TW200825423A - Test apparatus and testing method - Google Patents

Description

200825423 25720pif 九、發明說明： 【發明所屬之技術頜域】 本發明關於一種測試裝置以及檢測方法。本發明尤其 關於一種對被測試元件進行測試的測試裝置以及檢測方 法。本申請與下述日本申請相關聯。對於承認參照文獻編 入的指定國，通過參照將下述申請所揭示的内容編入到本 申請中，作為本申請的一部分。

1·曰本專利特願2006-337488 請日期：2006年 月14日 【先前技術】 、眾所周知的是對半導體裝置等被測試元件進行測試的 測試裝置。有時測試裝置由於來自裝置外部或内部的雜气 而無法正常進行測定動作。推_於雜誠無法正°_ ，叱動作時，測試裝置的使用者使用例如示波^ ^ U〇SC〇Pe)及頻譜分析儀（spectrum analyzer)等，墟 =雜λ的產生原因、或測定雜訊的振幅以 如，參照專利文獻1)。 千打性荨（例 ^文日本專利特開平8—122417號公報 檢測：電== 狀測試裝置的雜訊時，難以 路附加阻抗(i-ed叫從：觸對被測定電 又，當使用頻譜分折儀丈、，南精度地剛定雜訊。 不疋具有重複週期的雜訊，則難以進㈣定。=叫，若 Μ此，難以 7 200825423 25720pif 檢測

Electrostatic 生的雜訊。 【發明内容】 ，此，本說明書中所包含的技術革新（innovation)的 1個態樣的目的，在於提供—種可解決上述問題的測試裝 置以及檢測方法。該目的藉由申請專利範圍中的獨立項中 所揭示的特徵的組合來達成。又，依附項規定本發明的更 有利的具體例。 1文 為了解決上述問題，根據與本說 相關聯的第1態樣的測外m π匕3的軍新 置，呈對被㈣1 置的―㈣’提供—種測試裝 ” ί被測忒70件進行測試，包括·· :別將測，出至被測試元件的端 '=丄 邛，分別輸入根據測續枯咕 夕琥輸入 信號；雜訊傳輸路件的端子輸出的 個信號輸人部以窗部；檢測控制部，使至少1 檢測模式是在每_1 = Gw)檢測模式動作，上述窗口 的輸入信號的電壓是;=:對 準範圍；以及判定部 ;^収週期而預先設定的基 出基準範圍的電壓，判：豕f、1個信號輪入部檢測出超 根據與本說明奎中：：°亥測试週期内檢測到雜訊。 檢測方法的-例，斤^的革新相關聯的第2態樣的 件進行測試的測‘制對被測試元 上述測試裝置包括：$袖hi劂忒衣置的雜訊進行撿測， 夕個域輪出部，分別將測試信號輸 8 200825423 25720pif 出至被測試元件_子；以及辣錢輪 根據測試信號而從被測試元件的端 :/刀別輸入 測方法包括如下步驟··將傳輸雜訊的雜 至用於檢測上述測試裝置的雜訊的至少J ^接 使至少1個信號輪入部以窗口檢測模式:：、二邛二 測模式是在每個測試週期内，檢測從乍上= 準範圍；以及奸hi 週期而預先設定的基 圍的電摩，判定x二ζ1個信號輸入部檢測出超出基準範 :J疋已於邊測試週期内檢測到雜訊。 者’上述發明的概要並未列舉 特徵，該等特徵群的次組人（ I月的所有必要 明。 人、、且口（ subcombmatK>n)也可構成發 【實施方式】 心：下？過發明的實施形態’來說明本發明的第-態 X上2貫施形態不是岐’請專利範圍的發明，又’ ΐ段二::的全部特徵的組合並非限定為發明的解決 以及示本實施形態的測試裝置10、被測試元件1()() 件1〇Γ進行°測試裝置10對被測試元 並將該測裝置10生成測試信號 # 100 /、、被測忒70件100，且根據被測試元 致，來判==號動作後輸出的輪幻讀是否與期望值一 對在Μ Κ70件1QQ的良否。進而，測試裝置10 衣置的外部或内部所產生的雜訊（例如ESD)進行 200825423 25720pif 檢測。 測式裝置ίο具備元件搭載部12、測試頭（testhead) 14以及控織置16。元件搭載部12搭載著被測試元件 1〇〇 ’且電性連接被測試元件1〇〇與測試頭14内的電路。 作為例元件彳合載部丨2具有性能板（perf〇rmance b〇ar(j) 18以及σ又置於该性能才反18的上部以保持被測試元件刚 的插座（socket) 20。

If頭14於框體内搭載多個測試模組。各測試模組生 成=試信號m機錢供給至減的侧試元件綱 的端子。X ’各職模组從被測試元件丨⑻的端子獲得根 據測試信號而輸出的輪出信號，並將該輸出信號與期望值 進行比較。 控制裝置16與測試頭14内的多個測試模組連接，以 控制該等多個測試魅。作為―例，控制裝置㈣藉由與 測試頭14分離開的電腦來實現。 9 /、 處理機裝置200從收納托盤（tray)中取出被測試元 件1〇〇後將該被測試元件100搭載於測試頭14上 載部12上，且將被測試元件100從元件搭載部 放回至例如收納托盤。作為一例，處理機裝置期藉由控 制裝置16來控制動作。 ㈢工 圖2 —併表示本實施形態的測試裝置1〇的構成、被測 試元件100以及處理機裝置200。圖3表示窗口選通信號 (window strobe signal)的一例。 口 測試裝置10具備多個信號輸出部22、多個信號輸入 10 200825423 25720pif 口P 2 lil傳輪路從26、檢測控制部28、基準電 部32、電阻34、開關36、判定部 產生 办疋丨38以及處理機控制部40。 再者本貝㈣恶中，多個信號輪 2 部24、基準電位產生部32 夕虎輸入 試頭14内。又，本實施㈣Π以及開關36設置於測 本貝^形恶中，由控制裝置執行频定藉々

C/ 來實，檢測控制部28、判定部38以及處理機控制部^ ^個信號輸出部22，分別將測試信號輸 :_巧子。作為-例，各信號輸出部22具= '二二Γ器52放大所断的測試信號後供給至 被測斌兀件100的對應端子。 ^固信號輸人部24，分別輸人根據測試信號而從被測 试兀件100的端子輸出的信號。作為一例，各信號輸入部 24具有閾值電位（thresh〇ldp〇tential)產生部％、^邏輯 侧比較器（comparator) 56、L邏輯側比較器％以及邏輯 比較部60。 口閾值電位產生部54產生用以判定所輸入的信號的邏 輯的閾值電壓（Η邏輯閾值電壓v0H、L邏輯閾值電壓 V〇L)。再者，Η邏輯閾值電壓V〇H高於L邏輯閾值電壓 V〇L° η邏輯侧比較器、56將所輸入的信號的電壓與H邏輯 閾值電壓V0H進行比較。L邏輯側比較器58將所輸入的信 號的電壓與L邏輯閾值電壓VOL進行比較。 邏輯比較部60根據Η邏輯側比較器56及L邏輯侧比 車父裔58的比較結果，檢測所輸入的信號的邏輯。亦即，邏 輯比較部60檢測所輸入的信號的電壓是否大於η邏輯閾 200825423

ZD /ZUpiX 值電壓vOH (亦即，所輪入的電壓是否為H邏輯）、以及 所輸入的信號的電壓是否小於L邏輯閾值電壓(亦 即，所輸入的電壓是否為L邏輯）。進而，邏輯比較部60 根據Η邏輯側比較态56及邏輯側比較器58的比較結 ，，檢測所輸入的信號的電壓是否大於等於匕邏輯閾值電 壓VOL且小於等於η邏輯閾值電壓v〇h (亦即，是否為中 間值）。

、又，邏輯比較部6〇以根據選通信號所指定的時序，檢 所1入的仏號的邏輯。作為—例，邏輯比較部6◦以窗口 杬式動作。亦即，邏輯比較部⑹以根據窗口選通信號 t ^的0T序’檢_輪人的信號的賴。窗口選通信號 西τ =不為私疋測試週期内的任意連續期間的信號。 内，^^車乂°卩6Q，於_窗σ選通信號所指定的期間

^ i H t M V〇H 輸入信“二於邏輯比較部60檢測出， 即使小於中間值或L邏輯閾值電^ V°H，之後， 邏輯。 、铒閾值電壓V0L，輸入信號也為Η 又趣輯比較部6Q，於奸诚 間内，當所輪入的信號的^自口選通信號所指定的期 測出輪入信號的電^此時，遊輯比較部60檢 後，即使大於中間值或==邏輯闆值電壓V-’之 為L邏輯，v ^ 建輯闕值電壓V〇H，輸入信號也 又，讀比較部60檢剩出，於根據窗 口選通 12 200825423 25720pif 信號，指定的期間内，當輪入信號的電麼未大於H邏輯聞 值電塵v0H且未小於r^ 、L懒值窗沉時，輸入信號為 =處於上迭測試裝置10進行雜訊 信號輸入部24中的至小F 丁夕调 从片味於入加、夕一個<吕號輸入部24用作輸入雜訊 、口〜剧〇。以下，將用於檢測上述測試裝置1〇的雜气 的至^個信號輪入部24稱為雜訊輸入部5〇置⑷ ‘赠輸路彳£ 26針對各讎訊輸 f輸路徑26將雜訊傳輪至相對應的雜訊輸入部5。4 為一^，雜訊傳輸路# 26可為—端與雜訊輸入部50的輪 =15=搭載部12内的錢祕。又，雜訊傳輸路 倥26的未與魏輸入部5〇連接的側端(另一端)，可與被 測试το件刚的端子連接。藉此，雜訊輪人部％可將帶電 的ESD專輸入至被測試元件1〇〇。 ί/ 又作為例，也可斷開雜訊傳輸路徑26的另一端。 藉此’雜訊傳輸路徑26作為天―發揮魏，因此，雜訊 輸入部50可輸入與例如從外部裝置施加的電磁波 (electromagnetic wave)相應的雜訊。又，作為一例，雜 訊傳輸路徑26的另-端也可經由具有充分大的電阻值（例 如，⑽Ω或驗Ω等）的電阻而接地。藉此’雜訊輸入 部50可輸入_試裝置1〇的裂置内所產生的系統雜訊 C system noise) 〇 檢測控制部28使雜訊輸入部5〇以窗口檢測模式動 作’上述窗口檢測模式是在每個測試週期内，檢測從雜訊 13 200825423 25720pif

傳輸路徑26輸入的輸入信號的電壓是否超出針對測I式週 期而預先設定的基準範圍。作為一例，檢測控制部28使雜 訊輸入部50内的閾值電位產生部54，輸出作為基準範圍 上限值的規定值Η邏輯閾值電壓VOH，且輸出作為基準範 圍下限值的規定值L邏輯閾值電壓V0L。藉此，檢測控制 部28可使雜訊輸入部50檢測從雜訊傳輸路徑26輪入的信 號的電壓是否超出基準範圍。亦即，檢測控制部28可於所 輸入的信號的電壓超出基準範圍時，使雜訊輸入部5〇輸出 L士邏輯或η邏輯，於所輸入的信號的電壓處於基準範圍内 時’使雜訊輸入部50輸出中間值。 進而，作為一例，檢測控制部28對雜訊輸入部5〇内 於=比較部6G供給如圖3所示的窗口選通信號。藉此， 部28可使雜訊輸人部5G輸出如下内容：在每個 内由窗，t號所指定的期間(雜訊檢測期間) 輪入的仏諕的電壓是否超出基準範圍。 位32 m準範® _電®即基準電 於Η邏:值基準電位產生部32產生小 (例如，η邏輯閣土值;dsr電壓v〇l的電位 的大致中間電壓）。如與遴輯閾值電壓v〇l之間 入端連接，另一端^而^^應的雜訊輸入㈣的輸 接。開關36於上_^^部32的電壓輸出端連 置10進仃雜訊檢測動作時，連 14 200825423 25720pif 接電阻M的 娜兴雜訊椾入部5f) 電阻34及開關36，可將未輪入有雜二上所述的 的輸入端的電位設為基準電位V 守、4Λ輪入部5 判定部38根獅訊輸入部Τ 電壓，判定已於該測試週期内於^測出超出基準範園的 定部38根據雜訊輸入部5〇已：作為-例，判 定已於該測試週期内檢測出雜：。、：邈=Η邏輯’判 部38可於判定已檢測出雜訊時，通=用:為-例’判定 又，作為一例，判定部38可 已產生雜訊。 入部50連接的端子的 ⑶已檢^出雜訊的雜訊輸 處理機控制部4。控制處 即，處理機控制部4〇控制如 中的動作。亦 將被測試元件⑽搭载於元件搭载部裝置200 細從元件搭載部12卸下被測試^件⑽。，或處理機裝置 圖4表示輸入信號及有|雜訊 訊輸入部50於開關36接未:、51疋結果的-例。雜 有任邮赠齡彳㈣輸入 心電位即鮮電位如基㈣_大致中 麼，即，將經由雜訊傳輪入部50輸入如下電 準電位ντ後所得的電^/二6傳輪的雜訊的霞加上基 雜訊輸入部50，於根播齊 内，當輪入電堡瞬間大於适通信號所指定的期間 輸入電壓瞬間小於L邏輯^^值電麼V〇H時、或者當 號的電壓超出基準範圍4 f以V〇l時，檢測出輸入信 乾圍因此，訊輪入部50可檢測出， 15

200825423 2572UpiJ 輪路通信號所指定的期間内’是否瞬間從雜訊傳 vT二輸入有超出基準範圍的電壓(例如大於(v〇H〜 f電昼以及小於（V〇L-VT)的電壓）白勺雜訊。 頻言普分析1G ’可__示波器及 二二簡;構成’來測定於裳置外部及内部所= 因此，=:式裝置10，藉由窗口選通信號來檢測雜訊， 了仏/則瞬時所產生的雜訊。 較器，喊裝置1G可藉紐前邏輯侧比 控制部則比較器58的闕值電壓，控制利用檢測 H)例如二雜訊的電壓的基準範圍。因此，測試襄置 增大數10伏特左右的大位準雜訊時， 準雜tfU± ^於^如基準電壓中所包含_訊的小位 檢測為二’ Γ小基：範圍。藉此，根據測試裝置10，可將 ^ Λ的電壓關設定為與狀況相應的最佳值。 -例實施形態的測試裝置10的雜爛 驟Si〇〇n =測控制部28將基準範圍設定為適當值（步 生的Η 測控制部28將閾值電位產生部54產 王的Η韙輯閾值電壓ν l i羅姮+广 座 電位產生㈣“ _壓1以及基準 ^生4 32產生的基準電位％設定為適當值。 :次’處理機控制部40控制處理機裝置·， 機衣置200重複進行如下虛擬動作，即，將 =载於元，載部12，但不進行_式元件1〇^ M ’而是從元件搭载部12卸下被測試元件1〇電〇 16 200825423 25/2Upif (S1002)。進而，於步驟Sl 被測試元件100搭载於元件ζ = 理機f置200將

卸下被測試元件⑽的處理機件搭? U 制部28使雜訊輸入部5〇檢 芙 檢測控 (S则。作為一例，檢=出基準，圍帽 兩個動作中的至少-個動作3± / 28可於母次進行如下 基準範圍的電厂堅，上述3=雜，入部_則超出 測試元件_答载於元件搭，請將被 部12卸下娜爾陶_細及㈣牛搭載 '、人判疋部38判定雜訊輪入部5〇是否已在_孫娥 中檢測出超出基準範圍的電理機 的動作中檢測出超出基準範圍 裝置 裝置綱的動作產生雜^1的04電)昼，來確定已由處理機 處理，可利用測試裳置10,對在處理機裝置 H 所產生的雜訊進行檢測。進而，於搭載被測 =時：雜訊傳輸路徑26的未與雜訊輸人部5㈣ 接。ί 可與上频職元件⑽的任—端子連 可产i咖與上述雜訊傳輸路徑％連接的雜訊輸入部50 作^ ί ㈣是’將由於處理機裝置200的重複動 瞬門^式凡件1〇0帶電的電荷在與例如插座2〇接觸的 瞬間处處理機裝置200釋放至測試裝置1〇。 Η)〇ί^步驟S1〇〇2中，測試裝置10可在被測試元件 才。载於元件搭載部U的期間’進行被測試元件的 17 200825423 25720pif

L 電性測試。又，此時，元件搭載部12電性連接多個信號輸 出部22與被測試元件100、以及雜訊輸入部5〇以外的信 號輸入部24與被測試元件1〇〇。藉此，元件搭载部12可 將從信號輸出部22輸出的測試信號供給至被測試元件 1〇〇,將從被測試元件100輸出的輸出信號供給至雜訊輸入 部50以外的信號輸入部24。又，此時，作為一例，元件 搭載部12也可經由雜訊傳輸路徑26，連接测試 被測試元件100的端子與雜訊輸入部50。根據^ ^ ? 雜訊輸入部50可檢測實際測試中所產生的以上所达’ 圖6表示本實施形態的第1變形例的測IS置 成。本變形例的測試裝置10採用與圖2所干I ’ 構件大致相同的構成及功能，因此，除以下I目同符號的 略說明。 $點外，省 本變形例的測試裝置10更具備基準電壓源6 電壓源62輸出預先設定的基準電壓。又，土二’、62 °基举 裝置10中，至少1個信號輸出部22輸出類的= 類比信號的至少H®信號輸出部22具有數位 γ輸 analog，DA)轉換器64。轉換器64與基準、lgl 連接，輸人應輸出，被測試元件⑽的輪出n立 值，並根據基準電壓，將上魏位值轉換為類比的輪出電 雜訊輸入部50經由雜訊傳輸路徑26與基準泰、、 的電壓輸出端連接。作為一例，雜訊輪入部5〇可:壓源 於元件搭載部12内的雜訊傳輪路徑26，盘其$ ^由形 H基準電壓源62 18 200825423 25720pif 逑按。猎此，雜訊輸入部5〇可輸入從基準 的基準電Μ。X，雜訊輸人部5()可進—輪出 (_d_r)的，輸入從基準電壓源62輸mi容器 藉此，雜訊輸入部50可輸入從基 ζ =^电壓。 電堡中所包含的交流成分。^4'62輸出的基準 如上所述的雜訊輸入部5〇可 f的基準·以包含較妓 輪 i•判=否， 述的本變形例_==則出雜訊。根據如上所 生的基準電壓中上;::訊娜 程的圖=表的賴裝置1G的雜訊檢測處理流 當值（步驟咖丨），、/部28將基準範圍初始設定為適 比作骑沾户# )。其二人，檢測控制部28使例如輸出類 “二，出部22、處理機農置200或其他外部震置 某準範‘二檢測控制部28使雜訊輸人部5G檢測超出 基丰乾圍的電壓（Sll〇2)。苴 I® 入部Γ是否已檢測出超出基準範圍的電壓(S11〇T輸 壓，檢制出超出基準範圍的電 a认、， 將基準範圍擴大規定量（S1104)。i t同的部％使例如外部裝置等進行與檢測出雜訊時 電壓（Sll〇5’)亚且，使雜訊輸入部5〇檢測超出基準範圍的 ”人’判疋部38列定雜訊輸入部50是否已檢測出超 19 200825423 25720pif 壓：：=:於步驟s·中，檢 壓為條件（s脳的則，使圍的電 檢测i允在丨丨立it。〇 . 王v驟S1104。又’ 才双及1包制邻28以在例如固定 入部50未檢測出超繼固疋期間以上雜訊輸 N。），録 基丰圍的電壓為條件（SU〇6的

No)使處理前進至步驟S1107。亦 雜訊產生源的設備重複產 工㈣28使 檢測屮心+ 的動作，並且，根據已 杈及1出雜矾，來進一步擴大基準範圍。 於步驟S1106中為No時，垃芏 n ^ 之前剛讯宏μ n ^ π 才接者，核測控制部28根據 ^月^ q的基準乾圍，來狀雜訊的大小（川⑺。亦 P ’才欢测控制部2 8根據已檢測出雜訊的基準範圍的最大 圍’來判定雜訊的大小。 如上所述，測試裝置10於因例如外部設備等的動作而 反覆產生雜訊時，使雜訊反覆地產生，並且逐漸擴大美準 範圍。而且，測試裝置10對可檢測出雜訊的最大基準^圍 進行檢測。藉此，根據測試裝置10，可測定雜訊的大小。 士又，於例如由、於外部設備等的動作而反覆產生雜、訊 枯，測試裝置10可使雜訊與測試週期同步地反覆產生，並 且’控制窗口選通信號來逐漸縮小雜訊檢測範圍。並且， 測試裝置10也可將雜訊檢測範圍縮小至規定的時間範圍 為止，來檢測雜訊產生的時序。藉此，根據測試裝置io， 了確疋作為雜訊產生源的設備的雜訊產生動作。 圖8表示本實施形態的第2變形例的測試裝置1〇的構 成。本變形例的測試裝置10採用與圖2所示的相同符號的 20 200825423 25720pif 點外 省 因此，㈣下不同 本變形例的賴裝置1Q更具 — 設Γ:7。在不進行被測試元件刚的動作;Α1Γ。週期 行動作測試的期間進行比較，，作測試的期間與進 進而， 號的，是否超出美準^ 5式週期内的檢測輪入信 亦即:檢測控細，將二m:=:;以。 間的窗口選通信號的時間寬度，設定為可設定疋的 =二 此所述的測試農置10,可延長測試週期，曰因 間。藉此測期 的單獨雜訊。裝置G錢可靠地檢測產生頻率低 示本實施形態的第3變形例的測試裝置】 成。圖10表示本實施形態的第3變形例的測試裝置】 = 本變形例的測試裝置10採用舆圖 所同付唬的構件大致相同的構成及功能，因此， 除以下不同點外，省略說明。 本㈣例巾，—娜訊傳輸路徑26與雜輸入部5〇 —1H輪入部50 一2連接。又，本變形例中，檢測控 制部28將雜祝輸入部5〇—】及雜訊輸入部5〇_2設為窗口 檢測模式’該窗口檢測模式是在每個測試週期内，檢測從 21 200825423 25720pif 雜Λ傳輪路徑％輸入的輸入~ 試週期而預先設定的基=圍:=:墨是否超出針對測 訊輸入部5G-1及雜訊輸人部5()、2 ^控制部28對雜 測期間進行設定，以使該檢測期間雜訊週期内的檢 的热法檢測輸入信號的電壓是否超出^ / 5〇-1及5〇_2 間不會重疊。 土準範圍的非檢測期 域供給至第2雜訊輸入部5〇 — 2 將弟2窗口選通 將互相的非檢測期間（例如，圖10 φ、Ρ ^測控制部28 會重疊的第1窗口選通信號及第2窗口選、，輯期間）不 1雜訊輪人部50-〗及第2雜訊輪人部號供給至第 亚且，判定部38判定第！雜訊 ％ 雜訊輸入部50 —2是否已檢測基=-二及第2 此:例如，即使由於裝置的偈限性的電壓。藉 通#號指定的檢測期間短於測試週期時、二艮據窗口選 10，也可於各測試週期的1整個週期内、（_ f試裝置 期間）檢測雜訊。 ’、’…、非檢測 以上，使用實施形態，說明了本發 2明的技術性範圍並非限定於上述實施形2，但 =。業者瞭解可對上述實施形態 g斤：示的 巧申請專利範圍的揭示可知，施…^ 幵场也可包含於本發_技術性範_。Μ改良的 【圖式簡單說明】 22 200825423 25720pif 圖1表示本發明實施形態的測試裝置1〇、被測試元件 100以及處理機裝置200。 圖2 —併表示本發明實施形態的測試裝置10的構成、 被測試元件100以及處理機裝置200。 圖3表示窗口選通信號的一例。 圖4表示輸入信號以及有無雜訊的判定結果的一例。 圖5表示本發明實施朵態的測試裝置10的雜訊檢測流 程的一例。 圖6表示本發明實施形態的第1變形例的測試裝置10 的構成。 圖7表示第1變形例的測試裝置10的雜訊檢測處理流 程的一例。 圖8表示本發明的實施形態的第2變形例的測試裝置 10的構成。 圖9表示本發明實施形態的第3變形例的測試裝置10 的構成。 "圖10表示本發明實施形態的第3變形例的測試裝置 10中的窗口選通信號的一例。 【主要元件符號說明】 10 :測試裝置 12 :元件搭載部 14 :測試頭 16 :控制裝置 18 :性能板 23 200825423 25720pif 20 :插座 22 :信號輸出部 24 :信號輸入部 26 :雜訊傳輸路徑 28 :檢測控制部 32 :基準電位產生部 34 :電阻 36 :開關 38 :判定部 40 :處理機控制部 50 :雜訊輸入部 50—1 :第1雜訊輸入部 50一2 :第2雜訊輸入部 52 :驅動器 54 :閾值電位產生部 56 : Η邏輯側比較器 58 : L邏輯侧比較器 60 :邏輯比較部 62 :基準電壓源 64 : DA轉換器 66 :電容器 70 :週期設定部 100 :被測試元件 200 :處理機裝置 24 200825423 25720pif S1001 〜S1004、S1101 〜S1107 :步驟 νΟΗ : H邏輯閾值電壓 V〇L· : L邏輯閾值電壓 VT :基準電位 25

Claims (1)

1. 200825423 25720pif 十、申請專利範圍： ^種測減裝置，其對被測試元件進行測試，且包括： 元件=^號輸出部，分麟賴信號輸出至上述被測試 個Ϊ號輸人部’分別輸人根據上制試信號從上述 被成U式TL件的端子輸出的信號； 雜訊傳輪路徑，將雜訊傳輸至用於檢測上述 的雜訊的至少1個上述信號輸入部； t 槿控制部’使上述至少1個信號輸人部以窗口檢測 」式動作’上述窗口檢測模式是在每個測試週期内，檢測 饮上述雜訊傳輸路徑輸入的輸入信號的電壓， 對測，週期而預先設定的基準範圍；以及 。 判定部，根據上述至少丨個信號輸入部檢 述基準範_電壓，定已社制朗_檢=；出訊 2.如申請專利範圍第1項所述的測試裝置，其中 .至少1個上述信號輸出部具有DA轉換器，該DA轉 與輸ίϋ預先設定的鲜電壓的基準賴科接，輸入 =出至上述被測試元件的輸出電壓的數位值，並根據上 处基準電麗’將上述數位鋪換為鏡的上述輪出電壓， 上、十至t、1個信號輸人部’經由上述雜訊傳輪路i與 处基準電Μ源連接，且 上述判定部，判定是否在上述基準電壓中檢測出雜訊。 •如申請專利範圍第1項所述的測試裝置，其中 上述雜訊傳輸路徑的—端與上述至少丨個錢輸入部 26 200825423 25720pif 3述Γ:與預先規定的基準電位連接，且在上述-端 一上述另一端之間具有電阻。 件搭载部申圍第1項所述的測試裝置，更包括元 試二 部以外的，號輸與1述被 载於土:理機裝置將上述被測試元件搭 試元件的動作中，i上述疋件搭載部卸下上述被測 述基準範圍的電靈，&至少1個信號輸入部檢測超出上 檢測輸入部在上述處理機裝置的動作中 」出起出上述基準範圍的電_，，上述判 猎由上述處理機震置的動作而產生雜訊。 已 理機二t二睛:圍第4項所述的測試裝置，更包括處 ϋ :電性測試’而'是從上述元件搭載二= 抖载Cr幾裝置，在每次進行將上述被測試元件的 1個k號輸人部檢測出超出上述基 k至） 6.如申^專利範圍第1項所述_試裝置其中 27 200825423 25720ρίί 亡述檢測控制部根據已檢測出雜訊，進—步擴大上述 基準範圍，， " ，上述判定部根據檢測出雜訊的上述基準範圍的最 圍來判定雜訊的大小。 # 申請專科範圍第1項，所述的測試裝置，更包括週 期設^部，、，在不進行上述被測試先件的動作測試的期間 與進行上述動作㈣的細比較，設定較大的上述測試週 期’ 二上述檢測控制部，在不進行上迦測試元件的動作測 试期·，檢虹述輸人信號的電壓衫超tti上述基準範 圍。 土 ' 8·如申凊專利範圍策丨項所述的測試裝置，其中 上述檢測控制部將測試週期中的檢測上述輸入信 電壓是否超出上述基準範關__例設定得最大广 9·如申睛專利範圍第1項所述·的測試裝置，其中 C 上述雜訊傳輸路徑與第丄上述信號輸入部及上述 信號輸入部連接·，… 上述檢測控制部將上述第1信號輸入部及上述第2产 號輸入部設為窗口檢賴式， π檢賴式是在每個^ 檢測從上述雜訊傳輸路徑輸人的輪人信號的電 ^ Γ出針對測試週期而預先設定的基準範圍，且對上 Ϊ^丨丄::Ϊ輸入部及上述第2信號輸入部的測試週期内的 ki疋否超出上述基準範圍的非檢測期間不會重疊。 28 200825423 25720pif 上述測試裝置包括·· 二個k说輪入部，分別輸入根據 被測試元件的端子輪出的信號，^ 欠上述 上述檢測方法包括如下步驟： 、將傳輸雜訊的雜訊傳輸路徑，連接至用於檢測上述測 忒I置的雜訊的至少1個上述信號輸入部； 使上述至少1個信號輸入部以窗口檢測模式動作，上 述窗口檢測模式是在每個測試週期内，檢測從上述雜訊傳 輸路徑輸入的輸入信號的電壓，是否超出針對測試週期而 預先設定的基準範圍；以及 根據上述至少1個信號輸入部檢測出超出上述基準範 圍的電壓，判定已於上述測試週期内檢測到雜訊。 ί 29