JP2005321204A - 半導体集積回路及びテストシステム - Google Patents

半導体集積回路及びテストシステム Download PDF

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Abstract

【課題】 容易に電流論理信号における試験が行える半導体集積回路及びテストシステムを実現することを目的にする。
【解決手段】 本発明は、少なくとも電流論理出力を行うピンを複数有する半導体集積回路に改良を加えたものである。本装置は、試験時に、I/V変換器と電気的に接続する試験ピンと、この試験ピンに、ピンを切り替えて接続する切替部と、この切替部を切り替える切替信号が入力される切替ピンとを設けたことを特徴とする装置である。
【選択図】 図1

Description

本発明は、容易に電流論理信号における試験が行える半導体集積回路及びテストシテムに関するものである。
ICテスタは、例えば、特許文献1に示されるように、半導体集積回路に試験信号を与え、半導体集積回路の出力により良否の判定を行なっている。そして、半導体集積回路のロジック回路は、一般に、電圧入力、電圧出力なため、ICテスタも電圧で値付けられた信号により試験を行っている。しかし、近年、半導体集積回路の高速化に伴い、ノイズの影響を防止するために、ロジック信号に電流信号を用いるようになってきた。このような試験を行う場合を図2に示し説明する。
特開2002−292500号公報
図2において、ICテスタ1は複数のピンエレクトロニクス11が設けられる。ピンエレクトロニクス11は、ドライバ、コンパレータ、直流測定部等が設けられる。スイッチSW1〜SW3は、一端がICテスタ1のピンエレクトロニクス11に接続される。V/I変換器2は、一端がスイッチSW1の他端に接続される。I/V変換器3は、一端がスイッチSW2の他端に接続される。スイッチSW4は、一端がV/I変換器2の他端に接続される。スイッチSW5は、一端がI/V変換器3の他端に接続される。スイッチSW6は、一端がスイッチSW3の他端に接続される。
半導体集積回路(以下DUT)4は、例えば、カスケード接続される液晶駆動ドライバで、複数の入出力ピン41,42、複数のスイッチ43,44、論理回路45を有し、多諧調電圧を出力する。入出力ピン41,42は、スイッチSW4〜SW6の他端が接続され、入出力ピン41が入力側の場合、入出力ピン42が出力側となり、入出力ピン41が出力側の場合、入出力ピン42が入力側となる。スイッチ43,44は、一端が入出力ピン41,42に接続される。論理回路45は、スイッチ43,44の他端が接続され、電流により値付けされた論理信号により動作し、表示データを入力し、カスケード接続される液晶駆動ドライバに、自身の表示データを除いて、表示データを出力する。
このような装置の動作を以下に説明する。まず、始めに、ICテスタ1は、図示しないピンエレクトロニクスにより制御信号を出力し、スイッチSW3,SW6をオンにし、その他のスイッチSW1,SW2,SW4,SW5をオフにする。そして、ICテスタ1は、図示しないピンエレクトロニクスの制御信号により、スイッチ43またはスイッチ44のどちらかをオンにし、ピンエレクトロニクス11の直流測定部により、DUT1の直流特性試験を行う。
次に、ICテスタ1は、図示しないピンエレクトロニクスにより制御信号を出力し、入出力ピン41側のスイッチSW1,SW4をオンにし、その他のスイッチSW2,SW3,SW5,SW6をオフにすると共に、入出力ピン42側のスイッチSW2,SW5をオンにし、その他のスイッチSW1,SW3,SW4,SW6をオフにする。そして、図示しないDUT4のピンに、図示しないピンエレクトロニクスからの制御信号を入力し、入出力ピン41側のスイッチ43をオンにし、スイッチ44をオフにすると共に、入出力ピン42側のスイッチ43をオフにし、スイッチ44をオンにする。つまり、入出力ピン41側を入力側、入出力ピン42側を出力側とする。
そして、入出力ピン41側のピンエレクトロニクス11が電圧により値付けされた電圧論理信号を出力し、スイッチSW1を介して、V/I変換器2に入力される。V/I変換器2は、電圧論理信号を、電流により値付けされた電流論理信号に変換し、スイッチSW4、入出力ピン41、スイッチ43を介して、論理回路45に出力する。論理回路45は、入力した信号に基づいて、スイッチ44、入出力ピン42、スイッチSW5を介して、I/V変換器3に電流論理信号を出力する。I/V変換器3は、電流論理信号を、電圧論理信号に変換し、スイッチSW2を介して、ピンエレクトロンクス11に出力する。ピンエレクトロニクス11が電圧論理信号と期待値とを比較し、良否の判定を行なう。
次に、ICテスタ1は、入出力ピン41側のスイッチSW2,SW5をオンにし、その他のスイッチSW1,SW3,SW4,SW6をオフにすると共に、入出力ピン42側のスイッチSW1,SW4をオンにし、その他のスイッチSW2,SW3,SW5,SW6をオフにする。そして、図示しないDUT4のピンに、図示しないピンエレクトロニクスからの制御信号を入力し、入出力ピン41側のスイッチ43をオフにし、スイッチ44をオンにすると共に、入出力ピン42側のスイッチ43をオンにし、スイッチ44をオフにする。つまり、入出力ピン41側を出力側、入出力ピン42側を入力側とする。
そして、入出力ピン42側のピンエレクトロニクス11が電圧論理信号を出力し、スイッチSW1を介して、V/I変換器2に入力される。V/I変換器2は、電圧論理信号を電流論理信号に変換し、スイッチSW4、入出力ピン42、スイッチ43を介して、論理回路45に出力する。論理回路45は、入力した信号に基づいて、スイッチ44、入出力ピン41、スイッチSW5を介して、I/V変換器3に電流論理信号を出力する。I/V変換器3は、電流論理信号を、電圧論理信号に変換し、スイッチSW2を介して、ピンエレクトロンクス11に出力する。ピンエレクトロニクス11が電圧論理信号と期待値とを比較し、良否の判定を行なう。
このように、ICテスタ1は、電圧論理信号の入出力により試験を行うため、電流論理信号により動作するDUT4を試験するためには、V/I変換器2、I/V変換器3が必要となる。そして、電流論理信号は微小かつ高周波であるため、充分な特性を確保するためには、V/I変換器2、I/V変換器3をDUT4の直近にあるプローブカードやDUTボード上に設ける必要がある。ここで、プローブカードとは、ウェハ状のDUT4をプローブにより接続するプリント基板で、DUTボードとは、パッケージになったDUT4をソケットにより接続するプリント基板である。
しかし、プローブカードやDUTボードの面積には限りがあり、全ての入出力ピン41,42に対して、V/I変換器2、I/V変換器3を設けるために、基板を2階建て、3階建てにしなければならず、多数のケーブルやコネクタなども介在するため保守性が極めて困難になる。また、I/V変換器3は回路規模が大きいので、出力側のスキューのばらつきが大きくなってしまう。その結果、容易に試験を行うことができないという問題点があった。
そこで、本発明の目的は、容易に電流論理信号における試験が行える半導体集積回路及びテストシステムを実現することにある。
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
少なくとも電流論理出力を行うピンを複数有する半導体集積回路において、
試験時に、I/V変換器と電気的に接続する試験ピンと、
この試験ピンに、前記ピンを切り替えて接続する切替部と、
この切替部を切り替える切替信号が入力される切替ピンと
を設けたことを特徴とするものである。
請求項2記載の発明は、
少なくとも電流論理出力を行うピンを複数有し、このピンを切り替えて、試験ピンに接続する半導体集積回路と、
この半導体集積回路の試験ピンと接続し、電流を電圧に変換するI/V変換器と、
このI/V変換器の出力を入力するICテスタと
を設けたことを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明において、
電圧論理信号を電流論理信号に変換し、半導体集積回路に出力するV/I変換器を設け、ICテスタが前記電圧論理信号を出力することを特徴とするものである。
請求項4記載の発明は、請求項2また3記載の発明において、
半導体集積回路は、液晶駆動ドライバであることを特徴とするものである。
本発明によれば、切替部が、ピンを切り替えて、I/V変換器に出力するので、大きな回路規模となるI/V変換器を削減することができ、容易に半導体集積回路の直近に実装することができ、保守性が改善する。また、出力ごとのスキューのばらつきを抑制することができる。すなわち、容易に電流論理信号における試験を行うことができる。
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、図2と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
図1において、スイッチSW7,SW8は、一端がピンエレクトロニクス11に接続される。I/V変換器5は、I/V変換器3の代わりに設けられ、一端がスイッチSW7の他端に接続される。スイッチSW9は、一端がI/V変換器5の他端に接続される。スイッチSW10はスイッチSW8の他端に接続される。試験ピン46は、DUT4に設けられ、試験時に、スイッチSW9,SW10の他端に接続される。切替ピン47は、DUT4に設けられ、ピンエレクトロニクス11と接続する。マルチプレクサ48は切替部で、試験ピン46に、切替ピン47からの切替信号により、入出力ピン41,42を切り替えて接続する。
このような装置の動作を以下に説明する。まず、始めに、ICテスタ1は、図示しないピンエレクトロニクスにより制御信号を出力し、スイッチSW3,SW6をオンにし、その他のスイッチSW1,SW4をオフにする。そして、ICテスタ1は、図示しないピンエレクトロニクスの制御信号により、スイッチ43をオンにし、スイッチ44をオフにして、ピンエレクトロニクス11の直流測定部により、DUT1の直流特性試験を行う。
次に、ICテスタ1は、図示しないピンエレクトロニクスにより、制御信号を出力し、スイッチSW8,SW10をオンにし、スイッチSW7,SW9をオフにする。そして、ICテスタ1は、図示しないピンエレクトロニクスの制御信号により、スイッチ43をオフにし、スイッチ44をオンにして、ピンエレクトロニクス11の切替信号によりマルチプレクサ48を切り替えて、ピンエレクトロニクス11の直流測定部により、DUT1の直流特性試験を行う。
次に、ICテスタ1は、図示しないピンエレクトロニクスにより制御信号を出力し、入出力ピン41側のスイッチSW1,SW4をオンにし、スイッチSW3,SW6をオフにすると共に、入出力ピン42側のスイッチSW1,SW3,SW4,SW6をオフにする。また、ICテスタ1は、図示しないピンエレクトロニクスにより制御信号を出力し、スイッチSW7,SW9をオンにすると共に、スイッチSW8,SW10をオフにする。そして、図示しないDUT4のピンに、図示しないピンエレクトロニクスからの信号を入力し、入出力ピン41側のスイッチ43をオンにし、スイッチ44をオフにすると共に、入出力ピン42側のスイッチ43をオフにし、スイッチ44をオンにする。つまり、入出力ピン41側を入力側、入出力ピン42側を出力側とする。
そして、入出力ピン41側のピンエレクトロニクス11が電圧論理信号を出力し、スイッチSW1を介して、V/I変換器2に入力される。V/I変換器2は、電圧論理信号を電流論理信号に変換し、スイッチSW4、入出力ピン41、スイッチ43を介して、論理回路45に出力する。論理回路45は、入力した信号に基づいて、電流論理信号を出力する。そして、ピンエレクトロニクス11が、切替信号を切替ピン47を介して、マルチプレクサ48に入力し、マルチプレクサ48が、入出力ピン42を順次切り替える。その結果、論理回路45の出力が、スイッチ44を介して、マルチプレクサ48に入力される。マルチプレクサ48は、試験ピン46、スイッチSW9を介して、I/V変換器5に電流論理信号を出力する。I/V変換器5は、電流論理信号を、電圧論理信号に変換し、スイッチSW7を介して、ピンエレクトロンクス11に出力する。ピンエレクトロニクス11が電圧論理信号と期待値とを比較し、良否の判定を行なう。
次に、ICテスタ1は、入出力ピン41側のスイッチSW1,SW3,SW4,SW6をオフにすると共に、入出力ピン42側のスイッチSW1,SW4をオンにし、スイッチSW3,SW6をオフにする。そして、図示しないDUT4のピンに、図示しないピンエレクトロニクスからの信号を入力し、入出力ピン41側のスイッチ43をオフにし、スイッチ44をオンにすると共に、入出力ピン42側のスイッチ43をオンにし、スイッチ44をオフにする。つまり、入出力ピン41側を出力側、入出力ピン42側を入力側とする。
そして、入出力ピン42側のピンエレクトロニクス11が電圧論理信号を出力し、スイッチSW1を介して、V/I変換器2に入力される。V/I変換器2は、電圧論理信号を電流論理信号に変換し、スイッチSW4、入出力ピン42、スイッチ43を介して、論理回路45に出力する。論理回路45は、入力した信号に基づいて、電流論理信号を出力する。そして、ピンエレクトロニクス11が、切替信号を切替ピン47を介して、マルチプレクサ48に入力し、マルチプレクサ48が、入出力ピン41を順次切り替える。その結果、論理回路45の出力が、スイッチ44を介して、マルチプレクサ48に入力される。マルチプレクサ48は、試験ピン46、スイッチSW9を介して、I/V変換器5に電流論理信号を出力する。I/V変換器5は、電流論理信号を、電圧論理信号に変換し、スイッチSW7を介して、ピンエレクトロンクス11に出力する。ピンエレクトロニクス11が電圧論理信号と期待値とを比較し、良否の判定を行なう。
このように、マルチプレクサ48が、出力側の入出力ピンを切り替えて、I/V変換器5に出力するので、大きな回路規模となるI/V変換器を削減することができ、容易にDUT4の直近に実装することができ、保守性が改善する。また、出力ごとのスキューのばらつきを抑制することができる。すなわち、容易に電流論理信号における試験を行うことができる。
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、1つのI/V変換器5により試験する構成を示したが、2つのI/V変換器5により試験を行う構成でもよい。この場合、DUT4内部にマルチプレクサ48がもう1つ必要となる。
また、DUT1が液晶駆動ドライバの場合を示したが、電流論理信号により動作する論理回路の試験の場合に適用することができる。
また、入出力を行う入出力ピンの場合を示したが、入力ピン、出力ピンと別々の構成でもよい。そして、出力ピンの1つを試験ピンとする構成にしてもよい。
また、スイッチSW8,SW10を設け、出力側の直流特性試験のパスを設ける構成を示したが、スイッチSW3,SW6のパスにより、出力側の直流特性試験を行い、スイッチSW8,SW10を設けない構成でもよい。
本発明の一実施例を示した構成図である。 従来のテストシステムの構成を示した図である。
符号の説明
1 ICテスタ
2 V/I変換器
4 半導体集積回路
41,42 入出力ピン
46 試験ピン
47 切替ピン
48 マルチプレクサ
5 I/V変換器

Claims (4)

  1. 少なくとも電流論理出力を行うピンを複数有する半導体集積回路において、
    試験時に、I/V変換器と電気的に接続する試験ピンと、
    この試験ピンに、前記ピンを切り替えて接続する切替部と、
    この切替部を切り替える切替信号が入力される切替ピンと
    を設けたことを特徴とする半導体集積回路。
  2. 少なくとも電流論理出力を行うピンを複数有し、このピンを切り替えて、試験ピンに接続する半導体集積回路と、
    この半導体集積回路の試験ピンと接続し、電流を電圧に変換するI/V変換器と、
    このI/V変換器の出力を入力するICテスタと
    を設けたことを特徴とするテストシステム。
  3. 電圧論理信号を電流論理信号に変換し、半導体集積回路に出力するV/I変換器を設け、ICテスタが前記電圧論理信号を出力することを特徴とする請求項2記載のテストシステム。
  4. 半導体集積回路は、液晶駆動ドライバであることを特徴とする請求項2また3記載のテストシステム。
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