WO2007049475A1 - 試験装置、フィクスチャボード、及びピンエレクトロニクスカード - Google Patents

試験装置、フィクスチャボード、及びピンエレクトロニクスカード Download PDF

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Daisuke Watanabe
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Advantest Corporation
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Definitions

  • the present invention relates to a test apparatus that tests a pre-emphasis function of a device under test such as a semiconductor circuit, a fixture board used in the test apparatus, and a pin electronics card.
  • a device under test such as a semiconductor circuit, a fixture board used in the test apparatus, and a pin electronics card.
  • a device that emphasizes and outputs a predetermined component of an output signal is known.
  • a pre-emphasis circuit that emphasizes a predetermined component of an output signal that outputs an output signal in which attenuation in a transmission line is corrected in advance is known.
  • the pre-emphasis circuit outputs, for example, a waveform that emphasizes the rise and fall of the output signal.
  • the circuit on the receiving side can receive the signal whose attenuation component is corrected.
  • the test apparatus measures an output signal in which a predetermined component is emphasized, and has been unable to accurately test the function of the pre-emphasis circuit of the device under test.
  • a digitizer circuit is known as a means for detecting the waveform of an output signal.
  • a digitizer circuit is mounted on each of a large number of input circuits in a test apparatus. There must be. This increases the cost of the test equipment.
  • a method of plotting the waveform of the output signal by sequentially changing the strobe timing using a conventional test apparatus is also conceivable.
  • the test equipment changes the strobe timing for each test period, it takes a very long time to measure with a sufficient number of samples.
  • the conventional test apparatus cannot accurately test a device including a pre-emphasis circuit, or it is very expensive to test accurately.
  • an object of one aspect of the present invention is to provide a test apparatus, a fixture board, and a pin electronics card that can solve the above-described problems. This object is achieved by a combination of features described in the independent claims.
  • the dependent claims define further advantageous specific examples of the present invention.
  • a test apparatus for testing a pre-emphasis function of a device under test including a pre-emphasis circuit that emphasizes and outputs a predetermined component of an output signal.
  • a test apparatus including a filter that causes substantially the same attenuation, and a test unit that measures a signal output from the filter and tests a pre-emphasis function of a device under test based on the measurement result.
  • the filter may cause the attenuation by removing the emphasis component by the pre-emphasis circuit from the output signal output from the device under test.
  • the test apparatus may further include a filter control unit that is given in advance with enhancement component information about the enhancement component to be generated by the preparatory circuit, and controls the signal pass characteristic of the filter based on the enhancement component information.
  • the electronic device includes a setting register that stores a setting value that determines an emphasis component to be generated.
  • the pre-emphasis circuit generates an emphasis component according to the setting value stored in the setting register.
  • a filter control unit for acquiring the set value stored in the register and controlling the signal pass characteristic of the filter based on the acquired set value may be further provided.
  • the test unit tests the pre-emphasis function of the device under test based on whether or not the output signal output from the filter satisfies a setup time and hold time predetermined for the device under test. So ...
  • the filter has a plurality of transmission lines each having a different line length, and the filter control unit controls the signal passing characteristics by selecting which transmission line the output signal is passed through. Good.
  • the test apparatus further includes a performance board on which the device under test is placed, and a fixture board having a cable for electrically connecting the test unit and the performance board, and the filter is a fixture board. May be provided. For the filter, let the output signal pass through the cable provided on the fixture board as a transmission line.
  • the test apparatus further includes a performance board on which the device under test is placed, and a fixture board having a cable for electrically connecting the test section and the performance board, and the filter is provided in the test section. May be provided.
  • the test apparatus may further include a switching unit that switches whether an output signal output from the device under test is input to the filter or input to the test unit.
  • the test equipment compares the output signal that has passed through the filter with the output signal that has not passed through the filter,
  • a filter evaluation unit that evaluates whether or not the signal passing characteristic substantially matches the predetermined characteristic may be further provided.
  • the test unit should test the device under test when the characteristics are almost the same in the filter evaluation unit.
  • a device under test is mounted in a test apparatus that tests a pre-emphasis function of a device under test including a pre-emphasis circuit that emphasizes and outputs a predetermined component of an output signal.
  • a fixture board that connects a performance board to be installed and a test unit that determines the pass / fail of the device under test. Outputs the output signal from the device under test on the transmission line when the device under test is mounted.
  • a fixture board is provided with a filter that produces attenuation that is substantially the same as the attenuation that occurs in the signal.
  • a test apparatus for testing a pre-emphasis function of a device under test including a pre-emphasis circuit that emphasizes and outputs a predetermined component of an output signal.
  • a pin electronics card that sends and receives signals to and from each pin of the device. The output signal output from the device under test causes attenuation that is almost the same as that generated in the output signal on the transmission line when the device under test is mounted.
  • a pin electronics card with a filter is provided.
  • FIG. 1 is a diagram showing an example of a configuration of a test apparatus 100 that tests a device under test 200.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating an example of waveforms of signals output from the pre-emphasis circuit 210 and the filter 20.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating an example of waveforms of signals output from the pre-emphasis circuit 210 and the filter 20.
  • FIG. 3 is a diagram showing another example of the configuration of the test apparatus 100.
  • FIG. 4 is a diagram for explaining an example of a test in a test unit 30.
  • FIG. 5 is a flowchart showing an example of the operation of the test apparatus 100.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating an example of the configuration of a filter 20.
  • FIG. 7 is a diagram showing another example of the configuration of the filter 20.
  • FIG. 8 is a diagram showing another example of the configuration of the filter 20.
  • FIG. 9 is a diagram showing another example of the configuration of the test apparatus 100.
  • FIG. 10 is a diagram showing another example of the configuration of the test apparatus 100.
  • FIG. 11 is a diagram showing another example of the configuration of the test apparatus 100.
  • FIG. 1 is a diagram showing an example of the configuration of a test apparatus 100 that tests the device under test 200.
  • the device under test 200 is an electronic device such as a semiconductor circuit, and has a pre-assist circuit 210 at the output end.
  • the device under test 200 generates an output signal conforming to a predetermined specification and inputs the output signal to the pre-emphasis circuit 210.
  • the pre-emphasis circuit 210 emphasizes and outputs a predetermined component of the output signal output from the device under test 200. For example, when the device under test 200 is mounted, the pre-emphasis circuit 210 outputs a waveform that emphasizes the rising and falling edges of the output signal according to the attenuation in the transmission line through which the output signal propagates.
  • the pre-emphasis circuit 210 may be a circuit that emphasizes a high-frequency component of an output signal.
  • the pre-emphasis circuit 210 may be a circuit that lowers the high-frequency impedance in the transmission line of the output signal, and may superimpose the harmonic component on the output signal.
  • the device under test 200 can output a signal in which the loss in the transmission line is corrected in advance when the output signal is transmitted to the circuit on the receiving side at the time of mounting. In other words, a signal conforming to a predetermined specification can be transmitted to the circuit on the receiving side.
  • the test apparatus 100 includes a switching unit (10-1 and 10-2, hereinafter collectively referred to as 10), a filter 20, and a test unit 30.
  • the filter 20 causes substantially the same attenuation as the attenuation generated in the output signal in the transmission line when the device under test 200 is mounted, to the output signal output from the device under test 200.
  • the filter 20 causes the attenuation by removing the emphasis component to be generated by the pre-emphasis circuit 210 from the output signal output from the device under test 200.
  • the emphasis component to be generated by the pre-emphasis circuit 210 is determined in advance by the amount of signal attenuation that occurs in the transmission line when the device under test 200 is mounted.
  • the pre-emphasis circuit 210 has a design specification and a set value corresponding to the amount of attenuation.
  • the filter 20 may be a low-pass filter, for example.
  • the signal passing characteristics in the filter 20 may be determined in advance according to the characteristics of the pre-emphasis circuit 210.
  • the signal pass characteristic in the filter 20 may be set in advance based on the design specifications of the pre-emphasis circuit 210.
  • the characteristics of the pre-emphasis circuit 210 are set based on the loss of the output signal due to the transmission line when the device under test 200 is mounted. That is, the pre-emphasis circuit 210 corrects the signal so that the signal input to the pre-emphasis circuit 210 and the signal received by the receiving circuit when the device under test 200 is mounted have substantially the same waveform.
  • the filter 20 removes the emphasis component that the pre-emphasis circuit 210 should generate. Therefore, when the pre-emphasis circuit 210 is operating normally according to the design specifications and design values, the signal output from the filter 20 and the signal received by the receiving circuit when the device under test 200 is mounted are The waveforms are almost the same.
  • the test unit 30 measures a signal output from the filter 20, and tests the function of the pre-emphasis circuit 210 based on the measurement result. For example, the test unit 30 may determine the quality of the pre-emphasis circuit based on whether or not the signal force output from the filter 20 satisfies the setup time and hold time that are predetermined for the device under test 200.
  • the signal output from the filter 20 is substantially the same as the signal received by the receiving circuit when the device under test 200 is mounted.
  • the signal received by the test section 30 is a signal that should satisfy the specifications predetermined for the device under test 200.
  • the test unit 30 performs setup based on the signal. By performing conventional tests such as time and hold time tests
  • the switching unit 10 switches whether the output signal output from the device under test 200 is input to the filter 20 or input to the test unit 30. That is, the switching unit 10 inputs the output signal to the test unit 30 through the filter 20 and performs the test of the device under test 200 including the pre-emphasis circuit 210, or the output signal is not transmitted through the filter 20. By inputting to the test unit 30, it is possible to switch whether to test the device under test 200 that does not include the pre-emphasis circuit 210.
  • the switching unit 10 preferably has good high-frequency characteristics.
  • the switching unit 10 may be a high-frequency relay, or a MEMS (Micro Electro Mechanical System) relay.
  • the switching unit 10 preferably uses a passive element instead of an active element.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating an example of waveforms of signals output from the pre-emphasis circuit 210 and the filter 20. As shown in FIG. 2, the pre-emphasis circuit 210 emphasizes the rise and fall of the output signal and outputs a waveform with sharp edges.
  • the filter 20 removes the emphasis component to be generated by the pre-emphasis circuit 210 from the signal output from the pre-emphasis circuit 210 and outputs the result.
  • the signal output by the filter 20 is substantially the same as the signal received by the circuit on the receiving side when the device under test 200 is mounted.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating another example of the configuration of the test apparatus 100.
  • the test apparatus 100 in this example further includes a filter control unit 40 with respect to the configuration of the test apparatus 100 described with reference to FIG.
  • the test apparatus 100 tests the device under test 200 having the setting register 220.
  • the filter control unit 40 is given in advance enhancement component information about the enhancement component to be generated by the pre-emphasis circuit 210, and controls the signal pass characteristic of the filter 20 based on the enhancement component information.
  • the filter control unit 40 may be given the emphasized component information by a user or the like.
  • the emphasis component information may be information regarding the characteristics of the pre-emphasis circuit 210.
  • the filter control unit 40 can remove the emphasis component. Control the characteristics of the filter 20.
  • the setting register 220 stores a setting value that determines an emphasis component to be generated by the pre-emphasis circuit 210.
  • the pre-emphasis circuit 210 generates an emphasis component according to the setting value stored in the setting register 220.
  • the setting register 220 may store the attenuation amount of the signal transmission line as a setting value when the device under test 200 is mounted. In this case, the setting register 220 may store the attenuation amount for each frequency band of the output signal.
  • the pre-emphasis circuit 210 corrects the attenuation of the signal transmission line in advance based on the set value.
  • the filter control unit 40 may acquire the setting value stored in the setting register 220 in advance and control the signal pass characteristic of the filter 20 based on the acquired setting value. For example, when the set value indicates the attenuation, the filter control unit 40 controls the characteristics of the filter 20 so that the attenuation of the signal in the filter 20 substantially matches the set value. With such a configuration, even when the setting of the pre-emphasis circuit 210 is variable, a test according to the setting can be performed. Further, it is possible to test whether the pre-emphasis circuit 210 functions normally according to the emphasis component information or the set value.
  • FIG. 4 is a diagram for explaining an example of a test in the test unit 30.
  • the test unit 30 tests whether or not the setup time and hold time force of the input signal satisfy predetermined specification values.
  • the setup time is a value indicating how early the timing at which the logical value of transmitted data is determined is earlier than the timing of the clock for detecting the logical value of the data. Is a value indicating how long the time during which the logical value of the transmitted data is maintained is from the clock timing at which the logical value of the data is detected.
  • the test unit 30 performs the logic of the signal at a timing according to the specified values of the setup time and hold time that the signal should satisfy. By detecting the value, it is possible to determine whether or not the pre-emphasis circuit 210 is functioning normally.
  • FIG. 5 is a flowchart showing an example of the operation of the test apparatus 100.
  • the filter control unit 40 is based on emphasis component information given in advance.
  • the signal pass characteristics of the filter 20 are set.
  • the test unit 30 controls the switching unit 10 to measure the output signal that has passed through the filter 20.
  • the test unit 30 controls the switching unit 10 to measure an output signal that does not pass through the filter 20.
  • the output signal that has passed through the filter 20 is compared with the output signal that has not passed through the filter 20, and the signal passing characteristic of the filter 20 substantially matches the predetermined characteristic. Evaluate whether or not. For example, it is evaluated whether or not the attenuation amount of the signal in the filter 20 substantially matches the attenuation amount of the signal in the transmission line when the device under test 200 is mounted. As described above, the attenuation amount of the signal in the transmission line at the time of mounting may be obtained from a setting value in the setting register 220 or given in advance by the user.
  • the test unit 30 functions as a filter evaluation unit for performing the evaluation.
  • the processing from S300 to S306 is repeated.
  • the filter setting step S300 the filter 20 may be set based on the evaluation result in the signal comparison step S306.
  • the test unit 30 tests the device under test 200 including the pre-emphasis circuit 210 in the test step S308. In this case, the test unit 30 controls the switching unit 10 to perform a test based on the output signal that has passed through the filter 20. In this test, test the setup time and hold time as described above! ,.
  • the accuracy of the test depends on whether or not the characteristic force of the filter 20 matches the transmission line characteristic at the time of mounting. According to the test in this example, the characteristics of the filter 20 can be matched with the characteristics of the transmission line at the time of mounting with high accuracy. Therefore, the pre-emphasis function of the device under test 200 can be accurately tested.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating an example of the configuration of the filter 20.
  • the filter 20 in this example has a plurality of transmission lines (22-1 to 22-3, hereinafter collectively referred to as 22) having different line lengths.
  • the signal attenuation per unit length of the transmission line 22 is measured when the device under test 200 is mounted.
  • the amount of signal attenuation per unit length of the transmission line used may be substantially the same.
  • the transmission line 22 may be formed of substantially the same material as the transmission line used at the time of mounting.
  • the transmission line 22 may be a strip line, a microstrip line, or a coplanar line formed on the substrate.
  • the filter control unit 40 controls the signal pass characteristic by selecting which transmission line 22 the output signal is passed through.
  • the filter control unit 40 may be given the length of the transmission line used at the time of mounting as the emphasis component information, and may select any transmission line 22 according to the length.
  • the transmission unit 22 may select which transmission line 22 is selected.
  • the switching unit 10 may select two or more transmission lines 22 and pass the output signal through the selected plurality of transmission lines 22. By such control, the length of the transmission line 22 through which the output signal passes can be selected as desired according to the characteristics to be set.
  • FIG. 7 is a diagram showing another example of the configuration of the filter 20.
  • the filter 20 in this example has a plurality of circuit blocks 24 connected in cascade.
  • Each circuit block 24 is a so-called LCR circuit, and has an inductive component 26, a capacitive component 31, and a resistive component 28.
  • the inductive component 26 and the resistive component 28 are connected in series between the front and rear circuit blocks 24.
  • the capacitive component 31 is provided between the connection point of the capacitive component 31 and the resistive component 28 and the ground potential.
  • the switching unit 10 is preferably capable of controlling the series number of circuit blocks 24 through which the output signal passes. Thereby, the filter control unit 40 controls the signal passing characteristic in the filter 20.
  • FIG. 8 is a diagram showing another example of the configuration of the filter 20.
  • the filter 20 in this example includes a plurality of circuit blocks 32 connected in cascade.
  • Each circuit block 32 is a so-called RC circuit, and has a variable resistance component 34 and a variable capacitance component 36.
  • the variable resistance component 34 connects the front and rear circuit blocks 32.
  • the variable capacitance component 36 is provided between one end of the variable resistance component 34 and the ground potential.
  • the switching unit 10 is preferably capable of controlling the series number of circuit blocks 32 through which the output signal passes.
  • the filter control unit 40 controls the signal pass characteristic in the filter 20.
  • the filter control unit 40 has the impedance of the variable resistance component 34 and Z or Control the signal passing characteristics of filter 20 by controlling the capacitance value of variable capacitance component 36.
  • Each element included in the circuit block 24 or the circuit block 32 described in FIG. 7 and FIG. 8 may be a discrete component manufactured individually. Further, the inductive component 26 in the circuit block 24 may be an inductive component in a pattern formed by a semiconductor process. Further, the characteristics of each element in the circuit block 24 may be variable, as are the characteristics of each element in the circuit block 32.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating another example of the configuration of the test apparatus 100.
  • the test apparatus 100 in this example is further provided with a performance board 50, a fixture board 60, and a pin electronics card 70 in addition to the configuration of the test apparatus 100 described with reference to FIG. 1 or FIG.
  • the performance board 50 mounts the device under test 200 thereon.
  • the performance board 50 is provided in a so-called test head.
  • the test unit 30 is provided in a main body unit separated from the test head.
  • the pin electronics card 70 is provided in the test unit 30, and exchanges signals with the device under test 200.
  • the pin electronics card 70 includes a driver that outputs a signal to the device under test 200 and a comparator 72 that receives the signal from the device under test 200.
  • the driver and comparator 72 are provided corresponding to each pin of the device under test 200.
  • the pin electronics card 70 may be detachably attached to the test apparatus 100.
  • the fixture board 60 electrically connects the test unit 30 and the performance board 50 via the pin electronics card 70.
  • the fixture board 60 includes a cable that is provided between the test head and the main body and electrically connects the test unit 30 and the performance board 50.
  • the switching unit 10, the filter 20, and the filter control unit 40 described with reference to FIG. 1 or FIG. 3 are provided in the pin electronics card 70.
  • the switching unit 10, the filter 20, and the filter control unit 40 are provided for each comparator 72 between the comparator 72 and the fixture board 60.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating another example of the configuration of the test apparatus 100.
  • Test device in this example 1 00 differs from the configuration of the test apparatus 100 described in FIG. 9 in that the switching unit 10, the filter 20, and the filter control unit 40 are provided on the fixture board 60.
  • the filter 20 may use a cable provided on the fixture board 60 as the transmission line 22 described in FIG. With such a configuration, the filter 20 can be efficiently installed.
  • FIG. 11 is a diagram showing another example of the configuration of the test apparatus 100.
  • the test apparatus 100 in this example is different from the configuration of the test apparatus 100 described in FIG. 9 in that the switching unit 10, the filter 20, and the filter control unit 40 are provided in the performance board 50. Even with such a configuration, the device under test 200 including the pre-emphasis circuit 210 can be accurately tested.
  • test apparatus 100 it is possible to accurately test the pre-emphasis function of the device under test including the pre-emphasis circuit.

Abstract

　出力信号の所定の成分を強調して出力するプリエンファシス回路を備える被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスが出力する出力信号から、プリエンファシス回路による強調成分を除去するフィルタと、フィルタが出力する信号を計測し、計測結果に基づいて被試験デバイスの良否を判定する試験部とを備える試験装置を提供する。当該試験装置により、プリエンファシス回路を備える被試験デバイスのプリエンファシス機能を精度よく試験することができる。

Description

明 細 書
試験装置、フィクスチヤボード、及びピンエレクトロニクスカード
技術分野
[0001] 本発明は、半導体回路等の被試験デバイスのプリエンファシス機能を試験する試 験装置、試験装置に用いられるフィクスチヤボード、及びピンエレクトロニクスカードに 関する。本出願は、下記の日本出願に関連する。文献の参照による組み込みが認め られる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み 込み、本出願の一部とする。
特願 2005— 315294 出願日 2005年 10月 28日
背景技術
[0002] 従来、半導体回路等の電子デバイスにおいて、出力信号の所定の成分を強調して 出力するデバイスが知られている。例えば、電子デバイスの実装時において、伝送線 路における減衰分を予め補正した出力信号を出力すベぐ出力信号の所定の成分 を強調するプリエンファシス回路が知られて 、る。
[0003] プリエンファシス回路は、例えば出力信号の立ち上がり及び立ち下がりを強調した 波形を出力する。当該出力信号が、実装時における伝送線路を伝搬することにより、 受信側の回路では、減衰成分が補正された信号を受け取ることができる。電子デバ イスがプリエンファシス回路を有する場合、当該プリエンファシス回路が正常に機能し ているカゝ否かを試験する必要がある。現在、関連する特許文献等は認識していない ので、その記載を省略する。
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0004] しかし、プリエンファシス回路を備える電子デバイスを試験する場合、プリェンファシ ス回路の機能を試験することは困難である。一般に、被試験デバイスと試験装置との 間の信号伝送距離は、実装時における信号伝送距離に比べ非常に短い。このため 、試験装置は、所定の成分が強調された出力信号を測定することとなり、被試験デバ イスのプリエンファシス回路の機能を精度よく試験することができな力つた。 [0005] 例えば、被試験デバイスの出力信号のセットアップタイム及びホールドタイムを試験 するベぐ所定のタイミングにおける出力信号の論理値を検出する場合、当該所定の タイミングによっては、出力信号の強調された箇所において論理値を検出することと なり、実装時において受信回路が受け取る出力信号の論理値とは異なる値となって しまう場合がある。
[0006] また、出力信号の論理値ではなぐ出力信号の波形を検出して、当該波形と規定の 波形とを比較することも考えられる。出力信号の波形を検出する手段として、リアルタ ィムオシロスコープ、サンプリングオシロスコープ、タイムインターバルアナライザ等が 知られている。しかし、これらの装置を用いた場合、試験時間が長くなりデバイス量産 のスループットが低下してしまう。
[0007] また、出力信号の波形を検出する手段としてデジタイザ回路が知られているが、デ ジタイザ回路を用いて試験する場合、試験装置における多数の入力回路のそれぞ れにデジタイザ回路を実装しなければならない。このため、試験装置のコストが多大 となってしまう。
[0008] また、従来の試験装置を用いて、ストローブタイミングを順次変化させ、出力信号の 波形をプロットする方法も考えられる。しかし、試験装置は、試験周期毎にストローブ タイミングを変化させるので、十分なサンプリング数で測定するには非常に時間がか 力つてしまう。このように、従来の試験装置は、プリエンファシス回路を備えるデバイス を精度よく試験できず、又は精度よく試験するには非常にコストがかかってしまう。
[0009] このため本発明の一つの側面においては、上述した課題を解決することのできる試 験装置、及びフィクスチヤボード、及びピンエレクトロニクスカードを提供することを目 的とする。この目的は、請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせによ り達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
課題を解決するための手段
[0010] 上記課題を解決するために、本発明の第 1の形態においては、出力信号の所定の 成分を強調して出力するプリエンファシス回路を備える被試験デバイスのプリェンフ アシス機能を試験する試験装置であって、被試験デバイスが出力する出力信号に対 して、被試験デバイスの実装時における伝送線路において出力信号に生じる減衰と 略同一の減衰を生じさせるフィルタと、フィルタが出力する信号を計測し、計測結果 に基づいて被試験デバイスのプリエンファシス機能を試験する試験部とを備える試験 装置を提供する。
[0011] フィルタは、被試験デバイスが出力する出力信号から、プリエンファシス回路による 強調成分を除去することにより、当該減衰を生じさせてよい。試験装置は、プリェンフ アシス回路が生成すべき強調成分についての強調成分情報が予め与えられ、強調 成分情報に基づ 、て、フィルタの信号通過特性を制御するフィルタ制御部を更に備 えてよい。
[0012] 電子デバイスは、生成すべき強調成分を定める設定値を格納する設定レジスタを 備え、プリエンファシス回路は、設定レジスタが格納した設定値に応じた強調成分を 生成し、試験装置は、設定レジスタが格納した設定値を取得し、取得した設定値に 基づ 、て、フィルタの信号通過特性を制御するフィルタ制御部を更に備えてよ!、。
[0013] 試験部は、フィルタが出力する出力信号が、被試験デバイスに対して予め定められ たセットアップタイム及びホールドタイムを満たすか否かに基づ 、て、被試験デバイス のプリエンファシス機能を試験してょ 、。
[0014] フィルタは、それぞれ異なる線路長の複数の伝送線路を有し、フィルタ制御部は、 出力信号を、いずれの伝送線路に通過させるかを選択することにより、信号通過特 性を制御してよい。
[0015] 試験装置は、被試験デバイスを載置するパフォーマンスボードと、試験部とパフォ 一マンスボードとを電気的に接続するケーブルを有するフィクスチヤボードとを更に備 え、フィルタは、フィクスチヤボードに設けられてよい。フィルタは、フィクスチヤボード に設けられたケーブルを伝送線路として、出力信号を通過させてょ 、。
[0016] 試験装置は、被試験デバイスを載置するパフォーマンスボードと、試験部とパフォ 一マンスボードとを電気的に接続するケーブルを有するフィクスチヤボードとを更に備 え、フィルタは、試験部に設けられてよい。
[0017] 試験装置は、被試験デバイスが出力する出力信号を、フィルタに入力する力、又は 試験部に入力するかを切り替える切替部を更に備えてよい。試験装置は、フィルタを 通過した出力信号と、フィルタを通過しない出力信号とを比較し、フィルタにおける信 号通過特性が予め定められた特性と略一致する力否かを評価するフィルタ評価部を 更に備えてよい。試験部は、フィルタ評価部において、特性が略一致した場合に、被 試験デバイスを試験してょ ヽ。
[0018] 本発明の第 2の形態においては、出力信号の所定の成分を強調して出力するプリ エンファシス回路を備える被試験デバイスのプリエンファシス機能を試験する試験装 置において、被試験デバイスを載置するパフォーマンスボードと、被試験デバイスの 良否を判定する試験部とを接続するフィクスチヤボードであって、被試験デバイスが 出力する出力信号に対して、被試験デバイスの実装時における伝送線路において 出力信号に生じる減衰と略同一の減衰を生じさせるフィルタを備えるフィクスチヤボー ドを提供する。
[0019] 本発明の第 3の形態においては、出力信号の所定の成分を強調して出力するプリ エンファシス回路を備える被試験デバイスのプリエンファシス機能を試験する試験装 置にお 、て、被試験デバイスの各ピンと信号の授受を行うピンエレクトロニクスカード であって、被試験デバイスが出力する出力信号に対して、被試験デバイスの実装時 における伝送線路において出力信号に生じる減衰と略同一の減衰を生じさせるフィ ルタを備えるピンエレクトロニクスカードを提供する。
[0020] なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなぐ これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
図面の簡単な説明
[0021] [図 1]被試験デバイス 200を試験する試験装置 100の構成の一例を示す図である。
[図 2]プリエンファシス回路 210及びフィルタ 20が出力する信号の波形の一例を示す 図である。
[図 3]試験装置 100の構成の他の例を示す図である。
[図 4]試験部 30における試験の一例を説明する図である。
[図 5]試験装置 100の動作の一例を示すフローチャートである。
[図 6]フィルタ 20の構成の一例を示す図である。
[図 7]フィルタ 20の構成の他の例を示す図である。
[図 8]フィルタ 20の構成の他の例を示す図である。 [図 9]試験装置 100の構成の他の例を示す図である。
[図 10]試験装置 100の構成の他の例を示す図である。
[図 11]試験装置 100の構成の他の例を示す図である。
符号の説明
[0022] 10 · · '切替部、 20 · · 'フィルタ、 22 · · ·伝送線路、 24 · · ·回路ブロック、 26 · · '誘導成 分、 28 · · ·抵抗成分、 30 · · ·試験部、 32 · · ·回路ブロック、 34 · · ·可変抵抗成分、 36 • · ·可変容量成分、 40 · · 'フィルタ制御部、 50 · · 'パフォーマンスボード、 60 · · ·フィ タスチヤボード、 70 · · 'ピンエレクトロニクスカード、 72 · · 'コンパレータ、 100 · · '試験 装置、 200 · · '被試験デバイス、 210 · · 'プリエンファシス回路、 220 · · '設定レジスタ 発明を実施するための最良の形態
[0023] 以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の 範隨こかかる発明を限定するものではなぐまた実施形態の中で説明されている特 徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
[0024] 図 1は、被試験デバイス 200を試験する試験装置 100の構成の一例を示す図であ る。被試験デバイス 200は、半導体回路等の電子デバイスであって、出力端にプリェ ンフアシス回路 210を有する。被試験デバイス 200は、予め定められた仕様に適合し た出力信号を生成して、プリエンファシス回路 210に入力する。プリエンファシス回路 210は、被試験デバイス 200が出力する出力信号の所定の成分を強調して出力する 。例えば、プリエンファシス回路 210は、被試験デバイス 200の実装時に、出力信号 が伝搬する伝送線路における減衰に応じて、出力信号の立ち上がり及び立ち下がり を強調した波形を出力する。
[0025] プリエンファシス回路 210は、出力信号の高周波成分を強調する回路であってよい 。例えば、プリエンファシス回路 210は、出力信号の伝送線路における高周波のイン ピーダンスを下げた回路であってよぐ出力信号に高調波成分を重畳する回路であ つてもよい。このような構成により、被試験デバイス 200は、実装時において出力信号 を受信側の回路に伝送する場合において、伝送線路における損失を予め補正した 信号を出力することができる。つまり、受信側の回路に対して、予め定められた仕様 に適合した信号を伝送することができる。 [0026] 試験装置 100は、切替部（10— 1及び 10— 2、以下 10と総称する）、フィルタ 20、 及び試験部 30を備える。フィルタ 20は、被試験デバイス 200が出力する出力信号に 対して、被試験デバイス 200の実装時における伝送線路において出力信号に生じる 減衰と略同一の減衰を生じさせる。例えば、フィルタ 20は、被試験デバイス 200が出 力する出力信号から、プリエンファシス回路 210が生成すべき強調成分を除去するこ とにより、当該減衰を生じさせる。プリエンファシス回路 210が生成すべき強調成分は 、被試験デバイス 200の実装時における伝送線路で生じる信号の減衰量により、予 め定められる。例えば、プリエンファシス回路 210は、当該減衰量に応じた設計仕様 、及び設定値等を有する。フィルタ 20は、例えばローパスフィルタであってよい。フィ ルタ 20における信号通過特性は、プリエンファシス回路 210の特性に応じて予め定 められてよい。例えば、フィルタ 20における信号通過特性は、プリエンファシス回路 2 10の設計仕様に基づいて、予め設定されてよい。
[0027] プリエンファシス回路 210の特性は、被試験デバイス 200の実装時における出力信 号の伝送線路による損失に基づいて設定される。つまり、プリエンファシス回路 210 は、プリエンファシス回路 210に入力される信号と、被試験デバイス 200の実装時に 受信側の回路が受け取る信号とが略同一の波形となるように、当該信号を補正する。 また、フィルタ 20は、プリエンファシス回路 210が生成すべき強調成分を除去する。こ のため、プリエンファシス回路 210が設計仕様及び設計値等に応じて正常に動作し ている場合、フィルタ 20が出力する信号と、被試験デバイス 200の実装時に受信側 の回路が受け取る信号とは略同一の波形となる。
[0028] 試験部 30は、フィルタ 20が出力する信号を計測して、計測結果に基づいてプリエ ンフアシス回路 210の機能を試験する。例えば試験部 30は、フィルタ 20が出力する 信号力 被試験デバイス 200に対して予め定められたセットアップタイム及びホール ドタイムを満たす力否かに基づいて、プリエンファシス回路の良否を判定してよい。フ ィルタ 20が出力する信号は、被試験デバイス 200の実装時に受信側の回路が受け 取る信号と略同一である。
[0029] このため、試験部 30が受け取る信号は、被試験デバイス 200に対して予め定めら れた仕様を満たすべき信号である。試験部 30は、当該信号に基づいて、セットアップ タイム及びホールドタイムの試験等の、従来行われている通常の試験を行うことにより
、プリエンファシス回路 210が正常に動作している力否かを判定することができる。
[0030] 切替部 10は、被試験デバイス 200が出力する出力信号を、フィルタ 20に入力する 力 又は試験部 30に入力するかを切り替える。つまり切替部 10は、出力信号をフィ ルタ 20を介して試験部 30へ入力して、プリエンファシス回路 210を含む被試験デバ イス 200の試験を行うか、又は出力信号をフィルタ 20を介さずに試験部 30へ入力し て、プリエンファシス回路 210を含まない被試験デバイス 200の試験を行うかを切り替 えることができる。
[0031] 切替部 10は、高周波特性が良いことが好ましい。例えば切替部 10は、高周波リレ 一であってよく、また MEMS (Micro Electro Mechanical System)リレーであ つてもよい。また、切替部 10は、能動素子を用いず、受動素子を用いることが好まし い。
[0032] 図 2は、プリエンファシス回路 210及びフィルタ 20が出力する信号の波形の一例を 示す図である。図 2に示すように、プリエンファシス回路 210は、出力信号の立ち上が り及び立ち下がりを強調して、エッジを急峻にした波形を出力する。
[0033] また、フィルタ 20は、プリエンファシス回路 210が出力する信号から、プリェンファシ ス回路 210が生成すべき強調成分を除去して出力する。これにより、フィルタ 20が出 力する信号は、被試験デバイス 200の実装時に受信側の回路が受け取る信号と略 同一となる。
[0034] 図 3は、試験装置 100の構成の他の例を示す図である。本例における試験装置 10 0は、図 1に関連して説明した試験装置 100の構成に対して、フィルタ制御部 40を更 に備える。また、試験装置 100は、設定レジスタ 220を有する被試験デバイス 200を 試験する。
[0035] フィルタ制御部 40は、プリエンファシス回路 210が生成すべき強調成分についての 強調成分情報が予め与えられ、当該強調成分情報に基づいて、フィルタ 20の信号 通過特性を制御する。例えば、フィルタ制御部 40は、使用者等により、当該強調成 分情報が与えられてよい。当該強調成分情報は、プリエンファシス回路 210の特性 に関する情報であってよい。フィルタ制御部 40は、当該強調成分を除去できるように 、フィルタ 20の特性を制御する。
[0036] また、設定レジスタ 220は、プリエンファシス回路 210が生成すべき強調成分を定 める設定値を格納する。プリエンファシス回路 210は、設定レジスタ 220が格納した 設定値に応じた強調成分を生成する。例えば、設定レジスタ 220は、被試験デバイス 200の実装時に信号伝送線路の減衰量を設定値として格納してよい。この場合、設 定レジスタ 220は、当該減衰量を、出力信号の周波数帯毎に格納してもよい。プリエ ンフアシス回路 210は、当該設定値に基づいて、信号伝送線路の減衰量を予め補正 する。
[0037] フィルタ制御部 40は、設定レジスタ 220が格納した設定値を予め取得して、取得し た設定値に基づいて、フィルタ 20の信号通過特性を制御してよい。例えば、設定値 が減衰量を示す場合、フィルタ制御部 40は、フィルタ 20における信号の減衰量が設 定値と略一致するように、フィルタ 20の特性を制御する。このような構成により、プリエ ンフアシス回路 210の設定が可変である場合にも、当該設定に応じた試験ができる。 また、プリエンファシス回路 210が、当該強調成分情報又は当該設定値に応じて正 常に機能して 、るかを試験することができる。
[0038] 図 4は、試験部 30における試験の一例を説明する図である。本例において、試験 部 30は、入力される信号のセットアップタイム及びホールドタイム力 予め定められた 仕様値を満たすか否かを試験する。
[0039] セットアップタイムとは、伝送されるデータの論理値が確定するタイミングが、当該デ ータの論理値を検出するクロックのタイミングからどれだけ早 ヽかを示す値であり、ホ 一ルドタイムとは、伝送されるデータの論理値が維持される時間が、当該データの論 理値を検出するクロックのタイミングからどれだけの長さであるかを示す値である。
[0040] プリエンファシス回路 210は、出力信号のエッジを強調する回路であるので、試験 部 30は、当該信号が満たすべきセットアップタイム及びホールドタイムの規定値に応 じたタイミングで、当該信号の論理値を検出することにより、プリエンファシス回路 210 が正常に機能している力否かを判定することができる。
[0041] 図 5は、試験装置 100の動作の一例を示すフローチャートである。まず、フィルタ設 定段階 S300において、フィルタ制御部 40は、予め与えられる強調成分情報に基づ いて、フィルタ 20の信号通過特性を設定する。次に、第 1測定段階 S302において、 試験部 30は、切替部 10を制御して、フィルタ 20を通過させた出力信号を計測する。 また、第 2測定段階 S304において、試験部 30は、切替部 10を制御して、フィルタ 20 を通過させない出力信号を計測する。
[0042] そして、信号比較段階 S306において、フィルタ 20を通過した出力信号と、フィルタ 20を通過しない出力信号とを比較して、フィルタ 20における信号通過特性が予め定 められた特性と略一致するか否かを評価する。例えば、フィルタ 20における信号の 減衰量力 被試験デバイス 200の実装時における伝送線路における信号の減衰量と 略一致するか否かを評価する。実装時における伝送線路における信号の減衰量は、 上述したように、使用者により予め与えられてよぐまた設定レジスタ 220における設 定値から求めてもよい。信号比較段階 S306においては、試験部 30が、当該評価を 行うフィルタ評価部として機能してょ 、。
[0043] 信号比較段階 S306において、フィルタ 20における信号通過特性力 所定の特性 と一致しない場合、 S300から S306の処理を繰り返す。このとき、フィルタ設定段階 S 300では、信号比較段階 S306における評価結果に基づいて、フィルタ 20を設定し てよい。
[0044] 信号比較段階 S306において、フィルタ 20における信号通過特性力 所定の特性 と一致した場合、試験段階 S308において試験部 30は、プリエンファシス回路 210を 含む被試験デバイス 200を試験する。この場合、試験部 30は、切替部 10を制御して 、フィルタ 20を通過させた出力信号に基づいて試験する。当該試験においては、上 述したように、セットアップタイム及びホールドタイムを試験してよ！、。
[0045] 当該試験の精度は、フィルタ 20の特性力 実装時における伝送線路の特性と一致 している力否かに依存する。本例における試験によれば、フィルタ 20の特性を、実装 時における伝送線路の特性と精度よく一致させることができる。このため、被試験デ バイス 200のプリエンファシス機能を精度よく試験することができる。
[0046] 図 6は、フィルタ 20の構成の一例を示す図である。本例におけるフィルタ 20は、そ れぞれ異なる線路長の複数の伝送線路（22— 1〜22— 3、以下 22と総称する）を有 する。伝送線路 22の単位長さあたりの信号減衰量は、被試験デバイス 200の実装時 に用いられる伝送線路の単位長さあたりの信号減衰量と略同一であってよい。例え ば、伝送線路 22は、実装時に用いられる伝送線路と略同一の材料で形成されてよい 。また、伝送線路 22は、基板上に形成されるストリップライン、マイクロストリップライン 、又はコプレーナ線路であってよい。
[0047] フィルタ制御部 40は、出力信号を、いずれの伝送線路 22に通過させるかを選択す ることにより、信号通過特性を制御する。例えば、フィルタ制御部 40には、強調成分 情報として、実装時に用いられる伝送線路の長さが与えられ、当該長さに応じていず れかの伝送線路 22を選択してよい。いずれの伝送線路 22を選択するかは、切替部 10が行ってよい。また、切替部 10は、 2以上の伝送線路 22を選択して、選択した複 数の伝送線路 22に、出力信号を通過させてよい。このような制御により、出力信号が 通過する伝送線路 22の長さを、設定すべき特性に応じて所望に選択することができ る。
[0048] 図 7は、フィルタ 20の構成の他の例を示す図である。本例におけるフィルタ 20は、 縦続接続された複数の回路ブロック 24を有する。それぞれの回路ブロック 24は、い わゆる LCR回路であって、誘導成分 26、容量成分 31、及び抵抗成分 28を有する。 誘導成分 26及び抵抗成分 28は、前後の回路ブロック 24の間で直列に接続される。 また、容量成分 31は、容量成分 31及び抵抗成分 28の接続点と、接地電位との間に 設けられる。切替部 10は、出力信号が通過する回路ブロック 24の直列数を制御でき ることが好ましい。これにより、フィルタ制御部 40は、フィルタ 20における信号通過特 性を制御する。
[0049] 図 8は、フィルタ 20の構成の他の例を示す図である。本例におけるフィルタ 20は、 縦続接続された複数の回路ブロック 32を有する。それぞれの回路ブロック 32は、い わゆる RC回路であって、可変抵抗成分 34及び可変容量成分 36を有する。可変抵 抗成分 34は、前後の回路ブロック 32を接続する。また、可変容量成分 36は、可変抵 抗成分 34の一端と、接地電位との間に設けられる。
[0050] 切替部 10は、出力信号が通過する回路ブロック 32の直列数を制御できることが好 ましい。これにより、フィルタ制御部 40は、フィルタ 20における信号通過特性を制御 する。また、フィルタ制御部 40は、可変抵抗成分 34のインピーダンス、及び Z又は可 変容量成分 36の容量値を制御することにより、フィルタ 20における信号通過特性を 制御してちょい。
[0051] 図 7及び図 8において説明した回路ブロック 24又は回路ブロック 32が有するそれぞ れの素子は、個別に製造されたディスクリート部品であってよい。また、回路ブロック 2 4における誘導成分 26は、半導体プロセスで形成されるパターンにおける誘導成分 であってよい。また、回路ブロック 24における各素子の特¾は、回路ブロック 32にお ける各素子の特性と同様に、可変であってもよい。
[0052] 図 9は、試験装置 100の構成の他の例を示す図である。本例における試験装置 10 0は、図 1又は図 3に関連して説明した試験装置 100の構成にカ卩え、パフォーマンス ボード 50、フィクスチヤボード 60、及びピンエレクトロニクスカード 70を更に備える。
[0053] パフォーマンスボード 50は、被試験デバイス 200を載置する。例えば、パフォーマ ンスボード 50は、いわゆるテストヘッドに設けられる。また、試験部 30は、テストヘッド から分離した本体部に設けられる。
[0054] ピンエレクトロニクスカード 70は、試験部 30に設けられ、被試験デバイス 200と信号 の授受を行う。例えば、ピンエレクトロニクスカード 70は、被試験デバイス 200に信号 を出力するドライバと、被試験デバイス 200から信号を受け取るコンパレータ 72とを 有する。当該ドライバ及びコンパレータ 72は、被試験デバイス 200の各ピンに対応し て設けられる。また、ピンエレクトロニクスカード 70は、試験装置 100と着脱可能に設 けられてよい。
[0055] フィクスチヤボード 60は、ピンエレクトロニクスカード 70を介して、試験部 30とパフォ 一マンスボード 50とを電気的に接続する。例えば、フィクスチヤボード 60は、テストへ ッドと本体部との間に設けられ、試験部 30とパフォーマンスボード 50とを電気的に接 続するケーブルを有する。
[0056] 本例において、図 1又は図 3に関連して説明した切替部 10、フィルタ 20、及びフィ ルタ制御部 40は、ピンエレクトロニクスカード 70に設けられる。例えば、切替部 10、フ ィルタ 20、及びフィルタ制御部 40は、コンパレータ 72とフィクスチヤボード 60との間 に、コンパレータ 72毎に設けられる。
[0057] 図 10は、試験装置 100の構成の他の例を示す図である。本例における試験装置 1 00は、図 9において説明した試験装置 100の構成に対して、切替部 10、フィルタ 20 、及びフィルタ制御部 40が、フィクスチヤボード 60に設けられる点で相違する。この 場合、フィルタ 20は、フィクスチヤボード 60に設けられるケーブルを、図 6において説 明した伝送線路 22として用いてよい。このような構成により、フィルタ 20を効率よく設 けることができる。
[0058] 図 11は、試験装置 100の構成の他の例を示す図である。本例における試験装置 1 00は、図 9において説明した試験装置 100の構成に対し、切替部 10、フィルタ 20、 及びフィルタ制御部 40力 パフォーマンスボード 50に設けられる点で相違する。この ような構成によっても、プリエンファシス回路 210を備える被試験デバイス 200を精度 よく試験することができる。
[0059] 以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実 施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または 改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改 良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載力 明らかである。
[0060] 以上から明らかなように、試験装置 100によれば、プリエンファシス回路を備える被 試験デバイスのプリエンファシス機能を精度よく試験することができる。

Claims

請求の範囲
[1] 出力信号の所定の成分を強調して出力するプリエンファシス回路を備える被試験 デバイスのプリエンファシス機能を試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスが出力する前記出力信号に対して、前記被試験デバイスの実 装時における伝送線路において前記出力信号に生じる減衰と略同一の減衰を生じ させるフィルタと、
前記フィルタが出力する信号を計測し、計測結果に基づいて前記被試験デバイス の前記プリエンファシス機能を試験する試験部と
を備える試験装置。
[2] 前記フィルタは、前記被試験デバイスが出力する前記出力信号から、前記プリェン フアシス回路が生成すべき強調成分を除去することにより、前記減衰を生じさせる 請求項 1に記載の試験装置。
[3] 前記プリエンファシス回路が生成すべき前記強調成分についての強調成分情報が 予め与えられ、前記強調成分情報に基づいて、前記フィルタの信号通過特性を制御 するフィルタ制御部を更に備える請求項 2に記載の試験装置。
[4] 前記被試験デバイスは、生成すべき前記強調成分を定める設定値を格納する設定 レジスタを備え、
前記プリエンファシス回路は、前記設定レジスタが格納した前記設定値に応じた前 記強調成分を生成し、
前記試験装置は、前記設定レジスタが格納した前記設定値を取得し、取得した前 記設定値に基づ 、て、前記フィルタの信号通過特性を制御するフィルタ制御部を更 に備える
請求項 2に記載の試験装置。
[5] 前記試験部は、前記フィルタが出力する前記出力信号が、前記被試験デバイスに 対して予め定められたセットアップタイム及びホールドタイムを満たすか否かに基づ
V、て、前記被試験デバイスの前記プリエンファシス機能を試験する
請求項 2に記載の試験装置。
[6] 前記フィルタは、それぞれ異なる線路長の複数の伝送線路を有し、 前記フィルタ制御部は、前記出力信号を、いずれの前記伝送線路に通過させるか を選択することにより、前記信号通過特性を制御する
請求項 3又は 4に記載の試験装置。
[7] 前記試験装置は、
前記被試験デバイスを載置するパフォーマンスボードと、
前記試験部と前記パフォーマンスボードとを電気的に接続するケーブルを有するフ イクスチヤボードと
を更に備え、
前記フィルタは、前記フィクスチヤボードに設けられる請求項 6に記載の試験装置。
[8] 前記フィルタは、前記フィクスチヤボードに設けられた前記ケーブルを前記伝送線 路として、前記出力信号を通過させる請求項 7に記載の試験装置。
[9] 前記試験装置は、
前記被試験デバイスを載置するパフォーマンスボードと、
前記試験部と前記パフォーマンスボードとを電気的に接続するケーブルを有するフ イクスチヤボードと
を更に備え、
前記フィルタは、前記試験部に設けられる
請求項 2に記載の試験装置。
[10] 前記被試験デバイスが出力する前記出力信号を、前記フィルタに入力するか、又 は前記試験部に入力するかを切り替える切替部を更に備える
請求項 2に記載の試験装置。
[11] 前記フィルタを通過した前記出力信号と、前記フィルタを通過しない前記出力信号 とを比較し、前記フィルタにおける信号通過特性が予め定められた特性と略一致する か否かを評価するフィルタ評価部を更に備える
請求項 10に記載の試験装置。
[12] 前記試験部は、前記フィルタ評価部において、前記特性が略一致した場合に、前 記被試験デバイスの前記プリエンファシス機能を試験する
請求項 11に記載の試験装置。
[13] 出力信号の所定の成分を強調して出力するプリエンファシス回路を備える被試験 デバイスのプリエンファシス機能を試験する試験装置にぉ ヽて、前記被試験デバイス を載置するパフォーマンスボードと、前記被試験デバイスの良否を判定する試験部と を接続するフィクスチヤボードであって、
前記被試験デバイスが出力する前記出力信号に対して、前記被試験デバイスの実 装時における伝送線路において前記出力信号に生じる減衰と略同一の減衰を生じ させるフィルタを備えるフィクスチヤボード。
[14] 出力信号の所定の成分を強調して出力するプリエンファシス回路を備える被試験 デバイスのプリエンファシス機能を試験する試験装置にぉ ヽて、前記被試験デバイス の各ピンと信号の授受を行うピンエレクトロニクスカードであって、
前記被試験デバイスが出力する前記出力信号に対して、前記被試験デバイスの実 装時における伝送線路において前記出力信号に生じる減衰と略同一の減衰を生じ させるフィルタを備えるピンエレクトロニクスカード。
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