JP3672136B2 - Ic試験装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明はIC試験装置に関し、特に測定精度の向上とコスト低減に関する。
【0002】
【従来の技術】
IC試験装置のピンエレクトロニクス・カード1は、被測定IC(以下DUTと言う)2に信号を印加するためのドライバ3と信号を受け取り比較判定するためのコンパレータ(比較器)4をデバイス試験に必要である数だけ有する。その構成は、ドライバ3、コンパレータ4をピンエレクトロニクス・カード1内で接続し、デバイスとの接続ラインを1本にした図4に示すI/Oコモン方式と、ドライバ3、コンパレータ4をピンエレクトロニクス・カード1内で接続せずデバイスとの接続ラインが2本の図5に示すI/Oスプリット方式とに大別されるが、DUT2のピン仕様、即ちI/O(インプット/アウトプット)ピンに対するI(インプット)専用ピン、O(アウトプット)専用ピンの数量比率によって長短の分かれるところである。
(I/Oコモン方式)
I/Oコモン方式でI/Oピン13を試験する場合、図4のようにDUT2と接続される。DUT2がI(インプット)モードの時はドライバ3をイネーブルにし所定の信号を印加する。この時、コンパレータ4はディセーブル状態で比較判定は行われない。DUT2がO(アウトプット)モードの時は、ドライバ3をディセーブル、コンパレータ4をイネーブルにし、DUT2からの出力信号を受け取り、比較判定を行い、試験する。
【0003】
又、I/Oコモン方式でI専用ピン14とO専用ピン15を試験する場合、図4のようにDUT2と接続される。DUT2のI専用ピン14は、ドライバ3を常にイネーブル状態にし所定の信号を印加する。この時、I専用ピン14側のコンパレータ4は常にディセーブル状態で試験には使用されない。O専用ピン15は、コンパレータ4を常にイネーブル状態にし、DUT2からの出力信号を受け取り、比較判定を行い、試験する。この時、O専用ピン15側のドライバ3は常にディセーブル状態で試験には使用されない。
(I/Oスプリット方式)
I/Oスプリット方式でI/Oピン13を試験する場合、図5のようにDUTと接続される。DUT2がIモードの時は、ドライバ3をイネーブルにし所定の信号を印加する。この時、コンパレータ4はディセーブル状態で比較判定は行われない。DUTがOモードの時は、ドライバ3をディセーブル、コンパレータ4をイネーブルにし、DUTからの出力信号を受け取り、比較判定を行い、試験する。
【0004】
又、I/Oスプリット方式でI専用ピン14とO専用ピン15を試験する場合、図5のようにDUTと接続される。DUTのI専用ピン14は、ドライバ3を常にイネーブル状態にし、所定の信号を印加する。O専用ピン15は、コンパレータ4を常にイネーブル状態にしデバイスからの出力信号を受け取り、比較判定を行い、試験する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
図4のI/Oコモン方式でI専用ピン14とO専用ピン15を試験する場合、斜線で示した部分のハードウェアは、試験では全く使用されないので、不経済である。また、図5のI/Oスプリット方式でI/Oピン13を試験する場合、DUT2とドライバ3、コンパレータ4を接続するラインが2分岐した状態になる。DUTに試験波形を入力時には、不要な第1、第2O専用伝送線路19,21がI/Oピンにぶらさがった状態となり、反射波が発生し、印加波形がみだれる。また、DUTの応答波形を測定するときには不要な第1、第2I専用伝送線路18,32がI/Oピン13にぶらさがった状態となり、同様に波形が乱れ、いずれも測定誤差の原因となる。このようにI/Oピン13に対する高精度な試験は出来ず、試験装置の性能低下を招いてしまう。
【0006】
従って、DUTのピン仕様によりI/Oコモン方式とI/Oスプリット方式を使いわけ出来れば、試験装置の性能とコストの最適化をはかる事ができる。しかしながら、実際の試験装置は複数種のDUTを試験する必要があるため、DUTのI/OピンとI専用ピン、O専用ピンとが存在する割合は、多種多様となる。このためI/Oコモン方式とI/Oスプリット方式を一定の割合で混在させることは、試験対象となるデバイスが限定される事になり汎用性が失われる。現状ではI/Oコモン方式かI/Oスプリット方式のいずれかの方式によって統一されている。
【0007】
この発明は▲1▼I/Oコモン方式において、I専用ピン14及びO専用ピン15を測定する場合に、測定に全く使用しないハードウェアが多くなり、不経済となる問題と、▲2▼I/Oスプリット方式でI/Oピン13を測定する場合に、測定精度の低下する問題を解決することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
(1)請求項1の発明は、N個のI/O(インプット/アウトプット)ピン、M個のI(インプット)専用ピン及びM個のO(アウトプット)専用ピンを有する被試験IC(以下DUTと言う)を着脱自在に実装するパフォーマンス・ボードと、少くともN+M個の測定回路を実装し、前記パフォーマンス・ボードに着脱自在に接続されるピンエレクトロニクス・カードを具備するIC試験装置に関する。
【0009】
請求項1では特に、各測定回路8は、フォーマット制御回路と、そのフォーマット制御回路に制御されて、DUTのI/OピンまたはI専用ピンに対する試験波形を出力するドライバと、一端がドライバの出力端子に接続された第2I/O伝送線路7と、ドライバの出力端子に接続され、DUTの応答波形を基準値と比較する第1比較器と、第2O専用伝送線路21と、その第2O専用伝送線路の出力端に接続され、DUTのO専用ピンの応答波形を基準値と比較する第2比較器と、第1、第2比較器の各出力のいずれか一方を選択するセレクタと、そのセレクタの出力を期待値と比較するデジタル・コンペアとを具備する。
【0010】
(2)請求項2の発明では、前記(1)において、前記パフォーマンス・ボードは、ピンエレクトロニクス・カードに接続するためのN個の第1I/O端子11と、M個の第1I専用端子16と、M個の第1O専用端子17と、一端が第1I/O端子に、他端がDUTのI/Oピンにそれぞれ接続されるN個の第1I/O伝送線路12と、一端が第1I専用端子に、他端がDUTのI専用ピンにそれぞれ接続されるM個の第1I専用伝送線路18と、一端がDUTのO専用ピンに、他端が前記第1O専用端子にそれぞれ接続されるM個の第1O専用伝送線路19とを具備する。
【0011】
(3)請求項3の発明では、前記(1)において、前記ピンエレクトロニクス・カードは、パフォーマンス・ボードと接続するための少くともN+M個の第2I/O端子9と少くともN+M個の第2O専用端子22を具備する。
(4)請求項4の発明では、前記(2)及び(3)において、前記ピンエレクトロニクス・カードは、DUTのN個のI/Oピンの試験に対応して、N個の測定回路の第1比較器をデジタル・コンペアに接続すると共に、対応するN個の第2I/O端子9をパフォーマンス・ボードのN個の第1I/O端子11にそれぞれ接続し、DUTのM個のI専用ピン及びM個のO専用ピンの試験に対応して、M個の測定回路の第2比較器をデジタル・コンペアに接続すると共に、対応するM個の第2I/O端子9及びM個の第2O専用端子22をパフォーマンス・ボードのM個の第1I専用端子16及びM個の第1O専用端子17にそれぞれ接続する。
【0012】
(5)請求項5の発明では、前記各測定回路8は、フォーマット制御回路と、そのフォーマット制御回路に制御されて、DUTのI/OピンまたはI専用ピンに対する試験波形をそれぞれ出力する第1、第2ドライバと、それら第1、第2ドライバのいずれか一方をフォーマット制御回路に接続するセレクタと、一端が第1ドライバの出力端子に接続された第2I/O伝送線路7と、一端が第2ドライバの出力端子に接続された第2I専用伝送線路32と、第1ドライバの出力端子に接続され、DUTの応答波形を基準値と比較する比較器と、比較器の出力を期待値と比較するデジタル・コンペアとを具備する。
【0013】
(6)請求項6の発明では、前記(5)において、前記パフォーマンス・ボードは、ピンエレクトロニクス・カードに接続するためのN個の第1I/O端子11と、M個の第1I専用端子16と、M個の第1O専用端子17と、一端が第1I/O端子に、他端がDUTのI/Oピンにそれぞれ接続されるN個の第1I/O伝送線路12と、一端が第1I専用端子に、他端がDUTのI専用ピンにそれぞれ接続されるM個の第1I専用伝送線路18と、一端がDUTのO専用ピンに、他端が第1O専用端子にそれぞれ接続されるM個の第1O専用伝送線路19とを具備する。
【0014】
(7)請求項7の発明では、前記(5)において、前記ピンエレクトロニクス・カードは、パフォーマンス・ボードと接続するための少くともN+M個の第2I/O端子9と少くともN+M個の第2I専用端子31を具備する。
(8)請求項8の発明では、前記(6)及び(7)において、前記ピンエレクトロニクス・カードは、DUTのN個のI/Oピンの試験に対応して、N個の測定回路の第1ドライバをフォーマット制御回路に接続すると共に、対応するN個の第2I/O端子9をパフォーマンス・ボードのN個の第1I/O端子11にそれぞれ接続し、DUTのM個のI専用ピン及びM個のO専用ピンの試験に対応して、M個の測定回路の第2ドライバを前記フォーマット制御回路に接続すると共に、対応するM個の第2I/O端子9及びM個の第2I専用端子31をパフォーマンス・ボードのM個の第1O専用端子17及びM個の第1I専用端子16にそれぞれ接続する。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1は請求項1〜4の発明のI/Oコモン・I/Oスプリット切り換え方式による装置である。最初に、I/Oピン13を測定する場合について説明する。まず、図1のようにDUT2と接続する。セレクタ25により、デジタル・コンペア6に送られるコンパレータの出力は、常にコンパレータ4aのみとしコンパレータ4bの出力は試験に影響しないようにしておく。
【0016】
DUT2がIモードの時は、ドライバ3をイネーブルにし所定の信号を印加する。この時、コンパレータ4aはディセーブル状態で比較判定は行われない。DUT2がOモードの時は、ドライバ3をディセーブル、コンパレータ4aをイネーブルにし、DUTからの出力信号を受け取り、比較判定を行い、試験する。結局、I/Oコモン方式で試験した場合と同じである。
【0017】
次に、I専用ピン14とO専用ピン15を試験する場合について説明する。まず、図1のようにDUT2と接続する。セレクタ25により、デジタル・コンペア6に送られるコンパレータの出力は、常にコンパレータ4bのみとし、コンパレータ4aの出力は試験に影響しないようにしておく。
DUT2のI専用ピン14には、ドライバ3を常にイネーブル状態にして所定の信号を印加する。O専用ピン15に対して、コンパレータ4bを常にイネーブル状態にし、デバイスからの出力信号を受け取り、比較判定を行い、試験する。結局、I/Oスプリット方式で試験した場合と同じである。このように、I/OコモンとI/Oスプリット方式とのどちらで試験するか切り換える事が可能である。
【0018】
I/Oピン13に対しては、従来のI/Oコモン方式で測定し、従来のI/Oスプリット方式は用いていないので、I/Oスプリット方式を用いる場合のような測定精度が低下する問題はない。
次に、試験装置のコストについて説明する。図2に例として、信号数1024ピンのDUTでI/Oピン、Iピン、Oピンの占有割合が異なる3ケースについて比較した。ケース1及びケース3は極めてまれな場合で、ケース2が現実に近い場合と考えられる。
【0019】
ケース2の場合、本発明方式は、不経済で問題となっていた従来のI/Oコモン方式に比べて20%程度コストを低減できる。これは、コスト比率の高いフォーマット制御回路やデジタル・コンペアの数量を、最もコストが小さいI/Oスプリット方式と同数で試験できるためである。
一方、本発明方式は従来のI/Oスプリット方式に比較し、ケース2の場合、5%程コストアップとなるが、しかしI/Oスプリット方式のようなI/Oピンに対する測定精度の低下する問題がない。
【0020】
図3に示すのは請求項5〜8の実施例であり、各測定回路8にドライバを2個設け、セレクタで切換える構成としている。この場合も、I/Oピン13に対しては従来のI/Oコモン方式と同じ測定が行え、I専用ピン14、O専用ピン15に対しては従来のI/Oスプリット方式と同じ測定が行え、図1の場合とほぼ同じ測定精度の向上と、コストの低減が図られる。
【0021】
【発明の効果】
▲1▼ この発明では、従来のI/Oスプリット方式に対して、比較器とセレクタを追加するか、またはドライバとセレクタを追加し、DUTのI/Oピン13を試験するか、I専用ピン14とO専用ピン15を試験するかによって、セレクタで2ケの比較器またはドライバを適宜選択することによって、従来のI/Oコモン方式より経済的な装置を実現できる。
【0022】
▲2▼ この発明では、DUTのI/Oピンの測定に対しては従来のI/Oコモン方式と同じ測定を行うようにしたので、従来のI/Oスプリット方式のようにI/Oピンに他系統の伝送線路がぶらさがって波形が乱されるようなことはなく、従って測定精度が低下する恐れもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1乃至4の実施例を示すブロック図。
【図2】この発明の図1の装置と従来の装置との経済比較の一例を示す図。
【図3】請求項5乃至8の発明の実施例を示すブロック図。
【図4】従来のI/Oコモン方式を用いたIC試験装置のブロック図。
【図5】従来のI/Oスプリット方式を用いたIC試験装置のブロック図。
Claims (8)
- N個のI/O(インプット/アウトプット)ピン、M個のI(インプット)専用ピン及びM個のO(アウトプット)専用ピンを有する被試験IC(以下DUTと言う)を着脱自在に実装するパフォーマンス・ボードと、
少くともN+M個の測定回路を実装し、前記パフォーマンス・ボードに着脱自在に接続されるピンエレクトロニクス・カードを具備するIC試験装置において、
前記ピンエレクトロニクス・カードは前記各測定回路(8)ごとに1つのI/O端子(9)と1つの専用端子(22)が設けられ、
前記各測定回路(8)は、フォーマット制御回路と、
前記フォーマット制御回路に制御されて試験波形を出力するドライバと、
前記ドライバの出力側が前記ピンエレクトロニクス・カードのI/O端子(9)に接続され、
前記ドライバの出力側に入力側が接続され、DUTの応答波形を基準値と比較する第1比較器と、
入力側が前記ピンエレクトロニクス・カードの専用端子(22)に接続され、DUTの応答波形を基準値と比較する第2比較器と、
前記第1、第2比較器の各出力のいずれか一方を選択するセレクタと、
そのセレクタの出力を期待値と比較するデジタル・コンペアとを具備することを特徴とするIC試験装置。 - 前記パフォーマンス・ボードは、
前記ピンエレクトロニクス・カードに接続するためのN個の第1I/O端子(11)と、M個の第1I専用端子(16)と、M個の第1O専用端子(17)と、
一端が前記第1I/O端子に、他端がDUTのI/Oピンにそれぞれ接続されるN個の第1I/O伝送線路(12)と、
一端が前記第1I専用端子に、他端がDUTのI専用ピンにそれぞれ接続されるM個の第1I専用伝送線路(18)と、
一端がDUTのO専用ピンに、他端が前記第1O専用端子にそれぞれ接続されるM個の第1O専用伝送線路(19)とを具備することを特徴とする請求項1記載のIC試験装置。 - 前記ピンエレクトロニクス・カードは、前記パフォーマンス・ボードと接続するための少くともN+M個の第2I/O端子(9)と少くともN+M個の第2O専用端子(22)を具備することを特徴とする請求項1記載のIC試験装置。
- 前記ピンエレクトロニクス・カードは、DUTのN個のI/O端子の試験に対応して、前記N個の測定回路の前記第1比較器を前記デジタル・コンペアに接続すると共に、対応する前記N個の第2I/O端子(9)を前記パフォーマンス・ボードの前記N個の第1I/O端子(11)にそれぞれ接続し、DUTの前記M個のI専用ピン及びM個のO専用ピンの試験に対応して、前記M個の測定回路の前記第2比較器を前記デジタル・コンペアに接続すると共に、対応する前記M個の第2I/O端子(9)及びM個の第2O専用端子(22)をパフォーマンス・ボードのM個の第1I専用端子(16)及びM個の第1O専用端子(17)にそれぞれ接続することを特徴とする請求項2又は3記載のIC試験装置。
- N個のI/O(インプット/アウトプット)ピン、M個のI(インプット)専用ピン及びM個のO(アウトプット)専用ピンを有する被試験IC(以下DUTと言う)を着脱自在に実装するパフォーマンス・ボードと、
少くともN+M個の測定回路を実装し、前記パフォーマンス・ボードに着脱自在に接続されるピンエレクトロニクス・カードを具備するIC試験装置において、
前記ピンエレクトロニクス・カードは前記各測定回路(8)ごとに1つのI/O端子(9)と1つの専用端子(31)が設けられ、
前記各測定回路(8)は、フォーマット制御回路と、
前記フォーマット制御回路に制御されて試験波形をそれぞれ出力する第1,2ドライバと、
前記第1ドライバの出力側が前記ピンエレクトロニクス・カードのI/O端子(9)に接続され、
前記第2ドライバの出力側が前記ピンエレクトロニクス・カードの専用端子(31)に接続され、
前記第1ドライバの出力側に入力側が接続され、DUTの応答波形を基準値と比較する比較器と、
前記第1、第2ドライバの各入力側のいずれか一方を前記フォーマット制御回路に接続するセレクタと、
前記比較器の出力を期待値と比較するデジタル・コンペアとを具備することを特徴とするIC試験装置。 - 前記パフォーマンス・ボードは、
前記ピンエレクトロニクス・カードに接続するためのN個の第1I/O端子(11)と、M個の第1I専用端子(16)と、M個の第1O専用端子(17)と、
一端が前記第1I/O端子に、他端がDUTのI/Oピンにそれぞれ接続されるN個の第1I/O伝送線路(12)と、
一端が前記第1I専用端子に、他端がDUTのI専用ピンにそれぞれ接続されるM個の第1I専用伝送線路(18)と、
一端がDUTのO専用ピンに、他端が前記第1O専用端子にそれぞれ接続されるM個の第1O専用伝送線路(19)とを具備することを特徴とする請求項5記載のIC試験装置。 - 前記ピンエレクトロニクス・カードは、前記パフォーマンス・ボードと接続するための少くともN+M個の第2I/O端子(9)と少くともN+M個の第2I専用端子(31)を具備することを特徴とする請求項5記載のIC試験装置。
- 前記ピンエレクトロニクス・カードは、DUTのN個のI/O端子の試験に対応して、前記N個の測定回路の前記第1ドライバを前記フォーマット制御回路に接続すると共に、対応する前記N個の第2I/O端子(9)を前記パフォーマンス・ボードの前記N個の第1I/O端子(11)にそれぞれ接続し、DUTの前記M個のI専用ピン及びM個のO専用ピンの試験に対応して、前記M個の測定回路の前記第2ドライバを前記フォーマット制御回路に接続すると共に、対応する前記M個の第2I/O端子(9)及びM個の第2I専用端子(31)をパフォーマンス・ボードのM個の第1O専用端子(17)及びM個の第1I専用端子(16)にそれぞれ接続することを特徴とする請求項6又は7記載のIC試験装置。
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