JP5291289B2 - 試験装置および検出方法 - Google Patents

Description

本発明は、試験装置および検出方法に関する。特に本発明は、被試験デバイスを試験する試験装置および検出方法に関する。

半導体装置等の被試験デバイスを試験する試験装置が知られている。試験装置は、装置外部または内部からのノイズが原因となり、測定動作が正常に行えない場合がある。ノイズが原因で測定動作が正常に行えないと推測される場合、試験装置の使用者は、例えば、オシロスコープおよびスペクトラムアナライザ等を用いて、ノイズの発生原因を特定し、又は、ノイズの振幅および周波数特性等を測定する（例えば、特許文献１参照。）。

特開平８−１２２４１７号公報

ところで、オシロスコープを用いて試験装置のノイズを測定する場合、微小な電圧のノイズ（例えば１０ミリＶ以下のノイズ）を検出することが困難であった。また、試験装置にプローブを接触させるので、被測定回路にインピーダンスを与えてしまい、精度良くノイズを測定できない場合があった。

また、スペクトラムアナライザを用いて試験装置のノイズを測定した場合、繰返し周期を有するノイズでなければ測定することが困難であった。従って、ＥＳＤ（Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ）等の単発で発生するノイズを検出することが困難であった。

そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置および検出方法を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、それぞれが被試験デバイスの端子へ試験信号を出力する複数の信号出力部と、試験信号に応じて被試験デバイスの端子から出力される信号をそれぞれ入力する複数の信号入力部と、当該試験装置のノイズを検出するために用いる少なくとも１つの信号入力部に対してノイズを伝播するノイズ伝送路と、指定されたタイミングで入力信号を検出するモード、および、入力信号の電圧が指定された期間内において一瞬でも予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するウィンドウ検出モードを有する少なくとも１つの信号入力部を、ウィンドウ検出モードで動作させて、ノイズ伝送路から入力される入力信号の電圧が指定された期間内において一瞬でも予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するノイズ入力部として流用させる検出制御部と、少なくとも１つの信号入力部により基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、当該試験周期の間にノイズが検出されたと判定する判定部とを備える試験装置を提供する。

本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置を制御して、試験装置のノイズを検出する検出方法であって、試験装置は、それぞれが被試験デバイスの端子へ試験信号を出力する複数の信号出力部と、試験信号に応じて被試験デバイスの端子から出力される信号をそれぞれ入力する複数の信号入力部とを備え、試験装置のノイズを検出するために用いる少なくとも１つの信号入力部に対してノイズを伝播するノイズ伝送路を接続し、指定されたタイミングで入力信号を検出するモード、および、入力信号の電圧が指定された期間内において一瞬でも予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するウィンドウ検出モードを有する少なくとも１つの信号入力部を、ウィンドウ検出モードで動作させて、ノイズ伝送路から入力される入力信号の電圧が指定された期間内において一瞬でも予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するノイズ入力部として流用させ、少なくとも１つの信号入力部により基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、当該試験周期の間にノイズが検出されたと判定する検出方法を提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態に係る試験装置１０、被試験デバイス１００およびハンドラ装置２００を示す。試験装置１０は、被試験デバイス１００を試験する。より詳しくは、試験装置１０は、試験信号を生成して被試験デバイス１００に供給し、被試験デバイス１００が試験信号に基づいて動作した結果出力する出力信号が期待値と一致するか否かに基づいて被試験デバイス１００の良否を判断する。さらに、試験装置１０は、当該装置の外部または内部で発生したノイズ（例えばＥＳＤ）を検出する。

試験装置１０は、デバイス搭載部１２と、テストヘッド１４と、制御装置１６とを備える。デバイス搭載部１２は、被試験デバイス１００が搭載され、被試験デバイス１００とテストヘッド１４内の回路とを電気的に接続する。デバイス搭載部１２は、一例として、パフォーマンスボード１８と、このパフォーマンスボード１８の上部に設けられて被試験デバイス１００を保持するソケット２０とを有する。

テストヘッド１４は、筐体内に複数の試験モジュールを搭載する。各試験モジュールは、試験信号を生成し、対応する被試験デバイス１００の端子に試験信号を供給する。また、各試験モジュールは、試験信号に応じて出力される出力信号を被試験デバイス１００の端子から取得し、期待値と比較する。

制御装置１６は、テストヘッド１４内の複数の試験モジュールに接続され、これら複数の試験モジュールを制御する。制御装置１６は、一例として、テストヘッド１４と別体とされたコンピュータにより実現される。

ハンドラ装置２００は、被試験デバイス１００を収納トレイから取り出してテストヘッド１４上のデバイス搭載部１２に搭載し、被試験デバイス１００をデバイス搭載部１２から取り外して例えば収納トレイに戻す。ハンドラ装置２００は、一例として、制御装置１６により動作が制御される。

図２は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を被試験デバイス１００およびハンドラ装置２００とともに示す。図３は、ウィンドウストローブ信号の一例を示す。

試験装置１０は、複数の信号出力部２２と、複数の信号入力部２４と、ノイズ伝送路２６と、検出制御部２８と、基準電位発生部３２と、抵抗３４と、スイッチ３６と、判定部３８と、ハンドラ制御部４０とを備える。なお、本実施形態において、複数の信号出力部２２、複数の信号入力部２４、基準電位発生部３２、抵抗３４およびスイッチ３６は、テストヘッド１４内に設けられる。また、本実施形態において、検出制御部２８、判定部３８およびハンドラ制御部４０は、制御装置１６が所定のプログラムを実行することにより、当該制御装置１６により実現される。

複数の信号出力部２２のそれぞれは、被試験デバイス１００の端子へ試験信号を出力する。各信号出力部２２は、一例として、ドライバ５２を有する。ドライバ５２は、与えられた試験信号を増幅して被試験デバイス１００の対応する端子に供給する。

複数の信号入力部２４のそれぞれは、試験信号に応じて被試験デバイス１００の端子から出力される信号を入力する。各信号入力部２４は、一例として、閾値電位発生部５４と、Ｈ論理側コンパレータ５６と、Ｌ論理側コンパレータ５８と、論理比較部６０とを有する。

閾値電位発生部５４は、入力された信号の論理を判定するための閾値電圧（Ｈ論理閾値電圧Ｖ_ＯＨ、Ｌ論理閾値電圧Ｖ_ＯＬ）を発生する。なお、Ｈ論理閾値電圧Ｖ_ＯＨは、Ｌ論理閾値電圧Ｖ_ＯＬよりも高い。Ｈ論理側コンパレータ５６は、入力された信号の電圧と、Ｈ論理閾値電圧Ｖ_ＯＨとを比較する。Ｌ論理側コンパレータ５８は、入力された信号の電圧と、Ｌ論理閾値電圧Ｖ_ＯＬとを比較する。

論理比較部６０は、Ｈ論理側コンパレータ５６およびＬ論理側コンパレータ５８による比較結果に基づき、入力された信号の論理を検出する。すなわち、論理比較部６０は、入力された信号の電圧がＨ論理閾値電圧Ｖ_ＯＨより大きいか（すなわち、入力された電圧がＨ論理であるか）、入力された信号の電圧がＬ論理閾値電圧Ｖ_ＯＬより小さいか（すなわち、入力された電圧がＬ論理であるか）を検出する。さらに、論理比較部６０は、Ｈ論理側コンパレータ５６およびＬ論理側コンパレータ５８による比較結果に基づき、入力された信号の電圧が、Ｌ論理閾値電圧Ｖ_ＯＬ以上且つＨ論理閾値電圧Ｖ_ＯＨ以下であるか（すなわち、中間値であるか）を検出する。

また、論理比較部６０は、ストローブ信号により指定されたタイミングで、入力された信号の論理を検出する。論理比較部６０は、一例として、ウィンドウ検出モードにより動作する。すなわち、論理比較部６０は、ウィンドウストローブ信号により指定されたタイミングで、入力された信号の論理を検出する。ウィンドウストローブ信号は、図３に示すように、試験周期中における任意の連続期間を指定する信号である。

論理比較部６０は、ウィンドウストローブ信号により指定された期間中において、Ｈ論理閾値電圧Ｖ_ＯＨより大きくなった場合には、入力信号がＨ論理であると検出する。この場合において、論理比較部６０は、入力信号の電圧が、瞬間的にＨ論理閾値電圧Ｖ_ＯＨより大きくなり、その後、中間値またはＬ論理閾値電圧Ｖ_ＯＬより小さくなったとしても、入力信号がＨ論理であると検出する。

また、論理比較部６０は、ウィンドウストローブ信号により指定された期間中において、Ｌ論理閾値電圧Ｖ_ＯＬより小さくなった場合には、入力信号がＬ論理であると検出する。この場合において、論理比較部６０は、入力信号の電圧が、瞬間的にＬ論理閾値電圧Ｖ_ＯＬより小さくなり、その後、中間値またはＨ論理閾値電圧Ｖ_ＯＨより大きくなったとしても、入力信号がＬ論理であると検出するまた、論理比較部６０は、ウィンドウストローブ信号により指定された期間中、入力信号の電圧が、Ｈ論理閾値電圧Ｖ_ＯＨより大きくならず且つＬ論理閾値電圧Ｖ_ＯＬより小さくならなかった場合、入力信号が中間値であると検出する。

ここで、複数の信号入力部２４のうちの少なくとも一つの信号入力部２４は、当該試験装置１０がノイズ検出動作を行っている場合において、ノイズを入力する信号入力部として用いられる。当該試験装置１０のノイズを検出するために用いる少なくとも１つの信号入力部２４のことを、以下、ノイズ入力部５０と称する。

ノイズ伝送路２６は、それぞれのノイズ入力部５０毎に設けられる。ノイズ伝送路２６は、対応するノイズ入力部５０に対してノイズを伝播する。ノイズ伝送路２６は、一例として、一端がノイズ入力部５０の入力端に接続された、デバイス搭載部１２内の信号線路であってよい。また、ノイズ伝送路２６は、ノイズ入力部５０が接続されていない側の端（他端）が、被試験デバイス１００の端子に接続されてよい。これにより、ノイズ入力部５０は、被試験デバイス１００に帯電したＥＳＤ等を入力することができる。

また、ノイズ伝送路２６は、一例として、他端が開放されてもよい。これにより、ノイズ伝送路２６がアンテナとして機能するので、ノイズ入力部５０は、例えば外部装置から与えられる電磁波に応じたノイズを入力することができる。また、ノイズ伝送路２６は、一例として、他端が十分に大きな抵抗値（例えば、１０キロΩまたは１００キロΩ等）の抵抗を介してグランドに接続されてもよい。これにより、ノイズ入力部５０は、当該試験装置１０の装置内で発生するシステムノイズを入力することができる。

検出制御部２８は、ノイズ入力部５０を、ノイズ伝送路２６から入力される入力信号の電圧が試験周期の間に予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するウィンドウ検出モードで動作させる。検出制御部２８は、一例として、ノイズ入力部５０内の閾値電位発生部５４に対して、基準範囲の上限値として所定の値のＨ論理閾値電圧Ｖ_ＯＨを出力させ、基準範囲の下限値として所定の値のＬ論理閾値電圧Ｖ_ＯＬを出力させる。これにより、検出制御部２８は、ノイズ伝送路２６から入力される信号の電圧が基準範囲外となったか否かをノイズ入力部５０に検出させることができる。すなわち、検出制御部２８は、入力される信号の電圧が基準範囲外の場合にはノイズ入力部５０にＬ論理またはＨ論理を出力させ、入力される信号の電圧が基準範囲内の場合にはノイズ入力部５０に中間値を出力させることができる。

さらに、検出制御部２８は、一例として、図３に示すような、ノイズ入力部５０内の論理比較部６０に対して、ウィンドウストローブ信号を供給する。これにより、検出制御部２８は、試験周期毎のウィンドウストローブ信号により指定された期間（ノイズ検出期間）において、入力される信号の電圧が基準範囲外となったか否かをノイズ入力部５０に出力させることができる。

基準電位発生部３２は、基準範囲内の電圧である基準電位Ｖ_Ｔ（例えば０Ｖ）を発生する。基準電位発生部３２は、一例として、Ｈ論理閾値電圧Ｖ_ＯＨより小さく、且つ、Ｌ論理閾値電圧Ｖ_ＯＬより大きい電位（例えば、Ｈ論理閾値電圧Ｖ_ＯＨとＬ論理閾値電圧Ｖ_ＯＬとの間の略中間電圧）を発生する。

抵抗３４およびスイッチ３６は、それぞれのノイズ入力部５０毎に設けられる。抵抗３４は、一端がスイッチ３６を介して対応するノイズ入力部５０の入力端に接続され、他端が基準電位発生部３２の電圧出力端に接続される。スイッチ３６は、当該試験装置１０がノイズ検出動作を行っている場合において抵抗３４の一端とノイズ入力部５０の入力端を接続する。このような抵抗３４およびスイッチ３６は、ノイズが入力されていない場合におけるノイズ入力部５０の入力端の電位を、基準電位Ｖ_Ｔとすることができる。

判定部３８は、ノイズ入力部５０により基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、当該試験周期の間にノイズが検出されたと判定する。判定部３８は、一例として、ノイズ入力部５０がＬ論理またはＨ論理を検出したことに応じて、当該試験周期の間にノイズが検出されたと判定する。さらに、判定部３８は、一例として、ノイズが検出されたと判定した場合、ノイズを発生した旨を使用者に通知してよい。また、判定部３８は、一例として、ノイズが検出されたノイズ入力部５０に接続された端子の番号を通知したり、ノイズレベルをグラフで表示したりしてよい。

ハンドラ制御部４０は、ハンドラ装置２００における動作を制御する。すなわち、ハンドラ制御部４０は、ハンドラ装置２００が被試験デバイス１００をデバイス搭載部１２に搭載し、またはハンドラ装置２００がデバイス搭載部１２から取り外す動作を制御する。

図４は、入力信号およびノイズの有無の判定結果の一例を示す。ノイズ入力部５０は、スイッチ３６がオンとされ且つノイズ伝送路２６を介してなんら信号が入力されない場合、入力端子の電圧が、例えば基準範囲の略中心電位である基準電位Ｖ_Ｔとなる。従って、ノイズ入力部５０は、ノイズ伝送路２６を介して伝播されたノイズの電圧と、基準電位Ｖ_Ｔとを加算した電圧を入力する。

ノイズ入力部５０は、ウィンドウストローブ信号により指定された期間内において、入力電圧が一瞬でもＨ論理閾値電圧Ｖ_ＯＨより大きくなった場合、または、入力電圧が一瞬でもＬ論理閾値電圧Ｖ_ＯＬより小さくなった場合、入力信号の電圧が基準範囲外となったと検出する。従って、ノイズ入力部５０は、ウィンドウストローブ信号により指定された期間内において、基準範囲外の電圧（例えば（Ｖ_ＯＨ−Ｖ_Ｔ）より大きい電圧および（Ｖ_ＯＬ−Ｖ_Ｔ）より小さい電圧）のノイズが、一瞬でもノイズ伝送路２６から入力されたか否かを検出することができる。

以上のように、試験装置１０によれば、例えばオシロスコープおよびスペクトラムアナライザのような測定装置を用いずに、当該試験装置１０内の信号入力部２４を流用した簡易な構成で、装置外部および内部において発生したノイズを測定することができる。また、試験装置１０によれば、ウィンドウストローブ信号によりノイズを検出するので、瞬時的に発生されるノイズも検出することができる。

また、試験装置１０は、一例として、Ｈ論理側コンパレータ５６およびＬ論理側コンパレータ５８の閾値電圧を制御することにより、検出制御部２８によりノイズとして検出する電圧の基準範囲を制御することができる。従って、試験装置１０は、例えば、ＥＳＤのような数１０ボルト程度の大きなレベルのノイズを検出する場合には基準範囲を大きくし、基準電圧に含まれるノイズのような小さいレベルのノイズを検出する場合には基準範囲を小さくすることができる。これにより、試験装置１０によれば、ノイズとして検出する電圧範囲を、状況に応じた最適な値に設定することができる。

図５は、本実施形態に係る試験装置１０のノイズ検出フローの一例を示す。まず、検出制御部２８は、基準範囲を適切な値に設定する（ステップＳ１００１）。すなわち、検出制御部２８は、閾値電位発生部５４が発生するＨ論理閾値電圧Ｖ_ＯＨおよびＬ論理閾値電圧Ｖ_ＯＬ、並びに、基準電位発生部３２が発生する基準電位Ｖ_Ｔを適切な値に設定する。

次に、ハンドラ制御部４０は、ハンドラ装置２００を制御して、被試験デバイス１００をデバイス搭載部１２に搭載して被試験デバイス１００の電気的な試験を行うことなくデバイス搭載部１２から被試験デバイス１００を取り外すダミー動作を繰り返させる（Ｓ１００２）。さらに、ステップＳ１００２において、検出制御部２８は、ハンドラ装置２００が被試験デバイス１００をデバイス搭載部１２に搭載し、デバイス搭載部１２から被試験デバイス１００を取り外すハンドラ装置２００の動作中に、ノイズ入力部５０により基準範囲外の電圧を検出させる（Ｓ１００２）。検出制御部２８は、一例として、ハンドラ装置２００が被試験デバイス１００をデバイス搭載部１２に搭載する動作および被試験デバイス１００を取り外す動作の少なくとも一方を行う度に、ノイズ入力部５０により基準範囲外の電圧を検出させてよい。

次に、判定部３８は、ハンドラ装置２００の動作中にノイズ入力部５０が基準範囲外の電圧を検出したか否かを判定する（Ｓ１００３）。そして、判定部３８は、ハンドラ装置２００の動作中にノイズ入力部５０が基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、ハンドラ装置２００の動作によりノイズが発生したことを特定する（Ｓ１００４）。

以上の処理により、試験装置１０によれば、ハンドラ装置２００の動作中に発生するノイズを検出することができる。さらに、ノイズ伝送路２６は、ノイズ入力部５０と接続されていない側の他端が、被試験デバイス１００の搭載時において当該被試験デバイス１００のいずれかの端子と接続していてよい。これにより、このノイズ伝送路２６が接続されたノイズ入力部５０は、ハンドラ装置２００による繰り返し動作によって被試験デバイス１００に帯電した電荷が、例えばソケット２０に接触した瞬間にハンドラ装置２００から試験装置１０へ放電するＥＳＤを、検出することができる。

また、試験装置１０は、ステップＳ１００２において、被試験デバイス１００がデバイス搭載部１２に搭載されている期間に、被試験デバイス１００の電気的な試験を行ってもよい。また、この場合、デバイス搭載部１２は、複数の信号出力部２２と被試験デバイス１００、およびノイズ入力部５０以外の信号入力部２４と被試験デバイス１００の間を電気的に接続する。これによりデバイス搭載部１２は、信号出力部２２から出力される試験信号を被試験デバイス１００に供給し、被試験デバイス１００から出力された出力信号をノイズ入力部５０以外の信号入力部２４に供給することができる。また、この場合、デバイス搭載部１２は、一例として、試験対象外の被試験デバイス１００の端子とノイズ入力部５０とをノイズ伝送路２６を介して接続してもよい。以上によりノイズ入力部５０は、実際の試験中において発生するノイズを検出することができる。

図６は、本実施形態の第１変形例に係る試験装置１０の構成を示す。本変形例に係る試験装置１０は、図２に示した同一符号の部材と略同一の構成および機能を採るので、以下相違点を除き説明を省略する。

本変形例に係る試験装置１０は、基準電圧源６２を更に備える。基準電圧源６２は、予め設定された基準電圧を出力する。また、本変形例に係る試験装置１０は、少なくとも１つの信号出力部２２がアナログ信号を出力する。アナログ信号を出力する少なくとも１つの信号出力部２２は、ＤＡ変換器６４を有する。ＤＡ変換器６４は、基準電圧源６２に接続され、被試験デバイス１００へと出力すべき出力電圧のデジタル値を入力して基準電圧に基づきアナログの出力電圧に変換する。

ノイズ入力部５０は、ノイズ伝送路２６を介して、基準電圧源６２の電圧出力端に接続される。ノイズ入力部５０は、一例として、デバイス搭載部１２内に形成されたノイズ伝送路２６を介して基準電圧源６２に接続されてよい。これにより、ノイズ入力部５０は、基準電圧源６２から出力された基準電圧を入力することができる。また、ノイズ入力部５０は、更にコンデンサ６６を介して、基準電圧源６２から出力された基準電圧を入力してよい。これにより、ノイズ入力部５０は、基準電圧源６２から出力された基準電圧に含まれる交流成分を入力することができる。

このようなノイズ入力部５０は、基準電圧源６２から出力された基準電圧に含まれる交流成分が、基準範囲外となったか否かを検出することができる。そして、判定部３８は、ノイズ入力部５０により基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、基準電圧にノイズが検出されたか否かを判定する。このような本変形例に係る試験装置１０によれば、基準電圧源６２から発生された基準電圧に含まれるノイズを検出することができる。

図７は、第１変形例に係る試験装置１０のノイズ検出処理フローの一例を示す。まず、検出制御部２８は、基準範囲を適切な値に初期設定する（ステップＳ１１０１）。次に、検出制御部２８は、例えば、アナログ信号を出力する信号出力部２２、ハンドラ装置２００またはその他の外部装置等を動作させる。これとともに、検出制御部２８は、ノイズ入力部５０により基準範囲外の電圧を検出させる（Ｓ１１０２）。次に、判定部３８は、ノイズ入力部５０が基準範囲外の電圧を検出したか否かを判定する（Ｓ１１０３）。

次に、ノイズ入力部５０が基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、検出制御部２８は、基準範囲を所定量分拡大する（Ｓ１１０４）。次に、検出制御部２８は、例えば外部装置等に対して、ノイズが検出された時と同一の動作をさせるとともに、ノイズ入力部５０により基準範囲外の電圧を検出させる（Ｓ１１０５）。

次に、判定部３８は、ノイズ入力部５０が基準範囲外の電圧を検出したか否かを判定する（Ｓ１１０６）。ここで、検出制御部２８は、ステップＳ１１０６において、ノイズ入力部５０が基準範囲外の電圧を検出したことを条件として（Ｓ１１０６のＹｅｓ）、処理をステップＳ１１０４に戻す。また、検出制御部２８は、例えば一定期間以上、ノイズ入力部５０が基準範囲外の電圧を検出しなかったことを条件として（Ｓ１１０６のＮｏ）、処理をステップＳ１１０７に進める。すなわち、検出制御部２８は、ノイズ発生源の機器にノイズ発生時における動作を繰り返させるとともに、ノイズが検出されたことに応じて基準範囲をより広げていく。

ステップＳ１１０６においてＮｏの場合、次に、検出制御部２８は、直前に設定されていた基準範囲に基づき、ノイズの大きさを判定する（Ｓ１１０７）。すなわち、検出制御部２８は、ノイズが検出された基準範囲の最大範囲に応じてノイズの大きさを判定する。

以上のように、試験装置１０は、例えば外部機器等の動作に起因してノイズが繰り返し発生する場合、ノイズを繰り返し発生させるとともに基準範囲を徐々に大きくする。そして、試験装置１０は、ノイズが検出できる最大の基準範囲を検出する。これにより、試験装置１０によれば、ノイズの大きさを測定することができる。

また、試験装置１０は、例えば外部機器等の動作に起因してノイズが繰り返し発生する場合、試験周期と同期させてノイズを繰り返し発生させるとともに、ウィンドウストローブ信号を制御してノイズ検出範囲を徐々に狭めてもよい。そして、試験装置１０は、所定の時間範囲までノイズ検出範囲を狭めて、ノイズが発生したタイミングを検出してもよい。これにより、試験装置１０によれば、ノイズ発生源となる機器におけるノイズ発生動作を特定することができる。

図８は、本実施形態の第２変形例に係る試験装置１０の構成を示す。本変形例に係る試験装置１０は、図２に示した同一符号の部材と略同一の構成および機能を採るので、以下相違点を除き説明を省略する。

本変形例に係る試験装置１０は、周期設定部７０を更に備える。周期設定部７０は、被試験デバイス１００の動作試験を行わない期間中において、動作試験を行う期間と比較して試験周期を大きく設定する。本変形例において、検出制御部２８は、被試験デバイス１００の動作試験を行わない期間中において、入力信号の電圧が基準範囲外となったか否かを検出する。

さらに、検出制御部２８は、試験周期中における入力信号の電圧が基準範囲外となったか否かを検出する期間の割合を最大に設定してもよい。すなわち、検出制御部２８は、それぞれの試験周期中におけるノイズ検出期間を指定するウィンドウストローブ信号の時間幅を、設定可能な最大期間に設定する。

このような試験装置１０によれば、試験周期を長くするので、ウィンドウストローブ信号により特定されるノイズ検出期間を、より長くすることができる。これにより、試験装置１０によれば、発生頻度が少ない単発のノイズであっても、より確実に検出することができる。

図９は、本実施形態の第３変形例に係る試験装置１０の構成を示す。図１０は、本実施形態の第３変形例に係る試験装置１０におけるウィンドウストローブ信号の一例を示す。本変形例に係る試験装置１０は、図２に示した同一符号の部材と略同一の構成および機能を採るので、以下相違点を除き説明を省略する。

本変形例において、一つのノイズ伝送路２６は、ノイズ入力部５０−１およびノイズ入力部５０−２に接続される。また、本変形例において、検出制御部２８は、ノイズ入力部５０−１およびノイズ入力部５０−２を、ノイズ伝送路２６から入力される入力信号の電圧が試験周期の間に予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するウィンドウ検出モードとする。そして、検出制御部２８は、ノイズ入力部５０−１およびノイズ入力部５０−２を、ノイズ入力部５０−１およびノイズ入力部５０−２における、入力信号の電圧が基準範囲外となったか否かを検出できない非検出期間が重ならないように試験周期中における検出期間を設定する。

検出制御部２８は、一例として、図１０に表されるような、第１のウィンドウストローブ信号を第１のノイズ入力部５０−１に供給し、第２のウィンドウストローブ信号を第２のノイズ入力部５０−２に供給する。すなわち、検出制御部２８は、互いの非検出期間（例えば、図１０におけるＬ論理の期間）が重ならない第１のウィンドウストローブ信号および第２のウィンドウストローブ信号を、第１のノイズ入力部５０−１および第２のノイズ入力部５０−２に供給する。

そして、判定部３８は、第１のノイズ入力部５０−１および第２のノイズ入力部５０−２のそれぞれが、基準範囲外の電圧を検出したか否かを判定する。これにより、例えば、ウィンドウストローブ信号により指定できる検出期間を、装置の制約上の理由から試験周期よりも短くしなければならない場合であっても、試験装置１０によれば、各試験周期の１周期にわたって（すなわち、非検出期間なしに）、ノイズを検出することができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

図１は、本発明の実施形態に係る試験装置１０、被試験デバイス１００およびハンドラ装置２００を示す。 図２は、本発明の実施形態に係る試験装置１０の構成を、被試験デバイス１００およびハンドラ装置２００とともに示す。 図３は、ウィンドウストローブ信号の一例を示す。 図４は、入力信号およびノイズの有無の判定結果の一例を示す。 図５は、本発明の実施形態に係る試験装置１０のノイズ検出フローの一例を示す。 図６は、本発明の実施形態の第１変形例に係る試験装置１０の構成を示す。 図７は、第１変形例に係る試験装置１０のノイズ検出処理フローの一例を示す。 図８は、本発明の実施形態の第２変形例に係る試験装置１０の構成を示す。 図９は、本発明の実施形態の第３変形例に係る試験装置１０の構成を示す。 図１０は、本発明の実施形態の第３変形例に係る試験装置１０におけるウィンドウストローブ信号の一例を示す。

符号の説明

１０ 試験装置
１２ デバイス搭載部
１４ テストヘッド
１６ 制御装置
１８ パフォーマンスボード
２０ ソケット
２２ 信号出力部
２４ 信号入力部
２６ ノイズ伝送路
２８ 検出制御部
３２ 基準電位発生部
３４ 抵抗
３６ スイッチ
３８ 判定部
４０ ハンドラ制御部
５０ ノイズ入力部
５２ ドライバ
５４ 閾値電位発生部
５６ Ｈ論理側コンパレータ
５８ Ｌ論理側コンパレータ
６０ 論理比較部
６２ 基準電圧源
６４ ＤＡ変換器
６６ コンデンサ
７０ 周期設定部
１００ 被試験デバイス
２００ ハンドラ装置

Claims (11)

1. 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
   それぞれが前記被試験デバイスの端子へ試験信号を出力する複数の信号出力部と、
   前記試験信号に応じて前記被試験デバイスの端子から出力される信号をそれぞれ入力する複数の信号入力部と、
   当該試験装置のノイズを検出するために用いる少なくとも１つの前記信号入力部に対してノイズを伝播するノイズ伝送路と、
   指定されたタイミングで入力信号を検出するモード、および、入力信号の電圧が指定された期間内において一瞬でも予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するウィンドウ検出モードを有する前記少なくとも１つの信号入力部を、前記ウィンドウ検出モードで動作させて、前記ノイズ伝送路から入力される入力信号の電圧が指定された期間内において一瞬でも予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するノイズ入力部として流用させる検出制御部と、
   前記少なくとも１つの信号入力部により前記基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、当該試験周期の間にノイズが検出されたと判定する判定部と
   を備える試験装置。
2. 前記ノイズ伝送路は、一端が前記少なくとも１つの信号入力部に接続され、他端が予め定められた基準電位に接続され、前記一端と前記他端の間に抵抗を有する請求項１に記載の試験装置。
3. 少なくとも１つの前記信号出力部は、予め設定された基準電圧を出力する基準電圧源に接続され、前記被試験デバイスへと出力すべき出力電圧のデジタル値を入力して前記基準電圧に基づきアナログの前記出力電圧に変換するＤＡ変換器を有し、
   前記少なくとも１つの信号入力部は、前記ノイズ伝送路を介して前記基準電圧源に接続され、
   前記判定部は、前記基準電圧にノイズが検出されたか否かを判定する
   請求項１または２に記載の試験装置。
4. 前記被試験デバイスが搭載され、前記被試験デバイスと前記複数の信号出力部、および前記少なくとも１つの信号入力部以外の前記信号入力部と前記被試験デバイスの間を電気的に接続するデバイス搭載部を更に備え、
   前記検出制御部は、前記被試験デバイスを前記デバイス搭載部に搭載し、または前記デバイス搭載部から取り外すハンドラ装置の動作中に、前記少なくとも１つの信号入力部により前記基準範囲外の電圧を検出させ、
   前記判定部は、前記ハンドラ装置の動作中に前記少なくとも１つの信号入力部が前記基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、前記ハンドラ装置の動作によりノイズが発生したことを特定する
   請求項１または２に記載の試験装置。
5. 前記ハンドラ装置を制御して、前記被試験デバイスを前記デバイス搭載部に搭載して前記被試験デバイスの電気的な試験を行うことなく前記デバイス搭載部から前記被試験デバイスを取り外すダミー動作を繰り返させるハンドラ制御部を更に備え、
   前記判定部は、前記ダミー動作中において前記少なくとも１つの信号入力部により前記基準範囲外の電圧が検出されたことに応じて、前記ハンドラ装置の動作によりノイズが発生したことを特定する
   請求項４に記載の試験装置。
6. 前記検出制御部は、ノイズが検出されたことに応じて前記基準範囲をより広げていき、
   前記判定部は、ノイズが検出される前記基準範囲の最大範囲に応じてノイズの大きさを判定する
   請求項１から５の何れか１項に記載の試験装置。
7. 前記被試験デバイスの動作試験を行わない期間中において、前記動作試験を行う期間と比較して前記試験周期を大きく設定する周期設定部を更に備え、
   前記検出制御部は、前記被試験デバイスの動作試験を行わない期間中において、前記入力信号の電圧が前記基準範囲外となったか否かを検出する
   請求項１から６の何れか１項に記載の試験装置。
8. 前記検出制御部は、試験周期中における前記入力信号の電圧が前記基準範囲外となったか否かを検出する期間の割合を最大に設定する請求項１から７の何れか１項に記載の試験装置。
9. 前記ノイズ伝送路は、第１の前記信号入力部および第２の前記信号入力部に接続され、
   前記検出制御部は、前記第１の信号入力部および前記第２の信号入力部を、前記ノイズ伝送路から入力される入力信号の電圧が指定された期間内において一瞬でも予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するウィンドウ検出モードとし、前記第１の信号入力部および前記第２の信号入力部における、前記入力信号の電圧が前記基準範囲外となったか否かを検出できない非検出期間が重ならないように試験周期中における検出期間を設定する
   請求項１から８の何れか１項に記載の試験装置。
10. 被試験デバイスを試験する試験装置を制御して、前記試験装置のノイズを検出する検出方法であって、
    前記試験装置は、
    それぞれが前記被試験デバイスの端子へ試験信号を出力する複数の信号出力部と、
    前記試験信号に応じて前記被試験デバイスの端子から出力される信号をそれぞれ入力する複数の信号入力部と
    を備え、
    前記試験装置のノイズを検出するために用いる少なくとも１つの前記信号入力部に対してノイズを伝播するノイズ伝送路を接続し、
    指定されたタイミングで入力信号を検出するモード、および、入力信号の電圧が指定された期間内において一瞬でも予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するウィンドウ検出モードを有する前記少なくとも１つの信号入力部を、前記ウィンドウ検出モードで動作させて、前記ノイズ伝送路から入力される入力信号の電圧が指定された期間内において一瞬でも予め設定された基準範囲外となったか否かを試験周期毎に検出するノイズ入力部として流用させ、
    前記少なくとも１つの信号入力部により前記基準範囲外の電圧を検出したことに応じて、当該試験周期の間にノイズが検出されたと判定する
    検出方法。
11. 前記試験装置は、
    前記被試験デバイスが搭載され、前記被試験デバイスと前記複数の信号出力部、および前記少なくとも１つの信号入力部以外の前記信号入力部と前記被試験デバイスの間を電気的に接続するデバイス搭載部と、
    前記被試験デバイスを前記デバイス搭載部に搭載し、または前記デバイス搭載部から取り外すハンドラ装置を制御するハンドラ制御部と、
    を更に備え、
    前記ハンドラ装置を制御して、前記被試験デバイスを前記デバイス搭載部に搭載して前記被試験デバイスの電気的な試験を行うことなく前記デバイス搭載部から前記被試験デバイスを取り外すダミー動作を繰り返させ、
    前記ダミー動作中において前記少なくとも１つの信号入力部により前記基準範囲外の電圧が検出されたことに応じて、前記ハンドラ装置の動作によりノイズが発生したことを特定する
    請求項１０に記載の検出方法。

Images