiefpassfilter sein. Die Signaldurchlasscharakteristiken des Filters 20 können vorher durch die Charakteristiken der Vorverstärkungsschaltung 210 bestimmt werden. Beispielsweise kann die Signaldurchlasscharakteristik des Filters 20 vorher eingestellt werden gemäß den Entwurfsspezifikationen der Vorverstärkungsschaltung 210.
Die Charakteristiken der Vorverstärkungsschaltung 210 werden gesetzt auf der Grundlage des Verlustes, der durch die Übertragungsleitung des Ausgangssignals bewirkt wird, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist. Mit anderen Worten, die Vorverstärkungsschaltung 210 korrigiert das in sie eingegebene Signal derart, dass das von der Empfängerschaltung empfangene Signal, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist, im Wesentlichen dieselbe Wellenform wie das in die Vorverstärkungsschaltung 210 eingegebene Signal hat. Das Filter 20 eliminiert die verstärkte Komponente, von der erwartet wird, dass sie von der Vorverstärkungsschaltung 210 zu erzeugen ist. Gemäß derartigen Konfigurationen hat, wenn die Vorverstärkungsschaltung 210 korrekt in Übereinstimmung mit den Entwurfsspezifikationen, Einstellwerten und dergleichen arbeitet, das von dem Filter 20 ausgegebene Signal im Wesentlichen dieselbe Wellenform wie das von der Empfängerschaltung empfangene Signal, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist.
Die Prüfschaltung 30 misst das von dem Filter 20 ausgegebene Signal und prüft die Funktionalität der Vorverstärkungsschaltung 210 auf der Grundlage des Ergebnisses der Messung. Beispielsweise kann die Prüfschaltung 30 beurteilen, ob die Vorverstärkungsschaltung annehmbar ist, auf der Grundlage der Beurteilung, ob das von dem Filter 20 ausgegebene Signal zufriedenstellend die Einstellzeit und die Haltezeit hat, die vorher für die geprüfte Vorrichtung 200 eingestellt wurden. Es ist darauf hinzuweisen, dass das von dem Filter 20 ausgegebene Signal im Wesentlichen dasselbe wie das von der Empfängerschaltung empfangene Signal ist, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist.
Aus diesem Grund wird erwartet, dass das von der Prüfschaltung 30 empfangene Signal den vorher für die geprüfte Vorrichtung 200 bestimmten Spezifikationen entspricht. Als eine Folge kann die Prüfschaltung 30 beurteilen, ob die Vorverstärkungsschaltung 210 korrekt arbeitet, indem normale herkömmliche Prüfungen wie die Prüfung der Einstellzeit und der Haltezeit auf der Grundlage des empfangenen Signals durchgeführt werden.
Die Schalteranordnungen 10 schalten, ob das von der geprüften Vorrichtung 200 ausgegebene Ausgangssignal in das Filter 20 oder die Prüfschaltung 30 einzugeben ist. Genauer gesagt, die Schalteranordnungen 10 können schalten zwischen (i) der Eingabe des Ausgangssignals in die Prüfschaltung 30 über das Filter 20, um die die Vorverstärkungsschaltung 210 enthaltende geprüfte Vorrichtung 200 zu prüfen, und (ii) der direkten Eingabe des Ausgangssignals in die Prüfschaltung 30 ohne Einbeziehung des Filters 20, um die geprüfte Schaltung 200 unter Ausschluss der Vorverstärkungsschaltung 210 zu prüfen.
Die Schalteranordnungen 10 haben vorzugsweise ausgezeichnete Hochfrequenzcharakteristiken. Beispielsweise können die Schalteranordnungen 10 ausgebildet sein durch Verwendung eines Hochfrequenzrelais oder eines Relais eines elektromechanischen Mikrosystems (MEMS). Die Schalteranordnungen 10 sind vorzugsweise durch Verwendung passiver Elemente anstelle aktiver Elemente gebildet.
2 illustriert beispielhafte Wellenformen der jeweils von der Vorverstärkungsschaltung 210 und dem Filter 20 ausgegebenen Signale. Wie in 2 illust riert ist, verstärkt die Vorverstärkungsschaltung 210 die ansteigenden und abfallenden Flanken des Ausgangssignals, wodurch eine Wellenform mit steilen Flanken ausgegeben wird.
Das Filter 20 eliminiert aus dem von der Vorverstärkungsschaltung 210 ausgegebenen Signal die verstärkte Komponente, von der erwartet wird, dass sie von der Vorverstärkungsschaltung 210 zu erzeugen ist, und gibt das sich ergebende Signal aus. Aus diesem Grund ist das von dem Filter 20 ausgegebene Signal im Wesentlichen dasselbe wie das von der Empfängerschaltung empfangene Signal, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist.
3 illustriert ein anderes Beispiel für die Konfiguration der Prüfvorrichtung 100. Gemäß dem vorliegenden Beispiel enthält die Prüfvorrichtung 100 eine Filtersteuerschaltung 40 zusätzlich zu den Bestandteilen der mit Bezug auf 1 beschriebenen Prüfvorrichtung 100. Hier prüft die Prüfvorrichtung 100 die geprüfte Vorrichtung 200, die zusätzlich ein Einstellregister 220 enthält.
Der Filtersteuerschaltung 40 werden vorher Verstärkungskomponenteninformationen zugeführt, die die verstärkte Komponente anzeigen, von der erwartet wird, dass sie von der Vorverstärkungsschaltung 210 zu erzeugen ist, und sie steuert die Signaldurchlasscharakteristiken des Filters 20 gemäß den Verstärkungskomponenteninformationen. Beispielsweise kann die Filtersteuerschaltung 40 die Verstärkungskomponenteninformationen von einem Benutzer oder dergleichen empfangen. Die Verstärkungskomponenteninformationen können auf die Charakteristiken der Vorverstärkungsschaltung 210 bezogen sein. Die Filtersteuerschaltung 40 steuert die Charakteristiken des Filters 20 derart, dass das Filter 20 die von den Verstärkungskomponenteninformationen angezeigte verstärkte Komponente eliminieren kann.
Das Einstellregister 220 speichert einen Einstellwert, der die verstärkte Komponente anzeigt, von der erwartet wird, dass sie von der Vorverstärkungsschaltung 210 zu erzeugen ist. Die Vorverstärkungsschaltung 210 erzeugt die verstärkte Komponente in Übereinstimmung mit dem in dem Einstellregister 220 gespeicherten Einstellwert. Beispielsweise kann das Einstellregister 220 den Betrag der Dämpfung, die von der Übertragungsleitung bewirkt wird, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist, als den Einstellwert speichern. Wenn dies der Fall ist, kann das Einstellregister 220 den Betrag der Dämpfung in Verbindung mit jedem unterschiedlichen Frequenzband des Ausgangssignals speichern. Mit Bezug auf den in dem Einstellregister 220 gespeicherten Einstellwert korrigiert die Vorverstärkungsschaltung 210 vorher das Ausgangssignal, um die Dämpfung der Signalübertragungsleitung zu kompensieren.
Die Filtersteuerschaltung 40 kann vorher den in dem Einstellregister 220 gespeicherten Einstellwert erhalten und die Signaldurchlasscharakteristiken des Filters 20 gemäß dem erhaltenen Einstellwert steuern. Wenn beispielsweise der Einstellwert den Dämpfungsbetrag darstellt, steuert die Filtersteuerschaltung 40 die Charakteristiken des Filters 20 derart, dass der Betrag der von dem Filter 20 gelieferten Signaldämpfung im Wesentlichen gleich dem Einstellwert wird. Die vorbeschriebenen Konfigurationen ermöglichen der Prüfvorrichtung 100, die Funktionalitätsprüfung angemessen durchzuführen, selbst wenn die Vorverstär kungsschaltung 210 variable Einstellungen hat. Zusätzlich kann die Prüfvorrichtung 100 die Vorverstärkungsschaltung 210 dahingehend prüfen, ob die Vorverstärkungsschaltung 210 korrekt arbeitet gemäß den Verstärkungskomponenteninformationen oder dem Einstellwert.
4 illustriert ein Beispiel für die von der Prüfschaltung 30 durchgeführte Prüfung. Gemäß dem vorliegenden Beispiel führt die Prüfschaltung 30 eine Prüfung dahingehend durch, ob die Einstellzeit und die Haltezeit des Eingangssignals vorbestimmten Spezifikationswerten genügen.
Die Einstellzeit zeigt an, um wie viel der Zeitpunkt, zu welchem der logische Wert der übertragenen Daten eingeschwungen ist, dem Zeitpunkt des Takts, mit dem der logische Wert der Daten erfasst wird, vorhergeht, und die Haltezeit zeigt an, wie lange der logische Wert der übertragenen Daten von dem Zeitpunkt des Takts, mit dem der logische Wert der Daten erfasst wird, aufrechterhalten wird.
Wie vorstehend erwähnt ist, verstärkt die Vorverstärkungsschaltung 210 die Flanken des Ausgangssignals. Daher kann die Prüfschaltung 30 beurteilen, ob die Vorverstärkungsschaltung 210 korrekt funktioniert, indem der logische Wert des Ausgangssignals zu dem Zeitpunkt erfasst wird, der bestimmt ist durch die Spezifikationswerte der Einstellzeit und der Haltezeit, von denen erwartet wird, dass ihnen durch das Ausgangssignal genügt ist.
5 ist ein Flussdiagramm, das eine beispielhafte Arbeitsweise der Prüfvorrichtung 100 illustriert. Am Anfang stellt die Filtersteuerschaltung 40 die Sig naldurchlasscharakteristiken des Filters 20 auf der Grundlage der ihr vorher zugeführten Verstärkungskomponenteninformationen in dem Filtereinstellschritt S300 ein. In dem nächsten ersten Messschritt S302 steuert die Prüfschaltung 30 die Schalteranordnungen 10 derart, dass das Ausgangssignal, das durch das Filter 20 hindurchgegangen ist, gemessen wird. In dem folgenden zweiten Messschritt S304 steuert die Prüfschaltung 30 die Schalteranordnungen 10 derart, dass das Ausgangssignal, das nicht durch das Filter 20 hindurchgegangen ist, gemessen wird.
In dem nachfolgenden Signalvergleichsschritt S306 vergleicht die Prüfschaltung 30 das Ausgangssignal, das durch das Filter 20 hindurchgegangen ist, und das Ausgangssignal, das nicht durch das Filter 20 hindurchgegangen ist, miteinander, um zu bewerten, ob die Signaldurchlasscharakteristiken des Filters 20 im Wesentlichen dieselben wie vorbestimmte Charakteristiken sind. Beispielsweise bewertet die Prüfschaltung 30, ob der Betrag der durch das Filter 20 bewirkten Signaldämpfung im Wesentlichen derselbe wie der Betrag der Signaldämpfung ist, die durch die Übertragungsleitung bewirkt wird, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist. Hier kann der Betrag der Signaldämpfung, die durch die Übertragungsleitung bewirkt wird, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist, vorher von dem Benutzer zu der Prüfvorrichtung 100 geliefert werden, oder er kann anhand des in dem Einstellregister 220 gespeicherten Einstellwerts berechnet werden, wie vorstehend erwähnt ist. In dem Signalvergleichsschritt S306 kann die Prüfschaltung 30 als eine Filterbewertungsschaltung wirken, die die vorgenannte Bewertung durchführt.
Wenn die Signaldurchlasscharakteristiken des Filters 20 im Signalvergleichsschritt S306 als unterschiedlich gegenüber den vorbestimmten Charakteristiken beurteilt werden, wiederholt die Prüfvorrichtung 100 den Vorgang von dem Schritt S300 bis zu dem Schritt S306. In diesem Fall kann die Filtersteuerschaltung 40 die Charakteristiken des Filters 20 in dem Filtereinstellschritt S300 einstellen mit Bezug auf das in dem Signalvergleichsschritt S306 erhaltene Bewertungsergebnis.
Wenn die Signaldurchlasscharakteristiken des Filters 20 als dieselben wie die vorbestimmten Charakteristiken in dem Signalvergleichsschritt S306 beurteilt werden, prüft die Prüfschaltung 30 die die Vorverstärkungsschaltung 210 enthaltende geprüfte Vorrichtung 200 in dem Prüfschritt S308. Hier steuert die Prüfschaltung 30 die Schalteranordnungen 10 derart, dass die geprüfte Vorrichtung 200 auf der Grundlage des Ausgangssignals, das durch das Filter 20 hindurchgegangen ist, geprüft wird. Diese Prüfung kann die Einstellzeit und die Haltezeit prüfen, wie vorstehend erwähnt ist.
Die Genauigkeit der Prüfung ist davon abhängig, ob die Charakteristiken des Filters 20 dieselben sind wie die Charakteristiken der Übertragungsleitung, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist. Die sich auf das vorliegende Beispiel beziehende Prüfung ermöglicht, die Charakteristiken des Filters 20 so einzustellen, dass sie genau dieselben wie die Charakteristiken der Übertragungsleitung sind, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist. Demgemäß kann die sich auf das vorliegende Beispiel beziehende Prüfung genau die Vorverstärkungsfunktion der geprüften Vor richtung 200 prüfen.
6 illustriert eine beispielhafte Konfiguration des Filters 20. Gemäß dem vorliegenden Beispiel enthält das Filter 20 mehrere Übertragungsleitungen 22-1 bis 22-3, von denen jede eine unterschiedliche Leitungslänge hat. Die Übertragungsleitungen 22-1 bis 22-3 werden nachfolgend insgesamt als Übertragungsleitungen 22 bezeichnet. Der Betrag der Signaldämpfung, die durch die Übertragungsleitungen 22 bewirkt wird, kann pro Längeneinheit im Wesentlichen derselbe sein wie der Betrag pro Längeneinheit der Signaldämpfung, die durch die Übertragungsleitung bewirkt wird, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist. Beispielsweise können die Übertragungsleitungen 22 gebildet sein durch Verwendung im Wesentlichen desselben Materials wie bei der Übertragungsleitung, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist. Die Übertragungsleitungen 22 können Streifenleitungen, Mikrostreifenleitungen oder koplanare Streifenleitungen, die auf dem Substrat gebildet sind, sein.
Die Filtersteuerschaltung 40 steuert die Signaldurchlasscharakteristiken des Filters 20 durch Auswahl einer der Übertragungsleitungen 22, über die das Ausgangssignal zu übertragen ist. Beispielsweise kann die Filtersteuerschaltung 40 die Verstärkungskomponenteninformationen empfangen, die die Länge der Übertragungsleitung anzeigen, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 implementiert ist, und eine der Übertragungsleitungen 22 gemäß der empfangenen Länge auswählen. Hier kann die Auswahl zwischen den Übertragungsleitungen 22 durch die Schalteranordnungen 10 erfolgen. Alternativ können die Schalteranordnungen 10 zwei oder mehr der Übertragungsleitungen 22 auswählen und bewirken, dass das Ausgangssignal über die ausgewählten Übertragungsleitungen 22 übertragen wird. Indem eine derartige Steuerung durchgeführt wird, können die Schalteranordnungen 10 die Gesamtlänge der Übertragungsleitungen 22, über die das Ausgangssignal übertragen wird, auf einen gewünschten Wert entsprechend den erwarteten Charakteristiken des Filters 20 einstellen.
7 illustriert eine andere beispielhafte Konfiguration des Filters 20. Gemäß dem vorliegenden Beispiel hat das Filter mehrere Schaltungsblöcke 24, die in Kaskade angeordnet sind. Jeder Schaltungsblock 24 ist eine LCR-Schaltung enthaltend eine Induktivitätskomponente 26, eine Kapazitätskomponente 31 und eine Widerstandskomponente 28. Die Widerstandskomponente 28 in jedem Schaltungsblock 24 ist in Reihe mit der Induktivitätskomponente 26 in dem folgenden Schaltungsblock 24 geschaltet. Die Kapazitätskomponente 31 ist zwischen Erdpotential und dem Verbindungspunkt zwischen der Kapazitätskomponente 31 und der Widerstandskomponente 28 vorgesehen. Die Schalteranordnungen 10 sind vorzugsweise so ausgebildet, dass sie in der Lage sind, die Anzahl von Schaltungsblöcken 24, die miteinander in Reihe geschaltet sind und durch die das Ausgangssignal übertragen wird, zu steuern. Durch Verwendung der vorbeschriebenen Konfigurationen steuert die Filtersteuerschaltung 40 die Signaldurchlasscharakteristiken des Filters 20.
8 illustriert eine andere beispielhafte Konfiguration des Filters 20. Gemäß dem vorliegenden Beispiel hat das Filter 20 mehrere Schaltungsblöcke 32, die in Kaskade geschaltet sind. Jeder Schaltungsblock 32 ist eine RC-Schaltung enthaltend eine variable Widerstandskomponente 34 und eine variable Kapazitäts komponente 36. Die variable Widerstandskomponente 34 in jedem Schaltungsblock 32 ist mit der variablen Widerstandskomponente 34 in benachbarten Schaltungsblöcken 32 verbunden. Die variablen Kapazitätskomponente 36 ist zwischen einem Ende der variablen Widerstandskomponente 34 und Erdpotential in jedem Schaltungsblock 32 vorgesehen.
Die Schalteranordnungen 10 sind vorzugsweise so ausgebildet, dass sie in der Lage sind, die Anzahl von Schaltungsblöcken 32, die miteinander in Reihe geschaltet sind und durch die das Ausgangssignal übertragen wird, zu steuern. Durch Verwendung der vorbeschriebenen Konfigurationen steuert die Filtersteuerschaltung 40 die Signaldurchlasscharakteristiken des Filters 20. Alternativ kann die Filtersteuerschaltung 40 die Signaldurchlasscharakteristiken des Filters 20 durch Steuern der Impedanz der variablen Widerstandskomponente 34 und/oder den Kapazitätswert der variablen Kapazitätskomponente 36 in jedem Schaltungsblock 32 steuern.
Die Bestandteile der mit Bezug auf 7 oder 8 beschriebenen Schaltungsblöcke 24 oder 32 können diskrete Teile sein, die getrennt hergestellt sind. Die Induktivitätskomponenten 26 in den Schaltungsblöcken 24 können ein Teil der durch Verwendung des Waferherstellungsprozesses gebildeten Muster sein. Die jeweiligen Bestandteile der Schaltungsblöcke 24 können variable Charakteristiken haben, ähnlich den Bestandteilen der Schaltungsblöcke 32.
9 illustriert eine andere beispielhafte Konfiguration der Prüfvorrichtung 100. Gemäß dem vorliegenden Beispiel enthält die Prüfvorrichtung 100 eine Funktionsplatte 50, eine Befestigungsplatte 60 und eine Stiftelektronikkarte 70 zusätzlich zu den Bestandteilen der mit Bezug auf 1 oder 3 beschriebenen Prüfvorrichtung 100.
Die geprüfte Vorrichtung 200 ist auf der Funktionsplatte 50 angeordnet. Beispielsweise ist die Funktionsplatte 50 in einem Prüfkopf vorgesehen. Die Prüfschaltung 30 ist in einem Hauptkörperabschnitt, der von dem Prüfkopf getrennt ist, vorgesehen.
Die Stiftelektronikkarte 70 ist in der Prüfschaltung 30 vorgesehen. Die Stiftelektronikkarte 70 tauscht Signale mit der geprüften Vorrichtung 200 aus. Beispielsweise enthält die Stiftelektronikkarte 70 einen Treiber, der ein Signal zu der geprüften Vorrichtung 200 ausgibt, und einen Komparator 72, der ein Signal von der geprüften Vorrichtung 200 empfängt. Der Treiber und der Komparator 72 sind entsprechend jedem Stift der geprüften Vorrichtung 200 vorgesehen. Die Stiftelektronikkarte 70 kann abnehmbar in der Prüfvorrichtung 100 vorgesehen sein.
Die Befestigungsplatte 60 verbindet die Prüfschaltung 30 und die Funktionsplatte 50 über die Stiftelektronikkarte 70 elektrisch miteinander. Beispielsweise ist die Befestigungsplatte 60 zwischen dem Prüfkopf und dem Hauptkörperabschnitt vorgesehen und hat ein Kabel, das die elektrische Verbindung zwischen der Prüfschaltung 30 und der Funktionsplatte 50 herstellt.
Gemäß dem vorliegenden Beispiel sind die Schalteranordnungen 10, das Filter 20 und die Filtersteuerschaltung 40, die mit Bezug auf 1 oder 3 beschrieben wurden, in der Stiftelektronikkarte 70 vorgesehen. Beispielsweise sind die Schalteranordnungen 10, das Filter 20 und die Filtersteuerschaltung 40 in Verbindung mit jedem Komparator 72 zwischen dem Komparator 72 und der Befestigungsplatte 60 vorgesehen.
10 illustriert eine andere beispielhafte Konfiguration der Prüfvorrichtung 100. Gemäß dem vorliegenden Beispiel unterscheidet sich die Prüfvorrichtung 100 von der mit Bezug auf 9 beschriebenen Prüfvorrichtung 100 dadurch, dass die Schalteranordnungen 10, das Filter 20 und die Filtersteuerschaltung 40 in der Befestigungsplatte 60 vorgesehen sind. Gemäß dieser Konfiguration kann das Filter 20 das in der Befestigungsplatte 60 vorgesehene Kabel als die mit Bezug auf 6 beschriebenen Übertragungsleitungen 22 verwenden. Dies ermöglicht, das Filter 20 effizient vorzusehen.
11 illustriert eine andere beispielhafte Konfiguration der Prüfvorrichtung 100. Gemäß dem vorliegenden Beispiel unterscheidet sich die Prüfvorrichtung 100 von der mit Bezug auf 9 beschriebenen Prüfvorrichtung 100 dadurch, dass die Schalteranordnungen 10, das Filter 20 und die Filtersteuerschaltung 40 in der Funktionsplatte 50 vorgesehen sind. Diese Konfiguration ermöglicht auch, die die Vorverstärkungsschaltung 210 enthaltende geprüfte Vorrichtung 200 genau zu prüfen.
Während das Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beschrieben wurde, ist der technische Bereich der Erfindung nicht auf das vorbeschriebene Ausführungsbeispiel beschränkt. Es ist für den Fachmann augenscheinlich, dass verschiedene Änderungen und Verbesserungen zu dem vorbeschriebenen Ausführungsbeispiel hinzugefügt werden können. Es ist auch augenscheinlich anhand des Bereichs der Ansprüche, dass das Ausführungsbeispiel, dem derartige Änderungen oder Verbesserungen hinzugefügt sind, in den technischen Bereich der Erfindung eingeschlossen werden kann.
Wie aus dem Vorstehenden ersichtlich ist, kann die Prüfvorrichtung 100 die Vorverstärkungsfunktion einer geprüften Vorrichtung, die eine Vorverstärkungsschaltung enthält, genau prüfen.
Zusammenfassung:
Es ist eine Prüfvorrichtung (100) zum Prüfen einer eine Vorverstärkungsschaltung (210) enthaltenden geprüften Vorrichtung (200) vorgesehen. Die Vorverstärkungsschaltung verstärkt eine vorbestimmte Komponente eines Ausgangssignals der geprüften Vorrichtung und gibt das sich ergebende Ausgangssignal aus. Hier enthält die Prüfvorrichtung ein Filter (20), das eine verstärkte Komponente, die in der Vorverstärkungsschaltung erzeugt wird, aus dem von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignal eliminiert, und eine Prüfschaltung (30), die das von dem Filter ausgegebene Ausgangssignal misst und auf der Grundlage des Ergebnisses der Messung beurteilt, ob die geprüfte Vorrichtung annehmbar ist. Die Prüfvorrichtung kann die Vorverstärkungsfunktion der die Vorverstärkungsschaltung enthaltenden geprüften Vorrichtung genau prüfen.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

- JP 2005-315294 [0002]

Claims

Prüfvorrichtung zum Prüfen einer Vorverstärkungsfunktion einer eine Vorverstärkungsschaltung enthaltenden geprüften Vorrichtung, welche Vorverstärkungsschaltung eine vorbestimmte Komponente eines Ausgangssignals der geprüften Vorrichtung verstärkt und das sich ergebende Ausgangssignal ausgibt, welche Prüfvorrichtung aufweist: ein Filter, das das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Ausgangssignal in im Wesentlichen derselben Weise dämpft wie eine Übertragungsleitung, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung implementiert ist, das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Ausgangssignal dämpft; und eine Prüfschaltung, die das von dem Filter ausgegebene Ausgangssignal misst und die Vorverstärkungsfunktion der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage des Ergebnisses der Messung prüft.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der das Filter die Dämpfung erzeugt durch Eliminieren einer verstärkten Komponente, von der erwartet wird, dass sie von der Vorverstärkungsschaltung zu erzeugen ist, aus dem von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignal.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, weiterhin aufweisend eine Filtersteuerschaltung, die (i) vorher Verstärkungskomponenteninformationen über die ver stärkte Komponente, von der erwartet wird, dass sie in der Vorverstärkungsschaltung zu erzeugen ist, erhält und (ii) eine Signaldurchlasscharakteristik des Filters auf der Grundlage der Verstärkungskomponenteninformationen steuert.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die geprüfte Vorrichtung ein Einstellregister enthält, das einen Einstellwert speichert, der die verstärkte Komponente, von der erwartet wird, dass sie zu erzeugen ist, anzeigt, die Vorverstärkungsschaltung die verstärkte Komponente gemäß dem in dem Einstellregister gespeicherten Einstellwert erzeugt, und die Prüfvorrichtung weiterhin eine Filtersteuerschaltung aufweist, die den in dem Einstellregister gespeicherten Einstellwert erhält und eine Signaldurchlasscharakteristik des Filters auf der Grundlage des erhaltenen Einstellwerts steuert.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Prüfschaltung die Vorverstärkungsfunktion der geprüften Vorrichtung prüft durch Beurteilen, ob eine Einstellzeit und eine Haltezeit des von dem Filter ausgegebenen Ausgangssignals einer Einstellzeit und einer Haltezeit, die vorher für die geprüfte Vorrichtung bestimmt wurden, genügen.
Prüfvorrichtung nach einem der Ansprüche 3 und 4, bei der das Filter mehrere Übertragungsleitungen aufweist, von denen jede eine unterschiedliche Leitungslänge hat, und die Filtersteuerschaltung die Signaldurchlasscharakteristik durch Auswählen einer der mehre ren Übertragungsleitungen für die Übertragung des von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignals steuert.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 6, welche weiterhin aufweist: eine Funktionsplatte, auf der die geprüfte Vorrichtung angeordnet; und eine Befestigungsplatte, die ein Kabel aufweist, das die Prüfschaltung und die Funktionsplatte elektrisch miteinander verbindet, wobei das Filter in der Befestigungsplatte vorgesehen ist.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 7, bei der das Filter das in der Befestigungsplatte vorgesehene Kabel als eine oder mehr der mehreren Übertragungsleitungen, über die das Ausgangssignal übertragen wird, verwendet.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, welche weiterhin aufweist: eine Funktionsplatte, auf der die geprüfte Vorrichtung angeordnet ist; und eine Befestigungsplatte, die ein Kabel aufweist, das die Prüfschaltung und die Funktionsplatte elektrisch miteinander verbindet, wobei das Filter in der Prüfschaltung vorgesehen ist.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, weiterhin aufweisend eine Schalteranordnung, die schaltet, ob das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Ausgangssignal in das Filter oder in die Prüfschaltung eingegeben wird.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 10, weiterhin aufweisend eine Filterbewertungsschaltung, die das Ausgangssignal, das durch das Filter hindurchgegangen ist, und das Ausgangssignal, das nicht durch das Filter hindurchgegangen ist, miteinander vergleicht, um zu bewerten, ob eine Signaldurchlasscharakteristik des Filters im Wesentlichen mit einer vorbestimmten Charakteristik übereinstimmt.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 11, bei der, wenn die Filterbewertungsschaltung feststellt, dass die Signaldurchlasscharakteristik des Filters im Wesentlichen dieselbe wie die vorbestimmte Charakteristik ist, die Prüfschaltung die Vorverstärkungsfunktion der geprüften Vorrichtung prüft.
Befestigungsbrett zur Verwendung in einer Prüfvorrichtung zum Prüfen einer Vorverstärkungsfunktion einer eine Vorverstärkungsschaltung enthaltenden geprüften Vorrichtung, wobei die Vorverstärkungsschaltung eine vorbestimmte Komponente eines Ausgangssignals der geprüften Vorrichtung verstärkt und das sich ergebende Ausgangssignal ausgibt, die Befestigungsplatte eine Verbindung zwischen einer Funktionsplatte, auf der die geprüfte Vorrichtung angeordnet ist, und einer Prüfschaltung, die beurteilt, ob die geprüfte Vorrichtung annehmbar ist, vorsieht, welche Befestigungsplatte ein Filter, das das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Ausgangssignal in einer im Wesentlichen selben Weise dämpft wie die Übertragungsleitung, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung implementiert ist, das Ausgangssignal dämpft, aufweist.
Stiftelektronikkarte zur Verwendung in einer Prüfvorrichtung zum Prüfen einer Vorverstärkungsfunktion einer eine Vorverstärkungsschaltung enthaltenden geprüften Vorrichtung, wobei die Vorverstärkungsschaltung eine vorbestimmte Komponente eines Ausgangssignals der geprüften Vorrichtung verstärkt und das sich ergebende Ausgangssignal ausgibt, und die Stiftelektronikkarte ein Signal mit jedem Stift der geprüften Vorrichtung austauscht, welche Stiftelektronikkarte ein Filter aufweist, das das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Ausgangssignal in einer im Wesentlichen selben Weise dämpft wie eine Übertragungsleitung, die verwendet wird, wenn die geprüfte Vorrichtung implementiert ist, das Ausgangssignal dämpft.